JP2009256709A - ガイドロール機構、とこれを用いる真空成膜装置、及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 - Google Patents
ガイドロール機構、とこれを用いる真空成膜装置、及び有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】可撓性支持体(ウェブ)を支持し、真空中でウェブの搬送方向を30度以上、240度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、かつ、少なくとも接触部分の一部において、可撓性支持体をガイドロール上に押さえる機構を設けたことを特徴とするガイドロール機構。
【選択図】図2
Description
図2のガイドロールを用いて、ITOフィルム、有機EL素子を作製した。
前記図2のガイドロールに代えて図3のガイドロールを用いて有機EL素子を製造した。
図4のガイドロールと端部穿孔済みフィルムを用いて有機EL素子を試作した。
すべて平ガイドロールを用いてITOフィルムを作製、更に有機EL素子を作製した。
ITOフィルムは平ガイドロールで、また段付ガイドロールで有機EL素子を作成した。
2 フィルム押さえユニット
3 カム
5 フィルム押さえローラー
30 スパッタリングカソード
40 減圧室
50 真空槽
F フィルム
a 巻き出しロール
b、c、e ガイドロール
d 支持ロール
g 巻き取りロール
Claims (7)
- 可撓性支持体(ウェブ)を支持し、真空中でウェブの搬送方向を30度以上、240度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、かつ、少なくとも接触部分の一部において、可撓性支持体をガイドロール上に押さえる機構を設けたことを特徴とするガイドロール機構。
- 可撓性支持体(ウェブ)を支持し、真空中でウェブの搬送方向を30度以上、240度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、少なくとも接触部分の一部に可撓性支持体をガイドロール上に押さえる機構が複数箇所において設けられており、且つ、該機構が、可撓性支持体の端部がガイドロールの端部に接触を開始する角度の位置から、ガイドロールの端部から離脱し非接触となる角度の位置まで、連続的に、該可撓性支持体をガイドロール上に保持することを特徴とするガイドロール機構。
- 可撓性支持体(ウェブ)を支持し、真空中でウェブの搬送方向を30度以上、240度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、少なくとも該接触部分の一部に可撓性支持体をガイドロール上に押さえるニップロールを少なくとも1カ所以上に設け、該ニップロールの回転軸が、ガイドロールの回転軸に対して、0.5度以上、20度以下、可撓性支持体(ウェブ)中央側に傾斜しており、且つ、該ニップロールの可撓性支持体(ウェブ)に接触する表面材質が弾性体であることを特徴とするガイドロール機構。
- 可撓性支持体(ウェブ)を支持し、真空中でウェブの搬送方向を30度以上、240度以下、変更するためのガイドロール機構であって、搬送中、前記可撓性支持体は、ガイドロールの両端部においてのみガイドロールに接触し、該ガイドロールには、ガイドロールの前記可撓性支持体と接触する周面上に、前記可撓性支持体(ウェブ)の搬送方向に並んだ複数の突起が設けられており、該突起は、予め可撓性支持体の端部に穿孔された孔とかみ合いながら、該可撓性支持体にガイドロールが接触を開始する時点から、非接触となる時点まで、該可撓性支持体をガイドロール表面に固定する機構を組み込んだことを特徴とするガイドロール機構。
- 可撓性支持体(ウェブ)を支持し、真空中でウェブの搬送方向を30度以上、240度以下、変更するためのガイドロール機構であって、
ガイドロールが可撓性支持体(ウェブ)と非接触になる回転軸方向の長さが150mm以上2000mm以下であり、該ガイドロールの両端部におけるウェブと接触する部分の回転軸方向の長さが、ウェブの全幅に対して、1%以上、10%以下であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のガイドロール機構。 - 真空度が、100Pa以下、1×10−7以上の容器内において、加工面側の搬送ガイドロールの少なくとも一つ以上が請求項3に記載のガイドロール機構を有する、ロールツウロールで薄膜を少なくとも1層形成できる真空成膜装置であって、成膜される薄膜の厚みが0.3nm以上、200nm以下であることを特徴とする真空成膜装置。
- 可撓性支持体(ウェブ)を支持し、真空中において搬送しながら、有機エレクトロルミネッセンス素子を形成し、請求項1〜5のいずれか1項に記載のガイドロール機構を用いて、該有機エレクトロルミネッセンス素子の加工された面に実質的に非接触で、該有機エレクトロルミネッセンス素子を搬送して、連続的に封止工程を行うことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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