JP2009246371A - 投影光源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】画像分割器は、投影光源との使用に適合する画像分割器であって、入力面と、出力面と、入力面からの光を出力面へ再指向させる複数の要素とを含んでおり、出力面が、入力面と異なる矩形の形状を有し、複数の要素の少なくとも一つが、出力面のほぼ均一な放射照度を確実にするよう、複数の要素の少なくとも一つの光学的透過率を低下させる少なくとも一つの被膜を有する。
【選択図】なし
Description
入力面と:出力面と:入力面からの光を出力面へ再指向させる複数の要素と;を含んでおり、出力面が、入力面と異なる矩形の形状を有し、複数の要素の少なくとも一つが、出力面のほぼ均一な放射照度を確実にするよう、複数の要素の少なくとも一つの光学的透過率を低下させる少なくとも一つの被膜を有することを特徴とする。
回路パターンの層が目標シリコン7に形成されると、シリコンの表面は粗面になる。従って、投影器は、大きい焦点深度を有していなければならない。この大きい焦点深度を得るために、投影器は、対称な入射ひとみ放射照度、対称な入射ひとみ分布、一様な開口数、及び高度のテレセントリック性を有する弓状の光帯を発生する投影光源を必要とする。投影光源100は、この様な光を発生する。
図6は、前部集積器119の出力面128の相対的放射照度を示すグラフである。水平と垂直の軸は、出力面128の位置に対応する。陰影部分は、各位置における正方形の光帯124の放射照度に相当する。グラフは、出力面128における正方形の光帯124の放射照度が、±0.4%以内で均一であることを示している。
外部タイプの要素184もまた、形状が内部タイプの要素より複雑である。外部タイプの要素184は、平らなブロック185と186およびプリズム187〜190から製作されている。これらの平らなブロックとプリズムは、すべて、小さい空気の間隙により分離されており、平らなブロックとプリズムとの接合部もまた、要素の光学的透過率を僅かに低下する内部屈折面を形成している。
レンズのすべての面は、研磨され、反射防止膜が施されている。レンズの縁は研削され、黒染めされている。レンズ231〜240の仕様は、表1に記載されている。
好適な実施態様において、中継器104は、投影光源100の開口絞りを備えている。開口絞り240aは、後で述べる理由から、中継器の共通軸から外れている。開口絞り204aは、半径が83.1mmで、y軸から−2.753mm外れている。絞りは、球面レンズ235と球面レンズ236の間に配置されている。
注1と2:
これらは、次式で与えられた非球面定数を有する非球面レンズである:
注1:
CURV1 = -0.005185
CURV2 = -0.007705
A = 2.93507e-7
B = -1.84177e-11
C = 1.38092e-15
注2:
CURV1 = -0.011250
CURV2 = -0.008109
A = -2.73417e-7
B = 3.10268e-13
C = 1.86346e-15
注3:
これは、次式により与えられた非球面定数を有する非球面レンズである。
K = -0.825452
放物面鏡246は、形状が円弧状である。円弧状の形状は、曲率がほぼテレセントリック性の弓状の光帯とほぼ同じである。図17の線B−Bで示された放物面鏡246の断面247は、通径上のものである。好適な実施態様において、放物面鏡246は、95%より高い反射の、高度のアルミニウムの反射被膜が施されている。
手短に言えば、他の実施態様において、投影光源の使用に適した再映像器は、複数の鏡、レンズ系、およびレンズ系内の開口絞りを備えている。光は複数の鏡の少なくとも一つで反射して、レンズ系を通過する。レンズ系において、テレセントリック性のひとみの画像は、内部の絞りに形成され、出力露出とテレセントリック性を制御するように、アイリスまたは機械的絞りにより縁取りされる。レンズ系を通過した後、光は少なくとも他の複数の鏡で反射する。
Claims (13)
- 投影光源との使用に適合する画像分割器であって:
入力面と:
出力面と:
入力面からの光を出力面へ再指向させる複数の要素と;を含んでおり、
出力面が、入力面と異なる矩形の形状を有し、複数の要素の少なくとも一つが、出力面のほぼ均一な放射照度を確実にするよう、複数の要素の少なくとも一つの光学的透過率を低下させる少なくとも一つの被膜を有することを特徴とする画像分割器。 - 請求項1に記載の画像分割器において:入力面が、正方形であることを特徴とする画像分割器。
- 請求項1に記載の画像分割器において:複数の要素がさらに、
光を入力面から出力面へ真っ直ぐに進行させる内部要素と;
光を入力面の内部要素の傍らから出力面の内部要素の末端へ再指向する二つの中間要素と;
光を入力面の中間要素の傍らから出力面の中間要素の末端へ再指向する二つの外部要素;を含んでいることを特徴とする画像分割器。 - 請求項3に記載の画像分割器において:内部要素と中間要素が、光学的透過率を低下する少なくとも一つの被膜をそれぞれ有することを特徴とする画像分割器。
- 請求項2に記載の画像分割器において:複数の要素がさらに平らなブロックとプリズムを含んでいることを特徴とする画像分割器。
- 請求項5に記載の画像分割器において:平らなブロックとプリズムが小さい空気の間隙により分離されていることを特徴とする画像分割器。
- 請求項5に記載の画像分割器において:複数の要素の一つを含んでいる少なくとも一つの平らなブロックまたはプリズムが、複数の要素の他の要素を含んでいる少なくとも一つの平らなブロックまたはプリズムと同じ形状であることを特徴とする画像分割器。
- 請求項5に記載の画像分割器において:光学的透過率を低下する少なくとも一つの被膜が、複数の要素の少なくとも一つの内面上にあり、前記内面が他の平らなブロックまたはプリズムに隣接する平らなブロックまたはプリズムの面であることを特徴とする画像分割器。
- 請求項1に記載の画像分割器において:複数の要素が紫外線透過グレードの溶融シリカで製作されており、これにより、画像分割器が熱負荷に耐えることを特徴とする画像分割器。
- 入力光を矩形の光帯へ変形する方法において:
入力光を複数の光帯へ分割する分割ステップと;
複数の光帯を矩形の光帯へ再指向する再指向ステップと;
矩形の光帯のほぼ均一な放射照度を確実にするように、複数の光帯の少なくとも一つを減衰する減衰ステップと;を含んでいることを特徴とする光を集積する方法。 - 請求項10に記載の方法において;入力光が正方形の光帯であることを特徴とする光を集積する方法。
- 請求項11に記載の方法において;減衰ステップが、分割ステップおよび再指向ステップと同時に発生することを特徴とする光を集積する方法。
- 請求項11に記載の方法において:
分割ステップにおいて、正方形の光帯が、内部光帯、二つの中間光帯、および二つの外部光帯へ分割され;
再指向ステップにおいて、内部光帯が、矩形の光帯の中心へ再指向され、二つの中間光帯が、矩形の光帯の内部光帯の末端へ再指向され、二つの外部光帯が、矩形の光帯の中間光帯の末端へ再指向され;
内部光帯と中間光帯は減衰ステップにおいて減衰されること;を特徴とする光を集積する方法。
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