JP2006054452A - リソグラフィ機器及びそれを較正する方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】移動制御システムは、基板テーブルWTの位置を検出するように構築された少なくとも3つの位置検出器P1〜P5を含む。基板テーブルWTの位置及び向きを測定するために、各位置検出器P1〜P5は、1次元又は多次元のタイプの光学式エンコーダを備える。これらの光学式エンコーダは、合わせて少なくとも6つの位置の値を提供するように配置され、3次元の各次元ごとに少なくとも1つの位置の値が提供される。
【選択図】図3a
Description
放射(例えば、UV又はEUVの放射)投影ビームPBを提供する照明システム(照明器)ILと、
パターン化装置(例えば、マスク)MAを支持する第1支持構造(例えば、マスク・テーブル/ホルダ)MTであって、要素PLに対してパターン化装置を正確に位置決めする第1位置決め機構PMに結合された第1支持構造MTと、
基板(例えば、レジストを塗布したウエハ)Wを保持する基板テーブル(例えば、ウエハ・テーブル/ホルダ)WTであって、要素PLに対して基板を正確に位置決めする第2位置決め機構PWに結合された基板テーブルWTと、
基板Wの(例えば、1つ又は複数のダイを含む)目標部分Cに、パターン化装置MAによって投影ビームPBに付与されたパターンを結像する投影システム(例えば、反射型投影レンズ)PLとを備える。
ステップ・モード:マスク・テーブルMT及び基板テーブルWTは本質的に固定したまま、投影ビームに付与されたパターン全体を目標部分Cに1回で投影する(即ち、1回の静止露光)。次いで、基板テーブルWTをX方向及び/又はY方向に移動させて、異なる目標部分Cを露光することができる。ステップ・モードでは、露光領域の最大サイズが、1回の静止露光で画像形成される目標部分Cのサイズを制限する。
スキャン・モード:マスク・テーブルMTと基板テーブルWTを同期走査しながら、投影ビームに付与されたパターンを目標部分Cに投影する(即ち、1回の動的な露光)。マスク・テーブルMTに対する相対的な基板テーブルWTの速度及び方向は、投影システムPLの倍率(縮小率)及び像の反転特性によって決まる。スキャン・モードでは、露光領域の最大サイズが、1回の動的な露光における目標部分の(非走査方向の)幅を制限し、走査移動長により、目標部分の(走査方向の)高さが決まる。
他のモード:プログラム可能なパターン化装置を保持するマスク・テーブルMTを本質的に固定し、基板テーブルWTを移動即ち走査しながら、投影ビームに付与されたパターンを目標部分Cに投影する。このモードでは一般に、パルス化された放射源を使用し、基板テーブルWTの各移動動作後に、或いは走査中に連続放射パルス間で、プログラム可能なパターン化装置を必要に応じて更新する。この動作モードは、上記で言及したタイプのプログラム可能なミラー・アレイなどのプログラム可能なパターン化装置を利用するマスクなしリソグラフィに容易に適用し得る。
12 1次元グレーティング
14 1次元グレーティング
16 1次元グレーティング
18 1次元グレーティング
20 2次元グリッド構造
22 代替2次元グリッド構造
AD 調節装置
B 放射ビーム
BD ビーム送達システム
C 目標部分
CO コンデンサ
DIF1 回折パターン
DLB 回折光ビーム
g1 第1グレーティング
g2 第2グレーティング
g10 グレーティング、グリッド、第1エンコーダ
g11 グリッド
g12 グリッド
g13 グリッド
IF 位置検出器
IN 統合器
IL 照明システム、照明器
LB 光ビーム
LS 光センサ
MA パターン化装置、マスク
MT 第1支持構造、マスク・テーブル/ホルダ
M1 マスク位置合わせマーク
M2 マスク位置合わせマーク
p グレーティングのピッチ
PB 投影ビーム
PL 投影システム、投影レンズ
PM 第1位置決め機構
PS 投影システム
PW 第2位置決め機構
P1 基板位置合わせマーク
P2 基板位置合わせマーク
p1 位置検出器、センサ、2次元測定ヘッド
p2 位置検出器、センサ、2次元測定ヘッド
p3 位置検出器、センサ、2次元測定ヘッド、第3エンコーダ
p4 位置検出器、第4エンコーダ
p5 位置検出器
p10 第1位置検出器
p11 第2位置検出器
p12 第3位置検出器
p13 第4位置検出器、第4エンコーダ
S 光源
SO 放射源
T 測定ヘッド構成の上面
W 基板、ウエハ
WT 基板テーブル、ウエハ・テーブル/ホルダ
Claims (19)
- リソグラフィ機器であって、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
放射ビームを調整するように構成された照明器と、
前記放射ビームに所望のパターンを付与するパターン化装置を支持するように構成された支持構造と、
前記パターン化されたビームを前記基板の目標部分に投影する投影システムと、
前記基板テーブルの移動を制御するように構成された移動制御システムとを備え、
前記移動制御システムは、前記基板テーブルの位置を検出する複数の位置検出器を備え、前記位置検出器の少なくとも3つはそれぞれ、少なくとも6つの位置の値を提供する1次元又は多次元の光学式エンコーダを含み、前記光学式エンコーダは、3次元座標系内の異なる場所で前記基板テーブルに結合され、
前記3次元座標系の各次元ごとに少なくとも1つの位置の値が提供され、
前記移動制御システムは、前記6つの位置の値の少なくとも3つからなるサブセットから、前記3次元座標系内での前記基板テーブルの前記位置を計算し、前記6つの位置の値の少なくとも3つからなる別のサブセットから、前記3次元座標系に関する前記基板テーブルの向きを計算するように構成される、リソグラフィ機器。 - 前記移動制御システムは、前記位置検出器を較正する較正マトリックスを含む、請求項1に記載のリソグラフィ機器。
- 前記位置検出器は、
前記3次元座標系の第1及び第3の次元における前記基板テーブルの位置を測定するように構成された第1の2次元エンコーダを備え、前記第1エンコーダは、前記基板テーブルの、前記第1の次元にほぼ平行な第1側面に機械的に結合され、前記位置検出器はさらに、
前記3次元座標系の前記第3の次元の位置を測定するように構成された第2の1次元エンコーダを備え、前記第2エンコーダは、前記基板テーブルの前記第1側面に機械的に結合され、
前記第1及び第2のエンコーダは、前記第1側面の中央に関して前記第1側面の両側の部分に結合され、
前記移動制御システムは、前記第1エンコーダの位置の値から前記第1の次元の位置を求め、前記第1及び第2のエンコーダの位置の値から、前記第2の次元の周りの前記基板テーブルの回転を求める、請求項1に記載のリソグラフィ機器。 - 前記位置検出器はさらに、
前記3次元座標系の第2及び前記第3の次元における前記基板テーブルの位置を測定するように構成された第3の2次元エンコーダを備え、前記第3エンコーダは、前記基板テーブルの、前記第2の次元にほぼ平行な第2側面に機械的に結合され、前記位置検出器はさらに、
前記3次元座標系の前記第3の次元の位置を測定するように構成された第4の1次元エンコーダを備え、前記第4エンコーダは、前記基板テーブルの前記第2側面に機械的に結合され、
前記第3及び第4のエンコーダは、前記第2側面の中央に関して前記第2側面の両側の部分に結合され、
前記移動制御システムは、前記第3エンコーダの位置の値から前記第2の次元の位置を求め、前記第3及び第4のエンコーダの位置の値から、前記第1の次元の周りの前記基板テーブルの回転を求める、請求項3に記載のリソグラフィ機器。 - 前記第1の次元における前記基板テーブルの位置を測定するように構成された第5の1次元エンコーダをさらに備え、前記第5エンコーダは、前記基板テーブルの第3側面の端部に機械的に結合され、前記第3側面は、前記第1の次元にほぼ平行で、前記基板テーブルの前記第1側面の反対側にあり、前記移動制御システムは、前記第1及び第5のエンコーダの位置の値から、前記第3の次元の周りの前記基板テーブルの回転を求める、請求項3に記載のリソグラフィ機器。
- 前記光学式エンコーダは、
前記3次元座標系の第1及び第3の次元の位置の値を提供するように構成された第1の2次元光学式エンコーダを含み、前記第1光学式エンコーダは、前記基板テーブルの、第1の次元にほぼ平行な第1側面に結合され、前記光学式エンコーダはさらに、
前記3次元座標系の第2及び前記第3の次元の位置の値を提供するように構成された第2の2次元光学式エンコーダを含み、前記第2光学式エンコーダは、前記基板テーブルの、前記第2の次元にほぼ平行な第2側面に結合され、前記光学式エンコーダはさらに、
前記基板テーブルの第3側面に機械的に結合された第3の2次元光学式エンコーダを含み、前記第3側面は、前記第1の次元にほぼ平行で、前記第1の次元の反対側である、請求項1に記載のリソグラフィ機器。 - 前記第3の次元の位置の値を提供するように構成された第4の1次元光学式エンコーダをさらに備え、前記第4光学式エンコーダは、前記基板テーブルの第4側面に結合され、前記第4側面は、前記第2の次元にほぼ平行で、前記第2側面の反対側である、請求項6に記載のリソグラフィ機器。
- 前記光学式エンコーダは回折型エンコーダを含み、前記回折型エンコーダは、
光ビームを生成するように構築された光ビーム生成器と、
第1グレーティングと、
前記第1グレーティングに対して移動可能な第2グレーティングと、前記光ビームが前記第1及び第2のグレーティングで回折する回折ビームを検出するように配置された検出器とを備え、前記グレーティングの一方は、前記基板テーブルに機械的に連結され、前記グレーティングの他方は、前記リソグラフィ機器の基準ベースに機械的に結合され、
前記基板テーブルが移動すると、前記第1グレーティングが前記第2グレーティングに対して移動し、動作中に、前記回折ビームが変化する、請求項1に記載のリソグラフィ機器。 - 前記グレーティングは、低熱膨張材料製のプレートを含む、請求項8に記載のリソグラフィ機器。
- 前記グレーティングは、温度安定化ユニットを備える流体循環システムに結合されたチャネルを含み、前記温度安定化ユニットは、前記流体循環システム内の流体の温度に働きかけることによって、前記グレーティングの温度を安定化する、請求項8に記載のリソグラフィ機器。
- 前記位置検出器の少なくとも1つは、2次元光学式エンコーダを備え、前記2次元光学式エンコーダは、
前記基板テーブルの移動に追従するために、前記基板テーブルに機械的に結合されたグレーティングと、
それぞれ前記グレーティングと協働して、異なる次元に沿った前記グレーティングの移動を検出する2つの光検出器とを備える、請求項1に記載のリソグラフィ機器。 - 前記グレーティングは、低熱膨張材料製のプレートを含む、請求項11に記載のリソグラフィ機器。
- 前記グレーティングは、温度安定化ユニットを備える流体循環システムに結合されたチャネルを含み、前記温度安定化ユニットは、前記流体循環システム内の流体の温度に働きかけることによって、前記グレーティングの温度を安定化する、請求項11に記載のリソグラフィ機器。
- 位置検出器を較正する方法であって、
基準マークの第1マトリックスを含む第1パターンを基板上に生成するステップと、
基準マークの第2マトリックスを含む第2パターンを前記基板上に生成するステップと、
基準マークの前記第2マトリックスと基準マークの前記第1マトリックスを比較するステップと、
前記第1マトリックスの基準マークと、対応する前記第2マトリックスの基準マークのそれぞれの位置偏差を求めるステップと、
前記位置偏差を較正マトリックス内に記憶するステップとを含む、方法。 - 前記第2パターンを生成する前に、前記基板をほぼ90°又は180°だけ回転させる、請求項14に記載の方法。
- 前記第2パターンを生成する前に、実質的に1つ又は複数の基準マークの距離にわたって前記基板を並進移動させる、請求項14に記載の方法。
- リソグラフィ機器であって、
基板を支持するように構成された基板テーブルと、
放射ビームを調整するように構成された照明器と、
前記放射ビームに所望のパターンを付与するパターン化装置を支持するように構成された支持構造と、
前記パターン化されたビームを前記基板の目標部分に投影する投影システムと、
前記基板ステージ又は前記支持構造の移動を制御するように構成された移動制御システムとを備え、前記移動制御システムは、前記基板テーブル又は前記支持構造の位置を検出する複数の位置検出器を備え、前記位置検出器の少なくとも1つは、1次元又は2次元のエンコーダ・グリッド、光センサ、及び干渉計を備える干渉計/エンコーダの組合せであり、前記1次元又は2次元のエンコーダ・グリッドは、前記干渉計の反射ターゲットとして協働するように構築され配置される、リソグラフィ機器。 - 前記干渉計及び前記光センサは、前記基板テーブル又は前記支持構造に装着され、前記1次元又は2次元のエンコーダ・グリッドは、基準フレーム上に配置される、請求項17に記載のリソグラフィ機器。
- 前記複数の位置検出器は、少なくとも3つの干渉計/エンコーダの組合せを含み、前記干渉計/エンコーダの組合せはそれぞれ、1次元又は2次元のエンコーダ・グリッド、光センサ、及び干渉計を備え、前記1次元又は2次元のエンコーダ・グリッドは、前記干渉計の反射ターゲットとして協働するように構築され配置され、前記光センサは、前記基板テーブル又は前記支持構造に装着され、前記1次元又は2次元のエンコーダ・グリッドは、前記基準フレームに対する相対的な前記基板テーブル又は前記支持構造の前記位置を6自由度で求めることができるように、基準フレームに装着される、請求項17に記載のリソグラフィ機器。
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