JP2009249654A - グラファイト膜の形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】酸化シリコン(SiO2)からなる絶縁性基板101の上に、平面視で長さ5μm,幅1μm,高さ(膜厚)40nmの基準パタン102が形成された状態とする。次に、基準パタン102が形成された絶縁性基板101を、よく知られた熱CVD装置の処理室内に搬入し、850℃に加熱し、原料ガスとしてエタノールガスを供給する。例えば、エタノールガスを30分程度流す。これらのことにより、基準パタン102の周端の段差部より、グラファイト膜103が形成される。
【選択図】 図1
Description
Claims (4)
- 基板の上に段差部を形成する第1工程と、
前記基板を加熱しながら前記段差部を含む前記基板の上に炭素を含む化合物のガスを供給する第2工程と
を少なくとも備えることを特徴とするグラファイト膜の形成方法。 - 請求項1記載のグラファイト膜の形成方法において、
前記第2工程では、前記段差部にグラファイト膜が形成される
ことを特徴とするグラファイト膜の形成方法。 - 請求項1または2記載のグラファイト膜の形成方法において、
前記グラファイト膜は、グラファイトの微結晶から構成された膜である
ことを特徴とするグラファイト膜の形成方法。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載のグラファイト膜の形成方法において、
前記炭素を含む化合物のガスは、エタノールのガスである
ことを特徴とするグラファイト膜の形成方法。
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