JP2009252894A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】半導体装置に、熱応力に起因した反りが発生することを抑制する。
【解決手段】本発明にかかる半導体装置は、実装基板10と、実装基板10の第1主面に形成された第1の凹部12と、第1の凹部12の底面に実装された第1の半導体チップ20と、第1の凹部12に充填された第1の樹脂層30と、実装基板10に設けられ、第1の半導体チップ20及び第1の樹脂層30を含む実装部分40と実装基板10の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する熱応力相殺部材とを備える。熱応力相殺部材は、例えば第2の凹部14と、第2の凹部14に充填された第2の樹脂層32と、半導体チップ22とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】本発明にかかる半導体装置は、実装基板10と、実装基板10の第1主面に形成された第1の凹部12と、第1の凹部12の底面に実装された第1の半導体チップ20と、第1の凹部12に充填された第1の樹脂層30と、実装基板10に設けられ、第1の半導体チップ20及び第1の樹脂層30を含む実装部分40と実装基板10の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する熱応力相殺部材とを備える。熱応力相殺部材は、例えば第2の凹部14と、第2の凹部14に充填された第2の樹脂層32と、半導体チップ22とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体チップを実装基板に実装した半導体装置に関する。
様々な電子機器、携帯機器の小型化及び軽量化が進む中、それらに使用される半導体装置にも小型化、軽量化、及び薄型化が要求されている。さらに、電子機器等の高機能化及び高性能化への対応もあり、半導体装置のデータ入出力用外部端子の数も増加する傾向にある。そこで、小型及び薄型化が可能で、半導体装置の一面に外部端子を多数配置することができる表面実装型の半導体装置が広く用いられるようになってきた。このような表面実装型の半導体装置を配線基板に実装する場合、半導体装置はできるだけ平らな状態であることが望ましい。半導体装置に反りなどの湾曲があると、外部端子とそれに対応する配線基板のパッドとの間隔が離れるなどして接続が不十分となり、接続不良が発生する可能性がある。
図16は、半導体装置の一例を示す図である。この半導体装置において、実装基板100の上には半導体チップ110が電気的な接続をもって搭載されており、その上面全体が封止樹脂120で覆われている。実装基板100の下面表面には、配線基板(図示せず)と接続するための外部端子130が設けられている。
図16に示す半導体装置において、実装基板100と封止樹脂120の熱膨張係数などの物性値が異なるため、温度負荷をかけた場合に各材料間の熱膨張(又は熱収縮)に差異が発生してしまう。そのため、実装基板100の片面が伸びて、反対面が縮むという状態になり、図17に示すように、半導体装置が反ってしまうという問題があった。なお、図17の反りの方向は一例であり、逆方向の場合もある。
このように、半導体装置の反りは、主に半導体装置が多数の材料から構成されることに起因し、半導体装置に温度負荷が与えられた場合、各材料の物性値が異なることにより各材料の膨張、収縮に違いが出ることで発生する。
一方、特許文献1には、有機基板に搭載する素子を保護するための樹脂封止が原因とされる有機基板の湾曲を防止し、装置の信頼性を高めることを目的とした半導体装置が記載されている。この半導体装置において、有機基板の片面に搭載した半導体素子等は樹脂で封止されている。有機基板の反対面には、樹脂と同一の樹脂の層が形成されている。このように有機基板の両面に樹脂の層が形成されるため、樹脂の硬化時における収縮力が有機基板の両面に加えられ、有機基板の湾曲が防止される、とされている。またこの半導体装置において、素子と有機基板はワイヤで接続されている。
実開平5−4489号公報
しかし、上記した特許文献1に記載の半導体装置は、樹脂の硬化時における収縮力に起因した基板の湾曲を防止することを目的としている。このため、温度負荷をかけた際に有機基板(パッケージ基板)の上下部分に熱膨張(収縮)差が生じて、半導体パッケージが反る可能性があった。
本発明によれば、実装基板と、
前記実装基板の第1主面に形成された第1の凹部と、
前記第1の凹部の底面に実装された第1の半導体チップと、
前記第1の凹部に充填された第1の樹脂層と、
前記実装基板に設けられ、前記第1の半導体チップ及び前記第1の樹脂層を含む実装部分と前記実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する熱応力相殺部材と、
を備える半導体装置が提供される。
前記実装基板の第1主面に形成された第1の凹部と、
前記第1の凹部の底面に実装された第1の半導体チップと、
前記第1の凹部に充填された第1の樹脂層と、
前記実装基板に設けられ、前記第1の半導体チップ及び前記第1の樹脂層を含む実装部分と前記実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する熱応力相殺部材と、
を備える半導体装置が提供される。
本発明によれば、熱応力相殺部材が、第1の半導体チップ及び第1の樹脂層からなる実装部分と実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する。このため、半導体装置に熱応力に起因した反りが発生することを抑制できる。また、熱応力相殺部材を調節することにより、熱応力に起因した反りをほぼ無くすことができる。
以下、本発明の実施の形態について、図面を用いて説明する。尚、すべての図面において、同様な構成要素には同様の符号を付し、適宜説明を省略する。
以下に説明する各実施形態において、半導体装置は、実装基板10、実装基板10に形成された第1の凹部12、第1の半導体チップ20、第1の樹脂層30、並びに熱応力相殺部材を備える。第1の凹部12は、実装基板10の第1主面に形成されている。第1の半導体チップ20は、第1の凹部12の底面に実装されている。第1の樹脂層30は、第1の凹部12に充填されている。熱応力相殺部材は、第1の半導体チップ20及び第1の樹脂層30からなる実装部分40と実装基板10の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する。このため、半導体装置に熱応力に起因した反りが発生することを抑制できる。また、熱応力相殺部材の形態、形状、及び材質などを調節することにより、熱応力に起因した反りをほぼ無くすことができる。
第1の半導体チップ20の外部端子(例えばバンプ)は、第1の凹部12の底面に設けられ、この外部端子の下に位置するランドに直接接続している。
熱応力相殺部材は、実装基板10の第1主面側の熱膨張係数と、第1主面とは反対側の面である第2主面側の熱膨張係数が互いに等しくなるような構造及び材料となっている。また、第1の半導体チップ20は実装基板10に電気的に接続されている。以下、各実施形態で具体的に説明する。
図1は、第1の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、図2は図1に示した半導体装置の平面図である。図1は、図2のA−A´断面図である。この半導体装置において、応力緩和部材は、第2の凹部14、第2の凹部14の底面に実装された第2の半導体チップ22、及び第2の凹部14に充填された第2の樹脂層32を有する。第2の凹部14は、実装基板10の第1主面とは反対側の面である第2主面に形成され、実装基板に垂直な方向から見た場合に第1の凹部12と少なくとも一部が重なっている。また実装基板10の第2主面には、半導体装置を配線基板(図示せず)に接続する外部端子50が設けられている。
第2の半導体チップ22の基板は、第1の半導体チップ20の基板と同一の材料からなる。これら2つの基板は同じ厚さである。第2の半導体チップ22の平面形状は、第1の半導体チップ20の平面形状と略同じである。本図に示す例において第1の凹部12の平面形状及び深さは、第2の凹部14の平面形状及び深さと同じである。第2の樹脂層32は、第1の樹脂層30と熱膨張率が同じ樹脂(例えば同一の樹脂)である。そして、実装基板10に垂直な方向から見た場合に、第1の凹部12と第2の凹部14は同一の位置にあり、かつ第1の半導体チップ20と第2の半導体チップ22は同一の位置にある。また、第1の凹部12、第2の凹部14、第1の半導体チップ20、及び第2の半導体チップ22それぞれの中心位置は、互いに同一の位置にあるのが好ましい。
この半導体装置によれば、半導体装置は上下に対称な構造になる。温度が上昇した場合には、半導体装置の第1主面側及び第2主面側が等しく熱膨張を行う。また、逆に温度を下降させた場合にも、半導体装置の第1主面側及び第2主面側は等しく熱収縮を行う。このため、半導体装置がほとんど反ることはなく、配線基板に半導体装置を実装する際に外部端子50と配線基板との間で接続不良が生じることを抑制できる。
図3は、第2の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第1の実施形態における図1に相当している。本実施形態は、第2の半導体チップ22の平面形状が第1の半導体チップ20の平面形状と異なる点、及び第1の樹脂層30と第2の樹脂層32が異なる樹脂で形成されている点を除いて、第1の実施形態と同様である。実装基板10に垂直な方向から見た場合、第2の半導体チップ22の中心は第1の半導体チップ20の中心と同じ位置にある。また本図に示す例において、第2の半導体チップ22は第1の半導体チップ20より大きい。
本実施形態において、第2の半導体チップ22の平面形状が第1の半導体チップ20の平面形状と異なるため、第1の半導体チップ20に起因した熱応力によって第2の半導体チップ22に起因した熱応力を相殺することはできない。しかし、第1の樹脂層30と第2の樹脂層32が異なる樹脂で形成されているため、樹脂の熱膨張係数差を適切な値にすることにより、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、本実施形態において、第1の樹脂層30と第2の樹脂層32の樹脂を異ならせる代わりに、第1の凹部12と第2の凹部14の深さを変えても、同様の効果を得ることができる。また、第1の樹脂層30と第2の樹脂層32の樹脂を異ならせ、かつ第1の凹部12と第2の凹部14の深さを変えてもよい。
図4は、第3の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第2の実施形態における図3に相当している。本実施形態は、第2の半導体チップ22の代わりにダミーチップとなる基板24を用いている点を除いて、第2の実施形態と同様である。基板24は、例えば第2の半導体チップ22と同一の材料から形成されており、その厚さは、第2の半導体チップ22の厚さ又は第2の半導体チップ22の基板の厚さと同じである。
本実施形態によっても、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、図5の変形例に示すように、本実施形態において外部端子50は第2主面ではなく第1主面に設けられていてもよい。また基板24の代わりに金属基板やセラミック基板を用いて熱応力を調節してもよい。また第1の実施形態において、第2の半導体チップ22の代わりに基板24を用いてもよい。この場合、第1の半導体チップ20と基板24の平面形状は同一であり、第1の半導体チップ20の厚さ又は第1の半導体チップ20の基板の厚さと基板24の厚さは等しい。
図6は、第4の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第1の実施形態における図1に相当している。本実施形態は、第2の半導体チップ22を備えていない点、及び第1の樹脂層30と第2の樹脂層32が異なる樹脂で形成されている点を除いて、第1の実施形態と同様である。
本実施形態によれば、第1の樹脂層30と第2の樹脂層32が異なる樹脂で形成されているため、第2の半導体チップ22を供えていなくても樹脂の熱膨張係数差を適切な値にすることにより、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、本実施形態において、第1の樹脂層30と第2の樹脂層32の樹脂を異ならせる代わりに、第1の凹部12と第2の凹部14の深さを変えても、第1の半導体チップ20に起因した熱応力と第2の半導体チップ22に起因した熱応力の差を相殺することができる。また、第1の樹脂層30と第2の樹脂層32の樹脂を異ならせ、かつ第1の凹部12と第2の凹部14の深さを変えてもよい。また、外部端子50は、図7の変形例に示すように第2主面ではなく第1主面に設けられていてもよい。
図8は、第5の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第2の実施形態における図3に相当している。本実施形態は、実装基板10が高剛性部材60を有している点を除いて第2の実施形態と同様である。高剛性部材60は、実装基板10の本体より剛性が高い材料から形成された板状の部材であり、例えば金属板やセラミック版である。高剛性部材60は、図8の断面で見た場合に、第1の凹部12の下方の全面に位置している。詳細には、高剛性部材60は、第1の凹部12の底面と第2の凹部14の底面の間(例えば中間)に位置している。
本実施形態によっても、第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第1の凹部12の底面と第2の凹部14の底面の間に高剛性部材60が位置しているため、熱応力が生じても、半導体装置に生じる反りは小さくなる。従って、配線基板に半導体装置を実装する際に、外部端子50と配線基板との間で接続不良が生じることをさらに抑制できる。
なお、第1、第3及び第4の実施形態において、本実施形態に示した高剛性部材60を設けてもよい。
図9は、第6の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第3の実施形態における図4に相当している。本実施形態は、応力緩和部材の一部として被覆部材70,72を備えている点、及び第2の樹脂層32を備えていない点を除いて、第3の実施形態と同様である。
被覆部材70は、第1の凹部12の上面を覆っている。被覆部材70及び第1の凹部12によって閉ざされている空間内には、第1の樹脂層30が充填されている。
被覆部材72は、第2の凹部14を密閉している。被覆部材72及び第2の凹部14によって閉ざされている空間内には、窒素等の不活性ガスを充填するのが望ましい。
本実施形態によっても、被覆部材70、基板24、及び被覆部材72それぞれの平面形状、厚さ、及び材料を調節することにより、第3の実施形態と同様の効果を得ることができる。
なお、第2、第4、及び第5の実施形態において、本実施形態と同様に被覆部材70,72を備えていてもよい。
図10は、第7の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第3の実施形態における図5に相当している。本実施形態は、以下の点を除いて、第3の実施形態の図5と同様である。
第2の凹部14は、放熱板80によって覆われている。放熱板80は、例えば銅板やアルミニウム板である。基板24の厚さは、第2の凹部14の深さと略等しい。第1の凹部12と第2の凹部14の間に位置する実装基板10には、複数の熱伝導部材82が埋め込まれている。熱伝導部材82は、実装基板10より熱伝導率が高い材料(例えば銅を主成分とした金属系の材料)により形成されており、第1の凹部12の底面から第2の凹部14の底面まで貫通している貫通孔に埋め込まれている。熱伝導部材82は、第1の凹部12の底面から第2の凹部14の底面それぞれで露出している。基板24の一面は放熱板80に接しており、他面は熱伝導部材82に接している。
本実施形態によっても、第2の樹脂層32、基板24、及び放熱板80それぞれの平面形状、厚さ、及び材料を調節することにより、第3の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第1の半導体チップ20から発生した熱を、熱伝導部材82及び基板24を介して放熱板80から放熱することができる。
なお本実施形態において、放熱板80によって第2の凹部14を密閉することができる場合には、第2の樹脂層32を設けなくてもよい。また、基板24の材料を銅やアルミニウムなどの金属にすると、第1の半導体チップ20から発生した熱の放熱性が向上する。
また、図11に示すように、熱伝導部材82の代わりに熱伝導部材84を設けてもよい。熱伝導部材84は、第1の凹部12と第2の凹部14の間に位置する実装基板10を上下に貫通する貫通孔85の内側面、並びに第1の凹部12の底面及び第2の凹部14の底面のうち貫通孔85の周囲に位置する領域に形成された導電性の膜であり、第1の半導体チップ20及び基板24それぞれに接している。熱伝導部材84は、例えば銅膜であり、例えばめっき法により形成される。
また図12に示すように、図11と同様の熱伝導部材84を設け、さらに熱伝導部材84で囲まれた空間に熱伝導部材86を埋め込んでもよい。熱伝導部材86は例えば銅であり、例えば熱伝導性のペーストを熱伝導部材84で囲まれた空間に埋め込むことにより形成される。熱伝導部材86は、第1の半導体チップ20及び基板24それぞれに接している。
図13は、第8の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第1の実施形態における図1に相当している。本実施形態は、第1の凹部12の底面に複数の第1の半導体チップ20が実装されている点、及び第2の凹部14の底面に複数の第2の半導体チップ22が実装されている点を除いて、第1の実施形態と同様の構成である。
第1の半導体チップ20の数と第2の半導体チップ22の数は同じであり、実装基板10に垂直な方向から見た場合に、互いに同じ位置にある。同じ位置にある第1の半導体チップ20と第2の半導体チップ22は、平面形状が同じである。複数の第1の半導体チップ20の平面形状は、互いに異なっていてもよい。
本実施形態によっても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、第1の凹部12及び第2の凹部14をそれぞれ複数設ける必要がないため、第1の実施形態と比較して実装基板10の製造コストを低くすることができる。
図14は、第9の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第8の実施形態における図13に相当している。本実施形態は、複数の第2の半導体チップ22の代わりに基板24を用いる点を除いて、第8の実施形態と同様である。基板24は1枚であってもよいし、複数枚であってもよい。
本実施形態によっても、基板24の位置、形状、大きさ、及び厚さを調節することにより、第8の実施形態と同様の効果を得ることができる。
図15は、第10の実施形態にかかる半導体装置の断面図であり、第1の実施形態における図1に相当している。本実施形態は、第1の凹部12及び第2の凹部14がそれぞれ複数かつ同数ずつ設けられている点を除いて、第1の実施形態と同様である。
各第1の凹部12は、底部に第1の半導体チップ20が実装されており、かつ第1の樹脂層30が充填されている。各第2の凹部14は、底部に第2の半導体チップ22が実装されており、かつ第2の樹脂層32が充填されている。実装基板10に垂直な方向から見た場合、第1の凹部12と第2の凹部14は同じ位置にあり、かつ第1の半導体チップ20と第2の半導体チップ22も同じ位置にある。
本実施形態によっても、第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。なお、少なくとも一つの第2の半導体チップ22を基板24に置き換えてもよい。
以上、図面を参照して本発明の実施形態について述べたが、これらは本発明の例示であり、上記以外の様々な構成を採用することもできる。
10 実装基板
12 第1の凹部
14 第2の凹部
20 第1の半導体チップ
22 第2の半導体チップ
24 基板
30 第1の樹脂層
32 第2の樹脂層
40 実装部分
50 外部端子
60 高剛性部材
70 被覆部材
72 被覆部材
80 放熱板
82 熱伝導部材
84 熱伝導部材
85 貫通孔
86 熱伝導部材
100 実装基板
110 半導体チップ
120 封止樹脂
130 外部端子
12 第1の凹部
14 第2の凹部
20 第1の半導体チップ
22 第2の半導体チップ
24 基板
30 第1の樹脂層
32 第2の樹脂層
40 実装部分
50 外部端子
60 高剛性部材
70 被覆部材
72 被覆部材
80 放熱板
82 熱伝導部材
84 熱伝導部材
85 貫通孔
86 熱伝導部材
100 実装基板
110 半導体チップ
120 封止樹脂
130 外部端子
Claims (9)
- 実装基板と、
前記実装基板の第1主面に形成された第1の凹部と、
前記第1の凹部の底面に実装された第1の半導体チップと、
前記第1の凹部に充填された第1の樹脂層と、
前記実装基板に設けられ、前記第1の半導体チップ及び前記第1の樹脂層を含む実装部分と前記実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する熱応力相殺部材と、
を備える半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記熱応力相殺部材は、
前記実装基板の前記第1主面とは反対側の面である第2主面に形成され、前記実装基板に垂直な方向から見た場合に前記第1の凹部と少なくとも一部が重なっている第2の凹部と、
前記第2の凹部に充填された第2の樹脂層と、
を備える半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置において、
前記熱応力相殺部材は、前記第2の凹部の底面に実装され、前記実装基板に垂直な方向から見た場合に前記第1の半導体チップと少なくとも一部が重なっている基板を備える半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記第2の凹部の平面形状及び深さは、前記第1の凹部と同じであり、
前記第1の半導体チップの平面形状は、前記基板と同じであり、
前記第2の樹脂層は前記第1の樹脂層と熱膨張率が同一の樹脂であり、
前記実装基板に垂直な方向から見た場合に、前記第1の凹部と前記第2の凹部は同一の位置にあり、かつ前記第1の半導体チップと前記基板は同一の位置にある半導体装置。 - 請求項2、3、又は4に記載の半導体装置において、
前記基板は第2の半導体チップである半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記第2の凹部を覆い、かつ前記基板の一面に接する放熱板と、
前記第2の凹部の底面と前記第1の凹部の底面の間に位置する前記実装基板を貫通しており、前記2つの底面それぞれで露出している熱伝導部材と、
を備え、
前記熱応力相殺部材は、前記実装部分、前記熱伝導部材、及び前記放熱板それぞれの熱膨張率と前記実装基板の熱膨張率の差に起因した熱応力を相殺する半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記熱応力相殺部材は、
前記第1の凹部の上面を覆う第1の被覆部材と、
前記実装基板の前記第1主面とは反対側の面である第2主面に形成され、前記実装基板に垂直な方向から見た場合に前記第1の凹部と重なっている第2の凹部と、
前記第2の凹部の上面を覆う第2の被覆部材と、
を備える半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置において、
前記熱応力相殺部材は、前記第2の凹部の底面に実装された基板を備える半導体装置。 - 請求項1〜8のいずれか一つに記載の半導体装置において、
前記実装基板は、前記第1の凹部の下方に位置し、前記実装基板の本体より剛性が高い高剛性部材を有する半導体装置。
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