JP2009253233A - コモンモードチョークコイル用内層基板およびその製造方法並びにコモンモードチョークコイル - Google Patents
コモンモードチョークコイル用内層基板およびその製造方法並びにコモンモードチョークコイル Download PDFInfo
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Abstract
【課題】一対のコイル導体間の距離を小さくしても安定生産可能なコモンモードチョークコイル用内層基板を提供。
【解決手段】基板11と、一方の主面上に形成された第1のコイル導体12cおよび一方の引出電極12aと、スルーホール導体12dによりコイル導体12cの他端と接続された他方の引出電極12bと、第1のコイル12を被覆する第1の絶縁体層14a,14bと、この上に形成された第2のコイル導体13cおよび一方の引出電極13aと、これを被覆するように形成された第2の絶縁体層15aと、この上に形成された他方の引出電極13bと、を備える。第1のコイルを被覆する絶縁体層を形成する際の反りの発生が防止される。
【選択図】 図2
【解決手段】基板11と、一方の主面上に形成された第1のコイル導体12cおよび一方の引出電極12aと、スルーホール導体12dによりコイル導体12cの他端と接続された他方の引出電極12bと、第1のコイル12を被覆する第1の絶縁体層14a,14bと、この上に形成された第2のコイル導体13cおよび一方の引出電極13aと、これを被覆するように形成された第2の絶縁体層15aと、この上に形成された他方の引出電極13bと、を備える。第1のコイルを被覆する絶縁体層を形成する際の反りの発生が防止される。
【選択図】 図2
Description
本発明は、コモンモードチョークコイル用内層基板に関し、特に、積層コモンモードチョークコイルを安定生産可能なコモンモードチョークコイル用内層基板に関する。
従来のコモンモードチョークコイルのとして、絶縁体層を介して厚み方向で互いに対向するように形成された一対のコイル導体の外側を一対の磁性体板で挟みこんだ積層型コモンモードチョークコイルが提案されている。
具体的には、特許文献1には、図15に示すように、絶縁体層115aを介して厚み方向で互いに対向するように形成された一対のコイル導体112(112a,112c),113(113a,113c)を一方の磁性体板111の上に薄膜で形成し、さらに他方の磁性体板(図示省略)を貼り付けたコモンモードチョークコイル110が記載されている。
また、特許文献2には、図16に示すように、例えばガラス・エポキシ樹脂基板211の上面及び下面に導体パターン212(212a,212c)、213(213a,213c)がそれぞれ形成された積層型コモンモードチョークコイル210が従来技術として記載されている。
特開平8−203737公報
特開2000−277354号公報
具体的には、特許文献1には、図15に示すように、絶縁体層115aを介して厚み方向で互いに対向するように形成された一対のコイル導体112(112a,112c),113(113a,113c)を一方の磁性体板111の上に薄膜で形成し、さらに他方の磁性体板(図示省略)を貼り付けたコモンモードチョークコイル110が記載されている。
また、特許文献2には、図16に示すように、例えばガラス・エポキシ樹脂基板211の上面及び下面に導体パターン212(212a,212c)、213(213a,213c)がそれぞれ形成された積層型コモンモードチョークコイル210が従来技術として記載されている。
しかしながら、上記前者の背景技術に記載のコモンモードチョークコイル110においては、一方の磁性体板111上に一対のコイル導体112、113を薄膜で形成するので、加工プロセス等のハンドリング時に磁性体基板111にカケやワレが生じやすいという課題があった。 また、上記後者の背景技術に記載のコモンモードチョークコイル210においては、エッチング等の加工プロセスのハンドリング性を考慮すると、ガラス・エポキシ樹脂基板211の厚みを小さくすることが難しい。このため、一対のコイル導体212,213間の距離が離れ、コモンモードチョークコイル210として特性(結合度)を高くすることが難しいという課題があった。
本発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであって、一対のコイル導体間の距離を小さくしても安定生産可能なコモンモードチョークコイル用内層基板を提供することを目的とする。また、本発明は、コモンモードチョークコイル用内層基板を用いて容易に生産することができるコモンモードチョークコイルを提供することを目的とする。また、本発明は、前記コモンモードチョークコイル用内層基板を安定して得ることが可能な製造方法を提供することを目的とする。
本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板は、
(1)非磁性で絶縁性の基板と、
該基板の一方の主面上に形成された第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記基板の他方の主面上に形成され該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続されて前記第1のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第1のコイルを構成する他方の引出電極と、
前記第1のコイルを被覆するように前記基板の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層と、
前記基板の一方の主面側の第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および一方の引出電極に対向するように形成された第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記第2のコイル導体および一方の引出電極を被覆するように形成された第2の絶縁体層と、
前記第2の絶縁体層上に形成され前記第2のコイル導体の他端に前記第2の絶縁体層を貫通するビアホール導体により接続されて前記第2のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第2のコイルを構成する他方の引出電極と、
を備える。(以下、第1の課題解決手段と称する。)
(1)非磁性で絶縁性の基板と、
該基板の一方の主面上に形成された第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記基板の他方の主面上に形成され該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続されて前記第1のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第1のコイルを構成する他方の引出電極と、
前記第1のコイルを被覆するように前記基板の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層と、
前記基板の一方の主面側の第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および一方の引出電極に対向するように形成された第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記第2のコイル導体および一方の引出電極を被覆するように形成された第2の絶縁体層と、
前記第2の絶縁体層上に形成され前記第2のコイル導体の他端に前記第2の絶縁体層を貫通するビアホール導体により接続されて前記第2のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第2のコイルを構成する他方の引出電極と、
を備える。(以下、第1の課題解決手段と称する。)
上記コモンモードチョークコイル用内層基板の主要な形態の一つは、(2)前記第1のコイルを被覆する第1の絶縁体層が、前記基板の両主面にそれぞれプリプレグを積層した後、熱プレスすることにより同時に形成されたものである。(以下、第2の課題解決手段と称する。)
また、本発明のコモンモードチョークコイルは、
(3)上記第1の課題解決手段に記載の内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるとともに、
前記内層基板の端面に露出する前記引き出し電極に接続するように前記基板の端面及びその近傍に端子電極が形成されている。(以下、第3の課題解決手段と称する。)
(3)上記第1の課題解決手段に記載の内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるとともに、
前記内層基板の端面に露出する前記引き出し電極に接続するように前記基板の端面及びその近傍に端子電極が形成されている。(以下、第3の課題解決手段と称する。)
また、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法は、
(4)非磁性で絶縁性の基板の一方の主面上に、第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するとともに、
前記基板の他方の主面上に、該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続される他方の引出電極を形成して、第1のコイルを準備するステップと、
前記基板の両主面にそれぞれ前記第1のコイルを被覆するように第1の絶縁体層を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と対向するように第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第2のコイル導体および該コイル導体に接続された一方の引出電極を被覆するように第2の絶縁体層を形成するステップと、
第2の絶縁体層に前記第2のコイル導体の他方の端部を露出するように下孔を形成するステップと、
第2の絶縁体層上に前記下孔から露出された前記第2のコイル導体の他方の端部に接続するように他方の引出電極を形成するステップと、
を備える。(以下、第4の課題解決手段と称する。)
(4)非磁性で絶縁性の基板の一方の主面上に、第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するとともに、
前記基板の他方の主面上に、該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続される他方の引出電極を形成して、第1のコイルを準備するステップと、
前記基板の両主面にそれぞれ前記第1のコイルを被覆するように第1の絶縁体層を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と対向するように第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第2のコイル導体および該コイル導体に接続された一方の引出電極を被覆するように第2の絶縁体層を形成するステップと、
第2の絶縁体層に前記第2のコイル導体の他方の端部を露出するように下孔を形成するステップと、
第2の絶縁体層上に前記下孔から露出された前記第2のコイル導体の他方の端部に接続するように他方の引出電極を形成するステップと、
を備える。(以下、第4の課題解決手段と称する。)
また、上記コモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法の主要な形態の一つは、(5)前記基板の一方の主面側の前記第2の絶縁体層を形成するステップにおいて、同時に、前記基板の他方の主面側の前記第1の絶縁体層上に第2の絶縁体層を形成する。(以下、第5の課題解決手段と称する。)
上記第1の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、絶縁性の基板の両主面に第1のコイルが分割形成されるとともに、第1のコイルと対向する第2のコイルが、前記基板の両主面にそれぞれ形成された絶縁体層のうちの一方の上に形成されている。このため、第1のコイルと第2のコイルとの間に配置される絶縁体層の厚みを小さくできるとともに、前記第1のコイルを被覆する絶縁体層を形成する際の反りの発生が防止される。
上記第2の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、前記第1のコイルを被覆する第1の絶縁体層が、前記基板の両主面にそれぞれプリプレグを積層した後、熱プレスすることにより同時に形成されたものである。このため、該絶縁体層を形成する際の硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制される。
また、上記第3の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、前記第1の課題解決手段に記載の内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるので、基板のカケやワレの発生が防止される。
また、上記第4の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、非磁性で絶縁性の基板の一方の主面上に、第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を、また、前記基板の他方の主面上に、該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続される他方の引出電極を、それぞれ分割形成して、第1のコイルを準備するステップと、
前記基板の両主面にそれぞれ前記第1のコイルを被覆するように第1の絶縁体層を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と対向するように第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するステップと、を有する。このため、前記第1のコイルと前記第2のコイルとの間に位置する絶縁体層を薄く形成できるとともに、該絶縁体層を形成する際に前記基板の他方の主面側にも同時に絶縁体層が形成されるので、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制される。
前記基板の両主面にそれぞれ前記第1のコイルを被覆するように第1の絶縁体層を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と対向するように第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するステップと、を有する。このため、前記第1のコイルと前記第2のコイルとの間に位置する絶縁体層を薄く形成できるとともに、該絶縁体層を形成する際に前記基板の他方の主面側にも同時に絶縁体層が形成されるので、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制される。
また、上記第5の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、記基板の一方の主面側の前記第2の絶縁体層を形成するステップにおいて、同時に、前記基板の他方の主面側の前記第1の絶縁体層上に第2の絶縁体層を形成するので、前記第2の絶縁体層の厚みを増加させても、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制される。
本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板によれば、第1のコイルと第2のコイルとの間に配置される絶縁体層の厚みを小さくできるとともに、前記第1のコイルを被覆する絶縁体層を形成する際の反りの発生が防止されるので、安定生産可能なコモンモードチョークコイルを提供することができる。
また、本発明のコモンモードチョークコイルによれば、上記内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるので、磁性体基板のカケやワレが発生しにくい安定生産可能なコモンモードチョークコイルを提供することができる。
また、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法によれば、前記第1のコイルと前記第2のコイルとの間に位置する絶縁体層を薄く形成できるとともに、該絶縁体層を形成する際に前記基板の他方の主面側にも同時に絶縁体層が形成されるので、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制され、コモンモードチョークコイル用内層基板を安定生産することができる。
また、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法によれば、前記第2の絶縁体層の厚みを増加させても、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制され、コモンモードチョークコイル用内層基板を安定生産することができる。
本発明の上記目的とそれ以外の目的、構成特徴、作用効果は、以下の説明と添付図面によって明らかとなろう。
本発明の上記目的とそれ以外の目的、構成特徴、作用効果は、以下の説明と添付図面によって明らかとなろう。
まず、図1〜図3を用いて本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の第1の実施形態について説明する。図1は本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10の全体構造を示す外観斜視図である。図2は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10の内部構造を示す前記図1のA−A線における縦断面図である。図3は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10の内部構造を示す分解斜視図である。図中、11は絶縁性の基板、12(12a,12b,12c,12d)は第1のコイル、13(13a,13b,13c,13d)は第2のコイル、14(14a,14b)は第1の絶縁体層、15aは第2の絶縁体層である。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10は、
非磁性で絶縁性の基板11と、
該基板11の一方の主面上に形成された第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと、
前記基板11の他方の主面上に形成され該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続されて前記第1のコイル導体12c及び前記一方の引出電極12aとともに第1のコイル12を構成する他方の引出電極12bと、前記第1のコイル12を被覆するように前記基板11の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層14a,14bと、
前記基板11の一方の主面側の第1の絶縁体層14a上に前記第1のコイル導体12cおよび一方の引出電極12aに対向するように形成された第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続された一方の引出電極13aと、
前記第2のコイル導体13cおよび一方の引出電極13aを被覆するように形成された第2の絶縁体層15aと、
前記第2の絶縁体層15a上に形成され前記第2のコイル導体13cの他端に前記第2の絶縁体層15aを貫通するビアホール導体13dにより接続されて前記第2のコイル導体13c及び前記一方の引出電極13aとともに第2のコイル13を構成する他方の引出電極13bと、を備える。
非磁性で絶縁性の基板11と、
該基板11の一方の主面上に形成された第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと、
前記基板11の他方の主面上に形成され該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続されて前記第1のコイル導体12c及び前記一方の引出電極12aとともに第1のコイル12を構成する他方の引出電極12bと、前記第1のコイル12を被覆するように前記基板11の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層14a,14bと、
前記基板11の一方の主面側の第1の絶縁体層14a上に前記第1のコイル導体12cおよび一方の引出電極12aに対向するように形成された第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続された一方の引出電極13aと、
前記第2のコイル導体13cおよび一方の引出電極13aを被覆するように形成された第2の絶縁体層15aと、
前記第2の絶縁体層15a上に形成され前記第2のコイル導体13cの他端に前記第2の絶縁体層15aを貫通するビアホール導体13dにより接続されて前記第2のコイル導体13c及び前記一方の引出電極13aとともに第2のコイル13を構成する他方の引出電極13bと、を備える。
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法の第1の実施形態について、図4を参照して説明する。図4(A)〜図4(G)は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法をプロセスを追って説明するための縦断面図である。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法は、
まず、図4(A)に示すように非磁性で絶縁性の基板11を用意し、次に、図4(B)に示すように該基板11の一方の主面上に、第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続される一方の引出電極12aを、また、前記基板11の他方の主面上に、該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続される他方の引出電極12bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル12を準備する。
次に、図4(C)に示すように、前記基板11の両主面にそれぞれ前記第1のコイル12を被覆するように第1の絶縁体層14a,14bを形成する。
次に、図4(D)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第1の絶縁体層14a上に前記第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと対向するように第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続される一方の引出電極13aを形成する。
次に、図4(E)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cに接続された一方の引出電極13aを被覆するように第2の絶縁体層15aを形成する。
次に、図4(F)に示すように、第2の絶縁体層15aに前記第2のコイル導体13cの他方の端部を露出するように下孔15dを形成する。
次に、図4(G)に示すように、第2の絶縁体層15a上に前記下孔15dから露出された前記第2のコイル導体13cの他方の端部に接続するように他方の引出電極13bを形成する。こうして、図2に示す前記第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10が得られる。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法は、
まず、図4(A)に示すように非磁性で絶縁性の基板11を用意し、次に、図4(B)に示すように該基板11の一方の主面上に、第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続される一方の引出電極12aを、また、前記基板11の他方の主面上に、該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続される他方の引出電極12bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル12を準備する。
次に、図4(C)に示すように、前記基板11の両主面にそれぞれ前記第1のコイル12を被覆するように第1の絶縁体層14a,14bを形成する。
次に、図4(D)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第1の絶縁体層14a上に前記第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと対向するように第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続される一方の引出電極13aを形成する。
次に、図4(E)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cに接続された一方の引出電極13aを被覆するように第2の絶縁体層15aを形成する。
次に、図4(F)に示すように、第2の絶縁体層15aに前記第2のコイル導体13cの他方の端部を露出するように下孔15dを形成する。
次に、図4(G)に示すように、第2の絶縁体層15a上に前記下孔15dから露出された前記第2のコイル導体13cの他方の端部に接続するように他方の引出電極13bを形成する。こうして、図2に示す前記第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10が得られる。
次に、前記内層基板10を用いた本発明のコモンモードチョークコイルの第1の実施形態について、図5〜図7を参照して説明する。図5は本実施形態のコモンモードチョークコイル20の全体構造を示す外観斜視図である。図6は本実施形態のコモンモードチョークコイル20の前記図5のB−B線における縦断面図である。また、図7は、本実施形態のコモンモードチョークコイル20の内部構造を示す分解斜視図である。
本実施形態のコモンモードチョークコイル20は、前記第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10の両主面にそれぞれ磁性体基板16a,16bが貼着されるとともに、前記内層基板10の端面10Tに露出する前記引出電極12a,12b,13a,13bに接続するように前記基板10の端面及びその近傍に端子電極18a,18b,19a,19bが形成されている。
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板10の各部の好ましい実施形態について、説明する。
先ず、上記非磁性で絶縁性の基板11の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記基板11の材料としては、例えば、エポキシ系の未硬化樹脂をガラス繊維布に含浸させたもの(FR−4、FR−5)や、ガラス繊維布にさらにガラス不織布を複合使用したもの(CEM−3)等、所謂プリプレグと呼ばれるBステージ基板から選択して用いることが好ましい。前記基板11の厚みは、例えば40〜60μmであることが好ましい。また、前記基板11は、複数のコモンモードチョークコイルを一括して作成するために、例えば長さ50〜120mm、幅50〜120mmであることが好ましい。また、該基板11を貫通するスルーホール導体を形成するために、前記基板11に予めドリル加工やレーザ光照射等により下孔11を形成しておくことが好ましい。
次に、上記コイル導体12c、13c、及び引出電極12a,12b,13a,13bの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記コイル導体12c,13c、及び引出電極12a,12b,13a,13bの材料としては、例えば銅が好ましい。前記コイル導体12c、13cおよび引出電極12a,12b,13a,13bの厚みは、例えば5〜20μmであることが好ましい。また、前記コイル導体12c、13cの線幅は例えば10〜30μmであることが好ましい。上記コイル導体12c、13c及び引出電極12a,12b,13a,13bの形成方法は、例えばシード層上に銅メッキすることにより形成することが好ましい。また、銅箔にエッチングすることにより形成してもよい。
次に、上記スルーホール導体12dの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記スルーホール導体12dの材料としては、銅が好ましい。前記スルーホール導体12dの厚みは、例えば5〜10μmであることが好ましい。また、前記スルーホール導体12dの直径は例えば30〜100μmであることが好ましい。上記スルーホール導体12dの形成方法は、例えば銅を化学めっきすることにより形成することが好ましい。また、銅メッキ膜上にさらに銅を電解メッキすることが好ましい。
次に、上記ビアホール導体13dの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記ビアホール導体13dの材料としては、例えば銅が好ましい。前記ビアホール導体13dの厚みは、例えば5〜10μmであることが好ましい。また、前記ビアホール導体13dの直径は例えば30〜100μmであることが好ましい。上記ビアホール導体13dの形成方法は、例えば銅を化学メッキすることにより形成することが好ましい。また、銅メッキ膜上にさらに銅を電解メッキすることが好ましい。
次に、上記第1の絶縁体層14a,14b及び第2の絶縁体層15aの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記第1の絶縁体層14a,14b及び第2の絶縁体層15aの材料としては、FR−4のようにエポキシ系の未硬化樹脂をガラス繊維布に含浸させた所謂プリプレグと呼ばれるBステージ基板から選択して用いることが好ましい。前記第1の絶縁体層14a,14b及び第2の絶縁体層15aの厚みは、例えば10〜40μmであることが好ましい。また、前記第1の絶縁体層14a,14b及び第2の絶縁体層15aの形成方法は、例えば上記基板11の主面上に上記プリプレグを積層し熱プレスすることにより形成することが好ましい。
次に、上記磁性体基板16a,16bの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記磁性体基板16a,16bの材料としては、例えばフェライト磁性粉や金属磁性粉と樹脂とを混合してなる複合磁性体シートや焼結フェライト板等から選択して用いることが好ましい。前記磁性体基板16a,16bの厚みは、例えば200〜400μmであることが好ましい。また、前記コモンモードチョークコイル用内層基板10の両主面への上記磁性体基板16a,16bの貼着は、例えばエポキシ樹脂やポリフェニレンエーテル(PPE)等を主成分とする接着シートや接着剤を接着手段として用い、例えば180℃で熱プレス等の熱処理を施すことにより貼着することができる。
次に、上記端子電極18a,18b,19a,19bの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記端子電極18a,18b,19a,19bの材料としては、銀、銅、ニッケル等から選択された金属、または前記金属の粒子を樹脂中に含有させた導電性樹脂を用いることが好ましい。前記端子電極18a,18b,19a,19bの厚みは、例えば20〜80μmであることが好ましい。また、前記端子電極18a,18b,19a,19bの形成方法は、例えば前記金属の粉末と樹脂とを混合して電極材料ペーストとし、これを塗布した後、例えば150℃で熱処理して硬化することが好ましい。また、得られた電極膜上に、さらに、例えばSnメッキ等のはんだ付け性の良好な膜を形成することが好ましい。また、前記電極材料ペーストの塗布・硬化に限定するものではなく、例えば銅をスパッタしてシード層を形成した後、該シード層上に例えば電解メッキにより前記金属からなる電極膜を成長させてもよい。
(実施例1)
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の実施例について説明する。
まず、図4(A)に示すようにFR−4からなり、長さ120mm、幅120mm、厚さ60μmの非磁性で絶縁性の基板11を用意した。該基板11には、後にスルーホール導体を形成する位置に予め直径60μmの下孔11dをレーザ光照射により形成した。
次に、図4(B)に示すように該基板11の両主面及び前記下孔11dの内周面に、銅を化学メッキして図示省略したシード層を形成した。次に、該シード層上に感光性樹脂からなる厚さ20μmのフィルムを接着してレジスト膜を形成した。次に所定のマスクを用いて露光し、不要なレジスト膜を除去した後、銅を電解メッキして、厚さ10μmの第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続される一方の引出電極12aを、また、前記基板11の他方の主面上に、該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続される他方の引出電極12bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル12を準備した。
次に、図4(C)に示すように、前記基板11の両主面にそれぞれ前記第1のコイル12を被覆するようにFR−4からなるプリプレグを積層し、180℃で80分間熱プレスして、厚さ20μmの第1の絶縁体層14a,14bを形成した。
次に、図4(D)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第1の絶縁体層14a上に、前記と同様に銅をメッキして、前記第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと対向するように、厚さ10μmの第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続される一方の引出電極13aを形成した。
次に、図4(E)に示すように、前記と同様にプリプレグを積層し熱プレスして、前記基板11の一方の主面側の前記第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cに接続された一方の引出電極13aを被覆するように厚さ20μmの第2の絶縁体層15aを形成した。
次に、図4(F)に示すように、レーザ光を照射して、第2の絶縁体層15aに前記第2のコイル導体13cの他方の端部を露出するように直径60μmの下孔15dを形成した。
次に、図4(G)に示すように、銅をメッキして、第2の絶縁体層15a上に前記下孔15dから露出された前記第2のコイル導体13cの他方の端部に接続するように厚さ10μmの他方の引出電極13bを形成した。こうして、図2に示す前記第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10を得た。
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の実施例について説明する。
まず、図4(A)に示すようにFR−4からなり、長さ120mm、幅120mm、厚さ60μmの非磁性で絶縁性の基板11を用意した。該基板11には、後にスルーホール導体を形成する位置に予め直径60μmの下孔11dをレーザ光照射により形成した。
次に、図4(B)に示すように該基板11の両主面及び前記下孔11dの内周面に、銅を化学メッキして図示省略したシード層を形成した。次に、該シード層上に感光性樹脂からなる厚さ20μmのフィルムを接着してレジスト膜を形成した。次に所定のマスクを用いて露光し、不要なレジスト膜を除去した後、銅を電解メッキして、厚さ10μmの第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続される一方の引出電極12aを、また、前記基板11の他方の主面上に、該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続される他方の引出電極12bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル12を準備した。
次に、図4(C)に示すように、前記基板11の両主面にそれぞれ前記第1のコイル12を被覆するようにFR−4からなるプリプレグを積層し、180℃で80分間熱プレスして、厚さ20μmの第1の絶縁体層14a,14bを形成した。
次に、図4(D)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第1の絶縁体層14a上に、前記と同様に銅をメッキして、前記第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと対向するように、厚さ10μmの第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続される一方の引出電極13aを形成した。
次に、図4(E)に示すように、前記と同様にプリプレグを積層し熱プレスして、前記基板11の一方の主面側の前記第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cに接続された一方の引出電極13aを被覆するように厚さ20μmの第2の絶縁体層15aを形成した。
次に、図4(F)に示すように、レーザ光を照射して、第2の絶縁体層15aに前記第2のコイル導体13cの他方の端部を露出するように直径60μmの下孔15dを形成した。
次に、図4(G)に示すように、銅をメッキして、第2の絶縁体層15a上に前記下孔15dから露出された前記第2のコイル導体13cの他方の端部に接続するように厚さ10μmの他方の引出電極13bを形成した。こうして、図2に示す前記第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10を得た。
次に、図8〜図10を用いて本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の第2の実施形態について説明する。図8は本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30の全体構造を示す外観斜視図である。図9は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30の内部構造を示す前記図8のC−C線における縦断面図である。図10は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30の内部構造を示す分解斜視図である。図中、31は絶縁性の基板、32(32a,32b,32c,32d)は第1のコイル、33(33a,33b,33c,33d)は第2のコイル、34a,34bは第1の絶縁体層、35a,35bは第2の絶縁体層である。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30は、
非磁性で絶縁性の基板31と、
該基板31の一方の主面上に形成された第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと、
前記基板31の他方の主面上に形成され該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続されて前記第1のコイル導体32c及び前記一方の引出電極32aとともに第1のコイル32を構成する他方の引出電極32bと、前記第1のコイル32を被覆するように前記基板31の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層34a,34bと、
前記基板31の一方の主面側の第1の絶縁体層34a上に前記第1のコイル導体32cおよび一方の引出電極32aに対向するように形成された第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続された一方の引出電極33aと、
前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび一方の引出電極33aを被覆するように、また前記基板31の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ形成された第2の絶縁体層35a、35bと、
前記基板31の一方の主面側の第2の絶縁体層35a上に形成され前記第2のコイル導体33cの他端に前記第2の絶縁体層35aを貫通するビアホール導体33dにより接続されて前記第2のコイル導体33c及び前記一方の引出電極33aとともに第2のコイル33を構成する他方の引出電極33bと、を備える。
非磁性で絶縁性の基板31と、
該基板31の一方の主面上に形成された第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと、
前記基板31の他方の主面上に形成され該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続されて前記第1のコイル導体32c及び前記一方の引出電極32aとともに第1のコイル32を構成する他方の引出電極32bと、前記第1のコイル32を被覆するように前記基板31の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層34a,34bと、
前記基板31の一方の主面側の第1の絶縁体層34a上に前記第1のコイル導体32cおよび一方の引出電極32aに対向するように形成された第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続された一方の引出電極33aと、
前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび一方の引出電極33aを被覆するように、また前記基板31の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ形成された第2の絶縁体層35a、35bと、
前記基板31の一方の主面側の第2の絶縁体層35a上に形成され前記第2のコイル導体33cの他端に前記第2の絶縁体層35aを貫通するビアホール導体33dにより接続されて前記第2のコイル導体33c及び前記一方の引出電極33aとともに第2のコイル33を構成する他方の引出電極33bと、を備える。
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法の第2の実施形態について、図11を参照して説明する。図11(A)〜図11(G)は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法をプロセスを追って説明するための縦断面図である。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法は、
まず、図11(A)に示すように非磁性で絶縁性の基板31を用意し、次に、図11(B)に示すように該基板31の一方の主面上に、第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続される一方の引出電極32aを、また、前記基板31の他方の主面上に、該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続される他方の引出電極32bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル32を準備する。
次に、図11(C)に示すように、前記基板31の両主面にそれぞれ前記第1のコイル32を被覆するように第1の絶縁体層34a,34bを形成する。
次に、図11(D)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第1の絶縁体層34a上に前記第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと対向するように第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続される一方の引出電極33aを形成する。
次に、図11(E)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cに接続された一方の引出電極33aを被覆するように、また、前記基板32の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ第2の絶縁体層35a、35bを形成する。
次に、図11(F)に示すように、第2の絶縁体層35aに前記第2のコイル導体33cの他方の端部を露出するように下孔35dを形成する。
次に、図11(G)に示すように、第2の絶縁体層35a上に前記下孔35dから露出された前記第2のコイル導体33cの他方の端部に接続するように他方の引出電極33bを形成する。こうして、図9に示す前記第2の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30が得られる。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法は、
まず、図11(A)に示すように非磁性で絶縁性の基板31を用意し、次に、図11(B)に示すように該基板31の一方の主面上に、第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続される一方の引出電極32aを、また、前記基板31の他方の主面上に、該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続される他方の引出電極32bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル32を準備する。
次に、図11(C)に示すように、前記基板31の両主面にそれぞれ前記第1のコイル32を被覆するように第1の絶縁体層34a,34bを形成する。
次に、図11(D)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第1の絶縁体層34a上に前記第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと対向するように第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続される一方の引出電極33aを形成する。
次に、図11(E)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cに接続された一方の引出電極33aを被覆するように、また、前記基板32の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ第2の絶縁体層35a、35bを形成する。
次に、図11(F)に示すように、第2の絶縁体層35aに前記第2のコイル導体33cの他方の端部を露出するように下孔35dを形成する。
次に、図11(G)に示すように、第2の絶縁体層35a上に前記下孔35dから露出された前記第2のコイル導体33cの他方の端部に接続するように他方の引出電極33bを形成する。こうして、図9に示す前記第2の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30が得られる。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30が先の第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10と異なるところは、前記基板31の他方の主面側の第1の絶縁体層34b上に該第1の絶縁体層34bを覆うように第2の絶縁体層35bが形成されている点にある。これによれば、前記第2の絶縁体層35aの厚みが厚い場合であっても、反りの発生を抑制することができる。その他の構成及び作用効果は先の第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10と同様であるため、説明を省略する。
次に、前記内層基板30を用いた本発明のコモンモードチョークコイルの第2の実施形態について、図12〜図14参照して説明する。図12は本実施形態のコモンモードチョークコイル40の全体構造を示す外観斜視図である。図13は本実施形態のコモンモードチョークコイル40の前記図12のD−D線における縦断面図である。また、図14は、本実施形態のコモンモードチョークコイル40の内部構造を示す分解斜視図である。
本実施形態のコモンモードチョークコイル40は、前記第2の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30の両主面にそれぞれ磁性体基板36a,36bが貼着されるとともに、前記内層基板30の端面30Tに露出する前記引出電極32a,32b,33a,33bに接続するように前記基板30の端面及びその近傍に端子電極38a,38b,39a,39bが形成されている。
(実施例2)
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の実施例について説明する。
まず、図11(A)に示すようにFR−4からなり、長さ120mm、幅120mm、厚さ60μmの非磁性で絶縁性の基板31を用意した。該基板31には、後にスルーホール導体を形成する位置に予め直径60μmの下孔31dをレーザ光を照射することにより形成した。
次に、図11(B)に示すように該基板31の両主面及び前記下孔31dの内周面に、銅を化学メッキして図示省略したシード層を形成した。次に、該シード層上に感光性樹脂からなる厚さ20μmのフィルムを接着してレジスト膜を形成した。次に所定のマスクを用いて露光し不要なレジスト膜を除去した後、銅を電解メッキして、厚さ10μmの第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続される一方の引出電極32aを、また、前記基板31の他方の主面上に、該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続される他方の引出電極32bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル32を準備した。
次に、図11(C)に示すように、前記基板31の両主面にそれぞれ前記第1のコイル32を被覆するようにFR−4からなるプリプレグを積層し、180℃で80分間熱プレスして、厚さ20μmの第1の絶縁体層34a,34bを形成した。
次に、図11(D)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第1の絶縁体層34a上に、前記と同様に銅をメッキして、前記第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと対向するように、厚さ10μmの第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続される一方の引出電極33aを形成した。
次に、図11(E)に示すように、前記と同様にプリプレグを積層して、前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cに接続された一方の引出電極33aを被覆するように、また、前記基板31の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ厚さ20μmの第2の絶縁体層35a、35bを形成した。
次に、図11(F)に示すように、レーザ光を照射して、第2の絶縁体層35aに前記第2のコイル導体33cの他方の端部を露出するように直径60μmの下孔35dを形成した。
次に、図11(G)に示すように、銅をメッキして、第2の絶縁体層35a上に前記下孔35dから露出された前記第2のコイル導体33cの他方の端部に接続するように厚さ10μmの他方の引出電極33bを形成した。こうして、図9に示す前記第2の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30を得た。
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の実施例について説明する。
まず、図11(A)に示すようにFR−4からなり、長さ120mm、幅120mm、厚さ60μmの非磁性で絶縁性の基板31を用意した。該基板31には、後にスルーホール導体を形成する位置に予め直径60μmの下孔31dをレーザ光を照射することにより形成した。
次に、図11(B)に示すように該基板31の両主面及び前記下孔31dの内周面に、銅を化学メッキして図示省略したシード層を形成した。次に、該シード層上に感光性樹脂からなる厚さ20μmのフィルムを接着してレジスト膜を形成した。次に所定のマスクを用いて露光し不要なレジスト膜を除去した後、銅を電解メッキして、厚さ10μmの第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続される一方の引出電極32aを、また、前記基板31の他方の主面上に、該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続される他方の引出電極32bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル32を準備した。
次に、図11(C)に示すように、前記基板31の両主面にそれぞれ前記第1のコイル32を被覆するようにFR−4からなるプリプレグを積層し、180℃で80分間熱プレスして、厚さ20μmの第1の絶縁体層34a,34bを形成した。
次に、図11(D)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第1の絶縁体層34a上に、前記と同様に銅をメッキして、前記第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと対向するように、厚さ10μmの第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続される一方の引出電極33aを形成した。
次に、図11(E)に示すように、前記と同様にプリプレグを積層して、前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cに接続された一方の引出電極33aを被覆するように、また、前記基板31の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ厚さ20μmの第2の絶縁体層35a、35bを形成した。
次に、図11(F)に示すように、レーザ光を照射して、第2の絶縁体層35aに前記第2のコイル導体33cの他方の端部を露出するように直径60μmの下孔35dを形成した。
次に、図11(G)に示すように、銅をメッキして、第2の絶縁体層35a上に前記下孔35dから露出された前記第2のコイル導体33cの他方の端部に接続するように厚さ10μmの他方の引出電極33bを形成した。こうして、図9に示す前記第2の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30を得た。
10:コモンモードチョークコイル用内層基板。
10T:内層基板の端面
11:基板
11d:下孔
12:第1のコイル
12a:引出電極
12b:引出電極
12c:コイル導体
12d:スルーホール導体
13:第2のコイル
13a:引出電極
13b:引出電極
13c:コイル導体
13d:ビアホール導体
14,14a,14b:第1の絶縁体層
14c:絶縁体
15,15a:第2の絶縁体層
15d:下孔
16a,16b:磁性体基板
17a,17b:接着剤層
18a、18b、19a、19b:端子電極
20:コモンモードチョークコイル
30:コモンモードチョークコイル用内層基板
30T:内層基板の端面
31:基板
31d:下孔
32:第1のコイル
32a:引出電極
32b:引出電極
32c:コイル導体
32d:スルーホール導体
33:第2のコイル
33a:引出電極
33b:引出電極
33c:コイル導体
33d:ビアホール導体
34,34a,34b:第1の絶縁体層
35,35a,35b:第2の絶縁体層
35d:下孔
36a,36b:磁性体基板
37a,37b:接着剤層
38a、38b、39a、39b:端子電極
40:コモンモードチョークコイル
10T:内層基板の端面
11:基板
11d:下孔
12:第1のコイル
12a:引出電極
12b:引出電極
12c:コイル導体
12d:スルーホール導体
13:第2のコイル
13a:引出電極
13b:引出電極
13c:コイル導体
13d:ビアホール導体
14,14a,14b:第1の絶縁体層
14c:絶縁体
15,15a:第2の絶縁体層
15d:下孔
16a,16b:磁性体基板
17a,17b:接着剤層
18a、18b、19a、19b:端子電極
20:コモンモードチョークコイル
30:コモンモードチョークコイル用内層基板
30T:内層基板の端面
31:基板
31d:下孔
32:第1のコイル
32a:引出電極
32b:引出電極
32c:コイル導体
32d:スルーホール導体
33:第2のコイル
33a:引出電極
33b:引出電極
33c:コイル導体
33d:ビアホール導体
34,34a,34b:第1の絶縁体層
35,35a,35b:第2の絶縁体層
35d:下孔
36a,36b:磁性体基板
37a,37b:接着剤層
38a、38b、39a、39b:端子電極
40:コモンモードチョークコイル
Claims (5)
- 非磁性で絶縁性の基板と、
該基板の一方の主面上に形成された第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記基板の他方の主面上に形成され該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続されて前記第1のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第1のコイルを構成する他方の引出電極と、
前記第1のコイルを被覆するように前記基板の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層と、
前記基板の一方の主面側の第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および一方の引出電極に対向するように形成された第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記第2のコイル導体および一方の引出電極を被覆するように形成された第2の絶縁体層と、
前記第2の絶縁体層上に形成され前記第2のコイル導体の他端に前記第2の絶縁体層を貫通するビアホール導体により接続されて前記第2のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第2のコイルを構成する他方の引出電極と、
を備えたことを特徴とするコモンモードチョークコイル用内層基板。 - 前記第1のコイルを被覆する第1の絶縁体層は、前記基板の両主面にそれぞれプリプレグを積層した後、熱プレスすることにより同時に形成されたものであることを特徴とする請求項1記載のコモンモードチョークコイル用内層基板。
- 請求項1記載の内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるとともに、
前記内層基板の端面に露出する前記引出電極に接続するように前記基板の端面及びその近傍に端子電極が形成された
ことを特徴とするコモンモードチョークコイル。 - 非磁性で絶縁性の基板の一方の主面上に、第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するとともに、
前記基板の他方の主面上に、該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続される他方の引出電極を形成して、第1のコイルを準備するステップと、
前記基板の両主面にそれぞれ前記第1のコイルを被覆するように第1の絶縁体層を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と対向するように第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第2のコイル導体および該コイル導体に接続された一方の引出電極を被覆するように第2の絶縁体層を形成するステップと、
第2の絶縁体層に前記第2のコイル導体の他方の端部を露出するように下孔を形成するステップと、
第2の絶縁体層上に前記下孔から露出された前記第2のコイル導体の他方の端部に接続するように他方の引出電極を形成するステップと、
を備えたことを特徴とするコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法。 - 前記基板の一方の主面側の前記第2の絶縁体層を形成するステップにおいて、同時に、前記基板の他方の主面側の前記第1の絶縁体層上に第2の絶縁体層を形成する
ことを特徴とする請求項4記載のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法。
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