JP2009231778A - レーザーダイシング・ダイボンド兼用シートおよびチップ複合体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係るレーザーダイシング・ダイボンド兼用シートは、少なくともポリウレタンアクリレート層を含む基材と、該基材の片面に剥離可能に形成されたダイボンド用接着剤層とからなることを特徴としている。
【選択図】 なし
Description
(1)少なくともポリウレタンアクリレート層を含む基材と、該基材の片面に剥離可能に形成されたダイボンド用接着剤層とからなるレーザーダイシング・ダイボンド兼用シート。
レーザー光によりワークおよびダイボンド用接着剤層を個片化してチップを作製し、
該チップ裏面にダイボンド用接着剤層を固着残存させて基材から剥離し、
該チップを、ダイボンド用接着剤層を介して被着体に固着する工程を含むチップ複合体の製造方法。
基材の表面張力を上記範囲にするため、基材表面に配置されるポリウレタンアクリレート層または他の樹脂層として、その表面張力が上記範囲にあるフィルムを用いてもよく、適当な手段により、基材表面に配置されるポリウレタンアクリレート層または他の樹脂層の表面張力を上記範囲に調整してもよい。
以下、本発明を実施例により説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
下記成分を、固形の場合はメチルエチルケトンを用いて溶解した後に混合して、粘接着剤組成物(固形分濃度50%)を得た。
粘着性成分として、アクリル系共重合体(日本合成化学工業(株)製コーポニールN2359-6(固形分濃度34%))を100重量部、多価イソシアナート化合物(日本ポリウレタン(株)製コロネートL(固形分濃度75%))を1重量部、
熱硬化性樹脂として、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬(株)製EOCNTM104S、エポキシ当量:200)を15重量部、固形ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製jERTM055、エポキシ当量:800〜900)を70重量部、液状ビスフェノールA型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製jERTMPA-828、エポキシ当量:200)を50重量部、
熱活性型潜在性硬化剤として、ジシアンジアミドを2重量部、
硬化促進剤として、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(四国化成工業(株)製キュアゾール2PHZ)を2重量部。
上記粘接着剤組成物(1)にさらに、下記成分を固形の場合はメチルエチルケトンを用いて溶解した後に混合して、粘接着剤組成物(固形分濃度50%)を得た。
エネルギー線硬化性成分として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(日本化薬(株)製KAYARAD DPHA、分子量580)を20重量部、
ベンゾフェノン系光重合開始剤として、イルガキュア184(チバスペシャリティケミカルズ社製)を0.5重量部。
・ 装置 :Nd−YAGレーザー
・ チャックテーブル材質:石英
・ 波長 :355nm(第3高調波)
・ 出力 :8W
・ 繰り返し周波数 :10kHz
・ パルス幅 :35nsec
・ 照射回数 :2回/1ライン
・ カット速度 :100mm/sec
・ デフォーカス量 :シート表面上から+100μm(ウエハの表面上から+50μmに焦点)
・ ウエハ材質 :シリコン
・ ウエハ厚 :50μm
・ ウエハサイズ :8インチ
・ カットチップサイズ :5mm×5mm
・ ウエハの外にレーザーが走査する距離:5mm
レーザーダイシングが終了した後にカットラインを断面観察し、実施例においては基材のポリウレタンアクリレート層、比較例においてはポリウレタンアクリレート層の代わりに用いた樹脂層の表面からの切込深さを計測した(観察部位はウエハが貼られていない、レーザーが直射される部分)。基材が完全に切断されてしまったものは「切断」と表記した。
レーザーダイシングが終了した後にテーブル表面を目視で観察し、損傷がないか確認した。テーブルに損傷がなかったものを「なし」とし、損傷があったものを「あり」とした。
レーザーダイシング後にレーザーダイシング装置内臓の搬送機構でダイシングテーブルからウエハが固定されたダイシング・ダイボンド兼用シートを取り出す際、搬送に問題がなかったものを融着「なし」とし、ダイシング・ダイボンド兼用シートがテーブルに熱融着してスムーズな搬送が困難だったものを融着「あり」とした。
JIS K6768:1999(プラスチック−フィルム及びシート−ぬれ張力試験方法)に準じて、基材表面の表面張力を測定した。なお、基材表面に剥離処理面の形成または剥離性フィルムの接着を行った場合には、剥離処理面または剥離性フィルム表面の表面張力を測定した。すなわち、剥離すべき接着剤層が接している面の表面張力を測定した。
レーザーダイシング後に、下記装置を用いてダイシング・ダイボンド兼用シート側からニードルにてチップを突き上げ、チップのピックアップを行った。
装置名:キヤノンマシナリー(株)製BESTEM-D02、チップサイズ:5mm×5mm、1段目突上量(5ピン)200μm→2段目突上量(中央1ピン)500μm、突上速度:10mm/s。1段目では5本とも200μm突き上げ、2段目で中央の1本だけをさらに300μm突き上げ、合計で500μm突き上げる。
2−ヒドロキシエチルアクリレート(2HEA)、イソホロンジイソシアナート(IPDI)およびポリプロピレングリコール(PPG: 重量平均分子量2,000)を、2HEA:IPDI:PPG=2:5:4 のモル比で用意した。始めにIPDI とPPG とを反応させ、得られた反応生成物に、2HEA を付加させることでウレタンアクリレート系オリゴマーを得た。
実施例1において、粘接着剤組成物(1)に代えて、粘接着剤組成物(2)を用いた以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
実施例1において、PET(2)に代えて低密度ポリエチレンフィルム(厚さ20μm、表面張力31mN/m)を使用し、同様の方法でPET(1)と低密度ポリエチレンフィルムに挟持された厚さ120μmのポリウレタンアクリレートフィルム(基材)を得た。低密度ポリエチレンフィルムが基材上に積層される剥離性フィルムに該当する。
実施例3において、粘接着剤組成物(1)に代えて、粘接着剤組成物(2)を用いた以外は、実施例3と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
実施例1において剥離処理を行わなかった基材を使用した以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
実施例1において、ポリウレタンアクリレートに代えて、低密度ポリエチレンフィルム(厚さ100μm)を用い、剥離処理を行わなかった基材を使用した以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
実施例1において、ポリウレタンアクリレートに代えて、ポリ塩化ビニルフィルム(厚さ100μm)を用い、剥離処理を行わなかった基材を使用した以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
実施例1において、ポリウレタンアクリレートに代えて、エチレン酢酸ビニル共重合体フィルム(厚さ100μm)を用い、剥離処理を行わなかった基材を使用した以外は、実施例1と同様の操作を行った。結果を表1に示す。
Claims (6)
- 少なくともポリウレタンアクリレート層を含む基材と、該基材の片面に剥離可能に形成されたダイボンド用接着剤層とからなるレーザーダイシング・ダイボンド兼用シート。
- ダイボンド用接着剤層に面する基材表面の表面張力が、40mN/m以下である請求項1に記載のレーザーダイシング・ダイボンド兼用シート。
- 基材を構成するポリウレタンアクリレート層が、エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーとエネルギー線硬化性モノマーとを含有する配合物にエネルギー線を照射して得られる硬化物である請求項1に記載のレーザーダイシング・ダイボンド兼用シート。
- エネルギー線硬化性ウレタンアクリレート系オリゴマーがポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーであり、ポリエーテル型ウレタンアクリレート系オリゴマーのエーテル結合部がアルキレンオキシ基(-(-R-O-)n-:ただしRはアルキレン基であり、nは2〜200の整数)であり、アルキレンオキシ基(-(-R-O-)n-)のアルキレン基Rが炭素数1〜6のアルキレン基である請求項3に記載のレーザーダイシング・ダイボンド兼用シート。
- アルキレンオキシ基(-(-R-O-)n-)のアルキレン基Rが、エチレン、プロピレン、ブチレンまたはテトラメチレンである請求項4に記載のレーザーダイシング・ダイボンド兼用シート。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のレーザーダイシング・ダイボンド兼用シートのダイボンド用接着剤層にワークを貼付し、
レーザー光によりワークおよびダイボンド用接着剤層を個片化してチップを作製し、
該チップ裏面にダイボンド用接着剤層を固着残存させて基材から剥離し、
該チップを、ダイボンド用接着剤層を介して被着体に固着する工程を含むチップ複合体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009231778A true JP2009231778A (ja) | 2009-10-08 |
JP5314308B2 JP5314308B2 (ja) | 2013-10-16 |
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JP2008078717A Active JP5314308B2 (ja) | 2008-03-25 | 2008-03-25 | レーザーダイシング・ダイボンド兼用シートおよびチップ複合体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5314308B2 (ja) |
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