JP2014116224A - 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】真空下、帯状基材50に対して帯状基材50の搬送方向に第1張力を付与し、少なくとも段付ロール20に帯状基材50を接触させながら搬送させ、前記第1張力が付与された状態で、所定位置まで帯状基材50の搬送を行う基材搬送工程と、前記所定位置まで帯状基材50の搬送が行われ、帯状基材50の搬送が停止された後、帯状基材50に対して付与する張力を、前記第1張力の1.5倍以上2.5倍以下の大きさの第2張力に変化させる張力上昇工程と、前記第2張力が帯状基材50に付与された状態で、帯状基材50に対して処理を行う基材処理工程と、を含む。
【選択図】図1
Description
真空下、前記帯状基材に対して前記帯状基材の搬送方向に第1張力を付与し、少なくとも前記段付ロールに前記帯状基材を接触させながら搬送させ、前記第1張力が付与された状態で、所定位置まで前記帯状基材の搬送を行う基材搬送工程と、
前記所定位置まで前記帯状基材の搬送が行われ、前記帯状基材の搬送が停止された後、前記帯状基材に対して付与する張力を、前記第1張力の1.5倍以上2.5倍以下の大きさの第2張力に変化させる張力上昇工程と、
前記第2張力が前記帯状基材に付与された状態で、前記帯状基材に対して処理を行う基材処理工程と、を含むことを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
前記基材処理工程における処理は、前記帯状基材の表面改質及び機能層の形成の少なくとも一方であることを特徴とする、前記1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
本実施形態に係る有機エレクトロルミネッセンス素子(以下、適宜「有機EL素子」という)の製造方法は、回転方向に凸部が形成され、前記凸部に可撓性の帯状基材が接触した状態前記帯状基材を搬送可能な段付きロールを含む複数の搬送ロールを備える製造装置において行われる有機EL素子を製造する方法である。
以下、「段付ロール20a〜20j」をまとめて適宜「段付ロール20」と呼称し、「平ロール30a〜30n」をまとめて適宜「平ロール30」と呼称する。
また、製造装置100は、基材50に対し、有機EL素子の各機能層を構成する材料を蒸着する第1成膜室3と、前記の搬送補助室2と同様の構成を備える搬送補助室4と、前記第1成膜室3において形成された機能層上にさらに別の機能層を形成する第2成膜室5とを備えている。
また、製造装置100は、前記の搬送補助室2,4,6と同様の構成を備える搬送補助室8と、保護フィルム51がラミネートされて得られた有機ELシート52をロール13に巻き取る巻取り室9と、を備えている。
次に、本実施形態に係る製造方法により製造可能な有機EL素子(以下、適宜「本実施形態に係る有機EL素子」という)について説明する。本実施形態に係る有機EL素子は、基材上に電極及び種々の機能層が形成されたものである。
図1に示したフローに沿って、図2に示した製造装置100を用いて、有機EL素子を作製した。
まず、幅1000mm、厚さ120μmの帯状のポリエチレンテレフタレートフィルム(PETフィルム;基材)上に、有機EL成膜面(機能層が形成される面)側にガス遮蔽膜(バリア膜)が80nmの厚みで全面に形成され、その上にITO膜が厚さ130nmで形成されたものを準備した。なお、ITO膜は、搬送方向280mm、搬送方向と直交する方向(幅方向)280mmに、パターニングしたものである。ITO膜の表面比抵抗は40Ω/□であった。ちなみに、このパターニングされたITO膜が、図3を参照しながら説明した「機能層パターン付与エリア50a」に相当する(ただし、図3においては、説明の簡略化のために、幅方向に一つしか設けていない)。
(1)非発光部面積の評価
作製した有機EL素子の素子発光部をデジタル画像で撮影し、画像処理ソフトを用いて画像を二値化し、発光部と非発光部との面積比を算出し、得られた面積比を以下の基準に従って評価した。
◎:面積比が1%以下(全面に亘って発光しており、大変良好である)
○:面積比が1%より大きく2%以下(大部分が発光しており、良好である)
△:面積比が3%より大きく10%以下(発光しているが、発光していない部分もある)
×:面積比が10%より大きい(発光していない部分が目立っている)
作製した有機EL素子を室温下1000cd/m2となるように発光させ、2次元色彩輝度計 CA−2000(コニカミノルタオプティクス社製)で輝度分布を測定した。そして、素子発光部における輝度の最大値と最小値との差を1000cd/m2で除し、得られた値を以下の基準に従って評価した。
◎:値が5%未満(全面に亘って特に均一に発光しており、目視可能な発光ムラは生じていない)
○:値が5%以上10%未満(全面に亘って均一に発光しており、発光ムラは殆ど生じていない)
△:値が10%以上15%未満(略全面に亘って均一に発光しているが、ところどころに発光ムラが見出される)
×:値が15%以上(発光強度の相異が目立ち、発光ムラが散見される)
30 平ロール(搬送ロール)
50 基材
51 保護フィルム
52 有機ELシート
Claims (3)
- 回転方向に凸部が形成され、前記凸部に可撓性の帯状基材が接触した状態で前記帯状基材を搬送可能な段付ロールを含む複数の搬送ロールを備える製造装置において行われる有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法であって、
真空下、前記帯状基材に対して前記帯状基材の搬送方向に第1張力を付与し、少なくとも前記段付ロールに前記帯状基材を接触させながら搬送させ、前記第1張力が付与された状態で、所定位置まで前記帯状基材の搬送を行う基材搬送工程と、
前記所定位置まで前記帯状基材の搬送が行われ、前記帯状基材の搬送が停止された後、前記帯状基材に対して付与する張力を、前記第1張力の1.5倍以上2.5倍以下の大きさの第2張力に変化させる張力上昇工程と、
前記第2張力が前記帯状基材に付与された状態で、前記帯状基材に対して処理を行う基材処理工程と、を含むことを特徴とする、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。 - 前記張力上昇工程及び前記基材処理工程のうちの少なくとも一方は真空条件下で行われることを特徴とする、請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
- 前記基材処理工程は真空中で行われ、
前記基材処理工程における処理は、前記帯状基材の表面改質及び機能層の形成の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
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