JP2009244745A - 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 - Google Patents
感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009244745A JP2009244745A JP2008093342A JP2008093342A JP2009244745A JP 2009244745 A JP2009244745 A JP 2009244745A JP 2008093342 A JP2008093342 A JP 2008093342A JP 2008093342 A JP2008093342 A JP 2008093342A JP 2009244745 A JP2009244745 A JP 2009244745A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- resin composition
- photosensitive resin
- carbon atoms
- represented
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Abstract
【解決手段】アントラセン骨格もしくはチオキサントン骨格を有し、塩基発生部位としてCH22−Y+X−(ここでY+は特定の第4級アンモニオ基、X−はそのカウンターイオン)が置換された特定の化合物である光塩基発生剤、及びポリイミド前駆体を含有する感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
Description
半導体集積回路やプリント基板上の回路パターン形成は、素材表面へのレジスト剤の造膜、所定箇所への露光、エッチング等による不要箇所の除去、基板表面の洗浄作業等の煩雑で多岐に亘る工程を経て行われることから、回路パターンの製造工程を簡略化するために、露光、現像によるパターン形成後も必要な部分のレジストを絶縁材料としてそのまま残して用いることができる耐熱感光性材料が望まれている。これらの材料として、ポリイミドをベースポリマーとした耐熱感光性材料が提案されている。
また、本発明の第二の目的は、400nm以上の波長領域、例えばg線(波長:436nm)、h線(波長:405nm)領域に、光反応活性を有する感光性樹脂組成物を提供することにある。
本発明に用いられる上記式(1)、式(2)で表される光塩基発生剤は、電磁波を照射するとベンジル位の水素が引き抜かれた後、ラジカル的に結合が開裂し、塩基性物質であるアミンもしくはアミジンを発生させるので、塩基の作用によって最終生成物への反応が促進されるポリイミド前駆体に対して、非常に有効な感光性成分として作用する。
本発明によれば、従来、露光部と未露光部の間で溶解性のコントラストを取りにくかったポリイミド前駆体についても、溶解阻害剤、溶解抑制剤の適用なしで良好なパターン形状を得ることができる。
特に、本発明に係る感光性組成物は、主にパターン形成材料(レジスト)として用いられ、それによって形成されたパターンは、永久膜として耐熱性や絶縁性を付与する成分として機能し、例えば、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー用フィルム、半導体装置、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、その他の光学部材、又は建築材料を形成するのに適している。
上記ネガ型パターン形成方法においては、ポリイミド前駆体と、光塩基発生剤として上記式(1)または(2)で表されるような光塩基発生剤を組み合わせて用いることにより、感光性樹脂組成物からなる塗膜又は成形体の表面を現像液から保護するためのレジスト膜を用いずに、現像を行うネガ型パターン形成が可能である。
特に前記本発明に係る上記式(1)、式(2)で表される光塩基発生剤は、置換基の種類を選択することにより400nm以上の波長領域において光反応活性を有する。そのため、i線(波長:365nm)領域に強い吸収を持つ一般的なポリイミド前駆体においても、g線(波長:436nm)、h線(波長:405nm)の少なくともいずれか一方の領域の光を用いることにより、効率的に露光を行うことが可能であり、感度面の向上ならびに厚膜化に大きな効果を発揮する。
本発明によれば、従来、露光部と未露光部の間で溶解性のコントラストを取りにくかったポリイミド前駆体について、溶解阻害剤、溶解抑制剤の適用なしで良好なパターン形状を得ることができる。
なお、本発明において、塩基発生部位としてCH2−Y+X−(ここでY+は特定の第4級アンモニオ基、X−はそのカウンターイオン)が置換された化合物の結合を開裂させる電磁波とは、水素引き抜き反応を引き起こすことが可能なものであればよく、可視及び非可視領域の波長の電磁波だけでなく、電子線のような粒子線、及び、電磁波と粒子線を総称する放射線又は電離放射線が含まれる。
本発明の感光性樹脂組成物には、一般式(1)で表される光塩基発生剤、及び/又は、一般式(2)で表される光塩基発生剤が用いられる。
なお、置換基R1または置換基R2の置換数n又はmが2以上の場合、n個のR1およびm個のR2同士は、それぞれ同一であっても異なっていても良い。
置換数mは、0〜9の整数であり、光分解性の観点から、好ましくは1〜4、さらに好ましくは1〜3、特に好ましくは1又は2である。
置換基(R1又はR2)及び脱離基(Z)を持つメチル基を有するチオキサントン又はアントラセンを有機溶剤に溶解しておいて、これにアミンを加えることが好ましい。アミンの加え方は、滴下してもよいし、有機溶剤で希釈してから滴下してもよい。
M+X−のM+としては、アルカリ金属イオン(ナトリウムイオン及びカリウムイオン)及び銀イオンが含まれる。
なお、中間体を得てから引き続き、アニオン交換を行ってもよいし、中間体を単離・精製してから、再度、有機溶剤に溶解して、アニオン交換を行ってもよい。
目的の光塩基発生剤に対応した置換基(R1又はR2)及び脱離基(Z)を持つメチル基を有するチオキサントン又はアントラセンは、目的の光塩基発生剤に対応した置換基(R1又はR2)を有するメチルチオキサントン又はメチルアントラセンを製造した後、メチル基に脱離基(Z)を導入してもよいし、目的の光塩基発生剤に対応した置換基(R1又はR2)を有するチオキサントン又はアントラセンにホルミル化した後、還元してから、脱離基(Z)を導入してもよい。以下、これらの方法について簡単に説明する。
ハロゲン化(臭素化が好ましい)は種々の方法で行うことができるが、ハロゲン(臭素が好ましい)を用いる方法又はラジカル発生剤を併用したN−ブロモスクシンイミドを用いた方法が簡便で好ましい(第4版実験化学講座19日本化学会編p422)。
中でも前記光塩基発生剤は、436nm、及び405nmの波長の電磁波のうち少なくとも1つの波長に吸収を有するだけでなく、405nmの波長の電磁波に対して光分解性を有することが好ましい。436nm、及び405nmの波長の電磁波のうち少なくとも1つの波長に吸収を有していてもこのような波長の電磁波に対して光分解性を有しない場合もある。
405nmの波長の電磁波に対して光分解性を有するかどうかは、例えば、i線(波長:365nm)を全く通さないフィルターを介して高圧水銀灯を用いて光塩基発生剤に照射して、光塩基発生剤が分解するか否か、或いは塩基性物質を発生させるか否かを観測することによって判断できる。
本発明に用いるポリイミド前駆体は、なんらかの溶媒(有機溶剤、又は水溶液)に可溶なものであることが好ましい。溶媒(有機溶剤、又は水溶液)に可溶なものであると、ポリイミド前駆体の当該溶媒に対する溶解性を変化させることにより、その可溶な溶媒を現像液として用いて、適宜、有機溶剤、塩基性水溶液、酸性水溶液、又は中性水溶液による現像をすることが可能になる。
ここで、ある溶媒に可溶とは、具体的には、基板上に形成された塗膜の25℃における当該溶媒に対する溶解速度が、100Å/sec以上を目安とする。当該溶解速度は1000Å/sec以上であることがさらに好ましい。
例えば、塩基性水溶液に可溶なものは、具体的には、基板上に形成された塗膜の25℃における0.1wt%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液に対する溶解速度が、100Å/sec以上である。当該溶解速度は1000Å/sec以上であることがさらに好ましい。さらには、より一般的に用いられる現像液である2.38重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液に対する溶解速度が、100Å/sec以上であることが好ましく、1000Å/sec以上であることがさらに好ましい。上記定義による溶解速度が100Å/secより小さい場合、現像時間が遅くなり作業性、生産性が悪くなると共に、露光部、未露光部間の溶解性コントラストが得にくくなる。
したがって、本発明の感光性樹脂組成物のある溶媒に対しての溶解速度は、25℃における当該溶媒に対する溶解速度が、100Å/sec以上であることが好ましく、1000Å/sec以上であることがさらに好ましい。
単位時間当たりの溶解速度は、上記の方法と同様にして求められ、感光性樹脂組成物の塗膜にパターン露光を行い、露光後の加熱を行った後に、露光部、未露光部の溶解速度を、それぞれ求める。
このような塩基性物質の存在の有無により反応温度差が出来る場合には、反応温度差を利用して、塩基性物質と共存するポリイミド前駆体のみが最終生成物へと反応する適切な温度で加熱することにより、塩基性物質と共存するポリイミド前駆体のみが最終生成物へと反応しある溶媒への溶解性が変化する。従って、塩基性物質の存在の有無によって、ポリイミド前駆体のある溶媒への溶解性を変化させることが可能となり、ひいては当該溶媒を現像液として用いて現像によるパターニングが可能になる。よって、本発明に用いられるポリイミド前駆体としては、塩基性物質の作用によって最終生成物への反応が促進され、且つ、加熱により溶解性が、加熱前に比べて低く変化するポリイミド前駆体が好適に用いられる。
ポリアミック酸は、酸2無水物とジアミンを溶液中で混合するのみで得られるので、1段階の反応で合成することができ、合成が容易で低コストで入手できるので好ましい。
副次的な効果として、用いるポリイミド前駆体がポリアミック酸である場合、塩基性物質の触媒効果によりイミド化に要する温度が低くても充分な為、最終キュア温度を300℃未満、更に好ましくは250℃以下まで下げることが可能である。従来のポリアミック酸はイミド化するために最終キュア温度を300℃以上とする必要があった為、用途が制限されていたが、最終キュア温度を下げることが可能になったことによって、より広範囲の用途に適用が可能である。
ここで、全芳香族ポリイミド前駆体とは、芳香族酸成分と芳香族アミン成分の共重合、又は、芳香族酸/アミノ成分の重合により得られるポリイミド前駆体及びその誘導体である。また、芳香族酸成分とは、ポリイミド骨格を形成する4つの酸基が全て芳香族環上に置換している化合物であり、芳香族アミン成分とは、ポリイミド骨格を形成する2つのアミノ基が両方とも芳香族環上に置換している化合物であり、芳香族酸/アミノ成分とはポリイミド骨格を形成する酸基とアミノ基がいずれも芳香族環上に置換している化合物である。ただし、後述する原料の具体例から明らかなように、全ての酸基又はアミノ基が同じ芳香環上に存在する必要はない。
さらに目的に応じ、架橋点となるエチニル基、ベンゾシクロブテン−4’−イル基、ビニル基、アリル基、シアノ基、イソシアネート基、及びイソプロペニル基のいずれか1種又は2種以上を、上記ジアミンの芳香環上水素原子の一部若しくは全てに置換基として導入しても使用することができる。
さらに、2つ以上の芳香族環が単結合により結合し、2つ以上のアミノ基がそれぞれ別々の芳香族環上に直接又は置換基の一部として結合しているジアミンが挙げられ、例えば、下記式(20)により表されるものがある。具体例としては、ベンジジン等が挙げられる。
具体例としては、2,2’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、2,2’−ジトリフルオロメチル−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジクロロ−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメトキシ−4,4’−ジアミノビフェニル、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビフェニル等が挙げられる。
また、最終的に得られるポリイミドを光導波路、光回路部品として用いる場合には、芳香環の置換基としてフッ素を導入すると1μm以上の波長の電磁波に対しての透過率を向上させることができる。
ここで、選択されるジアミンは耐熱性の観点より芳香族ジアミンが好ましいが、目的の物性に応じてジアミンの全体の60モル%、好ましくは40モル%を超えない範囲で、脂肪族ジアミンやシロキサン系ジアミン等の芳香族以外のジアミンを用いても良い。
このようにして合成されるポリイミド前駆体は、最終的に得られるポリイミドに耐熱性及び寸法安定性を求める場合には、芳香族酸成分及び/又は芳香族アミン成分の共重合割合ができるだけ大きいことが好ましい。具体的には、イミド構造の繰り返し単位を構成する酸成分に占める芳香族酸成分の割合が50モル%以上、特に70モル%以上であることが好ましく、イミド構造の繰り返し単位を構成するアミン成分に占める芳香族アミン成分の割合が40モル%以上、特に60モル%以上であることが好ましく、全芳香族ポリイミドであることが特に好ましい。
露光波長に対してポリイミド前駆体の透過率が高いということは、それだけ、光のロスが少ないということであり、高感度の感光性樹脂組成物を得ることができる。
中でも、前記本発明に係る光塩基発生剤と組み合わせる点から、少なくとも436nm、405nmの波長の電磁波のうち1つの波長の電磁波に対する透過率が、厚み5μmのフィルムに成膜した時で好ましくは5%以上、更に好ましくは15%、より更に好ましくは50%以上であることが望ましい。
ここで用いている分子量とは、ゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)によるポリスチレン換算の値のことをいい、ポリイミド前駆体そのものの分子量でも良いし、無水酢酸等で化学的イミド化処理を行った後のものでも良い。
感光性樹脂組成物を溶解、分散又は希釈する溶剤としては各種の汎用溶剤を用いることが出来る。また、ポリイミド前駆体としてポリアミック酸を用いる場合には、ポリアミック酸の合成反応により得られた溶液をそのまま用い、そこに必要に応じて他の成分を混合しても良い。
増感剤と呼ばれる化合物の具体例としては、チオキサントン及び、ジエチルチオキサントンなどのその誘導体、シアニン及び、その誘導体、メロシアニン及び、その誘導体、クマリン系及び、その誘導体、ケトクマリン及び、その誘導体、ケトビスクマリン、及びその誘導体、シクロペンタノン及び、その誘導体、シクロヘキサノン及び、その誘導体、チオピリリウム塩及び、その誘導体、キノリン系及び、その誘導体、スチリルキノリン系及び、その誘導体、チオキサンテン系、キサンテン系及び、その誘導体、オキソノール系及び、その誘導体、ローダミン系及び、その誘導体、ピリリウム塩及び、その誘導体等が挙げられる。
クマリン、ケトクマリン及び、その誘導体の具体例としては、3−(2’−ベンゾイミダゾール)−7−ジエチルアミノクマリン、3,3’−カルボニルビス(7−ジエチルアミノクマリン)、3,3’−カルボニルビスクマリン、3,3’−カルボニルビス(5,7−ジメトキシクマリン)、3,3’−カルボニルビス(7−アセトキシクマリン)等が挙げられる。
チオキサントン及び、その誘導体の具体例としては、ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントンなどが挙げられる。
本発明ではこれらの増感剤を1種または2種以上使用することができる。
中でも、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチルスルホキシド、ヘキサメチルフォスホアミド、N−アセチル−2−ピロリドン、ピリジン、ジメチルスルホン、テトラメチレンスルホン、ジメチルテトラメチレンスルホン、ジエチレングリコールジメチルエーテル、シクロペンタノン、γ−ブチロラクトン、α−アセチル−γ−ブチロラクトン等の極性溶媒が好適なものとして挙げられる。
また、上記増感剤の配合量はポリイミド前駆体の固形分100重量部に対して50重量部未満とすることが好ましく、30重量部未満とすることがより好ましい。また、最終的に得られる樹脂硬化物に求められる諸物性の低下を防ぐため、前記本発明に係る式(1)、(2)で表される光塩基発生剤と増感剤の合計がポリイミド前駆体100重量部に対して50重量部以下であることが望ましい。
また、その他の任意成分の配合割合は、感光性樹脂組成物の固形分全体に対し、0.1重量%〜20重量%の範囲が好ましい。0.1重量%未満だと、添加物を添加した効果が発揮されにくく、20重量%を超えると、最終的に得られる樹脂硬化物の特性が最終生成物に反映されにくい。なお、感光性樹脂組成物の固形分とは溶剤以外の全成分であり、液状のモノマー成分も固形分に含まれる。
例えば、本発明の感光性樹脂組成物から得られるポリイミドの窒素中で測定した5%重量減少温度は、250℃以上が好ましく、300℃以上がさらに好ましい。特に、はんだリフローの工程を通るような電子部品等の用途に用いる場合は、5%重量減少温度が300℃以下であると、はんだリフローの工程で発生した分解ガスにより気泡等の不具合が発生する恐れがある。
ここで、5%重量減少温度とは、熱重量分析装置を用いて重量減少を測定した時に、サンプルの重量が初期重量から5%減少した時点(換言すればサンプル重量が初期の95%となった時点)の温度である。同様に10%重量減少温度とはサンプル重量が初期重量から10%減少した時点の温度である。
また、本発明によれば、ポリイミド前駆体に前記本発明に係る式(1)、(2)で表される光塩基発生剤を混合するだけという簡便な手法で感光性ポリイミド樹脂組成物を得ることができることから、コストパフォーマンスにも優れる。
さらには、電磁波の照射により発生したアミンの触媒効果により、イミド化等の最終生成物への反応に要する処理温度を低減できる為、プロセスへの不可や製品への熱によるダメージを低減することが可能である。
本発明に係るネガ型パターン形成方法は、前記本発明に係る感光性樹脂組成物からなる塗膜又は成形体の表面に、所定のパターン状に電磁波を照射し、必要に応じて熱処理等の後処理を行って、前記塗膜又は成形体の電磁波照射部位の溶解性を選択的に低下させた後、現像することを特徴とする。
本発明に係る感光性樹脂組成物を何らかの支持体上に塗布し、所定のパターン状に電磁波を照射すると、露光部においてのみ、前記光塩基性物質が分解して塩基性物質を生成する。塩基性物質は、露光部のポリイミド前駆体の最終生成物への反応を促進する触媒として作用する。
熱処理等の後処理は、例えば、塩基性物質と共存する露光部のポリイミド前駆体に対してのみ、最終生成物へ反応させる処理とする。従って、熱処理をする場合には、例えば、塩基性物質が存在する露光部と、塩基性物質が存在しない未露光部とで、ポリイミド前駆体の環化率が異なるようになる温度で行うことが好ましい。
具体的には、例えば、120〜200℃で、1分〜20分加熱を行う。
この熱処理は、公知の方法であればどの方法でもよく、具体的に例示すると、空気、又は窒素雰囲気下の循環オーブン、ホットプレートによる加熱などが挙げられるが、特に限定されない。
塩基性水溶液としては、特に限定されないが、例えば、濃度が、0.01重量%〜10重量%、好ましくは、0.05重量%〜5重量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)水溶液の他、ジエタノールアミン、ジエチルアミノエタノール、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、炭酸水素ナトリウム、炭酸水素カリウム、トリエチルアミン、ジエチルアミン、メチルアミン、ジメチルアミン、酢酸ジメチルアミノエチル、ジメチルアミノエタノール、ジメチルアミノエチルメタクリレート、シクロヘキシルアミン、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、テトラメチルアンモニウムなどの水溶液等が挙げられる。
溶質は、1種類でも2種類以上でも良く、全体の重量の50%以上、さらに好ましくは70%以上、水が含まれていれば有機溶媒等を含んでいても良い。
また、有機溶剤としては、特に限定されないが、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、γ−ブチロラクロン、ジメチルアクリルアミドなどの極性溶媒、メタノール、エタノール、イソプロパノールなどのアルコール類、酢酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエステル類、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソブチルケトン、メチルイソブチルケトンなどのケトン類などを、単独であるいは2種類以上を組み合わせて添加してもよい。現像後は水にて洗浄を行う。この場合においてもエタノール、イソプロピルアルコールなどのアルコール類、乳酸エチル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどのエステル類などを水に加えても良い。
8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−1)の合成
(1)2−メチルチオキサントンの合成(中間体1)
硫酸139gを三角フラスコに仕込み、そこへジチオサリチル酸10gを加えた。1時間室温で攪拌し、氷浴にて冷却した。液温を20℃以下に保ちながらトルエン25gを少しずつ滴下した。滴下後室温にもどし、さらに2時間攪拌した。ビーカーに入れた水815gを攪拌しながら、反応液を少しずつ加えた後、析出した黄色固体をろ別した。この固体をジクロロメタン260gで溶解させ、水150gを加えた。そこへ24%KOH水溶液6.7gを加えて水層をアルカリ性とし、1時間攪拌した。分液操作にて水層を除去し、有機層を水130gで3回洗浄した。これを無水硫酸ナトリウムにて乾燥し、溶媒を留去して黄色固体8.7gを得た。1H−NMRによる分析の結果この黄色固体は、2−メチルチオキサントンと3−メチルチオキサントンの混合物(モル比2:1)であることを確認した。これを中間体1とする。
(2)2−ブロモメチルチオキサントンの合成(中間体2)
中間体1(メチルチオキサントン混合物)2.1gをシクロヘキサン120mlに溶解し、そこへN−ブロモスクシンイミド(和光純薬製)8.3g、過酸化ベンゾイル(和光純薬製)0.1gを加えた。昇温し還流下4時間反応させた。反応後溶媒を留去し、そこへクロロホルム50mlを加えて残渣を再溶解させた。これを水30gで3回洗浄し、分液操作により水層を除去した後、溶剤を留去し、褐色固体1.7gを得た。当該褐色固体を、酢酸エチルを用いて再結晶を行うことにより1.5gの黄色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄色固体が2−ブロモメチルチオキサントンであることを確認した。これを中間体2とする。
(3)8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドの合成(中間体3)
中間体2(2−ブロモメチルチオキサントン)1.0gをジクロロメタン85gに溶解し、そこへ1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセン(サンアプロ(株)製)0.5gを滴下した。滴下後発熱が見られた。室温下1時間攪拌し、ジクロロメタンを留去して白色固体2.2gを得た。さらに精製するためテトラヒドロフラン/ジクロロメタンにて再結晶を行い、白色固体1.2gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この白色固体は8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドであることを確認した。
(4)8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレートの合成
テトラフェニルボレートNa塩0.8gを水17gで溶解させ、そこへあらかじめクロロホルム50gに溶解させた中間体3(8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)1.0gを少しずつ滴下した。このまま1時間室温で攪拌した。水層を分液操作により除き、有機層を水で3回洗浄した。この有機層をエバポレーターにて濃縮し、黄色固体を得た。これをアセトニトリル/エーテルにて再結晶を行い、微黄色粉末1.3gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.5(d、1H)、8.4(s、1H)、8.0−7.6(m、5H)、5.1(s、2H)、3.8−3.7(m、2H)、3.7−3.5(m、4H)、3.0−2.9(m、2H)、2.1−2.0(m、2H)、1.8−1.5(m、6H)}、この微黄色粉末は目的物である8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−1)であることを確認した。
8−(10−ブトキシ−9−アントリル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−2)の合成
(1)9−ブトキシアントラセンの合成(中間体4)
100ml4つ口フラスコにアントロン(東京化成製)10.9g、トルエン23.6g、臭化n−ブチル(東京化成製)11.6g、テトラブチルアンモニウムブロマイド(和光純薬製)1.1gを加えた。そこへ48%水酸化カリウム水溶液を13.2g加え加熱した。還流下で5時間反応させた。反応液を室温まで冷却し分液漏斗にて有機層と水層を分けた。水層よりトルエン10gで2回抽出を行い、有機層と合わせた。有機層を水15gで3回洗浄し、水層を分液した後有機層を無水硫酸ナトリウムにて乾燥しエバポレーターにて有機溶剤を留去した。得られた淡黄色固体9.6gをイソプロピルアルコール30gにて再結晶操作を行い、淡黄色固体5.0gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この淡黄色固体は9−ブトキシアントラセンであることを確認した。
(2)9−ブトキシアントラセン−10−カルバルデヒドの合成(中間体5)
50mlナスフラスコに中間体4(9−ブトキシアントラセン)1.1g、N,N−ジメチルホルムアミド10mLを加え溶解させた。そこへオキシ塩化リン10mlを滴下した。若干の発熱が見られた。オイルバスを用いて昇温し、60℃にて反応を5時間行った。反応液を室温まで冷却し、100mlビーカーに50mlの氷水を加え、攪拌しながら反応液を加えた。直ちに析出物が現れた。30分攪拌し、酢酸エチル50mlを加えさらに15分攪拌した。これを分液漏斗に移し、静置後水層を分けた。水層を酢酸エチル20mlで3回抽出し、有機層と合わせた。有機層を無水硫酸ナトリウムにて乾燥後エバポレーターにて有機溶剤を留去した。1.0gの褐色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この褐色固体は9−ブトキシアントラセン−10−カルバルデヒドであることを確認した。
(3)9−ブトキシ−10−ヒドロキシメチルアントラセンの合成(中間体6)
100mlナスフラスコに中間体5(9−ブトキシアントラセン−10−カルバルデヒド)1.0gを仕込み、そこへテトラヒドロフラン7.5mlを加え溶解させた。そこへ水素化ホウ素ナトリウム(和光純薬製)0.04gを加えた。さらにメタノールを7.5ml加えた。ここで泡が発生した。このまま室温で6時間攪拌した。100mlビーカーに水を50g加え攪拌しながら反応液を徐々に投入した。そこへクロロホルム40gを加えさらに10分間攪拌後分液漏斗にて有機層と水層を分けた。水層はさらにクロロホルム20gで2回抽出を行い、有機層を合わせた。有機層を無水硫酸ナトリウムにて乾燥後エバポレーターにて有機溶剤を留去した。橙色オイルを得た。当該橙色オイルをヘキサンを用いて再結晶操作することにより、黄色結晶0.6gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この淡黄色固体は9−ブトキシ−10−ヒドロキシメチルアントラセンであることを確認した。
(4)8−(10−ブトキシ−9−アントリル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレートの合成
200ml4つ口フラスコに中間体6(9−ブトキシ−10−ヒドロキシメチルアントラセン)4.2gを仕込み、テトラヒドロフラン40mlを加えて溶解させた。そこへp−トルエンスルホン酸クロライド5.0gをテトラヒドロフラン10mlに溶解させたものを加えた。さらに1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセンを8.0g滴下した。徐々に固体が析出し始めた。60℃にて6時間反応させ、室温まで冷却した。そこへジクロロメタン50gと水50gを加え攪拌したところ析出した固体は溶解し、有機層と水層とに分離した。これを分液操作により分液し、有機層を水50gでさらに2回洗浄した。そこへテトラフェニルボレートNa塩3.4gを水25gで溶解させたものを加え、1時間激しく攪拌した。その後静置し、水層を分液操作により除去した。有機層を水20gで3回洗浄し、無水硫酸ナトリウムで乾燥後溶剤を留去し、黄褐色の固体を得た。これをアセトニトリル/エタノールにより再結晶することで黄色結晶10.8gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.4(d、2H)、8.3(d、2H)、7.8−7.6(m、4H)、7.3−7.1(m、8H)、7.0−6.8(m、8H)、6.8−6.7(m、4H)、5.8(s、2H)、4.2(t、2H)、3.8−3.7(m、2H)、3.5−3.3(m、6H)、2.8−2.7(m、2H)、2.0(m、2H)、1.9−1.6(m、10H)、1.0(t、3H)}、この黄色結晶は8−(10−ブトキシ−9−アントリル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−2)であることを確認した。
1−(9−アントリル)メチル−1−アザビシクロ〔2.2.2〕オクタニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−5)の合成
50mlナスフラスコにて9−クロロメチルアントラセン(アルドリッチ製)2.0gをクロロホルムに溶解し、そこへ1−アザビシクロ〔2.2.2〕オクタン(アルドリッチ製)1.0gを少量ずつ加えた。添加後若干の発熱が見られた。このまま室温下1時間攪拌した。100mlナスフラスコにテトラフェニルボレートNa塩4.0gを水40gで溶解させ、そこへ上記反応液を少しずつ滴下し、さらに1時間室温で攪拌した。水層を分液操作により除き、有機層を水で3回洗浄した。この有機層をエバポレーターにて濃縮し、白色固体を5.4g得た。これをアセトニトリルにて再結晶を行い、白色個体4.4gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.9(s、1H)、8.7(d、2H)、8.2(d、2H)、7.7(t、2H)、7.6(t、2H)、7.3−7.1(m、8H)、7.0−6.9(m、8H)、6.9−6.8(m、4H)、5.6(s、2H)、3.6−3.4(m、6H)、1.9(m、1H)、1.8−1.6(m、6H)}、この白色粉末は目的物である9−アントリルメチル−1−アザビシクロ〔2.2.2〕オクタニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−5)であることであることを確認した。
8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−2)の合成
(1)2−(2−メチルフェニルチオ)安息香酸(中間体7)の合成
100mlのナスフラスコに、2−メチルチオフェノール(東京化成製)2.5gと2−クロロ安息香酸(東京化成製)3.3gとDMF60mlを仕込み、そこへ水酸化カリウム2.4gと銅粉末0.6gを加えた。これをオイルバスにて130℃に加熱し、5時間攪拌した。室温まで冷却後、500ml三角フラスコに水200gを入れ、攪拌しながら反応液を徐々に加えた。そこへ5%塩酸を25g加えた。30分攪拌後ジエチルエーテル110gで2回抽出した。エーテル層を5%塩酸50gで洗浄し、さらに水60gで3回洗浄した。有機層の溶剤をエバポレーターにて濃縮し、白色固体を2.2g得た。1H−NMRによる分析の結果、この白色固体は目的物である2−(2−メチルフェニルチオ)安息香酸であることであることを確認した。
(2)4−メチルチオキサントンの合成(中間体8)
100mlのスクリュー管に中間体7(2−(2−メチルフェニルチオ)安息香酸)5.0gと硫酸50gを仕込み、60℃にて7時間攪拌した。500mlビーカーに氷水300gを入れ、攪拌しながら反応液を徐々に加えた。樹脂状物が析出した。これをジクロロメタン180gで溶解させ、さらに30分攪拌した。分液操作により水層を分離し、水層を48%水酸化カリウム水溶液にて中和した。そこへジクロロメタン200gを加え抽出した。有機層をあわせ、これを10%水酸化カリウム水溶液で洗浄、さらに水130gで3回洗浄し、有機層を無水硫酸ナトリウムで乾燥させた。溶剤を留去し、黄橙色の固体3.2gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄橙色固体は目的物である4−メチルチオキサントンであることであることを確認した。
(3)4−ブロモメチルチオキサントンの合成(中間体9)
中間体1(メチルチオキサントン混合物)に代えて中間体8(4−メチルチオキサントン)2.9gを用いた以外は合成例1中の中間体2の合成と同様にして、1.6gの淡褐色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この淡褐色固体は目的物である4−ブロモメチルチオキサントンであることであることを確認した。
(4)8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドの合成(中間体10)
中間体2(2−ブロモメチルチオキサントン)に代えて中間体9(4−ブロモメチルチオキサントン)1.5gを用いる以外は合成例1中の中間体3の合成と同様にして2.9gの褐色固体を得た。純度を上げるため、ジクロロメタン/THFにて再結晶を行い、淡黄色の固体1.8gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この淡黄色固体は目的物である8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドであることであることを確認した。
(5)8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレートの合成
中間体3(8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)に代えて中間体10(8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)1.5gを用いる以外は合成例1中の(4)と同様にして淡黄色固体1.9gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.5(m、2H)、8.0−7.8(m、2H)、7.7−7.6(m、3H)、7.3−7.1(m、8H)、7.0−6.8(m、8H)、6.8−6.7(m、4H)、5.0(s、2H)、3.8−3.4(m、6H)、2.9−2.8(m、2H)、2.2−2.0(m、2H)、1.7−1.5(m、6H)}、この淡黄色固体は目的物である8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−2)であることであることを確認した。
8−(7−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−3)の合成
(1)2−(4−メチルフェニルチオ)−5−メトキシ安息香酸(中間体11)の合成
2−メチルチオフェノールの代えて4−メチルチオフェノール(東京化成製)2.5g、2−クロロ安息香酸に代えて2−ブロモ−5−メトキシ安息香酸(東京化成製)4.9gを用いる以外は合成例4中の中間体7の合成と同様にして白色固体5.6gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この白色固体は目的物である2−(4−メチルフェニルチオ)−5−メトキシ安息香酸であることであることを確認した。
(2)2−メチル−7−メトキシチオキサントンの合成(中間体12)
中間体7(2−(2−メチルフェニルチオ)安息香酸)に代えて中間体11(2−(4−メチルフェニルチオ)−5−メトキシ安息香酸)5.6gを用いる以外は合成例4中の中間体8の合成と同様にして3.2gの黄色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この白色固体は目的物である2−メチル−7−メトキシチオキサントンであることであることを確認した。
(3)2−ブロモメチル−7−メトキシチオキサントンの合成(中間体13)
中間体1(メチルチオキサントン混合物)に代えて中間体12(2−メチル−7−メトキシチオキサントン)3.0gを用い、再結晶溶剤として酢酸エチルに代えてアセトンとした以外は合成例1中の中間体2の合成と同様にして、2.0gの淡黄色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この淡黄色固体は目的物である2−ブロモメチル−7−メトキシチオキサントンであることであることを確認した。
(4)8−(7−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドの合成(中間体14)
中間体2(2−ブロモメチルチオキサントン)に代えて中間体13(2−ブロモメチル−7−メトキシチオキサントン)2.0gを用いる以外は合成例1中の中間体3の合成と同様にして2.9gの褐色固体を得た。純度を上げるため、ジクロロメタン/THFにて再結晶を行い、黄褐色の固体2.7gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄褐色固体は目的物である8−(7−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドであることであることを確認した。
(5)8−(7−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレートの合成
中間体3(8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)に代えて中間体14(8−(7−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)2.7gを用いる以外は合成例1中の(4)と同様にして黄色固体3.9gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.4(s、1H)、8.0−7.9(m、2H)、7.8(d、1H)、7.7(d、1H)、7.5(d、1H)、7.3−7.1(m、8H)、7.0−6.8(m、8H)、6.8−6.7(m、4H)、5.0(s、2H)、3.9(s、3H)、3.7−3.6(m、2H)、3.6−3.4(m、4H)、2.1−1.9(m、2H)、1.8−1.4(m、6H)}、この黄色固体は目的物である8−(7−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−3)であることであることを確認した。
8−(2−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−4)の合成
(1)2−メトキシ−4−メチルチオキサントンの合成(中間体15)
トルエンに代えて3−メチルアニソール32gを用いる以外は合成例1中の中間体1の合成と同様にして黄色固体3.4gを得た。1H−NMRによる分析の結果この黄色固体は、2−メトキシ−4−メチルチオキサントンであることを確認した。
(2)4−ブロモメチル−2−メトキシチオキサントンの合成(中間体16)
中間体1(メチルチオキサントン混合物)に代えて中間体15(2−メトキシ−4−メチルチオキサントン)1.5gを用い、再結晶溶剤として酢酸エチルに代えて2−ブタノンとした以外は合成例1中の中間体2の合成と同様にして、0.7gの淡黄色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この淡黄色固体は目的物である4−ブロモメチル−2−メトキシチオキサントンであることであることを確認した。
(3)8−(2−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドの合成(中間体17)
中間体2(2−ブロモメチルチオキサントン)に代えて中間体16(4−ブロモメチル−2−メトキシチオキサントン)0.7gを用いる以外は合成例1中の中間体3の合成と同様にして1.1gの黄色固体を得た。純度を上げるため、ジクロロメタン/テトラヒドロフランにて再結晶を行い、黄白色の固体0.8gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄白色固体は目的物である8−(2−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドであることであることを確認した。
(4)8−(2−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレートの合成
中間体3(8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)に代えて中間体17(8−(2−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)0.7gを用いる以外は合成例1中の(4)と同様にして黄色固体0.8gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.5(d、1H)、8.0(s、1H)、7.9(d、1H)、7.8(t、1H)、7.6(t、1H)、7.3(s、1H)、7.2−7.1(m、8H)、7.0−6.8(m、8H)、6.8−6.7(m、4H)、5.0(s、2H)、4.0(s、3H)、3.8−3.4(m、6H)、2.9−2.8(m、2H)、2.2−2.0(m、2H)、1.8−1.5(m、6H)}、この黄色固体は目的物である8−(2−メトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−4)であることであることを確認した。
8−(2−アセトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−7)の合成
(1)2−ヒロドキシ−4−メチルチオキサントンの合成(中間体18)
トルエンに代えてm−クレゾール(和光純薬製)29gを用いる以外は合成例1中の中間体1の合成と同様にして黄緑色固体3.2gを得た。1H−NMRによる分析の結果この黄緑色固体は、2−ヒロドキシ−4−メチルチオキサントンであることを確認した。
(2)2−アセトキシ−4−メチルチオキサントンの合成(中間体19)
200mlナスフラスコに中間体18(2−ヒロドキシ−4−メチルチオキサントン)1.2gとテトラヒドロフラン78gとカリウムt−ブトキシド(ナカライテスク製)0.6gを仕込み、溶解させた。そこへアセチルクロリド(和光純薬製)1.1gを加えた。1時間反応させた後、溶剤を留去して1.8gの黄白色固体を得た。これをクロロホルム72g、テトラヒドロフラン22gに溶解させた。水50gで3回洗浄し、有機溶剤を濃縮した後析出した固体をメタノールにて再結晶を行ったところ、1.2gの黄白色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果この黄白色固体は、2−アセトキシ−4−メチルチオキサントンであることを確認した。
(3)2−アセトキシ−4−ブロモメチルチオキサントンの合成(中間体20)
中間体1(メチルチオキサントン混合物)に代えて中間体19(2−アセトキシ−4−メチルチオキサントン)1.1gを用いた以外は合成例1中の中間体2の合成と同様にして、1.0gの黄色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄色固体は目的物である2−アセトキシ−4−ブロモメチルチオキサントンであることであることを確認した。
(4)8−(2−アセトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドの合成(中間体21)
中間体2(2−ブロモメチルチオキサントン)に代えて中間体20(2−アセトキシ−4−ブロモメチルチオキサントン)0.48gを用いる以外は合成例1中の中間体3の合成と同様にして0.75gの黄色固体を得た。この黄褐色固体は目的物である8−(2−アセトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドであることであることを確認した。
(5)8−(2−アセトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレートの合成
中間体3(8−(9−オキソ−9H−チオキサンテン−2−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)に代えて中間体21(8−(2−アセトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)1.6gを用い、再結晶溶剤としてメタノールを用いる以外は合成例1中の(4)と同様にして黄色固体1.2gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.5(d、1H)、8.2(s、1H)、8.0(d、1H)、7.9(t、1H)、7.7(t、1H)、7.5(s、1H)、7.2−7.1(m、8H)、7.0−6.9(m、8H)、7.8−7.7(m、4H)、5.1(s、2H)、3.8−3.4(m、6H)、2.8(m、2H)、2.4(s、3H)、2.1−2.0(m、2H)、1.8−1.5(m、6H)}、この黄色固体は目的物である8−(2−アセトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−7)であることであることを確認した。
8−(2−ヒドロキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−8)の合成
200mlナスフラスコに中間体21(8−(2−アセトキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)2.9gを仕込み、そこへ水100g、10%塩酸2gを加えた。60℃で10時間反応させた。そこへ飽和炭酸水素ナトリウム水溶液9.1gを加え中和した。次いでテトラフェニルボレートナトリウム塩1.8gを水37gで溶解させたものを加え、30分攪拌した。析出した黄色固体を濾別し、クロロホルムにて洗浄を繰り返しし1.8gの黄色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):10.7−10.0(br、1H)、8.5(d、1H)、8.0−7.9(m、2H)、7.8(t、1H)、7.5(t、1H)、7.2−7.1(m、8H)、7.0−6.9(m、8H)、7.8−7.7(m、4H)、5.0(s、2H)、3.8−3.5(m、6H)、2.9−2.8(m、2H)、2.1−2.0(m、2H)、1.8−1.5(m、6H)}、この黄色固体は目的物である8−(2−ヒドロキシ−9−オキソ−9H−チオキサンテン−4−イル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(1−8)であることであることを確認した。
8−(9−アントリルメチル)−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−1)の合成
1−アザビシクロ〔2.2.2〕オクタンに代えて1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセン1.3gを用いた以外は実施例3と同様にして、白色固体4.7gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.8(s、1H)、8.3−8.1(m、4H)、7.8−7.5(m、4H)、7.2−7.1(m、8H)、7.0−6.8(m、8H)、7.8−7.7(m、4H)、5.9(s、2H)、3.8−3.7(m、2H)、3.5−3.2(m、6H)、2.8(m、2H)、2.0−1.6(m、8H)}、この黄色粉末は目的物である8−(9−アントリルメチル)−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−1)であることを確認した。
8−(10−アセチル−9−アントリルメチル)−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−3)の合成
(1)9−アセチル−10−メチルアントラセンの合成(中間体22)
100mlナスフラスコに9−メチルアントラセン(アルドリッチ製)4.8g、無水酢酸(和光純薬製)7.7g、アセトニトリル28.2gを仕込み、そこへメタンスルホン酸(和光純薬製)を加えた。65℃にて16時間反応させた。300ml三角フラスコに水75gを加え、そこへ反応液を注ぎ込んだ。ジクロロメタン150gを加えて15分攪拌した。分液により水層を分けた。さらに水80gで3回有機層を洗浄し、エバポレーターにて濃縮した。5.7gの褐色固体を得た。これをジクロロメタン/ヘキサンにて再結晶することにより暗赤色固体3.3gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄色粉末は目的物である9−アセチル−10−メチルアントラセンであることを確認した。
(2)9−アセチル−10−ブロモメチルアントラセンの合成(中間体23)
中間体1(メチルチオキサントン混合物)に代えて中間体22(9−アセチル−10−メチルアントラセン)0.17g、N−ブロモスクシンイミド(和光純薬(株)製)0.13gを用いる以外は合成例1中の中間体2の合成と同様にして0.12gの黄色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄色固体は目的物である9−アセチル−10−ブロモメチルアントラセンであることであることを確認した。
(3)8−(10−アセチル−9−アントリルメチル)−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレートの合成
中間体23(9−アセチル−10−ブロモメチルアントラセン)3.1gをクロロホルム25mlに溶解し、そこへ1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセン0.2gを滴下した。50℃にて4時間反応させた。テトラフェニルボレートNa塩0.4gを水10gで溶解させ、そこへ反応液を少しずつ滴下した。このまま1時間室温で攪拌した。水層を分液操作により除き、有機層を水で3回洗浄した。この有機層をエバポレーターにて濃縮して得られた、黄色固体をアセトニトリルにて再結晶を行い、黄色粉末3.8gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.4(d、2H)、7.9(d、2H)、7.8−7.6(m、4H)、7.3−7.1(m、8H)、7.0−6.8(m、8H)、6.8−6.7(m、4H)、5.9(s、2H)、3.8−3.7(m、2H)、3.5−3.3(m、6H)、2.9(s、3H)、2.8−2.7(m、2H)、1.9−1.6(m、8H)}、この黄色粉末は目的物である8−(10−アセチル−9−アントリルメチル)−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−3)であることを確認した。
8−(10−ベンゾイル−9−アントリルメチル)−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−4)の合成
(1)9−ベンゾイル−10−メチルアントラセンの合成(中間体24)
100ml4つ口フラスコを窒素置換し、そこへ塩化アルミニウム(和光純薬製)4.2g、ジクロロメタン50gを仕込んだ。氷浴にて5℃に冷却し、5℃を超えないようにベンゾイルクロリド(ナカライテスク製)4.5gをジクロロメタン30gで溶解させたものを徐々に滴下した。30分攪拌した後、9−メチルアントラセンをジクロロメタン10gで溶解させたものを5℃を超えないように滴下した。このまま5時間反応させた。ついで冷却しながら5%塩酸50gを滴下した。これを三角フラスコに移し、ジクロロメタン50g、5%塩酸30gをさらに加えて30分攪拌した。分液操作により水層を除去した。有機層を水20gで洗浄後、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液にて有機層を中和した。さらに水50gで2回洗浄を行い、有機層を濃縮し黄色固体を得た。エーテルにて黄色固体を洗浄し、6.9gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄色粉末は目的物である9−ベンゾイル−10−メチルアントラセンであることを確認した。
(2)9−ベンゾイル−10−ブロモメチルアントラセンの合成(中間体25)
中間体30(9−アセチル−10−メチルアントラセン)に代えて、中間体24(9−ベンゾイル−10−メチルアントラセン)3.6gを用いる以外は合成例10中の中間体23の合成と同様にして3.3gの黄色固体を得た。1H−NMRによる分析の結果、この黄色固体は目的物である9−ベンゾイル−10−ブロモメチルアントラセンであることであることを確認した。
(3)8−(10−ベンゾイル−9−アントリルメチル)−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレートの合成
中間体19(3−ブロモメチル−2−メトキシチオキサントン)に代えて中間体25(9−ベンゾイル−10−ブロモメチルアントラセン3.0gを用いた以外は合成例10中の(3)と同様にして黄色粉末2.9gを得た。1H−NMRによる分析の結果{300MHz、DMSO−d6、δ(ppm):8.4(d、2H)、7.8−7.6(m、7H)、7.6−7.4(m、4H)、7.3−7.1(m、8H)、7.0−6.8(m、8H)、6.8−6.7(m、4H)、6.0(s、2H)、3.9−3.7(m、2H)、3.5−3.4(m、4H)、3.0−2.8(m、2H)、2.0−1.6(m、8H)}、この黄色粉末は目的物である8−(10−ベンゾイル−9−アントリルメチル)−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムテトラフェニルボレート:化学式(2−4)であることを確認した。
窒素置換した500mL4つ口セパラブルフラスコに、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル20.0g(100mmol)および脱水N,N−ジメチルアセトアミド200mLを入れ、氷浴下で撹拌して溶解させた。この溶液に3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物29.4g(100mmol)を加え、氷浴下で2時間攪拌した。反応溶液をアセトンにより再沈殿し、濾取して得られた沈殿物を室温で8時間減圧乾燥することにより、ポリアミド酸(ポリイミド前駆体1)を白色固体として定量的に得た。
8−(4−ベンゾイルフェニル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムフェニルグリオキシラート:化学式(R−1)の合成
(1)4−ブロモメチルベンゾフェノン(中間体(R10)の合成)
還流冷却器付き200mLフラスコに、4−メチルベンゾフェノン(アルドリッチ社)25.1g、N−ブロモスクシンイミド(和光純薬工業株式会社)22.8g、過酸化ベンゾイル(20%含水、和光純薬株式会社)0.54gおよびアセトニトリル80gを加え、80℃まで加熱し、還流下2時間反応させ、冷却した後、溶媒を留去し、メタノール160gで再結晶させて中間体(R10)(白色結晶)26gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この中間体(R10)は、4−ブロモメチルフェ二ベンゾフェノンであることを確認した。
(2)8−(4−ベンゾイルフェ二ル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド(中間体11)の合成
中間体(R10)25.8gをアセトニトリル100gに溶解し、これに1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセン(サンアプロ株式会社)14.6gを滴下した後(滴下後発熱した。)、室温(約25℃)下、18時間攪拌し、アセトニトリルを留去して、褐色固体を得た。この褐色固体をアセトニトリルに溶解して再結晶を行い、中間体(R11)(白色固体)28.2gを得た。1H−NMRによる分析の結果、この中間体(R11)は、8−(4−ベンゾイルフェ二ル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイドであることを確認した。
(3)8−(4−ベンゾイルフェニル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムフェニルグリオキシラートの合成
フェニルグリオキシル酸(アルドリッチ社)3.9gをメタノール20gに溶解させ、そこへ水酸化ナトリウム(和光純薬工業株式会社)0.9gを少しずつ加え(中和による発熱がみられた。)、1時間攪拌し、そこへ1mol/L硝酸銀水溶液(和光純薬工業株式会社)10.4gを加えた後、析出した灰色固体を濾別し、メタノールで洗浄し、乾燥して、フェニルグリオキシル酸銀(灰色固体)4.4gを得た。フェニルグリオキシル酸銀4.4gをメタノール40gに溶解させた溶液に、あらかじめメタノール60gに溶解させた中間体(R11)(8−(4−ベンゾイルフェニル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムブロマイド)6.8gを少しずつ滴下した後、2時間室温(約25℃)で攪拌して反応液を得た。反応液を濾過し、濾液を濃縮して得た黄色オイルをアセトニトリルに溶解して再結晶して、比較光塩基発生剤(R−1)(白色固体)7.6gを得た。
1H−NMRによる分析の結果[300MHz、CDCl3、δ(ppm):8.1−8.0(d、2H)、7.85−7.7(m、4H)、7.6(t、1H)、7.55−7.3(m、7H)、5.0(s、2H)、3.9−3.7(m、6H)、3.0−2.9(m、2H)、2.3−2.1(m、2H)、1.9−1.6(m、6H)]、この白色固体は、8−(4−ベンゾイルフェ二ル)メチル−1,8−ジアザビシクロ〔5.4.0〕−7−ウンデセニウムフェニルグリオキシラートであることを確認した。
(1)モル吸光係数の測定
1−1から1−4、1−7、及び1−8、2−1から2−5、並びに、R−1の光塩基発生剤を、電子天秤を用いて秤量し、メスフラスコを用いることにより、濃度10−4mol/Lのアセトニトリル溶液を調製した。この溶液を石英セル(光路長1cm)に入れ、分光光度計(島津製作所社製UV−2550)により190〜800nmの波長範囲での紫外−可視吸収スペクトルを測定した。スペクトルで得られた吸光度から、下式によりモル吸光係数を算出した。光塩基発生剤1−1から1−4、1−7、及び1−8、並びに、2−1から2−5についてモル吸光係数ε(365、405nm)を測定した。結果を表1に示す。本発明に用いられる光塩基発生剤1−1から1−4、1−7、及び1−8、並びに、2−1から2−5は波長365および405nmの光を効率よく吸収することが分かった。
1−1から1−4、1−7、及び1−8、2−1から2−5、並びに、R−1の光塩基発生剤について、石英製NMRチューブ中に電子天秤を用いて1.0mg秤量し、重アセトニトリル0.5mLを加え溶解させた。このサンプルに、350nm以下の波長を透過しないフィルター1を介して高圧水銀灯(ウシオ電機社製SPOT CURE SP―III 250UA、ランプ型番:USH−255BY)の全波長をフィルター通過前100J/cm2(i線換算:紫外線照度計:ウシオ電機社製UIT−150、受光器:UVD−S365)、フィルター通過後18.2J/cm2(i線換算:紫外線照度計:ウシオ電機社製UIT−150、受光器:UVD−S365)光を照射し、照射前後のNMRスペクトルの比較を行うことにより、i(365nm)線以上の波長領域における光分解性の評価を行った。同様に、380nm以下の波長を透過しないフィルター2を介して高圧水銀灯の全波長をフィルター通過前100J/cm2(i線換算:紫外線照度計:ウシオ電機社製UIT−150、受光器:UVD−S365)、470J/cm2(h線換算:紫外線照度計:ウシオ電機社製UIT−101、受光器:UVD−405PD)、フィルター通過後0J/cm2(i線換算:紫外線照度計:ウシオ電機社製UIT−150、受光器:UVD−S365)、160J/cm2(h線換算:紫外線照度計:ウシオ電機社製UIT−101、受光器:UVD−405PD)光を照射し、照射前後のNMRスペクトルを比較することにより、h線(405nm)以上の波長領域における光分解性の評価を行った。図1にフィルター1とフィルター2の透過率曲線を示す。光分解性の評価結果を表2に示す。
1−1から1−4、1−7、及び1−8、2−1から2−5、並びに、R−1の光塩基発生剤について、DTG−60(島津製作所製)を用いて30℃から600℃まで昇温速度10℃/minでTG−DTA測定を行った。5%重量減少温度を算出し、耐熱性の評価を行った。耐熱性の評価結果を表3に示す。
化合物2−5に関しては、再結晶の溶媒(アセトニトリル)が5%強とりこまれている影響で5%重量減少温度が低下していると考えられる。10%重量減少温度は239.23℃であるため、化合物自体の分解が始まる温度は200℃以上と考えられる。
光塩基発生剤1−1を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物1)を得た。
光塩基発生剤1−2を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物2)を得た。
光塩基発生剤1−3を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物3)を得た。
光塩基発生剤1−4を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物4)を得た。
光塩基発生剤1−7を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物5)を得た。
光塩基発生剤1−8を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物6)を得た。
光塩基発生剤2−1を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物7)を得た。
光塩基発生剤2−2を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物8)を得た。
光塩基発生剤2−3を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物9)を得た。
光塩基発生剤2−4を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物10)を得た。
光塩基発生剤2−5を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(感光性樹脂組成物11)を得た。
比較光塩基発生剤R−1を0.12g、上記ポリイミド前駆体1を1g、N,N−ジメチルアセトアミド8.2gに溶解させ、本発明の感光性樹脂組成物(比較感光性樹脂組成物1)を得た。
(1)熱硬化温度
実施例8で得られた光塩基発生剤を含む感光性樹脂組成物8を用いて、露光して光塩基発生剤からアミンを発生させた塗膜と、露光せずに光塩基発生剤からアミンを発生させなかった塗膜を比較し、アミンの存在の有無によるポリイミド前駆体のイミド化率の差を観測した。
感光性樹脂組成物8をクロムめっきされたガラス板上に最終膜厚1μmになるようにスピンコートし、100℃のホットプレート上で5分間乾燥させた。そこへ、手動露光装置(大日本スクリーン株式会社製、MA−1200)でi線換算で、10J/cm2紫外−可視光線照射を行った。この塗膜および未露光の塗膜を、日本分光製IR−610及び、アズワン社製、HOTPLATE EC−1200を用い、室温から5℃/minで加熱を350℃まで行いながら赤外分光スペクトルを測定した。
加熱にしたがって前駆体由来のスペクトルが消失し、加熱によって生成したポリイミド由来のピークが現れた。イミド化の進行状況を確認する為に、測定前の前駆体由来の1663cm−1のピーク面積を1としたときに、加熱過程でのピーク面積の減少量をプロットした。
感光性樹脂組成物1(実施例1)〜感光性樹脂組成物11(実施例11)を、それぞれガラス板上に最終膜厚2μmになるようにスピンコートし、100℃のホットプレート上で10分間乾燥させた。そこへ、手動露光装置(大日本科研製、MA−1100)でi線換算で、2J/cm2の紫外−可視光線照射を行い、その後、170℃のホットプレート上で5分加熱したのち、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド 2.38%溶液にイソプロパノールを10wt%添加した溶液に浸漬した。その結果、露光部が現像液に溶解せず残存したパターンを得ることができた。さらに、それらのサンプルを300℃で1時間加熱しイミド化を行った。
この結果から、本発明の感光性樹脂組成物は、良好なパターンを形成することできることが明らかとなった。
また、同様に比較感光性樹脂組成物1を用いてパターン形成を行ったが、露光部においてもパターン膜が残存せずパターンを得ることができなかった。
Claims (16)
- 一般式(1)または(2)で表される光塩基発生剤、及びポリイミド前駆体を含有する、感光性樹脂組成物。
- 前記X―がテトラフェニルボレートアニオン、またはフェニルグリオキシル酸アニオンである、請求項1乃至4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ポリイミド前駆体は、それ自体が塩基性物質の作用によって最終生成物への反応が促進されるものである、請求項1乃至5のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ポリイミド前駆体は、それ自体が塩基性物質の作用によって最終生成物への反応が促進され、且つ、加熱により溶解性が変化するものである、請求項1乃至6のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 更に、増感剤を含有する請求項1乃至7のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 前記ポリイミド前駆体がポリアミック酸である、請求項1乃至8のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 前記光塩基発生剤が350nm以上の波長の電磁波に対して光分解性を有する、請求項1乃至9のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 前記光塩基発生剤が400nm以上の波長の電磁波に対して光分解性を有する、請求項1乃至10のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 前記光塩基発生剤の5%重量減少温度が170℃以上である、請求項1乃至11のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 塗料又は印刷インキ、或いは、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー用フィルム、半導体装置、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム、光学部材又は建築材料の形成材料として用いられる、請求項1乃至12のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
- 前記請求項1乃至13のいずれかに記載の感光性樹脂組成物又はその硬化物により少なくとも一部分が形成されている、印刷物、カラーフィルター、フレキシブルディスプレー用フィルム、半導体装置、電子部品、層間絶縁膜、配線被覆膜、光回路、光回路部品、反射防止膜、ホログラム、光学部材又は建築材料いずれかの物品。
- 前記請求項1乃至13のいずれかに記載の感光性樹脂組成物からなる塗膜又は成形体の表面に、所定のパターン状に電磁波を照射し、前記塗膜又は成形体の電磁波照射部位の溶解性を選択的に低下させた後、現像する、ネガ型パターン形成方法。
- 電磁波を照射後、加熱処理を行って、前記塗膜又は成形体の電磁波照射部位の溶解性を選択的に低下させる、請求項15に記載のネガ型パターン形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008093342A JP5120029B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008093342A JP5120029B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009244745A true JP2009244745A (ja) | 2009-10-22 |
JP5120029B2 JP5120029B2 (ja) | 2013-01-16 |
Family
ID=41306672
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008093342A Active JP5120029B2 (ja) | 2008-03-31 | 2008-03-31 | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5120029B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010095390A1 (ja) * | 2009-02-18 | 2010-08-26 | サンアプロ株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
JP2012093746A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-05-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 感光性樹脂組成物、パターン形成用材料及びパターン形成方法 |
CN102782060A (zh) * | 2010-03-05 | 2012-11-14 | 株式会社理光 | 活性射线可固化油墨组合物、活性射线可固化喷墨油墨组合物和使用它们的打印方法 |
JP2013203930A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Three Bond Co Ltd | 硬化性組成物 |
JP2014094974A (ja) * | 2012-11-07 | 2014-05-22 | San Apro Kk | 光塩基発生剤 |
US8853292B2 (en) | 2012-04-05 | 2014-10-07 | Ricoh Company, Ltd. | Active ray curable composition, active ray curable ink composition for inkjet printing, active ray curable adhesive composition, and method for stabilizing active ray curable composition |
WO2015083331A1 (ja) * | 2013-12-04 | 2015-06-11 | サンアプロ株式会社 | 光塩基発生剤 |
JP5801052B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2015-10-28 | サンアプロ株式会社 | 光塩基発生剤 |
JPWO2015019802A1 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-03-02 | 太陽ホールディングス株式会社 | 感光性樹脂組成物、そのレリーフパターン膜、レリーフパターン膜の製造方法、レリーフパターン膜を含む電子部品又は光学製品、及び感光性樹脂組成物を含む接着剤 |
WO2017141734A1 (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 太陽ホールディングス株式会社 | 感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、プリント配線板および光塩基発生剤 |
CN117532894A (zh) * | 2023-12-05 | 2024-02-09 | 东莞美泰电子有限公司 | 一种用于保护零件的pu皮革热压贴皮工艺 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7339537B2 (ja) | 2020-01-10 | 2023-09-06 | 富士通株式会社 | 情報処理装置、情報処理プログラム、及び情報処理方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08211604A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Konica Corp | 感光性組成物、感光性平版印刷版及びその現像方法 |
JP2004077553A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-11 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd | 感光性樹脂組成物並びにそれを用いたレリーフパターン、耐熱性塗膜、耐熱性絶縁パターンの製造方法およびそれらを有する電子部品 |
JP2007119766A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 感光性樹脂組成物及び物品 |
JP2007262276A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 感光性樹脂組成物、物品、及びネガ型パターン形成方法 |
WO2009028208A1 (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-05 | Mitsui Chemicals, Inc. | ネガ型感光性材料、および回路基板 |
WO2009122664A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | サンアプロ株式会社 | 光塩基発生剤 |
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008093342A patent/JP5120029B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08211604A (ja) * | 1995-02-02 | 1996-08-20 | Konica Corp | 感光性組成物、感光性平版印刷版及びその現像方法 |
JP2004077553A (ja) * | 2002-08-09 | 2004-03-11 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd | 感光性樹脂組成物並びにそれを用いたレリーフパターン、耐熱性塗膜、耐熱性絶縁パターンの製造方法およびそれらを有する電子部品 |
JP2007119766A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-05-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 感光性樹脂組成物及び物品 |
JP2007262276A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Dainippon Printing Co Ltd | 感光性樹脂組成物、物品、及びネガ型パターン形成方法 |
WO2009028208A1 (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-05 | Mitsui Chemicals, Inc. | ネガ型感光性材料、および回路基板 |
WO2009122664A1 (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-08 | サンアプロ株式会社 | 光塩基発生剤 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5801052B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2015-10-28 | サンアプロ株式会社 | 光塩基発生剤 |
WO2010095390A1 (ja) * | 2009-02-18 | 2010-08-26 | サンアプロ株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
CN102307909A (zh) * | 2009-02-18 | 2012-01-04 | 三亚普罗股份有限公司 | 感光性树脂组合物 |
CN102782060A (zh) * | 2010-03-05 | 2012-11-14 | 株式会社理光 | 活性射线可固化油墨组合物、活性射线可固化喷墨油墨组合物和使用它们的打印方法 |
JP2012093746A (ja) * | 2010-09-30 | 2012-05-17 | Dainippon Printing Co Ltd | 感光性樹脂組成物、パターン形成用材料及びパターン形成方法 |
JP2013203930A (ja) * | 2012-03-29 | 2013-10-07 | Three Bond Co Ltd | 硬化性組成物 |
US8853292B2 (en) | 2012-04-05 | 2014-10-07 | Ricoh Company, Ltd. | Active ray curable composition, active ray curable ink composition for inkjet printing, active ray curable adhesive composition, and method for stabilizing active ray curable composition |
JP2014094974A (ja) * | 2012-11-07 | 2014-05-22 | San Apro Kk | 光塩基発生剤 |
JPWO2015019802A1 (ja) * | 2013-08-09 | 2017-03-02 | 太陽ホールディングス株式会社 | 感光性樹脂組成物、そのレリーフパターン膜、レリーフパターン膜の製造方法、レリーフパターン膜を含む電子部品又は光学製品、及び感光性樹脂組成物を含む接着剤 |
WO2015083331A1 (ja) * | 2013-12-04 | 2015-06-11 | サンアプロ株式会社 | 光塩基発生剤 |
JPWO2015083331A1 (ja) * | 2013-12-04 | 2017-03-16 | サンアプロ株式会社 | 光塩基発生剤 |
US9933701B2 (en) | 2013-12-04 | 2018-04-03 | San Apro Ltd. | Photobase generator |
WO2017141734A1 (ja) * | 2016-02-16 | 2017-08-24 | 太陽ホールディングス株式会社 | 感光性樹脂組成物、ドライフィルム、硬化物、プリント配線板および光塩基発生剤 |
CN117532894A (zh) * | 2023-12-05 | 2024-02-09 | 东莞美泰电子有限公司 | 一种用于保护零件的pu皮革热压贴皮工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5120029B2 (ja) | 2013-01-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5120029B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 | |
JP5386789B2 (ja) | 光塩基発生剤、感光性樹脂組成物、及びネガ型パターン形成方法 | |
JP4997806B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、物品、及びネガ型パターン形成方法 | |
JP4978137B2 (ja) | 感光性樹脂組成物及び物品 | |
JP4756350B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、物品、及びネガ型パターン形成方法 | |
WO2009123122A1 (ja) | 塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法並びに物品 | |
JP5446793B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 | |
JP2010106233A (ja) | 感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、パターン形成方法、及び当該感光性樹脂組成物を用いた物品、並びに塩基発生剤 | |
JP5644274B2 (ja) | 塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法並びに物品 | |
JP5223633B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 | |
JP5251211B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、及びパターン形成方法 | |
JP6538509B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、そのドライフィルム及び硬化物、硬化物を含む電子部品又は光学製品、並びに感光性樹脂組成物を含む接着剤 | |
JP2011089119A (ja) | 塩基発生剤、感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、当該感光性樹脂組成物を用いたパターン形成方法並びに物品 | |
JP4816176B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、物品、及びネガ型パターン形成方法 | |
JP5333452B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 | |
JP5515560B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、当該感光性樹脂組成物からなるパターン形成用材料、パターン形成方法、及び当該感光性樹脂組成物を用いた物品、並びに光潜在性樹脂硬化促進剤 | |
JP5321188B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、物品、及びパターン形成方法 | |
JP2010085430A (ja) | 感光性樹脂組成物、物品、及びパターン形成方法 | |
JP5633225B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びレリーフパターンの製造方法 | |
JP5152350B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
JP2019045735A (ja) | ポジ型感光性樹脂組成物およびその硬化物 | |
JP5413425B2 (ja) | 高透明性ポリイミド前駆体、及びポリイミド前駆体樹脂組成物 | |
JP5994235B2 (ja) | 光塩基発生剤、感光性ポリイミド樹脂組成物、レリーフパターンの製造方法並びに物品 | |
JP5217977B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びネガ型パターン形成方法 | |
JP5614117B2 (ja) | 感光性樹脂組成物、およびこれを用いた物品、及びレリーフパターンの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120914 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120925 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121008 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151102 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 5120029 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |