JP2009249102A

JP2009249102A - 移載機

Info

Publication number: JP2009249102A
Application number: JP2008098185A
Authority: JP
Inventors: Yoshinari Endo; 嘉也遠藤
Original assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Current assignee: Hitachi Plant Technologies Ltd
Priority date: 2008-04-04
Filing date: 2008-04-04
Publication date: 2009-10-29

Abstract

【課題】フォークの傾きを略水平に補正することによって、移載時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる移載機を提供すること。
【解決手段】ベース１からフォーク２を水平移動させるアーム３と、アーム３のベース１を昇降させる昇降装置４とを備えた移載機において、アーム３のベース１を傾斜させる傾斜機構と、ワークＷの重量により傾斜するフォーク２の傾き量を検出する傾斜検出手段６と、傾斜検出手段６が検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォーク２の傾きを補正する補正回路とを備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、クリーンルーム等で使用される移載機に関し、特に、フォークの傾きを略水平に補正することによって、移載時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる移載機に関するものである。

移載機は、ベースからフォークを水平移動させるアームと、該アームのベースを昇降させる昇降装置とを備え、アームの伸縮によりワークの下にフォークを差し込むとともに、昇降装置でフォークを昇降させることにより、ワークの移載を行っている。

ところで、このような移載機を搭載するスタッカクレーンにおいて、ワークの移載を行う際に、ワークの重量によりアームが撓んでフォークが傾くと、ワークと置台、ワークとフォークの間で滑りが生じて発塵の原因となる。

また、ワーク内にあるガラス基板は、フォークが傾いたときに、常に取り出し方向の先端側が下を向くようになり、移載中に非常停止等の急な動作が発生したときに、ワーク内のガラス基板がワークから飛び出す可能性がある。

本発明は、上記従来の移載機が有する問題点に鑑み、フォークの傾きを略水平に補正することによって、移載時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる移載機を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の移載機は、ベースからフォークを水平移動させるアームと、該アームのベースを昇降させる昇降装置とを備えた移載機において、アームのベースを傾斜させる傾斜機構と、ワークの重量により傾斜するフォークの傾き量を検出する傾斜検出手段と、該傾斜検出手段が検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォークの傾きを補正する補正回路とを備えたことを特徴とする。

この場合において、傾斜機構を、ベースの下でフォークの移動方向前後に配設した１対の昇降装置により構成することができる。

また、傾斜検出手段を、フォークの傾き量を検出するセンサにより構成することができる。

また、傾斜検出手段を、昇降装置のモータの電流値からワークの重量を算出し、フォークの傾き量に換算する換算回路により構成することができる。

本発明の移載機によれば、ベースからフォークを水平移動させるアームと、該アームのベースを昇降させる昇降装置とを備えた移載機において、アームのベースを傾斜させる傾斜機構と、ワークの重量により傾斜するフォークの傾き量を検出する傾斜検出手段と、該傾斜検出手段が検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォークの傾きを補正する補正回路とを備えることから、フォークの傾き量に応じてアームのベースを傾斜させ、フォークの傾きを略水平に補正することができ、これにより、ワークと置台間やワークとフォーク間の滑りをなくして移載時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる。

また、傾斜機構を、ベースの下でフォークの移動方向前後に配設した１対の昇降装置で構成することにより、前後の昇降装置の昇降量を制御することで、アームのベースを容易に傾斜させることができる。

また、傾斜検出手段を、フォークの傾き量を検出するセンサで構成することにより、フォークの傾き量をより正確に検出し、検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォークの傾きを補正することができる。

また、傾斜検出手段を、昇降装置のモータの電流値からワークの重量を算出し、フォークの傾き量に換算する換算回路により構成することにより、フォークの傾き量をこの換算回路で検出し、検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォークの傾きを補正することができる。

以下、本発明の移載機の実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図２に、本発明の移載機の一実施例を示す。
この移載機は、ベース１からフォーク２を水平移動させるアーム３と、該アーム３のベース１を昇降させる昇降装置４とを備え、本実施例では、スタッカクレーンの台車５に搭載されている。
そして、この移載機は、アーム３のベース１を傾斜させる傾斜機構と、ワークＷの重量により傾斜するフォーク２の傾き量を検出する傾斜検出手段６と、該傾斜検出手段６が検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォーク２の傾きを補正する補正回路（図示省略）とを備えている。

フォーク２は、ハンドとも呼ばれ、アーム３の先端に設けられている。
フォーク２は、カセット等のワークＷを載置し、アーム３の伸縮により置台（ストッカ）とベース１の間を移動する。

アーム３は、本実施例では、互いに枢支された第１アーム３１と第２アーム３２を左右１対に有し、第２アーム３２の先端部をフォーク２に枢着するとともに、第１アーム３１の基部を駆動軸３３に接続し、この駆動軸３３で第１アーム３１を揺動させることによりアーム３が伸縮する。
なお、アーム３は、スタッカクレーンの左右いずれにもフォーク２を水平移動させることができ、また、アーム３としては、テレスコピック状のものも使用することができる。

昇降装置４は、本実施例では、アーム３のベース１を傾斜させる傾斜機構を兼用しており、ベース１の下で、フォーク２の移動方向の前後に配設した１対の昇降装置４１、４２からなる。
すなわち、図１（ｂ）に示すように、前の昇降装置４１と、後の昇降装置４２の昇降量を制御することで、アーム３のベース１を任意の角度に傾斜させ、フォーク２の傾きを補正するようにしている。

傾斜検出手段６は、例えば、フォーク２の傾き量を検出する、傾斜レベル計等のセンサで構成することができる。
置台側に移動したフォーク２の傾き量をこのセンサで検出し、検出した傾き量を補正回路に送ることにより、この傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォーク２の傾きを補正することができる。

また、傾斜検出手段６は、昇降装置４のモータの電流値からワークＷの重量を算出し、フォーク２の傾き量に換算する換算回路（図示省略）により構成することもできる。
フォーク２の傾き量は、ワークＷの重量に対応した値となるため、ワークＷの重さによりフォーク２の傾き量はほぼ一定となる。
したがって、傾斜レベル計等のセンサを使用しなくても、昇降装置４のモータの電流値でワークＷの重量を算出し、傾き量に換算して補正量を決定することができる。

補正回路は、図１に示すように、傾斜検出手段６が検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォーク２の傾きを補正する。
この場合、傾斜レベル計等のセンサにてフォーク２の傾き量を検出することによって、よりきめ細かく補正量を決定することができる。

次に、本実施例の移載機の作用を説明する。
フォーク２は、移載前のベース１上にある状態から見て、アーム３を伸ばすことにより、ワークＷがフォーク上にない状態でも傾きが生じる。
その状態からワークＷがフォーク２に載ることにより、さらにフォーク２の傾き量が増加する。
フォーク２が傾いた状態でワークＷに触れ、その状態でフォーク２の傾き量が増加する際に、ワークＷの位置がフォーク上、置台上のそれぞれで微少に滑ってしまう。
フォーク２の傾きを補正することで、この滑りを完全になくすことはできないが、滑り量を最小にすることができる。

図１（ａ）において、前後の昇降装置４１、４２の昇降ストロークが同じか共にゼロの場合、フォーク２は落差δだけ傾く。
そこで、図１（ｂ）に示すように、昇降装置４の昇降ストロークを前側をＳＴ１、後側をＳＴ２（ＳＴ１＞ＳＴ２）とすることによってフォーク２の傾きを補正する。
例えば、フォーク２にその傾きを検知するセンサを取り付け、検出した傾き量から昇降装置４の昇降ストロークＳＴ１、ＳＴ２を決定することにより、よりきめ細かく補正量を決定することができる。

かくして、本実施例の移載機は、ベース１からフォーク２を水平移動させるアーム３と、該アーム３のベース１を昇降させる昇降装置４とを備えた移載機において、アーム３のベース１を傾斜させる傾斜機構と、ワークＷの重量により傾斜するフォーク２の傾き量を検出する傾斜検出手段６と、該傾斜検出手段６が検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォーク２の傾きを補正する補正回路とを備えることから、フォーク２の傾き量に応じてアーム３のベース１を傾斜させ、フォーク２の傾きを略水平に補正することができ、これにより、ワークＷと置台間やワークＷとフォーク２間の滑りをなくして移載時の発塵を減らし、ワークＷヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワークＷ内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくすることができる。

また、傾斜機構を、ベース１の下でフォーク２の移動方向前後に配設した１対の昇降装置４１、４２で構成することにより、前後の昇降装置４１、４２の昇降量を制御することで、アーム３のベース１を容易に傾斜させることができる。

また、傾斜検出手段６を、フォーク２の傾き量を検出するセンサで構成することにより、フォーク２の傾き量をより正確に検出し、検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォーク２の傾きを補正することができる。

また、傾斜検出手段６を、昇降装置４のモータの電流値からワークＷの重量を算出し、フォーク２の傾き量に換算する換算回路により構成することにより、フォーク２の傾き量をこの換算回路で検出し、検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォーク２の傾きを補正することができる。

以上、本発明の移載機について、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができる。

本発明の移載機は、フォークの傾きを略水平に補正することによって、移載時の発塵を減らし、ワークヘのゴミの影響を少なくするとともに、ワーク内のガラス基板が飛び出す可能性を少なくするという特性を有していることから、例えば、クリーンルームのスタッカクレーンやＲＧＶ：ＲａｉｌＧｕｉｄｅｄＶｅｈｉｃｌｅ（有軌道搬送台車）、ＯＨＶ：ＯｖｅｒＨｅａｄＶｅｈｉｃｌｅ（天井搬送台車）等に搭載する移載機の用途に広く好適に用いることができる。

本発明の移載機の一実施例を示し、（ａ）はワークの載置によりフォークが傾いた状態を示す正面図、（ｂ）は昇降装置によりフォークの傾きを補正した状態を示す正面図である。同移載機を示し、（ａ）はその正面図、（ｂ）は同平面図、（ｃ）は同左側面図である。

符号の説明

１ベース
２フォーク
３アーム
３１第１アーム
３２第２アーム
３３駆動軸
４昇降装置（傾斜機構）
４１前の昇降装置
４２後の昇降装置
５台車
６傾斜検出手段（センサ）

Claims

ベースからフォークを水平移動させるアームと、該アームのベースを昇降させる昇降装置とを備えた移載機において、アームのベースを傾斜させる傾斜機構と、ワークの重量により傾斜するフォークの傾き量を検出する傾斜検出手段と、該傾斜検出手段が検出した傾き量に基づいて傾斜機構を作動させ、フォークの傾きを補正する補正回路とを備えたことを特徴とする移載機。
傾斜機構が、ベースの下でフォークの移動方向前後に配設した１対の昇降装置からなることを特徴とする請求項１記載の移載機。
傾斜検出手段が、フォークの傾き量を検出するセンサからなることを特徴とする請求項１又は２記載の移載機。
傾斜検出手段が、昇降装置のモータの電流値からワークの重量を算出し、フォークの傾き量に換算する換算回路からなることを特徴とする請求項１又は２記載の移載機。