JP2009246192A - 回収治具、及び当該回収治具を備えた汚染物回収装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の汚染物回収装置に設けられた回収治具30は、回収本体31と制御手段32とを備えている。制御手段32は、回収本体31の上部に螺着することで、液体を貯留した、回収本体31の貯留部34を密閉することができる。これにより、貯留部34に貯留された液体を外部に露出するための、回収本体31の貫通部35に、ウエハを挿入した際、ウエハの外周部端面のみ液体を接触させることができる。
【選択図】図4
Description
図4に示した回収治具30として、図8に示すような寸法の回収治具30を用いた。すなわち、回収本体31には、図8に示す寸法のPTFE製のものを用いた。また、制御手段32は、枠部32aとして図8に示す寸法のPFA製のものを用い、芯部32bとして図8に示す寸法のPTFE製のものを用いた。
比較例として、制御手段32を備えていない回収治具を用いて、実施例1と同じ検証を行なった。比較例で用いる回収治具は、実施例1の回収本体31と同一である。
上記実施例1で用いたシリコンウエハに代えて、本実施例では100nmSiO2膜付きのシリコンウエハを用いた。また、上記実施例1で用いた希王水溶液に代えて、本実施例では、フッ化水素水溶液(HF溶液)を用いた。回収治具は、実施例1で使用したものと同一である。また、接触処理についても、実施例1の接触処理と同一である。
10 ウエハ回転体
10a 保持部
10b 回転部
20 駆動体
20a 回収治具ホルダー
20b 駆動機構
30、30´ 回収治具
30−1 回収治具
30−2 回収治具
31 回収本体
31a 本体下部
31b 本体上部
32 制御手段
32a 枠部
32b 芯部
33 フランジ部
34 貯留部
35、35´ 貫通部
36 ネジ山
37 ネジ山
38 雌ネジ
39 底面
40 底面
41 通気孔
50 支持台
W 半導体ウエハ
Claims (12)
- 基板に液体を接触させて当該基板に付着した汚染物を回収するための汚染物回収装置に配設される回収治具であって、
上記液体を貯留する貯留部、及び
上記貯留部と外部とを連通し、且つ上記貯留部に貯留されている液体の一部を外部に露出させて上記基板に付着させるように構成された貫通部が設けられており、
上記貫通部にて、貫通部に露出した液体と基板とが接触したときの液体の接触範囲を制御する制御手段が、取り外し可能な状態で配されていることを特徴とする回収治具。 - 上記制御手段は、上記貫通部に露出した液体に対して上記貯留部からかかる圧力を制御することを特徴とする請求項1に記載の回収治具。
- 上記制御手段は、上記貫通部に液体が露出した状態の上記貯留部を密閉していることを特徴とする請求項1に記載の回収治具。
- 上記制御手段は、上記密閉した状態において上記貯留部の容積を変化させることを特徴とする請求項3に記載の回収治具。
- 上記制御手段は、上記貯留部に上記液体が貯留されたときに上記貯留部に形成される空間に隣接して配置されており、当該空間の気圧を変化させることを特徴とする請求項3に記載の回収治具。
- 上記貫通部は、上記貯留部と外部とを水平方向に連通するように形成されており、且つ上記基板の厚さよりも大きく開口していることを特徴とする請求項1から5までの何れか1項に記載の回収治具。
- 上記貫通部は、上記貯留部と外部とを、水平に対して垂直な方向に連通するように形成されており、且つ上記基板の厚さよりも大きく開口していることを特徴とする請求項1から5までの何れか1項に記載の回収治具。
- 上記回収治具は、内径が互いに異なる筒構造の本体上部と本体下部とが互いの中空部が連通するように一軸方向に上下に並んでいる回収本体を備えており、
上記貯留部は、上記本体下部の中空部として形成されており、
上記本体上部における上記本体下部との境界部には、当該本体上部と当該本体下部とを繋ぐ、上記筒構造の径方向に延びた底部を有しており、
上記制御手段は、上記本体上部の中空部に挿入することによって取り付けられることを特徴とする請求項1から7までの何れか1項に記載の回収治具。 - 上記筒構造は、円筒構造であり、
上記本体上部の中空部の壁面には、ネジ山が形成されており、
上記制御手段には、その側面に上記ネジ山と螺合するネジ山が形成されていることを特徴とする請求項8に記載の回収治具。 - 上記制御手段は、当該制御手段の底面を上記底部に接触させることによって、当該底部に設けられている上記本体下部の一端である開口部を封止するように構成されていることを特徴とする請求項8または9に記載の回収治具。
- 上記制御手段は、上記一軸方向に沿って動かすことができる芯部と当該芯部を囲む枠部とを有した二重構造となっており、
上記芯部と上記枠部とを相対的に動かすことによって、上記芯部の底面と上記枠部の底面との高さが可変するように構成されていることを特徴とする請求項8から10までの何れか1項に記載の回収治具。 - 請求項1から11までの何れか1項に記載の回収治具と、
上記基板の表面を水平に維持した状態で当該基板を回転させる基板回転体と、
上記回収治具と上記基板回転体とを相対移動させるための駆動体とを備えていることを特徴とする、基板の汚染物を回収するための汚染物回収装置。
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