JP4460477B2 - 基板移送装置 - Google Patents
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Description
120 ブレード
130 クランピング部材
132 空圧シリンダ
134 移動プッシャ
136 コネクタ
Claims (9)
- 基板を移送させるための装置において、
駆動手段によって動作が制御されるロボットアーム部と、
前記ロボットアーム部の先端に結合されてY字状に広がって前記基板が置かれるように延在して、その終端に一対の固定フィンガが設けられて前記基板が片側エッジを接触させて置かれるブレードと、
前記ブレードに設けられ、前記ブレードに置かれた基板を前記固定フィンガの方に押してセンタリングを調整した正位置に位置させると同時に把持するクランピング部材と、を含み、
前記クランピング部材は、
前記固定フィンガの方にスライド移動させる移動軸を有した駆動部と、
前記駆動部が設けられるケースと、
前記駆動部の移動軸と連結されて前記ケースの外に延在するコネクタ、及び前記コネクタから両側に各々延長されて形成される一対のサポータ、並びに前記一対のサポータの終端に各々設けられて前記基板のエッジと接触して前記固定フィンガの方に押して把持する一対の移動フィンガを有した移動プッシャと、を含んでなり、
当該クランピング部材は、さらに、
前記移動プッシャの移動距離を前記基板の収縮または膨張の程度に従って変えて調整して規制する少なくとも一つのストッパを含むことを特徴とする基板移送装置。 - 前記駆動部は、
空圧シリンダからなることを特徴とする請求項1に記載の基板移送装置。 - 前記空圧シリンダのシリンダ位置を感知して、基板が正常に把持されたか、または逸脱したかを判別する感知部をさらに含むことを特徴とする請求項2に記載の基板移送装置。
- 前記空圧シリンダのシリンダ位置は待機、把持、および逸脱領域に区分され、
前記感知部は、
前記シリンダが待機領域にあることを感知する第1センサと、
前記シリンダが把持領域からはずれて逸脱領域にあることを感知する第2センサとを含むことを特徴とする請求項3に記載の基板移送装置。 - 前記感知部は前記ブレードに基板が位置したかを感知する第3センサをさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の基板移送装置。
- 前記ストッパは前記ケースにねじ式で設けられ、当該ケース内の前記移動軸の前進移動距離(L)を、前記ストッパの位置を調整することによって規制して、前記移動プッシャの前進動作時、前記基板との前記移動距離を調整可能としたことを特徴とする請求項1に記載の基板移送装置。
- 前記クランピング部材は、
前記移動プッシャと前記基板との接触時に発生する衝撃を緩和するために前記移動プッシャの移動速度を調節可能とする衝撃防止用スプリングをさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の基板移送装置。 - 前記衝撃防止用スプリングは前記ケースと前記移動軸との間に位置することを特徴とする請求項7に記載の基板移送装置。
- 前記ブレードは基板の底面を支持する複数の支持突起を有することを特徴とする請求項1に記載の基板移送装置。
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