JP2009260003A - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体素子の製造方法は、(a)ZnO基板である第1の基板を準備する工程と、(b)前記第1の基板上に、MgZnO/ZnO中間層を形成する工程と、(c)前記MgZnO/ZnO中間層上に、ZnO系化合物半導体素子を形成する工程と、(d)前記MgZnO/ZnO中間層をサイドエッチングすることにより、前記第1の基板と前記ZnO系化合物半導体素子とを分離する工程とを有する。
【選択図】 図4
Description
Claims (4)
- (a)ZnO基板である第1の基板を準備する工程と、
(b)前記第1の基板上に、MgZnO/ZnO中間層を形成する工程と、
(c)前記MgZnO/ZnO中間層上に、ZnO系化合物半導体素子を形成する工程と
を有する半導体素子の製造方法。 - さらに、(d)前記MgZnO/ZnO中間層をサイドエッチングすることにより、前記第1の基板と前記ZnO系化合物半導体素子とを分離する工程を含む請求項1記載の半導体素子の製造方法。
- 前記工程(b)は、
(b1)前記第1の基板上方に、MgZnO層を形成する工程と、
(b2)前記MgZnO層上に、ZnO層を形成する工程と、
(b3)前記ZnO層上に、n型MgZnO層を形成する工程と
を含む請求項1又は2記載の半導体素子の製造方法。 - 前記工程(b3)で形成されるn型MgZnO層のMg組成は、前記工程(c)で形成されるZnO系化合物半導体素子に含まれるn型MgZnOクラッド層のMg組成より高い請求項3に記載の半導体素子の製造方法。
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