JP5689828B2 - グラフェンpn接合の製造方法 - Google Patents
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 111
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 title claims description 97
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 39
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 claims description 22
- 238000009830 intercalation Methods 0.000 claims description 14
- 230000002687 intercalation Effects 0.000 claims description 13
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical group [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 5
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 claims description 3
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 claims description 3
- 230000007017 scission Effects 0.000 claims description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 55
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 description 20
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 15
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 14
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 11
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 229910018540 Si C Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 4
- 229920003209 poly(hydridosilsesquioxane) Polymers 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 3
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 3
- 238000005984 hydrogenation reaction Methods 0.000 description 3
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002772 conduction electron Substances 0.000 description 2
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000609 electron-beam lithography Methods 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000997 Graphane Polymers 0.000 description 1
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 1
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 230000001443 photoexcitation Effects 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
Description
Claims (2)
- SiC基板の表面を加工することで前記SiC基板の表面上に、炭素原子のみから構成されてグラフェンと同じハニカム構造を有して一部が前記SiC基板のシリコン原子と共有結合をしている炭素の一原子層から構成されたバッファ層を介して配置されたn型のグラフェンを形成する工程と、
前記グラフェンをパターニングして第1パターンおよび前記第1パターンより大面積で前記第1パターンに連続して配置された第2パターンを形成する工程と、
前記第1パターンおよび前記第2パターンと前記バッファ層との間にインターカラントを導入し、前記第1パターンの全域および前記第2パターンの周辺部の前記バッファ層と前記SiC基板のシリコン原子との共有結合を切断し、前記インターカラントが前記共有結合の切断により生じた炭素原子とは結合せず前記共有結合の切断により生じたシリコン原子と結合するインターカレーションを施すことで、前記バッファ層上に配置されたn型グラフェンおよび前記バッファ層をp型グラフェンに転換する工程と、
前記インターカレーションが施されている前記第2パターンの周辺部を除去して、前記インターカレーションが施されておらずn型が維持されている部分のみを残して第3パターンとして形成し、p型の前記第1パターンの領域と、n型の前記第3パターンの領域とによるpn接合を形成する工程と
を少なくとも備えることを特徴とするグラフェンpn接合の製造方法。 - 請求項1記載のグラフェンpn接合の製造方法について、
前記インターカラントは、水素またはゲルマニウムであることを特徴とするグラフェンpn接合の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012019839A JP5689828B2 (ja) | 2012-02-01 | 2012-02-01 | グラフェンpn接合の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012019839A JP5689828B2 (ja) | 2012-02-01 | 2012-02-01 | グラフェンpn接合の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013159489A JP2013159489A (ja) | 2013-08-19 |
JP5689828B2 true JP5689828B2 (ja) | 2015-03-25 |
Family
ID=49172057
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012019839A Active JP5689828B2 (ja) | 2012-02-01 | 2012-02-01 | グラフェンpn接合の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5689828B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015029583A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | サミー株式会社 | ぱちんこ遊技機 |
JP2015029585A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | サミー株式会社 | ぱちんこ遊技機 |
JP2015029582A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | サミー株式会社 | ぱちんこ遊技機 |
JP2015029587A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | サミー株式会社 | ぱちんこ遊技機 |
JP2015029584A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-16 | サミー株式会社 | ぱちんこ遊技機 |
JP5990145B2 (ja) * | 2013-08-30 | 2016-09-07 | 日本電信電話株式会社 | グラフェン製造方法 |
JP2017143085A (ja) * | 2014-06-23 | 2017-08-17 | 東京エレクトロン株式会社 | グラフェン膜を有する被処理体を処理する方法 |
US10957810B2 (en) * | 2017-03-10 | 2021-03-23 | Mitsubishi Electric Corporation | Electromagnetic wave detector, electromagnetic wave detector array, and electromagnetic wave detection method |
CN110802740B (zh) * | 2019-11-14 | 2021-06-04 | 广州金穗芯能科技有限公司 | 一种石墨烯加工系统 |
CN111874891B (zh) * | 2019-12-26 | 2021-11-16 | 河北同光晶体有限公司 | 一种基于高纯半绝缘碳化硅衬底制备周期性pn结石墨烯的方法 |
CN113555497B (zh) * | 2021-06-09 | 2023-12-29 | 浙江芯科半导体有限公司 | 一种高迁移率的SiC基石墨烯器件及其制备方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5186831B2 (ja) * | 2007-08-09 | 2013-04-24 | 富士通株式会社 | グラフェンを用いた電子デバイスの製造方法 |
FR2952471A1 (fr) * | 2009-11-09 | 2011-05-13 | Commissariat Energie Atomique | Graphene epitaxie sur sic, ayant un gap ouvert et une mobilite comparable a celle du graphene standard a gap nul |
JP5644175B2 (ja) * | 2010-04-27 | 2014-12-24 | 和人 山内 | SiC基板へのグラフェン成膜方法 |
WO2011139236A1 (en) * | 2010-05-05 | 2011-11-10 | National University Of Singapore | Hole doping of graphene |
-
2012
- 2012-02-01 JP JP2012019839A patent/JP5689828B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013159489A (ja) | 2013-08-19 |
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