JP2009253233A - Inner-layer substrate for common-mode choke coil, its manufacturing method, and common-mode choke coil - Google Patents

Inner-layer substrate for common-mode choke coil, its manufacturing method, and common-mode choke coil Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inner-layer substrate for a common-mode choke coil capable of stably manufacturing it even with shorter distance in between a pair of coil conductors. <P>SOLUTION: The inner-layer substrate for the common-mode choke coil is equipped with a substrate 11, a first coil conductor 12c and one leading electrode 12a formed on one principal surface, another leading electrode 12b connected to another end of the coil conductor 12c by a through-hole conductor 12d, first insulating layers 14a, 14b covering a first coil 12, a second coil conductor 13c and one leading electrode 13a formed on the first insulating layers, a second insulating layer 15a formed to cover the second coil conductor 13c and one leading electrode 13a, and another leading electrode 13b formed on the second insulating layer 15a. Generation of warpage is prevented when the insulating layer is formed to cover the first coil. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、コモンモードチョークコイル用内層基板に関し、特に、積層コモンモードチョークコイルを安定生産可能なコモンモードチョークコイル用内層基板に関する。   The present invention relates to an inner layer substrate for a common mode choke coil, and more particularly to an inner layer substrate for a common mode choke coil that can stably produce a laminated common mode choke coil.

従来のコモンモードチョークコイルのとして、絶縁体層を介して厚み方向で互いに対向するように形成された一対のコイル導体の外側を一対の磁性体板で挟みこんだ積層型コモンモードチョークコイルが提案されている。
具体的には、特許文献1には、図15に示すように、絶縁体層115aを介して厚み方向で互いに対向するように形成された一対のコイル導体112(112a,112c),113(113a,113c)を一方の磁性体板111の上に薄膜で形成し、さらに他方の磁性体板(図示省略)を貼り付けたコモンモードチョークコイル110が記載されている。
また、特許文献2には、図16に示すように、例えばガラス・エポキシ樹脂基板211の上面及び下面に導体パターン212(212a,212c)、213(213a,213c)がそれぞれ形成された積層型コモンモードチョークコイル210が従来技術として記載されている。
特開平8−203737公報 特開2000−277354号公報
As a conventional common mode choke coil, a stacked common mode choke coil is proposed in which the outer sides of a pair of coil conductors formed so as to face each other in the thickness direction through an insulating layer are sandwiched between a pair of magnetic plates. Has been.
Specifically, in Patent Document 1, as shown in FIG. 15, a pair of coil conductors 112 (112a, 112c), 113 (113a) formed so as to face each other in the thickness direction via an insulator layer 115a. , 113c) is formed as a thin film on one magnetic plate 111, and the other magnetic plate (not shown) is attached to the common mode choke coil 110.
Further, in Patent Document 2, as shown in FIG. 16, for example, a laminated common in which conductor patterns 212 (212a, 212c) and 213 (213a, 213c) are formed on the upper and lower surfaces of a glass / epoxy resin substrate 211, respectively. A mode choke coil 210 is described as prior art.
JP-A-8-203737 JP 2000-277354 A

しかしながら、上記前者の背景技術に記載のコモンモードチョークコイル110においては、一方の磁性体板111上に一対のコイル導体112、113を薄膜で形成するので、加工プロセス等のハンドリング時に磁性体基板111にカケやワレが生じやすいという課題があった。 また、上記後者の背景技術に記載のコモンモードチョークコイル210においては、エッチング等の加工プロセスのハンドリング性を考慮すると、ガラス・エポキシ樹脂基板211の厚みを小さくすることが難しい。このため、一対のコイル導体212,213間の距離が離れ、コモンモードチョークコイル210として特性(結合度)を高くすることが難しいという課題があった。   However, in the common mode choke coil 110 described in the former background art, since the pair of coil conductors 112 and 113 are formed as a thin film on one magnetic material plate 111, the magnetic material substrate 111 is handled during handling such as a machining process. There was a problem that burrs and cracks were likely to occur. In the common mode choke coil 210 described in the latter background art, it is difficult to reduce the thickness of the glass / epoxy resin substrate 211 in consideration of the handleability of a processing process such as etching. For this reason, the distance between the pair of coil conductors 212 and 213 is increased, and there is a problem that it is difficult for the common mode choke coil 210 to have high characteristics (degree of coupling).

本発明は、以上のような事情に鑑みてなされたものであって、一対のコイル導体間の距離を小さくしても安定生産可能なコモンモードチョークコイル用内層基板を提供することを目的とする。また、本発明は、コモンモードチョークコイル用内層基板を用いて容易に生産することができるコモンモードチョークコイルを提供することを目的とする。また、本発明は、前記コモンモードチョークコイル用内層基板を安定して得ることが可能な製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an inner substrate for a common mode choke coil that can be stably produced even if the distance between a pair of coil conductors is reduced. . Another object of the present invention is to provide a common mode choke coil that can be easily produced using an inner layer substrate for a common mode choke coil. Another object of the present invention is to provide a manufacturing method capable of stably obtaining the inner layer substrate for a common mode choke coil.

本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板は、
(1)非磁性で絶縁性の基板と、
該基板の一方の主面上に形成された第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記基板の他方の主面上に形成され該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続されて前記第1のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第1のコイルを構成する他方の引出電極と、
前記第1のコイルを被覆するように前記基板の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層と、
前記基板の一方の主面側の第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および一方の引出電極に対向するように形成された第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記第2のコイル導体および一方の引出電極を被覆するように形成された第2の絶縁体層と、
前記第2の絶縁体層上に形成され前記第2のコイル導体の他端に前記第2の絶縁体層を貫通するビアホール導体により接続されて前記第2のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第2のコイルを構成する他方の引出電極と、
を備える。(以下、第1の課題解決手段と称する。)
The inner layer substrate for the common mode choke coil of the present invention is
(1) a non-magnetic insulating substrate;
A first coil conductor formed on one main surface of the substrate and one extraction electrode connected to one end of the coil conductor;
A first coil together with the first coil conductor and the one extraction electrode is connected to the other end of the first coil conductor by a through-hole conductor formed on the other main surface of the substrate and penetrating the substrate. The other extraction electrode constituting
A first insulator layer formed on each main surface of the substrate so as to cover the first coil;
A second coil conductor formed on the first insulator layer on one main surface side of the substrate so as to face the first coil conductor and the one extraction electrode, and one end of the coil conductor are connected. One extraction electrode,
A second insulator layer formed to cover the second coil conductor and one extraction electrode;
Along with the second coil conductor and the one extraction electrode, the second coil conductor is formed on the second insulator layer and connected to the other end of the second coil conductor by a via-hole conductor penetrating the second insulator layer. The other extraction electrode constituting the second coil;
Is provided. (Hereinafter referred to as first problem solving means.)

上記コモンモードチョークコイル用内層基板の主要な形態の一つは、(2)前記第1のコイルを被覆する第1の絶縁体層が、前記基板の両主面にそれぞれプリプレグを積層した後、熱プレスすることにより同時に形成されたものである。(以下、第2の課題解決手段と称する。) One of the main forms of the inner layer substrate for the common mode choke coil is: (2) after the first insulator layer covering the first coil is laminated with prepregs on both main surfaces of the substrate, It was formed at the same time by hot pressing. (Hereinafter referred to as the second problem solving means.)

また、本発明のコモンモードチョークコイルは、
(3)上記第1の課題解決手段に記載の内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるとともに、
前記内層基板の端面に露出する前記引き出し電極に接続するように前記基板の端面及びその近傍に端子電極が形成されている。(以下、第3の課題解決手段と称する。)
The common mode choke coil of the present invention is
(3) A magnetic substrate is attached to both main surfaces of the inner layer substrate described in the first problem solving means, respectively,
Terminal electrodes are formed on and near the end surface of the substrate so as to be connected to the lead electrode exposed on the end surface of the inner layer substrate. (Hereinafter referred to as third problem solving means.)

また、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法は、
(4)非磁性で絶縁性の基板の一方の主面上に、第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するとともに、
前記基板の他方の主面上に、該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続される他方の引出電極を形成して、第1のコイルを準備するステップと、
前記基板の両主面にそれぞれ前記第1のコイルを被覆するように第1の絶縁体層を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と対向するように第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第2のコイル導体および該コイル導体に接続された一方の引出電極を被覆するように第2の絶縁体層を形成するステップと、
第2の絶縁体層に前記第2のコイル導体の他方の端部を露出するように下孔を形成するステップと、
第2の絶縁体層上に前記下孔から露出された前記第2のコイル導体の他方の端部に接続するように他方の引出電極を形成するステップと、
を備える。(以下、第4の課題解決手段と称する。)
In addition, the method of manufacturing the inner layer substrate for a common mode choke coil according to the present invention includes:
(4) forming a first coil conductor and one lead electrode connected to one end of the coil conductor on one main surface of the non-magnetic and insulating substrate;
Forming the other lead electrode connected to the other end of the first coil conductor by a through-hole conductor penetrating the substrate on the other main surface of the substrate to prepare a first coil; ,
Forming a first insulator layer on both main surfaces of the substrate so as to cover the first coil, respectively;
The second coil conductor and the second coil conductor on the first insulator layer on one main surface side of the substrate so as to face the first coil conductor and one lead electrode connected to one end of the coil conductor, Forming one extraction electrode connected to one end of the coil conductor;
Forming a second insulator layer so as to cover the second coil conductor on one main surface side of the substrate and one lead electrode connected to the coil conductor;
Forming a pilot hole in the second insulator layer so as to expose the other end of the second coil conductor;
Forming the other lead electrode on the second insulator layer to connect to the other end of the second coil conductor exposed from the pilot hole;
Is provided. (Hereinafter referred to as the fourth problem solving means.)

また、上記コモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法の主要な形態の一つは、(5)前記基板の一方の主面側の前記第2の絶縁体層を形成するステップにおいて、同時に、前記基板の他方の主面側の前記第1の絶縁体層上に第2の絶縁体層を形成する。(以下、第5の課題解決手段と称する。) In addition, one of the main forms of the method for manufacturing the inner substrate for the common mode choke coil is (5) in the step of forming the second insulator layer on the one main surface side of the substrate, A second insulator layer is formed on the first insulator layer on the other main surface side of the substrate. (Hereinafter, referred to as fifth problem solving means.)

上記第1の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、絶縁性の基板の両主面に第1のコイルが分割形成されるとともに、第1のコイルと対向する第2のコイルが、前記基板の両主面にそれぞれ形成された絶縁体層のうちの一方の上に形成されている。このため、第1のコイルと第2のコイルとの間に配置される絶縁体層の厚みを小さくできるとともに、前記第1のコイルを被覆する絶縁体層を形成する際の反りの発生が防止される。 The operation of the first problem solving means is as follows. That is, the first coil is divided and formed on both main surfaces of the insulating substrate, and the second coil facing the first coil is formed of the insulator layer formed on both main surfaces of the substrate. Formed on one of them. For this reason, while being able to make the thickness of the insulator layer arrange | positioned between a 1st coil and a 2nd coil small, generation | occurrence | production of the curvature at the time of forming the insulator layer which coat | covers the said 1st coil is prevented. Is done.

上記第2の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、前記第1のコイルを被覆する第1の絶縁体層が、前記基板の両主面にそれぞれプリプレグを積層した後、熱プレスすることにより同時に形成されたものである。このため、該絶縁体層を形成する際の硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制される。 The operation of the second problem solving means is as follows. That is, the first insulator layer covering the first coil is formed simultaneously by laminating prepregs on both main surfaces of the substrate and then hot pressing. For this reason, the shrinkage stress at the time of curing when forming the insulator layer is balanced on both main surfaces of the substrate, and the occurrence of warpage is suppressed.

また、上記第3の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、前記第1の課題解決手段に記載の内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるので、基板のカケやワレの発生が防止される。   The operation of the third problem solving means is as follows. That is, since the magnetic substrate is adhered to both main surfaces of the inner layer substrate described in the first problem solving means, the occurrence of chipping or cracking of the substrate is prevented.

また、上記第4の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、非磁性で絶縁性の基板の一方の主面上に、第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を、また、前記基板の他方の主面上に、該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続される他方の引出電極を、それぞれ分割形成して、第1のコイルを準備するステップと、
前記基板の両主面にそれぞれ前記第1のコイルを被覆するように第1の絶縁体層を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と対向するように第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するステップと、を有する。このため、前記第1のコイルと前記第2のコイルとの間に位置する絶縁体層を薄く形成できるとともに、該絶縁体層を形成する際に前記基板の他方の主面側にも同時に絶縁体層が形成されるので、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制される。
The operation of the fourth problem solving means is as follows. That is, on one main surface of the non-magnetic and insulating substrate, the first coil conductor and one extraction electrode connected to one end of the coil conductor, and on the other main surface of the substrate, Providing the first coil by separately forming the other extraction electrode connected to the other end of the first coil conductor by a through-hole conductor penetrating the substrate;
Forming a first insulator layer on both main surfaces of the substrate so as to cover the first coil, respectively;
The second coil conductor and the second coil conductor on the first insulator layer on one main surface side of the substrate so as to face the first coil conductor and one lead electrode connected to one end of the coil conductor, Forming one extraction electrode connected to one end of the coil conductor. For this reason, the insulator layer located between the first coil and the second coil can be formed thin, and the other main surface side of the substrate is also insulated at the same time when the insulator layer is formed. Since the body layer is formed, the shrinkage stress at the time of curing is balanced on both main surfaces of the substrate, and the occurrence of warpage is suppressed.

また、上記第5の課題解決手段による作用は次の通りである。すなわち、記基板の一方の主面側の前記第2の絶縁体層を形成するステップにおいて、同時に、前記基板の他方の主面側の前記第1の絶縁体層上に第2の絶縁体層を形成するので、前記第2の絶縁体層の厚みを増加させても、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制される。 The operation of the fifth problem solving means is as follows. That is, in the step of forming the second insulator layer on one main surface side of the substrate, a second insulator layer is simultaneously formed on the first insulator layer on the other main surface side of the substrate. Therefore, even if the thickness of the second insulator layer is increased, the shrinkage stress at the time of curing is balanced on both main surfaces of the substrate, and the occurrence of warpage is suppressed.

本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板によれば、第1のコイルと第2のコイルとの間に配置される絶縁体層の厚みを小さくできるとともに、前記第1のコイルを被覆する絶縁体層を形成する際の反りの発生が防止されるので、安定生産可能なコモンモードチョークコイルを提供することができる。   According to the inner layer substrate for a common mode choke coil of the present invention, the thickness of the insulator layer disposed between the first coil and the second coil can be reduced, and the insulator covering the first coil Since the occurrence of warpage when forming the layer is prevented, a common mode choke coil capable of stable production can be provided.

また、本発明のコモンモードチョークコイルによれば、上記内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるので、磁性体基板のカケやワレが発生しにくい安定生産可能なコモンモードチョークコイルを提供することができる。 In addition, according to the common mode choke coil of the present invention, since the magnetic substrate is adhered to both main surfaces of the inner layer substrate, the common mode choke that can be stably produced is free from the occurrence of chipping and cracking of the magnetic substrate. A coil can be provided.

また、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法によれば、前記第1のコイルと前記第2のコイルとの間に位置する絶縁体層を薄く形成できるとともに、該絶縁体層を形成する際に前記基板の他方の主面側にも同時に絶縁体層が形成されるので、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制され、コモンモードチョークコイル用内層基板を安定生産することができる。 In addition, according to the method for manufacturing an inner layer substrate for a common mode choke coil of the present invention, an insulator layer positioned between the first coil and the second coil can be formed thin, and the insulator layer is Since the insulator layer is also formed on the other main surface side of the substrate at the same time, the shrinkage stress at the time of curing is balanced on both main surfaces of the substrate, so that the occurrence of warpage is suppressed and the common mode choke is suppressed. The coil inner layer substrate can be stably produced.

また、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法によれば、前記第2の絶縁体層の厚みを増加させても、硬化時の収縮応力が基板の両主面でバランスされて、反りの発生が抑制され、コモンモードチョークコイル用内層基板を安定生産することができる。
本発明の上記目的とそれ以外の目的、構成特徴、作用効果は、以下の説明と添付図面によって明らかとなろう。
Further, according to the method for manufacturing an inner layer substrate for a common mode choke coil of the present invention, even if the thickness of the second insulator layer is increased, shrinkage stress during curing is balanced on both main surfaces of the substrate, The occurrence of warpage is suppressed, and the inner substrate for the common mode choke coil can be stably produced.
The above object and other objects, structural features, and operational effects of the present invention will become apparent from the following description and the accompanying drawings.

まず、図1〜図3を用いて本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の第1の実施形態について説明する。図1は本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10の全体構造を示す外観斜視図である。図2は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10の内部構造を示す前記図1のA−A線における縦断面図である。図3は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10の内部構造を示す分解斜視図である。図中、11は絶縁性の基板、12(12a,12b,12c,12d)は第1のコイル、13(13a,13b,13c,13d)は第2のコイル、14(14a,14b)は第1の絶縁体層、15aは第2の絶縁体層である。   First, a first embodiment of an inner layer substrate for a common mode choke coil according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is an external perspective view showing the entire structure of the common mode choke coil inner layer substrate 10 of the present embodiment. FIG. 2 is a longitudinal sectional view taken along the line AA of FIG. 1 showing the internal structure of the common mode choke coil inner layer substrate 10 of the present embodiment. FIG. 3 is an exploded perspective view showing the internal structure of the common mode choke coil inner layer substrate 10 of the present embodiment. In the figure, 11 is an insulating substrate, 12 (12a, 12b, 12c, 12d) is a first coil, 13 (13a, 13b, 13c, 13d) is a second coil, and 14 (14a, 14b) is a first coil. Reference numeral 1 denotes an insulator layer, and reference numeral 15a denotes a second insulator layer.

本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10は、
非磁性で絶縁性の基板11と、
該基板11の一方の主面上に形成された第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと、
前記基板11の他方の主面上に形成され該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続されて前記第1のコイル導体12c及び前記一方の引出電極12aとともに第1のコイル12を構成する他方の引出電極12bと、前記第1のコイル12を被覆するように前記基板11の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層14a,14bと、
前記基板11の一方の主面側の第1の絶縁体層14a上に前記第1のコイル導体12cおよび一方の引出電極12aに対向するように形成された第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続された一方の引出電極13aと、
前記第2のコイル導体13cおよび一方の引出電極13aを被覆するように形成された第2の絶縁体層15aと、
前記第2の絶縁体層15a上に形成され前記第2のコイル導体13cの他端に前記第2の絶縁体層15aを貫通するビアホール導体13dにより接続されて前記第2のコイル導体13c及び前記一方の引出電極13aとともに第2のコイル13を構成する他方の引出電極13bと、を備える。
The inner layer substrate 10 for the common mode choke coil of this embodiment is
A non-magnetic insulating substrate 11;
A first coil conductor 12c formed on one main surface of the substrate 11 and one lead electrode 12a connected to one end of the coil conductor 12c;
The first coil conductor 12c and the one extraction electrode are connected to the other end of the first coil conductor 12c by a through-hole conductor 12d formed on the other main surface of the substrate 11 and penetrating through the substrate 11. 12a and the other extraction electrode 12b constituting the first coil 12, and first insulator layers 14a and 14b respectively formed on both main surfaces of the substrate 11 so as to cover the first coil 12. ,
A second coil conductor 13c formed on the first insulator layer 14a on one main surface side of the substrate 11 so as to face the first coil conductor 12c and the one extraction electrode 12a, and the coil conductor One extraction electrode 13a connected to one end of 13c;
A second insulator layer 15a formed to cover the second coil conductor 13c and one lead electrode 13a;
The second coil conductor 13c formed on the second insulator layer 15a is connected to the other end of the second coil conductor 13c by a via-hole conductor 13d penetrating the second insulator layer 15a. The other extraction electrode 13b which comprises the 2nd coil 13 with the one extraction electrode 13a is provided.

次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法の第1の実施形態について、図4を参照して説明する。図4(A)〜図4(G)は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法をプロセスを追って説明するための縦断面図である。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法は、
まず、図4(A)に示すように非磁性で絶縁性の基板11を用意し、次に、図4(B)に示すように該基板11の一方の主面上に、第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続される一方の引出電極12aを、また、前記基板11の他方の主面上に、該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続される他方の引出電極12bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル12を準備する。
次に、図4(C)に示すように、前記基板11の両主面にそれぞれ前記第1のコイル12を被覆するように第1の絶縁体層14a,14bを形成する。
次に、図4(D)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第1の絶縁体層14a上に前記第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと対向するように第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続される一方の引出電極13aを形成する。
次に、図4(E)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cに接続された一方の引出電極13aを被覆するように第2の絶縁体層15aを形成する。
次に、図4(F)に示すように、第2の絶縁体層15aに前記第2のコイル導体13cの他方の端部を露出するように下孔15dを形成する。
次に、図4(G)に示すように、第2の絶縁体層15a上に前記下孔15dから露出された前記第2のコイル導体13cの他方の端部に接続するように他方の引出電極13bを形成する。こうして、図2に示す前記第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10が得られる。
Next, a first embodiment of a method for manufacturing an inner layer substrate for a common mode choke coil according to the present invention will be described with reference to FIG. 4 (A) to 4 (G) are longitudinal sectional views for explaining the manufacturing method of the common mode choke coil inner layer substrate according to the present embodiment step by step.
The manufacturing method of the inner layer substrate for the common mode choke coil of the present embodiment is as follows:
First, a nonmagnetic insulating substrate 11 is prepared as shown in FIG. 4 (A), and then a first coil is formed on one main surface of the substrate 11 as shown in FIG. 4 (B). One lead electrode 12a connected to one end of the conductor 12c and the coil conductor 12c, and the first coil conductor by a through-hole conductor 12d penetrating the substrate 11 on the other main surface of the substrate 11 The other extraction electrode 12b connected to the other end of 12c is divided and formed to prepare the first coil 12.
Next, as shown in FIG. 4C, first insulator layers 14a and 14b are formed on both main surfaces of the substrate 11 so as to cover the first coil 12, respectively.
Next, as shown in FIG. 4D, the first coil conductor 12c and one end of the coil conductor 12c are connected to the first insulator layer 14a on one main surface side of the substrate 11. The second coil conductor 13c and one lead electrode 13a connected to one end of the coil conductor 13c are formed so as to face the other lead electrode 12a.
Next, as shown in FIG. 4E, the second coil conductor 13c on one main surface side of the substrate 11 and the one extraction electrode 13a connected to the coil conductor 13c are covered. Two insulator layers 15a are formed.
Next, as shown in FIG. 4F, a lower hole 15d is formed in the second insulator layer 15a so as to expose the other end of the second coil conductor 13c.
Next, as shown in FIG. 4 (G), the other lead is connected to the other end of the second coil conductor 13c exposed from the lower hole 15d on the second insulator layer 15a. The electrode 13b is formed. In this way, the common mode choke coil inner layer substrate 10 of the first embodiment shown in FIG. 2 is obtained.

次に、前記内層基板10を用いた本発明のコモンモードチョークコイルの第1の実施形態について、図5〜図7を参照して説明する。図5は本実施形態のコモンモードチョークコイル20の全体構造を示す外観斜視図である。図6は本実施形態のコモンモードチョークコイル20の前記図5のB−B線における縦断面図である。また、図7は、本実施形態のコモンモードチョークコイル20の内部構造を示す分解斜視図である。 Next, a first embodiment of the common mode choke coil of the present invention using the inner layer substrate 10 will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is an external perspective view showing the overall structure of the common mode choke coil 20 of the present embodiment. FIG. 6 is a longitudinal sectional view of the common mode choke coil 20 according to the present embodiment taken along line BB in FIG. FIG. 7 is an exploded perspective view showing the internal structure of the common mode choke coil 20 of the present embodiment.

本実施形態のコモンモードチョークコイル20は、前記第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10の両主面にそれぞれ磁性体基板16a,16bが貼着されるとともに、前記内層基板10の端面10Tに露出する前記引出電極12a,12b,13a,13bに接続するように前記基板10の端面及びその近傍に端子電極18a,18b,19a,19bが形成されている。 In the common mode choke coil 20 of the present embodiment, magnetic substrates 16a and 16b are attached to both main surfaces of the inner layer substrate 10 for the common mode choke coil of the first embodiment, respectively. Terminal electrodes 18a, 18b, 19a, 19b are formed on and near the end face of the substrate 10 so as to be connected to the lead electrodes 12a, 12b, 13a, 13b exposed on the end face 10T.

次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板10の各部の好ましい実施形態について、説明する。 Next, a preferred embodiment of each part of the common mode choke coil inner layer substrate 10 of the present invention will be described.

先ず、上記非磁性で絶縁性の基板11の好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記基板11の材料としては、例えば、エポキシ系の未硬化樹脂をガラス繊維布に含浸させたもの(FR−4、FR−5)や、ガラス繊維布にさらにガラス不織布を複合使用したもの(CEM−3)等、所謂プリプレグと呼ばれるBステージ基板から選択して用いることが好ましい。前記基板11の厚みは、例えば40〜60μmであることが好ましい。また、前記基板11は、複数のコモンモードチョークコイルを一括して作成するために、例えば長さ50〜120mm、幅50〜120mmであることが好ましい。また、該基板11を貫通するスルーホール導体を形成するために、前記基板11に予めドリル加工やレーザ光照射等により下孔11を形成しておくことが好ましい。 First, a preferred embodiment of the nonmagnetic insulating substrate 11 is as follows. That is, as the material of the substrate 11, for example, a glass fiber cloth impregnated with an epoxy uncured resin (FR-4, FR-5), or a glass fiber cloth further combined with a glass nonwoven fabric. It is preferable to select from a B stage substrate called a so-called prepreg such as (CEM-3). The thickness of the substrate 11 is preferably 40 to 60 μm, for example. The substrate 11 preferably has a length of 50 to 120 mm and a width of 50 to 120 mm, for example, in order to collectively create a plurality of common mode choke coils. In addition, in order to form a through-hole conductor that penetrates the substrate 11, it is preferable to form the pilot hole 11 in the substrate 11 in advance by drilling, laser light irradiation, or the like.

次に、上記コイル導体12c、13c、及び引出電極12a,12b,13a,13bの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記コイル導体12c,13c、及び引出電極12a,12b,13a,13bの材料としては、例えば銅が好ましい。前記コイル導体12c、13cおよび引出電極12a,12b,13a,13bの厚みは、例えば5〜20μmであることが好ましい。また、前記コイル導体12c、13cの線幅は例えば10〜30μmであることが好ましい。上記コイル導体12c、13c及び引出電極12a,12b,13a,13bの形成方法は、例えばシード層上に銅メッキすることにより形成することが好ましい。また、銅箔にエッチングすることにより形成してもよい。 Next, preferred embodiments of the coil conductors 12c and 13c and the extraction electrodes 12a, 12b, 13a and 13b are as follows. That is, as the material of the coil conductors 12c and 13c and the extraction electrodes 12a, 12b, 13a and 13b, for example, copper is preferable. The coil conductors 12c and 13c and the extraction electrodes 12a, 12b, 13a and 13b preferably have a thickness of 5 to 20 μm, for example. Moreover, it is preferable that the line width of the said coil conductors 12c and 13c is 10-30 micrometers, for example. The coil conductors 12c, 13c and the extraction electrodes 12a, 12b, 13a, 13b are preferably formed by, for example, copper plating on the seed layer. Moreover, you may form by etching to copper foil.

次に、上記スルーホール導体12dの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記スルーホール導体12dの材料としては、銅が好ましい。前記スルーホール導体12dの厚みは、例えば5〜10μmであることが好ましい。また、前記スルーホール導体12dの直径は例えば30〜100μmであることが好ましい。上記スルーホール導体12dの形成方法は、例えば銅を化学めっきすることにより形成することが好ましい。また、銅メッキ膜上にさらに銅を電解メッキすることが好ましい。 Next, a preferred embodiment of the through-hole conductor 12d is as follows. That is, copper is preferable as the material of the through-hole conductor 12d. The thickness of the through-hole conductor 12d is preferably 5 to 10 μm, for example. The diameter of the through-hole conductor 12d is preferably 30 to 100 μm, for example. The through-hole conductor 12d is preferably formed by, for example, chemical plating of copper. Moreover, it is preferable to further electroplate copper on the copper plating film.

次に、上記ビアホール導体13dの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記ビアホール導体13dの材料としては、例えば銅が好ましい。前記ビアホール導体13dの厚みは、例えば5〜10μmであることが好ましい。また、前記ビアホール導体13dの直径は例えば30〜100μmであることが好ましい。上記ビアホール導体13dの形成方法は、例えば銅を化学メッキすることにより形成することが好ましい。また、銅メッキ膜上にさらに銅を電解メッキすることが好ましい。 Next, a preferred embodiment of the via-hole conductor 13d is as follows. That is, the material of the via-hole conductor 13d is preferably copper, for example. The via hole conductor 13d preferably has a thickness of 5 to 10 μm, for example. The diameter of the via-hole conductor 13d is preferably 30 to 100 μm, for example. The via hole conductor 13d is preferably formed by, for example, chemical plating of copper. Moreover, it is preferable to further electroplate copper on the copper plating film.

次に、上記第1の絶縁体層14a,14b及び第2の絶縁体層15aの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記第1の絶縁体層14a,14b及び第2の絶縁体層15aの材料としては、FR−4のようにエポキシ系の未硬化樹脂をガラス繊維布に含浸させた所謂プリプレグと呼ばれるBステージ基板から選択して用いることが好ましい。前記第1の絶縁体層14a,14b及び第2の絶縁体層15aの厚みは、例えば10〜40μmであることが好ましい。また、前記第1の絶縁体層14a,14b及び第2の絶縁体層15aの形成方法は、例えば上記基板11の主面上に上記プリプレグを積層し熱プレスすることにより形成することが好ましい。 Next, preferred embodiments of the first insulator layers 14a and 14b and the second insulator layer 15a are as follows. That is, as the material of the first insulator layers 14a and 14b and the second insulator layer 15a, a so-called prepreg B in which a glass fiber cloth is impregnated with an epoxy uncured resin such as FR-4. It is preferable to select from a stage substrate. The thickness of the first insulator layers 14a and 14b and the second insulator layer 15a is preferably 10 to 40 μm, for example. Moreover, it is preferable to form the said 1st insulator layers 14a and 14b and the 2nd insulator layer 15a by laminating | stacking the said prepreg on the main surface of the said board | substrate 11, for example, and hot-pressing.

次に、上記磁性体基板16a,16bの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記磁性体基板16a,16bの材料としては、例えばフェライト磁性粉や金属磁性粉と樹脂とを混合してなる複合磁性体シートや焼結フェライト板等から選択して用いることが好ましい。前記磁性体基板16a,16bの厚みは、例えば200〜400μmであることが好ましい。また、前記コモンモードチョークコイル用内層基板10の両主面への上記磁性体基板16a,16bの貼着は、例えばエポキシ樹脂やポリフェニレンエーテル(PPE)等を主成分とする接着シートや接着剤を接着手段として用い、例えば180℃で熱プレス等の熱処理を施すことにより貼着することができる。 Next, a preferred embodiment of the magnetic substrates 16a and 16b is as follows. That is, the material of the magnetic substrates 16a and 16b is preferably selected from, for example, a ferrite magnetic powder, a composite magnetic sheet formed by mixing metal magnetic powder and a resin, a sintered ferrite plate, or the like. The thickness of the magnetic substrates 16a and 16b is preferably 200 to 400 μm, for example. In addition, the magnetic substrates 16a and 16b are adhered to both main surfaces of the common mode choke coil inner layer substrate 10 using, for example, an adhesive sheet or adhesive mainly composed of epoxy resin, polyphenylene ether (PPE), or the like. It can be used as an adhering means, for example, by applying a heat treatment such as hot pressing at 180 ° C.

次に、上記端子電極18a,18b,19a,19bの好ましい実施形態は次の通りである。すなわち、上記端子電極18a,18b,19a,19bの材料としては、銀、銅、ニッケル等から選択された金属、または前記金属の粒子を樹脂中に含有させた導電性樹脂を用いることが好ましい。前記端子電極18a,18b,19a,19bの厚みは、例えば20〜80μmであることが好ましい。また、前記端子電極18a,18b,19a,19bの形成方法は、例えば前記金属の粉末と樹脂とを混合して電極材料ペーストとし、これを塗布した後、例えば150℃で熱処理して硬化することが好ましい。また、得られた電極膜上に、さらに、例えばSnメッキ等のはんだ付け性の良好な膜を形成することが好ましい。また、前記電極材料ペーストの塗布・硬化に限定するものではなく、例えば銅をスパッタしてシード層を形成した後、該シード層上に例えば電解メッキにより前記金属からなる電極膜を成長させてもよい。 Next, preferred embodiments of the terminal electrodes 18a, 18b, 19a, 19b are as follows. That is, as the material of the terminal electrodes 18a, 18b, 19a, 19b, it is preferable to use a metal selected from silver, copper, nickel or the like, or a conductive resin in which the metal particles are contained in the resin. The terminal electrodes 18a, 18b, 19a, 19b preferably have a thickness of 20 to 80 μm, for example. The terminal electrodes 18a, 18b, 19a, and 19b are formed by, for example, mixing the metal powder and resin to form an electrode material paste, applying the paste, and then heat-treating it at, for example, 150 ° C. to cure. Is preferred. Further, it is preferable to form a film with good solderability such as Sn plating on the obtained electrode film. Further, the present invention is not limited to the application / curing of the electrode material paste. For example, after forming a seed layer by sputtering copper, an electrode film made of the metal may be grown on the seed layer by, for example, electrolytic plating. Good.

(実施例1)
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の実施例について説明する。
まず、図4(A)に示すようにFR−4からなり、長さ120mm、幅120mm、厚さ60μmの非磁性で絶縁性の基板11を用意した。該基板11には、後にスルーホール導体を形成する位置に予め直径60μmの下孔11dをレーザ光照射により形成した。
次に、図4(B)に示すように該基板11の両主面及び前記下孔11dの内周面に、銅を化学メッキして図示省略したシード層を形成した。次に、該シード層上に感光性樹脂からなる厚さ20μmのフィルムを接着してレジスト膜を形成した。次に所定のマスクを用いて露光し、不要なレジスト膜を除去した後、銅を電解メッキして、厚さ10μmの第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続される一方の引出電極12aを、また、前記基板11の他方の主面上に、該基板11を貫通するスルーホール導体12dにより前記第1のコイル導体12cの他端と接続される他方の引出電極12bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル12を準備した。
次に、図4(C)に示すように、前記基板11の両主面にそれぞれ前記第1のコイル12を被覆するようにFR−4からなるプリプレグを積層し、180℃で80分間熱プレスして、厚さ20μmの第1の絶縁体層14a,14bを形成した。
次に、図4(D)に示すように、前記基板11の一方の主面側の前記第1の絶縁体層14a上に、前記と同様に銅をメッキして、前記第1のコイル導体12cおよび該コイル導体12cの一端に接続された一方の引出電極12aと対向するように、厚さ10μmの第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cの一端に接続される一方の引出電極13aを形成した。
次に、図4(E)に示すように、前記と同様にプリプレグを積層し熱プレスして、前記基板11の一方の主面側の前記第2のコイル導体13cおよび該コイル導体13cに接続された一方の引出電極13aを被覆するように厚さ20μmの第2の絶縁体層15aを形成した。
次に、図4(F)に示すように、レーザ光を照射して、第2の絶縁体層15aに前記第2のコイル導体13cの他方の端部を露出するように直径60μmの下孔15dを形成した。
次に、図4(G)に示すように、銅をメッキして、第2の絶縁体層15a上に前記下孔15dから露出された前記第2のコイル導体13cの他方の端部に接続するように厚さ10μmの他方の引出電極13bを形成した。こうして、図2に示す前記第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10を得た。
Example 1
Next, examples of the inner layer substrate for a common mode choke coil of the present invention will be described.
First, as shown in FIG. 4A, a nonmagnetic insulating substrate 11 made of FR-4 and having a length of 120 mm, a width of 120 mm, and a thickness of 60 μm was prepared. In the substrate 11, a pilot hole 11 d having a diameter of 60 μm was previously formed by laser beam irradiation at a position where a through-hole conductor was to be formed later.
Next, as shown in FIG. 4B, a seed layer (not shown) was formed by chemical plating of copper on both main surfaces of the substrate 11 and the inner peripheral surface of the lower hole 11d. Next, a 20 μm thick film made of a photosensitive resin was adhered on the seed layer to form a resist film. Next, after exposing using a predetermined mask and removing an unnecessary resist film, copper is electroplated, and one of the first coil conductor 12c having a thickness of 10 μm and one end connected to one end of the coil conductor 12c. The lead electrode 12a and the other lead electrode 12b connected to the other end of the first coil conductor 12c by the through-hole conductor 12d penetrating the substrate 11 on the other main surface of the substrate 11, The first coil 12 was prepared by dividing each of them.
Next, as shown in FIG. 4C, prepregs made of FR-4 are laminated on both main surfaces of the substrate 11 so as to cover the first coil 12, respectively, and hot-pressed at 180 ° C. for 80 minutes. Thus, the first insulator layers 14a and 14b having a thickness of 20 μm were formed.
Next, as shown in FIG. 4D, the first coil conductor is plated on the first insulator layer 14a on one main surface side of the substrate 11 in the same manner as described above. 12c and one extraction electrode 13a connected to one end of the coil conductor 13c, and a second coil conductor 13c having a thickness of 10 μm so as to face the one extraction electrode 12a connected to one end of the coil conductor 12c. Formed.
Next, as shown in FIG. 4E, the prepreg is laminated and heat-pressed in the same manner as described above, and connected to the second coil conductor 13c on one main surface side of the substrate 11 and the coil conductor 13c. A second insulator layer 15a having a thickness of 20 μm was formed so as to cover the one extraction electrode 13a.
Next, as shown in FIG. 4 (F), a laser beam is irradiated to prepare a pilot hole having a diameter of 60 μm so that the other end of the second coil conductor 13c is exposed to the second insulator layer 15a. 15d was formed.
Next, as shown in FIG. 4G, copper is plated and connected to the other end of the second coil conductor 13c exposed from the lower hole 15d on the second insulator layer 15a. Thus, the other extraction electrode 13b having a thickness of 10 μm was formed. Thus, the common mode choke coil inner layer substrate 10 of the first embodiment shown in FIG. 2 was obtained.

次に、図8〜図10を用いて本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の第2の実施形態について説明する。図8は本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30の全体構造を示す外観斜視図である。図9は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30の内部構造を示す前記図8のC−C線における縦断面図である。図10は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30の内部構造を示す分解斜視図である。図中、31は絶縁性の基板、32(32a,32b,32c,32d)は第1のコイル、33(33a,33b,33c,33d)は第2のコイル、34a,34bは第1の絶縁体層、35a,35bは第2の絶縁体層である。 Next, a second embodiment of the inner layer substrate for a common mode choke coil according to the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 8 is an external perspective view showing the entire structure of the common mode choke coil inner layer substrate 30 of the present embodiment. FIG. 9 is a longitudinal sectional view taken along the line CC of FIG. 8 showing the internal structure of the common mode choke coil inner layer substrate 30 of the present embodiment. FIG. 10 is an exploded perspective view showing the internal structure of the common mode choke coil inner layer substrate 30 of the present embodiment. In the figure, 31 is an insulating substrate, 32 (32a, 32b, 32c, 32d) is a first coil, 33 (33a, 33b, 33c, 33d) is a second coil, and 34a, 34b is a first insulation. The body layers 35a and 35b are second insulator layers.

本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30は、
非磁性で絶縁性の基板31と、
該基板31の一方の主面上に形成された第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと、
前記基板31の他方の主面上に形成され該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続されて前記第1のコイル導体32c及び前記一方の引出電極32aとともに第1のコイル32を構成する他方の引出電極32bと、前記第1のコイル32を被覆するように前記基板31の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層34a,34bと、
前記基板31の一方の主面側の第1の絶縁体層34a上に前記第1のコイル導体32cおよび一方の引出電極32aに対向するように形成された第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続された一方の引出電極33aと、
前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび一方の引出電極33aを被覆するように、また前記基板31の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ形成された第2の絶縁体層35a、35bと、
前記基板31の一方の主面側の第2の絶縁体層35a上に形成され前記第2のコイル導体33cの他端に前記第2の絶縁体層35aを貫通するビアホール導体33dにより接続されて前記第2のコイル導体33c及び前記一方の引出電極33aとともに第2のコイル33を構成する他方の引出電極33bと、を備える。
The inner layer substrate 30 for the common mode choke coil of this embodiment is
A non-magnetic insulating substrate 31;
A first coil conductor 32c formed on one main surface of the substrate 31 and one lead electrode 32a connected to one end of the coil conductor 32c;
The first coil conductor 32c and the one extraction electrode are connected to the other end of the first coil conductor 32c by a through-hole conductor 32d formed on the other main surface of the substrate 31 and penetrating the substrate 31. The other extraction electrode 32b that constitutes the first coil 32 together with the first coil 32; first insulator layers 34a and 34b formed on both main surfaces of the substrate 31 so as to cover the first coil 32; ,
A second coil conductor 33c formed on the first insulator layer 34a on one main surface side of the substrate 31 so as to face the first coil conductor 32c and the one extraction electrode 32a, and the coil conductor One extraction electrode 33a connected to one end of 33c;
Covering the second coil conductor 33c and one lead electrode 33a on one main surface side of the substrate 31 and covering the first insulator layer 34b on the other main surface side of the substrate 31 Second insulator layers 35a and 35b respectively formed,
A via-hole conductor 33d is formed on the second insulator layer 35a on one main surface side of the substrate 31 and is connected to the other end of the second coil conductor 33c through the second insulator layer 35a. The other extraction electrode 33b which comprises the 2nd coil 33 with the said 2nd coil conductor 33c and said one extraction electrode 33a is provided.

次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法の第2の実施形態について、図11を参照して説明する。図11(A)〜図11(G)は、本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法をプロセスを追って説明するための縦断面図である。
本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法は、
まず、図11(A)に示すように非磁性で絶縁性の基板31を用意し、次に、図11(B)に示すように該基板31の一方の主面上に、第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続される一方の引出電極32aを、また、前記基板31の他方の主面上に、該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続される他方の引出電極32bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル32を準備する。
次に、図11(C)に示すように、前記基板31の両主面にそれぞれ前記第1のコイル32を被覆するように第1の絶縁体層34a,34bを形成する。
次に、図11(D)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第1の絶縁体層34a上に前記第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと対向するように第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続される一方の引出電極33aを形成する。
次に、図11(E)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cに接続された一方の引出電極33aを被覆するように、また、前記基板32の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ第2の絶縁体層35a、35bを形成する。
次に、図11(F)に示すように、第2の絶縁体層35aに前記第2のコイル導体33cの他方の端部を露出するように下孔35dを形成する。
次に、図11(G)に示すように、第2の絶縁体層35a上に前記下孔35dから露出された前記第2のコイル導体33cの他方の端部に接続するように他方の引出電極33bを形成する。こうして、図9に示す前記第2の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30が得られる。
Next, a second embodiment of the method for manufacturing an inner layer substrate for a common mode choke coil according to the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11A to FIG. 11G are longitudinal cross-sectional views for explaining the manufacturing method of the common mode choke coil inner layer substrate according to the present embodiment step by step.
The manufacturing method of the inner layer substrate for the common mode choke coil of the present embodiment is as follows:
First, as shown in FIG. 11A, a non-magnetic and insulating substrate 31 is prepared. Next, as shown in FIG. 11B, a first coil is formed on one main surface of the substrate 31. The first coil conductor is connected to the conductor 32c and one lead electrode 32a connected to one end of the coil conductor 32c on the other main surface of the substrate 31 by a through-hole conductor 32d penetrating the substrate 31. The other extraction electrode 32b connected to the other end of 32c is divided and formed to prepare the first coil 32.
Next, as shown in FIG. 11C, first insulator layers 34a and 34b are formed on both main surfaces of the substrate 31 so as to cover the first coil 32, respectively.
Next, as shown in FIG. 11D, the first coil conductor 32c and one end of the coil conductor 32c are connected to the first insulator layer 34a on one main surface side of the substrate 31. A second coil conductor 33c and one extraction electrode 33a connected to one end of the coil conductor 33c are formed so as to face the other extraction electrode 32a.
Next, as shown in FIG. 11E, the second coil conductor 33c on one main surface side of the substrate 31 and the one extraction electrode 33a connected to the coil conductor 33c are covered. Also, second insulator layers 35a and 35b are formed so as to cover the first insulator layer 34b on the other main surface side of the substrate 32, respectively.
Next, as shown in FIG. 11F, a lower hole 35d is formed in the second insulator layer 35a so as to expose the other end of the second coil conductor 33c.
Next, as shown in FIG. 11 (G), the other lead is connected to the other end of the second coil conductor 33c exposed from the lower hole 35d on the second insulator layer 35a. The electrode 33b is formed. Thus, the common mode choke coil inner layer substrate 30 of the second embodiment shown in FIG. 9 is obtained.

本実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30が先の第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10と異なるところは、前記基板31の他方の主面側の第1の絶縁体層34b上に該第1の絶縁体層34bを覆うように第2の絶縁体層35bが形成されている点にある。これによれば、前記第2の絶縁体層35aの厚みが厚い場合であっても、反りの発生を抑制することができる。その他の構成及び作用効果は先の第1の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板10と同様であるため、説明を省略する。 The common mode choke coil inner layer substrate 30 of the present embodiment is different from the common mode choke coil inner layer substrate 10 of the first embodiment in that the first insulator layer on the other main surface side of the substrate 31 is different. The second insulator layer 35b is formed on the 34b so as to cover the first insulator layer 34b. According to this, even if it is a case where the thickness of the said 2nd insulator layer 35a is thick, generation | occurrence | production of curvature can be suppressed. Other configurations and operational effects are the same as those of the inner layer substrate 10 for the common mode choke coil of the first embodiment, and thus description thereof is omitted.

次に、前記内層基板30を用いた本発明のコモンモードチョークコイルの第2の実施形態について、図12〜図14参照して説明する。図12は本実施形態のコモンモードチョークコイル40の全体構造を示す外観斜視図である。図13は本実施形態のコモンモードチョークコイル40の前記図12のD−D線における縦断面図である。また、図14は、本実施形態のコモンモードチョークコイル40の内部構造を示す分解斜視図である。 Next, a second embodiment of the common mode choke coil of the present invention using the inner layer substrate 30 will be described with reference to FIGS. FIG. 12 is an external perspective view showing the overall structure of the common mode choke coil 40 of the present embodiment. FIG. 13 is a longitudinal sectional view of the common mode choke coil 40 of the present embodiment taken along the line DD of FIG. FIG. 14 is an exploded perspective view showing the internal structure of the common mode choke coil 40 of the present embodiment.

本実施形態のコモンモードチョークコイル40は、前記第2の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30の両主面にそれぞれ磁性体基板36a,36bが貼着されるとともに、前記内層基板30の端面30Tに露出する前記引出電極32a,32b,33a,33bに接続するように前記基板30の端面及びその近傍に端子電極38a,38b,39a,39bが形成されている。 In the common mode choke coil 40 of this embodiment, magnetic substrates 36a and 36b are attached to both main surfaces of the inner layer substrate 30 for the common mode choke coil of the second embodiment, respectively. Terminal electrodes 38a, 38b, 39a, 39b are formed on and near the end surface of the substrate 30 so as to be connected to the extraction electrodes 32a, 32b, 33a, 33b exposed on the end surface 30T.

(実施例2)
次に、本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の実施例について説明する。
まず、図11(A)に示すようにFR−4からなり、長さ120mm、幅120mm、厚さ60μmの非磁性で絶縁性の基板31を用意した。該基板31には、後にスルーホール導体を形成する位置に予め直径60μmの下孔31dをレーザ光を照射することにより形成した。
次に、図11(B)に示すように該基板31の両主面及び前記下孔31dの内周面に、銅を化学メッキして図示省略したシード層を形成した。次に、該シード層上に感光性樹脂からなる厚さ20μmのフィルムを接着してレジスト膜を形成した。次に所定のマスクを用いて露光し不要なレジスト膜を除去した後、銅を電解メッキして、厚さ10μmの第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続される一方の引出電極32aを、また、前記基板31の他方の主面上に、該基板31を貫通するスルーホール導体32dにより前記第1のコイル導体32cの他端と接続される他方の引出電極32bを、それぞれ分割して形成して、第1のコイル32を準備した。
次に、図11(C)に示すように、前記基板31の両主面にそれぞれ前記第1のコイル32を被覆するようにFR−4からなるプリプレグを積層し、180℃で80分間熱プレスして、厚さ20μmの第1の絶縁体層34a,34bを形成した。
次に、図11(D)に示すように、前記基板31の一方の主面側の前記第1の絶縁体層34a上に、前記と同様に銅をメッキして、前記第1のコイル導体32cおよび該コイル導体32cの一端に接続された一方の引出電極32aと対向するように、厚さ10μmの第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cの一端に接続される一方の引出電極33aを形成した。
次に、図11(E)に示すように、前記と同様にプリプレグを積層して、前記基板31の一方の主面側の前記第2のコイル導体33cおよび該コイル導体33cに接続された一方の引出電極33aを被覆するように、また、前記基板31の他方の主面側の前記第1の絶縁体層34bを被覆するように、それぞれ厚さ20μmの第2の絶縁体層35a、35bを形成した。
次に、図11(F)に示すように、レーザ光を照射して、第2の絶縁体層35aに前記第2のコイル導体33cの他方の端部を露出するように直径60μmの下孔35dを形成した。
次に、図11(G)に示すように、銅をメッキして、第2の絶縁体層35a上に前記下孔35dから露出された前記第2のコイル導体33cの他方の端部に接続するように厚さ10μmの他方の引出電極33bを形成した。こうして、図9に示す前記第2の実施形態のコモンモードチョークコイル用内層基板30を得た。
(Example 2)
Next, examples of the inner layer substrate for a common mode choke coil of the present invention will be described.
First, as shown in FIG. 11A, a nonmagnetic insulating substrate 31 made of FR-4 and having a length of 120 mm, a width of 120 mm, and a thickness of 60 μm was prepared. The substrate 31 was previously formed by irradiating a laser beam with a pilot hole 31d having a diameter of 60 μm at a position where a through-hole conductor was to be formed later.
Next, as shown in FIG. 11B, a seed layer (not shown) was formed by chemical plating of copper on both main surfaces of the substrate 31 and the inner peripheral surface of the lower hole 31d. Next, a 20 μm thick film made of a photosensitive resin was adhered on the seed layer to form a resist film. Next, exposure is performed using a predetermined mask to remove an unnecessary resist film, and then copper is electroplated to provide a first coil conductor 32c having a thickness of 10 μm and one lead connected to one end of the coil conductor 32c. The electrode 32a and the other lead electrode 32b connected to the other end of the first coil conductor 32c by the through-hole conductor 32d penetrating the substrate 31 on the other main surface of the substrate 31, respectively. The first coil 32 was prepared by being divided.
Next, as shown in FIG. 11C, prepregs made of FR-4 are laminated on both main surfaces of the substrate 31 so as to cover the first coil 32, respectively, and hot-pressed at 180 ° C. for 80 minutes. Thus, the first insulator layers 34a and 34b having a thickness of 20 μm were formed.
Next, as shown in FIG. 11D, the first coil conductor is plated on the first insulator layer 34a on the one main surface side of the substrate 31 in the same manner as described above. The second coil conductor 33c having a thickness of 10 μm and the one extraction electrode 33a connected to one end of the coil conductor 33c are arranged so as to face the one extraction electrode 32a connected to one end of the coil conductor 32c. Formed.
Next, as shown in FIG. 11 (E), the prepreg is laminated in the same manner as described above, and the second coil conductor 33c on one main surface side of the substrate 31 and the one connected to the coil conductor 33c. The second insulator layers 35a and 35b each having a thickness of 20 μm so as to cover the lead electrode 33a and the first insulator layer 34b on the other main surface side of the substrate 31. Formed.
Next, as shown in FIG. 11F, a pilot hole having a diameter of 60 μm is irradiated so as to expose the other end portion of the second coil conductor 33c to the second insulator layer 35a by irradiating with laser light. 35d was formed.
Next, as shown in FIG. 11G, copper is plated and connected to the other end of the second coil conductor 33c exposed from the lower hole 35d on the second insulator layer 35a. Thus, the other extraction electrode 33b having a thickness of 10 μm was formed. Thus, the common mode choke coil inner layer substrate 30 of the second embodiment shown in FIG. 9 was obtained.

本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の第1の実施形態の全体構造を示す外観斜視図。1 is an external perspective view showing the overall structure of a first embodiment of an inner layer substrate for a common mode choke coil of the present invention. 上記実施形態の内部構造を示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows the internal structure of the said embodiment. 上記実施形態の内部構造を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the internal structure of the said embodiment. 本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法の第1の実施形態を示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows 1st Embodiment of the manufacturing method of the inner layer board | substrate for common mode choke coils of this invention. 本発明のコモンモードチョークコイルの第1の実施形態の全体構造を示す外観斜視図。1 is an external perspective view showing the overall structure of a first embodiment of a common mode choke coil of the present invention. 上記実施形態の内部構造を示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows the internal structure of the said embodiment. 上記実施形態の内部構造を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the internal structure of the said embodiment. 本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の第2の実施形態の全体構造を示す外観斜視図。The external appearance perspective view which shows the whole structure of 2nd Embodiment of the inner layer board | substrate for common mode choke coils of this invention. 上記実施形態の内部構造を示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows the internal structure of the said embodiment. 上記実施形態の内部構造を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the internal structure of the said embodiment. 本発明のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法の第2の実施形態を示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows 2nd Embodiment of the manufacturing method of the inner layer board | substrate for common mode choke coils of this invention. 本発明のコモンモードチョークコイルの第2の実施形態の全体構造を示す外観斜視図。The external appearance perspective view which shows the whole structure of 2nd Embodiment of the common mode choke coil of this invention. 上記実施形態の内部構造を示す縦断面図。The longitudinal cross-sectional view which shows the internal structure of the said embodiment. 上記実施形態の内部構造を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows the internal structure of the said embodiment. 従来のコモンモードチョークコイル用内層基板の一例を示す断面図。Sectional drawing which shows an example of the conventional inner layer board | substrate for common mode choke coils. 従来のコモンモードチョークコイル用内層基板の他の例を示す断面図。Sectional drawing which shows the other example of the conventional inner layer board | substrate for common mode choke coils.

符号の説明Explanation of symbols

10:コモンモードチョークコイル用内層基板。
10T:内層基板の端面
11:基板
11d:下孔
12:第1のコイル
12a:引出電極
12b:引出電極
12c:コイル導体
12d:スルーホール導体
13:第2のコイル
13a:引出電極
13b:引出電極
13c:コイル導体
13d:ビアホール導体
14,14a,14b:第1の絶縁体層
14c:絶縁体
15,15a:第2の絶縁体層
15d:下孔
16a,16b:磁性体基板
17a,17b:接着剤層
18a、18b、19a、19b:端子電極
20:コモンモードチョークコイル
30:コモンモードチョークコイル用内層基板
30T:内層基板の端面
31:基板
31d:下孔
32:第1のコイル
32a:引出電極
32b:引出電極
32c:コイル導体
32d:スルーホール導体
33:第2のコイル
33a:引出電極
33b:引出電極
33c:コイル導体
33d:ビアホール導体
34,34a,34b:第1の絶縁体層
35,35a,35b:第2の絶縁体層
35d:下孔
36a,36b:磁性体基板
37a,37b:接着剤層
38a、38b、39a、39b:端子電極
40:コモンモードチョークコイル
10: Inner layer substrate for common mode choke coil.
10T: end face of inner layer substrate 11: substrate 11d: lower hole 12: first coil 12a: extraction electrode 12b: extraction electrode 12c: coil conductor 12d: through-hole conductor 13: second coil 13a: extraction electrode 13b: extraction electrode 13c: coil conductor 13d: via-hole conductors 14, 14a, 14b: first insulator layer 14c: insulator 15, 15a: second insulator layer 15d: pilot holes 16a, 16b: magnetic substrates 17a, 17b: adhesion Agent layers 18a, 18b, 19a, 19b: terminal electrode 20: common mode choke coil 30: inner layer substrate 30T for common mode choke coil: end surface of inner layer substrate 31: substrate 31d: lower hole 32: first coil 32a: extraction electrode 32b: Lead electrode 32c: Coil conductor 32d: Through-hole conductor 33: Second coil 33a: Lead electrode 33b: Lead electricity 33c: coil conductor 33d: via-hole conductors 34, 34a, 34b: first insulator layers 35, 35a, 35b: second insulator layer 35d: lower holes 36a, 36b: magnetic substrate 37a, 37b: adhesive layer 38a, 38b, 39a, 39b: terminal electrode 40: common mode choke coil

Claims (5)

非磁性で絶縁性の基板と、
該基板の一方の主面上に形成された第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記基板の他方の主面上に形成され該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続されて前記第1のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第1のコイルを構成する他方の引出電極と、
前記第1のコイルを被覆するように前記基板の両主面にそれぞれ形成された第1の絶縁体層と、
前記基板の一方の主面側の第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および一方の引出電極に対向するように形成された第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と、
前記第2のコイル導体および一方の引出電極を被覆するように形成された第2の絶縁体層と、
前記第2の絶縁体層上に形成され前記第2のコイル導体の他端に前記第2の絶縁体層を貫通するビアホール導体により接続されて前記第2のコイル導体及び前記一方の引出電極とともに第2のコイルを構成する他方の引出電極と、
を備えたことを特徴とするコモンモードチョークコイル用内層基板。
A non-magnetic, insulating substrate;
A first coil conductor formed on one main surface of the substrate and one extraction electrode connected to one end of the coil conductor;
A first coil together with the first coil conductor and the one extraction electrode is connected to the other end of the first coil conductor by a through-hole conductor formed on the other main surface of the substrate and penetrating the substrate. The other extraction electrode constituting
A first insulator layer formed on each main surface of the substrate so as to cover the first coil;
A second coil conductor formed on the first insulator layer on one main surface side of the substrate so as to face the first coil conductor and the one extraction electrode, and one end of the coil conductor are connected. One extraction electrode,
A second insulator layer formed to cover the second coil conductor and one extraction electrode;
Along with the second coil conductor and the one extraction electrode, the second coil conductor is formed on the second insulator layer and connected to the other end of the second coil conductor by a via-hole conductor penetrating the second insulator layer. The other extraction electrode constituting the second coil;
An inner layer substrate for a common mode choke coil, comprising:
前記第1のコイルを被覆する第1の絶縁体層は、前記基板の両主面にそれぞれプリプレグを積層した後、熱プレスすることにより同時に形成されたものであることを特徴とする請求項1記載のコモンモードチョークコイル用内層基板。 The first insulator layer covering the first coil is formed simultaneously by laminating prepregs on both main surfaces of the substrate and then hot pressing. An inner layer substrate for a common mode choke coil as described. 請求項1記載の内層基板の両主面にそれぞれ磁性体基板が貼着されるとともに、
前記内層基板の端面に露出する前記引出電極に接続するように前記基板の端面及びその近傍に端子電極が形成された
ことを特徴とするコモンモードチョークコイル。
A magnetic substrate is adhered to both main surfaces of the inner layer substrate according to claim 1, respectively.
A common mode choke coil, wherein a terminal electrode is formed on and near the end surface of the substrate so as to be connected to the extraction electrode exposed on the end surface of the inner layer substrate.
非磁性で絶縁性の基板の一方の主面上に、第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するとともに、
前記基板の他方の主面上に、該基板を貫通するスルーホール導体により前記第1のコイル導体の他端と接続される他方の引出電極を形成して、第1のコイルを準備するステップと、
前記基板の両主面にそれぞれ前記第1のコイルを被覆するように第1の絶縁体層を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第1の絶縁体層上に前記第1のコイル導体および該コイル導体の一端に接続された一方の引出電極と対向するように第2のコイル導体および該コイル導体の一端に接続される一方の引出電極を形成するステップと、
前記基板の一方の主面側の前記第2のコイル導体および該コイル導体に接続された一方の引出電極を被覆するように第2の絶縁体層を形成するステップと、
第2の絶縁体層に前記第2のコイル導体の他方の端部を露出するように下孔を形成するステップと、
第2の絶縁体層上に前記下孔から露出された前記第2のコイル導体の他方の端部に接続するように他方の引出電極を形成するステップと、
を備えたことを特徴とするコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法。
Forming a first coil conductor and one lead electrode connected to one end of the coil conductor on one main surface of the non-magnetic and insulating substrate;
Forming the other lead electrode connected to the other end of the first coil conductor by a through-hole conductor penetrating the substrate on the other main surface of the substrate to prepare a first coil; ,
Forming a first insulator layer on both main surfaces of the substrate so as to cover the first coil, respectively;
The second coil conductor and the second coil conductor on the first insulator layer on one main surface side of the substrate so as to face the first coil conductor and one lead electrode connected to one end of the coil conductor, Forming one extraction electrode connected to one end of the coil conductor;
Forming a second insulator layer so as to cover the second coil conductor on one main surface side of the substrate and one lead electrode connected to the coil conductor;
Forming a pilot hole in the second insulator layer so as to expose the other end of the second coil conductor;
Forming the other lead electrode on the second insulator layer to connect to the other end of the second coil conductor exposed from the pilot hole;
A method for manufacturing an inner layer substrate for a common mode choke coil, comprising:
前記基板の一方の主面側の前記第2の絶縁体層を形成するステップにおいて、同時に、前記基板の他方の主面側の前記第1の絶縁体層上に第2の絶縁体層を形成する
ことを特徴とする請求項4記載のコモンモードチョークコイル用内層基板の製造方法。
In the step of forming the second insulator layer on one main surface side of the substrate, simultaneously, forming a second insulator layer on the first insulator layer on the other main surface side of the substrate 5. The method for manufacturing an inner layer substrate for a common mode choke coil according to claim 4, wherein:
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