JP2015013766A - グラフェン製造方法 - Google Patents
グラフェン製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015013766A JP2015013766A JP2013140419A JP2013140419A JP2015013766A JP 2015013766 A JP2015013766 A JP 2015013766A JP 2013140419 A JP2013140419 A JP 2013140419A JP 2013140419 A JP2013140419 A JP 2013140419A JP 2015013766 A JP2015013766 A JP 2015013766A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- graphene
- adhesive tape
- sacrificial layer
- substrate
- sic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
Abstract
【解決手段】グラフェン102の上に、ポリビニルアルコールの膜(PVA膜)103を形成する(犠牲層形成工程)。例えば、PVA(polyvinyl alcohol)を質量パーセント濃度10%で溶解した水溶液を、グラフェン102が形成されているSiC基板101の表面に滴下し、毎分1500回転の条件で1分間スピンコートする。次いで、設定温度を75℃としたホットプレートの上で5分間加熱し、塗布した膜より水分を除去し、PVA膜103とする。PVA膜103は、犠牲層として用いる。
【選択図】 図1D
Description
Claims (4)
- SiC基板を加熱して前記SiC基板の表面にグラフェンを形成するグラフェン形成工程と、
前記グラフェンの上に有機材料から構成されて溶剤に溶解する犠牲層を形成する犠牲層形成工程と、
前記犠牲層の上に粘着テープを貼り付ける粘着テープ貼り付け工程と、
前記粘着テープを前記SiC基板より引き離すことで前記グラフェンを前記SiC基板より剥離し、前記粘着テープの上に前記犠牲層を介して前記グラフェンが配置された状態とする剥離工程と、
剥離した前記グラフェンを他基板に貼り付ける貼り付け工程と、
他基板に貼り付けた前記グラフェンの上の前記犠牲層を前記溶剤に溶解することで除去し、前記グラフェンより前記粘着テープを分離する除去工程と
を備えることを特徴とするグラフェン製造方法。 - 請求項1記載のグラフェン製造方法において、
前記犠牲層の上に金属層を形成する金属層形成工程を備え、
前記粘着テープ貼り付け工程では、前記金属層を介して前記犠牲層の上に粘着テープを貼り付け、
前記剥離工程では、前記粘着テープを前記SiC基板より引き離すことで前記グラフェンを前記SiC基板より剥離し、前記粘着テープの上に前記金属層および前記犠牲層を介して前記グラフェンが配置された状態とし、
前記除去工程では、他基板に貼り付けた前記グラフェンの上の前記犠牲層を前記溶剤に溶解することで除去し、前記グラフェンより前記金属層および前記粘着テープを分離する ことを特徴とするグラフェン製造方法。 - 請求項2記載のグラフェン製造方法において、
前記有機材料はポリビニルアルコールであり、前記溶剤は水であることを特徴とするグラフェン製造方法。 - 請求項1または2記載のグラフェン製造方法において、
前記有機材料はポリメタクリル酸メチルであり、前記溶剤はアセトンであることを特徴とするグラフェン製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013140419A JP5973390B2 (ja) | 2013-07-04 | 2013-07-04 | グラフェン製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013140419A JP5973390B2 (ja) | 2013-07-04 | 2013-07-04 | グラフェン製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015013766A true JP2015013766A (ja) | 2015-01-22 |
JP5973390B2 JP5973390B2 (ja) | 2016-08-23 |
Family
ID=52435826
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013140419A Active JP5973390B2 (ja) | 2013-07-04 | 2013-07-04 | グラフェン製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5973390B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016150269A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-08-22 | 日本電信電話株式会社 | 機能性材料の転写方法 |
KR20160103189A (ko) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 한양대학교 산학협력단 | 층상 구조 물질의 전사 방법, 및 전사 장치 |
JP2016180652A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 日本電信電話株式会社 | 光センサプローブ |
WO2016204602A1 (en) * | 2015-06-18 | 2016-12-22 | Universiti Putra Malaysia | Method for transferring graphene-based materials using hydrogel |
JP2017020944A (ja) * | 2015-07-13 | 2017-01-26 | 日本電信電話株式会社 | 炭素微小電極の製造方法 |
US10071935B2 (en) * | 2016-03-02 | 2018-09-11 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Method for manufacturing flexible graphene electrically conductive film |
GB2571066A (en) * | 2015-06-18 | 2019-08-21 | Univ Putra Malaysia | Method for transferring graphene-based materials using hydrogel |
CN113184835A (zh) * | 2021-05-12 | 2021-07-30 | 电子科技大学 | 一种压力辅助蒸发转移石墨烯的方法 |
CN113471058A (zh) * | 2020-03-30 | 2021-10-01 | 环球晶圆股份有限公司 | 碳化硅晶片的表面加工方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0191600U (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | ||
JPH1159092A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-02 | Ricoh Co Ltd | 転写シート及びそれを用いた画像形成方法 |
JP2007111867A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Watanabe Norihiko | インクジェット転写印刷法、転写シート及びその製造方法 |
JP2008192703A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2011006265A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Oki Data Corp | グラフェン層の剥離方法、グラフェンウエハの製造方法、グラフェンウエハ、及び、グラフェン素子の製造方法 |
US20110048625A1 (en) * | 2009-08-27 | 2011-03-03 | Caldwell Joshua D | METHOD FOR THE REDUCTION OF GRAPHENE FILM THICKNESS AND THE REMOVAL AND TRANSFER OF EPITAXIAL GRAPHENE FILMS FROM SiC SUBSTRATES |
JP2011105590A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 大面積グラフェンの製造方法及び転写方法 |
US20120298289A1 (en) * | 2011-05-27 | 2012-11-29 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Method for making graphene/carbon nanotube composite structure |
-
2013
- 2013-07-04 JP JP2013140419A patent/JP5973390B2/ja active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0191600U (ja) * | 1987-12-11 | 1989-06-15 | ||
JPH1159092A (ja) * | 1997-08-26 | 1999-03-02 | Ricoh Co Ltd | 転写シート及びそれを用いた画像形成方法 |
JP2007111867A (ja) * | 2005-10-18 | 2007-05-10 | Watanabe Norihiko | インクジェット転写印刷法、転写シート及びその製造方法 |
JP2008192703A (ja) * | 2007-02-01 | 2008-08-21 | Seiko Epson Corp | 半導体装置の製造方法 |
JP2011006265A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Oki Data Corp | グラフェン層の剥離方法、グラフェンウエハの製造方法、グラフェンウエハ、及び、グラフェン素子の製造方法 |
US20110048625A1 (en) * | 2009-08-27 | 2011-03-03 | Caldwell Joshua D | METHOD FOR THE REDUCTION OF GRAPHENE FILM THICKNESS AND THE REMOVAL AND TRANSFER OF EPITAXIAL GRAPHENE FILMS FROM SiC SUBSTRATES |
JP2011105590A (ja) * | 2009-11-12 | 2011-06-02 | Samsung Electronics Co Ltd | 大面積グラフェンの製造方法及び転写方法 |
US20120298289A1 (en) * | 2011-05-27 | 2012-11-29 | Hon Hai Precision Industry Co., Ltd. | Method for making graphene/carbon nanotube composite structure |
JP2012246209A (ja) * | 2011-05-27 | 2012-12-13 | Qinghua Univ | グラフェン−カーボンナノチューブ複合構造体の製造方法 |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016150269A (ja) * | 2015-02-16 | 2016-08-22 | 日本電信電話株式会社 | 機能性材料の転写方法 |
KR20160103189A (ko) * | 2015-02-23 | 2016-09-01 | 한양대학교 산학협력단 | 층상 구조 물질의 전사 방법, 및 전사 장치 |
KR101696532B1 (ko) | 2015-02-23 | 2017-01-16 | 한양대학교 산학협력단 | 층상 구조 물질의 전사 방법, 및 전사 장치 |
JP2016180652A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 日本電信電話株式会社 | 光センサプローブ |
WO2016204602A1 (en) * | 2015-06-18 | 2016-12-22 | Universiti Putra Malaysia | Method for transferring graphene-based materials using hydrogel |
GB2571066A (en) * | 2015-06-18 | 2019-08-21 | Univ Putra Malaysia | Method for transferring graphene-based materials using hydrogel |
JP2017020944A (ja) * | 2015-07-13 | 2017-01-26 | 日本電信電話株式会社 | 炭素微小電極の製造方法 |
US10071935B2 (en) * | 2016-03-02 | 2018-09-11 | Wuhan China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. | Method for manufacturing flexible graphene electrically conductive film |
CN113471058A (zh) * | 2020-03-30 | 2021-10-01 | 环球晶圆股份有限公司 | 碳化硅晶片的表面加工方法 |
CN113471058B (zh) * | 2020-03-30 | 2023-08-15 | 环球晶圆股份有限公司 | 碳化硅晶片的表面加工方法 |
CN113184835A (zh) * | 2021-05-12 | 2021-07-30 | 电子科技大学 | 一种压力辅助蒸发转移石墨烯的方法 |
CN113184835B (zh) * | 2021-05-12 | 2022-08-12 | 电子科技大学 | 一种压力辅助蒸发转移石墨烯的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5973390B2 (ja) | 2016-08-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5973390B2 (ja) | グラフェン製造方法 | |
KR101357060B1 (ko) | 그래핀막의 제조 방법, 전자 소자의 제조 방법, 및 기판에의 그래핀막의 전사 방법 | |
Levendorf et al. | Transfer-free batch fabrication of single layer graphene transistors | |
US9087692B2 (en) | Method for transferring a graphene layer | |
KR102513763B1 (ko) | 그래핀의 제조 및 전사 방법 | |
JP5097172B2 (ja) | グラフェン層の剥離方法、グラフェンウエハの製造方法、及び、グラフェン素子の製造方法 | |
US9337274B2 (en) | Formation of large scale single crystalline graphene | |
TWI588285B (zh) | 在基板上成長碳薄膜或無機材料薄膜的方法 | |
Mogera et al. | Highly decoupled graphene multilayers: turbostraticity at its best | |
Wagner et al. | Graphene transfer methods for the fabrication of membrane-based NEMS devices | |
Peng et al. | Multifunctional macroassembled graphene nanofilms with high crystallinity | |
US20130266739A1 (en) | Process for forming carbon film or inorganic material film on substrate by physical vapor deposition | |
Tao et al. | Fabrication techniques and applications of flexible graphene-based electronic devices | |
JP2016537292A (ja) | シリコンカーバイド上のグラフェン層の形成方法 | |
KR101984694B1 (ko) | 실리콘 카바이드 웨이퍼 상의 단일층 그래핀의 제조방법 | |
Wang et al. | Scalable synthesis of graphene on patterned Ni and transfer | |
KR20110044617A (ko) | 구조제어된 그라핀 리본의 제조 방법 | |
Qi et al. | Wax-assisted crack-free transfer of monolayer CVD graphene: Extending from standalone to supported copper substrates | |
JP2012020915A (ja) | 透明導電膜の形成方法及び透明導電膜 | |
US20160221830A1 (en) | Method of producing graphene film | |
TW201543698A (zh) | 薄膜太陽電池之製造方法及薄膜太陽電池 | |
KR101505471B1 (ko) | 나노박막의 전사 및 접착방법 | |
CN114815502A (zh) | 一种基于纳米压印的二维层状硒化铋纳米片制备方法 | |
TW201939567A (zh) | 透射電鏡微柵及透射電鏡微柵的製備方法 | |
Vaziri et al. | PDMS-supported graphene transfer using intermediary polymer layers |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150825 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160517 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160607 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160712 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160714 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5973390 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |