JP2009245993A - レジスト液供給装置、レジスト液供給方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レジスト液供給装置200は、レジスト液を貯留するレジスト液供給源201を有している。レジスト液供給源201は、供給管202を介して塗布ノズル142に接続されている。供給管202のレジスト液供給源201側には、供給管202内のレジスト液を加熱するヒータ210が設けられている。ヒータ210は、レジスト液を23℃〜50℃に加熱することができる。供給管202の塗布ノズル142側には、供給管202内のレジスト液を冷却する温調配管214が設けられている。温調配管214は、レジスト液を23℃に冷却することができる。
【選択図】図6
Description
20〜22 レジスト塗布装置
142 塗布ノズル
200 レジスト液供給装置
201 レジスト液供給源
202 供給管
203 リキッドエンドタンク
205 フィルタ
210 ヒータ
211 温度調節器
212 ポンプ
213 バルブ
214 温調配管
215 温度調節器
300 制御部
400 温度センサ
W ウェハ
Claims (7)
- 基板にレジスト液を吐出する塗布ノズルに、レジスト液を供給するレジスト液供給装置であって、
内部にレジスト液を貯留するレジスト液供給源と、
前記レジスト液供給源から前記塗布ノズルへレジスト液を供給するための供給管と、
前記供給管の前記レジスト液供給源側に設けられ、前記供給管中のレジスト液を常温よりも高い所定の温度に加熱する加熱手段と、
前記供給管の前記塗布ノズル側に設けられ、前記供給管中のレジスト液を常温まで冷却する冷却手段と、を有することを特徴とする、レジスト液供給装置。 - 前記供給管には、レジスト液中の異物を除去するフィルタが設けられていることを特徴とする、請求項1に記載のレジスト液供給装置。
- 前記フィルタは、前記加熱手段より前記レジスト液供給源側に設けられていることを特徴とする、請求項2に記載のレジスト液供給装置。
- 前記加熱手段が設けられている前記供給管には、当該供給管内のレジスト液の温度を測定する温度センサが設けられ、
前記温度センサでの測定結果に基づいて、前記加熱手段の加熱温度を制御する制御部をさらに有することを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のレジスト液供給装置。 - 基板にレジスト液を供給するレジスト液供給方法であって、
レジスト液を常温より高い所定の温度まで加熱する工程と、
その後、レジスト液を常温まで冷却する工程と、
その後、基板にレジスト液を供給する工程と、を有することを特徴とする、レジスト液供給方法。 - 請求項5のレジスト液供給方法をレジスト液供給装置によって実行させるために、当該レジスト液供給装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項6に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
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