JP2009231835A - エンコーダタイプの測定システム、リソグラフィ装置、およびエンコーダタイプの測定システムのグリッドもしくは回折格子上またはグリッドもしくは回折格子内のエラーを検出するための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 可動オブジェクトの位置依存信号を測定するように構成されるエンコーダタイプの測定システム。この測定システムは、光源およびセンサを含む。光源およびセンサは、可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの一方に取り付けられる。また、この測定システムは、可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの他方に取り付けられた回折格子またはグリッドを含む基準オブジェクトを含む。光源は、光ビームを基準オブジェクトに向かって放つように構成される。センサは、基準オブジェクトによって反射された光源の光を検出するように構成される。また、この測定システムは、連続的な生産工程中に、センサターゲットオブジェクトの回折格子もしくはグリッド内または回折格子もしくはグリッド上のエラーを検出することが可能なエラー検出器を含む。
【選択図】 図2
Description
Claims (35)
- 可動オブジェクトの位置依存信号を測定するように構成されたエンコーダタイプの測定システムであって、
前記可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの一方に取り付けられる、光源およびセンサと、
前記可動オブジェクトまたは前記実質的に静止しているフレームのうちの他方に取り付けられた回折格子またはグリッドを備える基準オブジェクトであって、前記光源が光ビームを基準オブジェクトに向かって放つように構成され、前記センサが基準オブジェクトによって反射された前記光源の光を検出するように構成される、基準オブジェクトと、
連続的な生産工程中に、前記センサのターゲットオブジェクトの前記回折格子もしくはグリッド内の、または前記回折格子もしくはグリッド上のエラーを検出することが可能なエラー検出器と
を備え、前記エラー検出器が、
1つまたは複数の変数を監視するように構成されたモニタと、
前記1つまたは複数の監視された変数の、前記変数の1つまたは複数の基準値との比較に基づいて、1つまたは複数の比較信号を提供するように構成されたコンパレータであって、前記1つまたは複数の比較信号が、前記回折格子もしくはグリッド上の、または前記回折格子もしくはグリッド内のエラーの存在を表す、コンパレータと
を備える、測定システム。 - 前記エラー検出器が、前記基準オブジェクト内または前記基準オブジェクト上のエラーを連続的に検出するように構成される、請求項1に記載の測定システム。
- 前記モニタがエラー検出センサを備え、前記エラー検出センサが、前記回折格子またはグリッドの散乱光を検出するように構成される、請求項1に記載の測定システム。
- 前記センサが、特定の次数の回折を検出するように構成され、前記エラー検出センサが、前記特定の次数の前記回折以外の散乱光を検出するように構成される、請求項3に記載の測定システム。
- 前記光源、前記センサ、および前記エラー検出センサが、単一のデバイス内で一体化される、請求項3に記載の測定システム。
- 前記単一のデバイスが、前記可動オブジェクト上に取り付けられる、請求項5に記載の測定システム。
- 前記1つまたは複数の監視された変数が、位置測定システムがその中で使用される位置制御システムの位置測定システムの変数である、請求項1に記載の測定システム。
- 前記1つまたは複数の監視された変数が、センサ信号振幅、センサ信号位相、位置サーボ誤差、コントローラ駆動入力、モーションプロファイル、またはそれらの任意の組合せを含む、請求項1に記載の測定システム。
- 前記1つまたは複数の基準値が、固定値、較正されたマップ、隣り合うサンプルにわたる移動平均、モーションプロファイルに基づく予測、他の変数の過去の例に基づく予測、またはそれらの任意の組合せを含む、請求項1に記載の測定システム。
- 前記エラー検出器が、前記1つまたは複数の比較信号を濾波する、および/または相関させるように構成されたフィルタまたは相関デバイスを備える、請求項1に記載の測定システム。
- 前記フィルタまたは相関デバイスが、特定のビームレイアウト、ステージスピード、サーボ帯域幅、または前記可動オブジェクトの測定システムの他の特定の挙動に基づくものである、請求項10に記載の測定システム。
- 前記回折格子またはグリッドをクリーニングするように構成されたクリーニングデバイスをさらに備える、請求項1に記載の測定システム。
- 前記可動オブジェクトまたは前記実質的に静止しているフレームのうちの一方に取り付けられた複数の光源および複数のセンサをさらに備える、請求項1に記載の測定システム。
- 可動オブジェクトの位置依存信号を測定するように構成されたエンコーダタイプの測定システムであって、
前記可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの一方に取り付けられる光源およびセンサと、
前記可動オブジェクトまたは前記実質的に静止しているフレームのうちの他方に取り付けられた回折格子またはグリッドを備える基準オブジェクトであって、前記光源が光ビームを基準オブジェクトに向かって放つように構成され、前記センサが基準オブジェクトによって反射された前記光源の光を検出するように構成される、基準オブジェクトと、
前記回折格子またはグリッドをクリーニングするように構成されたクリーニングデバイスと
を備える、測定システム。 - 前記クリーニングデバイスが、前記基準オブジェクトに接続されるアクチュエータを備え、前記クリーニングデバイスが、前記アクチュエータの少なくとも部分的な機械的な始動によって、グリッドまたは回折格子エラーを引き起こす粒子を除去するように構成される、請求項14に記載の測定システム。
- 前記クリーニングデバイスが、前記回折格子またはグリッドの少なくとも一部に沿って流体を向けて送ることによって粒子または液滴を除去するための流れ形成デバイスを備える、請求項14に記載の測定システム。
- 前記流れ形成デバイスが、局所的な流体パージ流をもたらすことによって前記粒子または液滴を除去するように構成される、請求項16に記載の測定システム。
- 前記流れ形成デバイスが、大面積の流体流をもたらすことによって前記粒子または液滴を除去するように構成される、請求項16に記載の測定システム。
- 前記クリーニングデバイスが、前記可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの一方に取り付けられた液滴除去デバイスを備え、前記液滴除去デバイスが、前記可動オブジェクトの、前記基準オブジェクトに対する移動中に液滴を通り過ぎるとき前記液滴に接触することによって前記液滴を前記回折格子またはグリッドから除去するように構成される、請求項14に記載の測定システム。
- 前記液滴除去デバイスの接触表面が、前記回折格子またはグリッドから前記液滴をはじく疎水性表面を備える、請求項19に記載の測定システム。
- 前記液滴除去デバイスの接触表面が、前記回折格子またはグリッドから前記液滴を引きよせる親水性表面を備える、請求項19に記載の測定システム。
- 放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
パターニングされた放射ビームを形成するように、前記放射ビームにその断面でパターンを与えることが可能であるパターニングデバイスを支持するように構成されたパターニングデバイスサポートと、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記パターニングされた放射ビームを前記基板のターゲット部分上に投影するように構成された投影システムと、
前記パターニングデバイスサポートまたは基板テーブルの位置依存信号を測定するように構成された、請求項1に記載のエンコーダタイプの測定システムと
を備えるリソグラフィ装置。 - 前記測定システムが、パターニングされた放射ビームの、基板のターゲット部分上への投影中に、前記回折格子もしくはグリッド上の、または前記回折格子もしくはグリッド内のエラーを検出するように構成される、請求項22に記載のリソグラフィ装置。
- エンコーダタイプの位置測定システムのグリッドまたは回折格子上のエラーを検出するための方法であって、
可動オブジェクトの位置測定または位置制御に関係する1つまたは複数の変数を監視するステップと、
前記1つまたは複数の監視された変数を1つまたは複数の基準変数と比較するステップであって、前記グリッドもしくは回折格子上の、または前記グリッドもしくは回折格子内のエラーの存在を表す1つまたは複数の比較信号が得られる、ステップと
を含む方法。 - 前記監視するステップが、センサ信号振幅、センサ信号位相、位置サーボ誤差、コントローラ駆動入力、モーションプロファイル、またはそれらの任意の組合せ、のうちの1つまたは複数を監視するステップを含む、請求項24に記載の方法。
- 前記1つまたは複数の比較信号を濾波する、および/または相関させるステップをさらに含む、請求項24に記載の方法。
- 前記グリッドもしくは回折格子上の、または前記グリッドもしくは回折格子内のエラーが検出された後で、前記グリッドまたは回折格子を較正するステップをさらに含む、請求項24に記載の方法。
- 前記グリッドもしくは回折格子上の、または前記グリッドもしくは回折格子内のエラーが検出された後で、前記グリッドまたは回折格子をクリーニングするステップをさらに含む、請求項24に記載の方法。
- 前記グリッドまたは回折格子を備えるオブジェクトの振動移動を得るように前記グリッドまたは回折格子を備える前記オブジェクトを始動するステップをさらに含む、請求項28に記載の方法。
- 前記クリーニングするステップが、粒子または液滴を除去するように流体を吹き付ける、またはパージするステップを含む、請求項28に記載の方法。
- 前記流体を吹き付ける、またはパージするステップが、前記グリッドもしくは回折格子上の、または前記グリッドまたは回折格子内のエラーの検出場所で局所的に流体流をもたらすステップを含む、請求項30に記載の方法。
- 前記流体を吹き付ける、またはパージするステップが、前記グリッドまたは回折格子の実質的な部分をカバーする大面積の流体流をもたらすステップを含む、請求項30に記載の方法。
- グリッドもしくは回折格子上の、またはグリッドもしくは回折格子内のエラーが検出された後で、エンコーダタイプの位置測定システムの前記グリッドまたは回折格子をクリーニングする方法であって、請求項29から請求項32のいずれかに記載のクリーニングステップを含む、方法。
- 放射ビームを調節するように構成された照明システムと、
パターニングされた放射ビームを形成するように、前記放射ビームにその断面でパターンを与えることが可能であるパターニングデバイスを支持するように構成されたパターニングデバイスサポートと、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記パターニングされた放射ビームを前記基板のターゲット部分上に投影するように構成された投影システムと、
可動オブジェクトの位置依存信号を測定するように構成されたエンコーダタイプの測定システムと
を備え、前記測定システムが、
前記可動オブジェクトまたは実質的に静止しているフレームのうちの一方に取り付けられる、光源およびセンサと、
前記可動オブジェクトまたは前記実質的に静止しているフレームのうちの他方に取り付けられた回折格子またはグリッドを備える基準オブジェクトであって、前記光源が光ビームを基準オブジェクトに向かって放つように構成され、前記センサが基準オブジェクトによって反射された前記光源の光を検出するように構成される、基準オブジェクトと、
連続的な生産工程中に、前記センサのターゲットオブジェクトの前記回折格子もしくはグリッド内または前記回折格子もしくはグリッド上のエラーを検出することが可能なエラー検出器と
を備え、前記エラー検出器が、
1つまたは複数の変数を監視するように構成されたモニタと、
前記1つまたは複数の監視された変数の、前記変数の1つまたは複数の基準値との比較に基づいて、1つまたは複数の比較信号を提供するように構成されたコンパレータであって、前記1つまたは複数の比較信号が、前記回折格子もしくはグリッド上または前記回折格子もしくはグリッド内のエラーの存在を表す、コンパレータと
を備え、
前記測定システムが、前記パターニングデバイスサポートまたは基板テーブルの位置依存信号を測定するように構成される、リソグラフィ装置。 - 前記測定システムが、パターニングされた放射ビームの、基板のターゲット部分上への投影中に、前記回折格子もしくはグリッド上または前記回折格子もしくはグリッド内のエラーを検出するように構成される、請求項34に記載のリソグラフィ装置。
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