JP2009220557A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】リザーバの両端部におけるコンプライアンスの不足を良好に補完し、全体的に良好な制振効果を得ることができ、インク噴射特性のばらつきがより抑制された液体噴射ヘッド及び印字品質の向上した液体噴射装置を提供すること。
【解決手段】幅が狭く形成されたリザーバ３２の第２の領域３２ｂ，３２ｃに対応した、第１のコンプライアンス部５５の幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃでのコンプライアンス不足が、第２のコンプライアンス部５１のコンプライアンスで補完され、圧力発生室２１から伝播される圧力波のリザーバ３２における制振を良好に行える。したがって、液滴速度の変化等に起因するインク噴射特性のばらつきが抑制されたインクジェット式記録ヘッド１０を得ることができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。

液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、圧電素子及び圧力発生室が設けられたアクチュエータユニットと、圧力発生室に連通してインクを吐出するノズル開口が設けられたノズルプレート及び圧力発生室の共通のインク室となるリザーバが設けられたリザーバ形成基板を有する流路ユニットとを備えたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
この種のインクジェット式記録ヘッドにおいては、圧力発生室内のインクに圧力を付与すると圧力発生室内において圧力波が発生する。この圧力波は、圧力発生室に連通するリザーバに伝播する。圧力波は、リザーバを介して他の圧力室に伝播し、液滴速度の変化などインク噴射特性のばらつきを生じさせる。

そこで、この圧力波をリザーバ内において減衰させ、圧力波がさらに他の圧力発生室に伝播するのを防止することにより、液滴速度の変化などインク噴射特性のばらつきが抑制されたインクジェット式記録ヘッドが知られている（例えば、特許文献２参照）。
具体的には、リザーバに対応させた領域に圧力変動吸収機能（以下コンプライアンスという）を有する相対的な薄肉部であるコンプライアンス部を設け、このコンプライアンス部で圧力波のエネルギを吸収する。

一方、リザーバには、例えば、圧力発生室の並設方向の中央部にインクが流入する流入口が設けられている。この場合、リザーバの平面形状は、流入口が設けられた中央部では同一幅に形成され、圧力発生室の並設方向の両端部では並設方向と直交する方向の幅が漸減した形状になっている。
両端部まで同一幅の場合、リザーバの中央部から供給したインクの流速が両端部に行くにしたがって低下し、両端部に気泡が滞留する原因になるので、かかる不都合を回避するために、このような平面形状となっている。

特開２００４−０４２５５９号公報（第６〜８頁、図１〜図２） 特開２００７−１４５０１４号公報（第１０〜１２頁、図４参照）

しかしながら、リザーバの幅を狭くすると、この幅狭部でコンプライアンスが不足してしまう。この結果、コンプライアンス部で所望の制振効果を得ることができないという問題が発生する。
なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッドだけではなく、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。

本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
圧力変動により各ノズル開口を介して液体をそれぞれ吐出するように並設された複数の圧力発生室と、前記圧力発生室内に圧力変動を生じさせる圧力発生素子と、複数の前記圧力発生室に前記液体を供給するように前記圧力発生室の並設方向にわたって設けられ、第１の領域及び前記並設方向と直交する方向の幅が前記第１の領域よりも狭い第２の領域が形成されているリザーバと、前記リザーバに対応する領域に設けられるとともに前記リザーバの圧力変動を吸収するコンプライアンスとを備え、前記コンプライアンスは、前記リザーバの上面側又は下面側のいずれか一方に形成されている第１のコンプライアンス部と他方に形成されている第２のコンプライアンス部とを有し、前記第１のコンプライアンス部は前記リザーバの前記第１の領域および前記第２の領域の両方に対応した領域に形成され、前記第２のコンプライアンス部は少なくとも前記第１の領域の一部に対応した領域に形成されていないことを特徴とする液体噴射ヘッド。

この適用例によれば、幅が狭く形成されたリザーバの第２の領域に対応した、第１のコンプライアンス部の幅狭い領域でのコンプライアンス不足が、第２のコンプライアンス部のコンプライアンスで補完され、圧力発生室から伝播される圧力波のリザーバにおける制振を良好に行える。したがって、液滴速度の変化等に起因するインク噴射特性のばらつきが抑制された液体噴射ヘッドが得られる。
なお、第２のコンプライアンス部は少なくとも第２の領域に対応した領域に形成されていればよく、第２の領域に対応した領域の他に、第１の領域に対応した領域に形成されていてもよい。第１の領域に対応した領域に形成されていると、第１の領域に対応した領域の第１のコンプライアンス部のコンプライアンス不足が、第２のコンプライアンス部のコンプライアンスで補完される。したがって、第１のコンプライアンス部を全体的に細く形成しても、このことにより不足するコンプライアンスを第２のコンプライアンス部で容易かつ良好に補完され、圧力発生室から伝播される圧力波のリザーバにおける制振をより良好に行える。

［適用例２］
上記液体噴射ヘッドであって、前記第１のコンプライアンス部の前記第２の領域に対応した領域の所定部分の幅は、前記第２のコンプライアンス部の前記所定部分の幅よりも幅狭に形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、第１のコンプライアンス部の幅狭く形成されている幅でのコンプライアンス不足が、幅広で形成された第２のコンプライアンス部のコンプライアンスで十分に補完され、圧力発生室から伝播される圧力波のリザーバにおける制振をより良好に行える。したがって、液滴速度の変化等に起因するインク噴射特性のばらつきがより抑制された液体噴射ヘッドが得られる。

［適用例３］
上記液体噴射ヘッドであって、前記リザーバの幅は、対応する領域の前記第１のコンプライアンス部の幅よりも広いことを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、第１のコンプライアンス部の幅をリザーバの幅以下に形成しても、第２のコンプライアンス部のコンプライアンスによってコンプライアンス部として十分なコンプライアンスを発揮する。

［適用例４］
上記液体噴射ヘッドであって、前記他方のコンプライアンス部の前記幅をｌ₁、この幅ｌ₁部分に対応する前記一方のコンプライアンス部の前記幅をｌ₂とするとき、幅ｌ₁ ⁴＋幅ｌ₂ ⁴が一定となるように前記第１のコンプライアンス部及び前記第２のコンプライアンス部が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
この適用例では、他方のコンプライアンス部の幅ｌ₁に応じたコンプライアンスの不足分を補完するように、一方のコンプライアンス部の幅ｌ₂が決まるので、リザーバの第２の領域でのコンプライアンスが一定になる。したがって、圧力波のエネルギの吸収量に、偏りが無くなり、圧力発生室から伝播される圧力波のリザーバにおける制振をより良好に行える。
ここで、一定とは、厳密な意味で一定と言うことではなく、多少の誤差を許容している。

［適用例５］
上記に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。

この適用例によれば、液体噴射特性が向上するとともに均一化して、印刷品質が向上した液体噴射装置が得られる。

以下に、実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
（第１実施形態）
図１は、本実施形態の液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド１０の要部を切り欠いた斜視図である。
図２は、インクジェット式記録ヘッド１０の要部平面図であり、図３はインクジェット式記録ヘッド１０の断面図で，（ａ）は図２のＡ−Ａ´線断面図、（ｂ）は図２のＢ−Ｂ´線断面図、（ｃ）は図２のＣ−Ｃ´線断面図である。

図１及び図３において、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド１０は、アクチュエータユニット２０と、このアクチュエータユニット２０が固定される流路ユニット３０とを備えている。

アクチュエータユニット２０は、圧電素子４０を備えたアクチュエータ装置であり、圧力発生室２１が形成された流路形成基板２２と、流路形成基板２２の一方面側に設けられた振動板２３と、流路形成基板２２の他方面側に設けられた圧力発生室底板２４とを備えている。

圧力発生室２１は、並設するように流路形成基板２２に複数形成されている。図１、図２及び図３中に並設方向をＸ方向として、並設方向と直交する方向をＹ方向として示した。圧力発生室２１は、Ｙ方向を長手方向とする細長い形状を有している。
流路形成基板２２は、例えば、１５０μｍ程度の厚みを有するアルミナ（Ａｌ₂Ｏ₃）や、ジルコニア（ＺｒＯ₂）などのセラミックス板からなる。
流路形成基板２２の一方面には、例えば、厚さ１０μｍのジルコニアの薄板からなる振動板２３が固定され、圧力発生室２１の一方面はこの振動板２３により形成されている。流路形成基板２２の他方面側には、圧力発生室底板２４が固定され、圧力発生室２１の他方面はこの圧力発生室底板２４により形成されている。

圧力発生室底板２４には、圧力発生室２１のＹ軸方向一方の端部近傍に設けられて圧力発生室２１と後述するリザーバ３２とを連通する供給連通孔２５と、圧力発生室２１のＹ軸方向他方の端部近傍に設けられて後述するノズル開口３４に連通するノズル連通孔２６とが形成されている。

圧電素子４０は、振動板２３上の各圧力発生室２１に対向する領域のそれぞれに設けられている。各圧電素子４０は、振動板２３上に設けられた下電極膜４１と、各圧力発生室２１毎に独立して設けられた圧電体層４２と、各圧電体層４２上に設けられた上電極膜４３とを備えている。
圧電体層４２は、圧電材料からなるグリーンシートを貼付することや、印刷することで形成されている。また、下電極膜４１は、並設された圧電体層４２にわたって設けられて各圧電素子４０の共通電極となっており、振動板の一部として機能する。なお、下電極膜４１は各圧電体層４２に設けるようにしてもよい。

なお、アクチュエータユニット２０の各層である流路形成基板２２、振動板２３及び圧力発生室底板２４は、粘土状のセラミックス材料、いわゆるグリーンシートを所定の厚さに成形して、例えば、圧力発生室２１等を穿設して得られる。得られた各層を積層して焼成することにより接着剤を必要とすることなく一体化できる。その後、振動板２３上に圧電素子４０を形成してアクチュエータユニット２０が得られる。

流路ユニット３０は、アクチュエータユニット２０の圧力発生室底板２４に接合された液体供給口形成基板３１と、複数の圧力発生室２１の共通インク室となるリザーバ３２の側面３２０が形成されるリザーバ形成基板３３と、リザーバ形成基板３３の液体供給口形成基板３１とは反対側に設けられたコンプライアンス基板５０と、ノズル開口３４が形成されたノズルプレート３５とを備えている。

液体供給口形成基板３１は、厚さ１５０μｍのジルコニアの薄板からなり、ノズル開口３４と圧力発生室２１とを接続するノズル連通孔３６と、前述の供給連通孔２５と共にリザーバ３２と圧力発生室２１とを接続する液体供給口３７が穿設されている。また、リザーバ３２と連通し、図示しない外部のインクタンクからのインクを供給する液体導入口３８が設けられている。
液体供給口３７は、圧力発生室２１のＹ軸方向のリザーバ３２側で、リザーバ３２の端部に連通するように設けられている。
また、図２において、液体導入口３８は、リザーバ３２のＸ軸方向の略中心で、Ｙ軸方向の圧力発生室２１とは反対側の端部に設けられている。

リザーバ形成基板３３は、インク流路を構成するに適した、例えば１５０μｍのステンレス鋼などの耐食性を備えた板材からなる。
リザーバ形成基板３３には、リザーバ３２の側面３２０と、圧力発生室２１とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔３９とが形成されている。リザーバ３２は、外部のインクタンクからインクの供給を受けて圧力発生室２１にインクを供給する。

以下、リザーバ３２についてその形状を中心に詳しく述べる。
図１及び図３において、リザーバ３２の側面３２０は、リザーバ形成基板３３によって形成され、リザーバ３２の上面３２１は、液体供給口形成基板３１によって形成され、リザーバ３２の下面３２２は、コンプライアンス基板５０によって形成されている。

図２において、リザーバ３２は、第１の領域３２ａ及び第２の領域３２ｂ，３２ｃを備えている。
第１の領域３２ａは、リザーバ３２のＸ軸方向の略中央部に位置する液体導入口３８を中心として圧力発生室２１のＸ軸方向の両方向に延びる領域である。第１の領域３２ａのＹ軸方向の幅は、液体導入口３８が形成された部分を除いて略一定である。
第２の領域３２ｂ，３２ｃは、第１の領域３２ａの両側に位置する領域である。第２の領域３２ｂ，３２ｃのＹ軸方向の幅は、第１の領域３２ａのＹ軸方向の幅より狭く、リザーバ３２の両端に行くにしたがって漸減している。これは、液体導入口３８から供給されたインクの流速を均一化するためである。

図１及び図３において、リザーバ３２の圧力変動を吸収するコンプライアンス部が、液体供給口形成基板３１及びコンプライアンス基板５０に形成されている。
コンプライアンス部は、リザーバ３２の上面３２１側の液体供給口形成基板３１に形成されている第１のコンプライアンス部５５と下面３２２側のコンプライアンス基板５０に形成されている第２のコンプライアンス部５１とを備えている。

図３において、第１のコンプライアンス部５５は、液体供給口形成基板３１のリザーバ３２の上面３２１と対応する領域を薄肉部にして形成されている。
図２において、第１のコンプライアンス部５５の平面視形状は、リザーバ３２の平面視形状に合わせて形成されている。詳しくは、リザーバ３２の第１の領域３２ａに対応する領域である中央部５５ａは、Ｙ軸方向の幅ｌがリザーバ３２の幅より狭く且つ液体導入口３８の部分を除いて一定に形成されている。
さらに、リザーバ３２のＸ軸方向の両側に対応する領域は両端に向かってＹ軸方向の幅ｌ₁が漸減する幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃとなっている。

第２のコンプライアンス部５１は、コンプライアンス基板５０のリザーバ３２に相対向する一部の領域を、他の領域に比べて厚さを薄くして形成されている。
具体的には、第２のコンプライアンス部５１はリザーバ３２の両端部の第２の領域３２ｂ，３２ｃに対応する領域のみに選択的に形成されている。これは、全面に形成した場合にはコンプライアンスが大きくなりすぎる点を考慮し、第１のコンプライアンス部５５の幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃの存在に起因するコンプライアンスの不足に着目してこれを補完するためである。
なお、第２のコンプライアンス部５１はリザーバ３２の第２の領域３２ｂ，３２ｃに対応する領域からリザーバ３２の第１の領域３２ａに多少はみ出して形成されていてもよい。

図４は、本実施形態における第１のコンプライアンス部５５と第２のコンプライアンス部５１との位置的な関係を示す模式図（ただし、左右は対象であるので右半分のみを示す）である。
図４において、図中の点αから始まり点βで終る領域である第１のコンプライアンス部５５の幅の狭い領域５５ｃに対応する第２のコンプライアンス部５１の幅は、図中に網点で示す領域が幅の狭い領域５５ｃよりも幅広に形成してある。
具体的には、第２のコンプライアンス部５１の幅ｌ₂は、同じ位置での第１のコンプライアンス部５５の幅ｌ₁と比較して大きくしてある。

コンプライアンスはコンプライアンス部の幅の４乗に比例することが知られている。したがって、両端部におけるコンプライアンスの不足を補完するためには、ｌ⁴＜ｌ₁ ⁴＋ｌ₂ ⁴とすればよい。ここで、幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃの合成コンプライアンスが若干大きくなるのは構わないが、あまりに大きくなると固有振動数との関係で、圧力発生室からの圧力波と共振を起こしてしまい、動作が不安定になる恐れがある。

なお、第１のコンプライアンス部５５は、リザーバ３２の下面３２２側に形成され、第２のコンプライアンス部５１はリザーバ３２の上面３２１側に形成されていてもよい。
本実施形態の場合、上面３２１側の液体供給口形成基板３１には液体供給口３７が形成されている結果、第１のコンプライアンス部５５の形成領域も液体供給口３７の位置に規制され、その分第１のコンプライアンス部５５の形成可能領域の自由度が減る。
したがって、下面３２２側の第２のコンプライアンス部５１を幅広に形成するほうが不足分のコンプライアンスの調整が容易になる。

コンプライアンス基板５０の材料としては、例えば、ステンレス鋼等の金属やセラミックを用いることができる。もちろん、コンプライアンス基板５０は、特にこれに限定されず、例えば第２のコンプライアンス部５１を構成するフィルム状の弾性膜と、厚さ方向の一部が貫通して設けられた支持基板とで構成するようにしてもよい。

図１及び図３において、コンプライアンス基板５０には、厚さ方向に貫通してリザーバ形成基板３３に設けられたノズル連通孔３９とノズル開口３４とを連通するノズル連通孔５２が設けられている。
圧力発生室２１からのインクは、液体供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３及びコンプライアンス基板５０に設けられたノズル連通孔３６，３９及び５２を介してノズル開口３４から吐出される。

ノズルプレート３５には、例えばステンレス鋼からなる薄板に、圧力発生室２１と同一の配列ピッチでノズル開口３４が穿設されている。

流路ユニット３０は、液体供給口形成基板３１、リザーバ形成基板３３、コンプライアンス基板５０及びノズルプレート３５を接着剤や熱溶着フィルム等によって固定することで形成される。そして、このような流路ユニット３０とアクチュエータユニット２０とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。

本実施形態におけるインクジェット式記録ヘッド１０では、インクタンクから液体導入口３８を介してリザーバ３２内にインクを取り込み、リザーバ３２からノズル開口３４に至るまでのインク流路内をインクで満たす。
その後、図示しない駆動回路からの記録信号に従い、各圧力発生室２１に対応する各圧電素子４０に電圧を印加して圧電素子４０と共に振動板２３をたわみ変形させることにより、各圧力発生室２１内の圧力が高まり各ノズル開口３４からインク滴が吐出される。

このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
（１）幅が狭く形成されたリザーバ３２の第２の領域３２ｂ，３２ｃに対応した、第１のコンプライアンス部５５の幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃでのコンプライアンス不足が、第２のコンプライアンス部５１のコンプライアンスで補完され、圧力発生室２１から伝播される圧力波のリザーバ３２における制振を良好に行える。したがって、液滴速度の変化等に起因するインク噴射特性のばらつきが抑制されたインクジェット式記録ヘッド１０を得ることができる。

（２）第１のコンプライアンス部５５の幅狭く形成されている幅ｌ₁でのコンプライアンス不足が、幅ｌ₁より幅広の幅ｌ₂で形成された第２のコンプライアンス部５１のコンプライアンスで十分に補完され、圧力発生室２１から伝播される圧力波のリザーバ３２における制振をより良好にできる。したがって、液滴速度の変化等に起因するインク噴射特性のばらつきがより抑制されたインクジェット式記録ヘッド１０を得ることができる。

（変形例）
図５に、変形例に係る第１のコンプライアンス部５５と第２のコンプライアンス部５１との位置的な関係を示す模式図（ただし、左右は対象であるので右半分のみを示す）を示した。
図５において、変形例では、図中の点αから始まり点βで終る領域である第１のコンプライアンス部５５の幅の狭い領域５５ｃにおける任意の位置での幅をｌ₁、この位置に対応する第２のコンプライアンス部５１の幅をｌ₂とするとき、ｌ⁴≒ｌ₁ ⁴＋ｌ₂ ⁴となるように第２のコンプライアンス部５１が形成されている。

このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
（３）第２のコンプライアンス部５１によって、過不足なく理想的な形で第１のコンプライアンス部５５の幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃのコンプライアンスの不足を補完することができる。
第１のコンプライアンス部５５の幅ｌ₁に応じたコンプライアンスの不足分を補完するように、第２のコンプライアンス部５１の幅ｌ₂が決まるので、リザーバ３２の第２の領域３２ｂ，３２ｃでのコンプライアンスを一定にできる。したがって、圧力波のエネルギの吸収量に、偏りが無くなり、圧力発生室２１から伝播される圧力波のリザーバ３２における制振をより良好にできる。

（第２実施形態）
図６に、本実施形態における第１のコンプライアンス部５５と第２のコンプライアンス部６１との位置的な関係を示す模式図を示した。その他の構成は、変形例と同様の構成である。
図６において、第１のコンプライアンス部５５に対向して設ける第２のコンプライアンス部６１の両端部６１ａは変形例の第２のコンプライアンス部５１に準じて形成されるが、両端部の点α（図には一方のみを示す）間にも両端部６１ａに一体的に連続する幅狭のコンプライアンス部６１ｂが形成されている。

このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
（４）第１のコンプライアンス部５５の幅ｌ及び幅ｌ₁をリザーバの幅以下に形成しても、このことにより不足するコンプライアンスが第２のコンプライアンス部６１で容易かつ良好に補完され、圧力発生室２１から伝播される圧力波のリザーバ３２における制振をより良好に行なうことができる。したがって、液滴速度の変化等に起因するインク噴射特性のばらつきがより抑制されたインクジェット式記録ヘッド１０を得ることができる。

（第３実施形態）
第１実施形態、第２実施形態及び変形例のインクジェット式記録ヘッド１０は、インクタンクであるカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂの一部を構成して、インクジェット式記録装置Ｉに搭載される。
図７は、そのインクジェット式記録装置Ｉの一例を示す概略図である。

図７に示すように、インクジェット式記録装置Ｉにおける記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。

そして、駆動モータ６の駆動力が図示しない複数の歯車及びタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、記録ヘッドユニット１Ａ及び１Ｂを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動する。
一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。

このような本実施形態によれば、以下の効果がある。
（５）インク噴射特性が向上するとともに均一化して、印刷品質が向上したインクジェット式記録装置Ｉを得ることができる。

上述した実施形態及び変形例以外にも、種々の変更を行うことが可能である。
第１実施形態においては、リザーバ形成基板３３とノズルプレート３５との間のコンプライアンス基板５０に第２のコンプライアンス部５１を形成したが、ノズルプレート３５の一部に第２のコンプライアンス部５１と同様の形状の薄肉部を形成することによりコンプライアンス部とすることもできる。
ノズルプレート３５に薄肉部を形成することはその振動に影響を与えるので望ましくないが、この場合のコンプライアンス部はリザーバ３２の第２の領域３２ｂ，３２ｃに対応する部分に限定して形成すればよいので、第２のコンプライアンス部５１によるノズルプレート３５の振動に対する悪影響は僅かであると考えられる。

また、コンプライアンス基板５０に第１のコンプライアンス部５５を形成し、液体供給口形成基板３１に第２のコンプライアンス部５１を形成してもよい。この場合、上述した実施形態及び変形例と比較して、第１のコンプライアンス部５５の大きさを大きくできるため、インクジェット式記録ヘッド１０全体を小型化してもコンプライアンスを確保することができる。

また、第１実施形態のようにリザーバ３２の中央部にある液体導入口３８近傍でリザーバ３２が狭くなっていなくてもよく、あるいは液体導入口３８近傍で第１のコンプライアンス部５５が狭くなっている領域に応じて第２のコンプライアンス部５１を設けてもよい。

また、液体導入口３８の位置やリザーバ３２の形状等は上述した実施形態に限らず、例えば、図８や図９に示したように、リザーバ３２の一端に液体導入口３８を設けたり、リザーバ３２の両端に２つの液体導入口３８を設けたりしてもよい。この場合でも、第１および第２のコンプライアンス部５５，５１，５３を設けることで、良好な制振効果が発揮することができる。さらには、２つに限らず３つ以上の液体導入口３８を設けてもよい。
この場合においても、第１のコンプライアンス部５５が狭くなっている領域があれば、その領域に応じて第２のコンプライアンス部５１を設けることができる。
図８において、リザーバ３２には、第２の領域３２ｂが形成され、第１のコンプライアンス部５５には、第２の領域３２ｂに対応した幅の狭い領域５５ｂと液体導入口３８の付近に幅の狭い領域５５ｃとが形成されている。幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃに対応して第２のコンプライアンス部５１が形成されている。
図９において、リザーバ３２には、第２の領域３２ｄが形成され、第１のコンプライアンス部５５には、第２の領域３２ｄに対応した幅の狭い領域５５ｄと液体導入口３８の付近に幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃとが形成されている。幅の狭い領域５５ｂ，５５ｃ，５５ｄに対応して第２のコンプライアンス部５１，５３が形成されている。

また、上述した実施形態及び変形例では、厚膜型の圧電素子４０を有するインクジェット式記録ヘッド１０を例示したが、圧力発生室２１に圧力変化を生じさせる圧力発生手段としては、特にこれに限定されず、例えば、ゾル−ゲル法、ＭＯＤ法、スパッタリング法等により形成される圧電材料を有する薄膜型の圧電素子、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子、振動板と電極を所定の隙間を開けて配置し、静電気力で振動板の振動を制御する、いわゆる静電アクチュエータ、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものなどを有するインクジェット式記録ヘッドであっても同様の効果を奏するものである。

さらに、実施形態及び変形例は、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドの検査方法にも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えばプリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。

第１実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドの要部を切り欠いた斜視図。 インクジェット式記録ヘッドの要部平面図。 インクジェット式記録ヘッドの断面図。 コンプライアンス部の位置関係の一例を示す模式図。 変形例に係るコンプライアンス部の位置関係の一例を示す模式図。 第２実施形態に係るコンプライアンス部の位置関係の一例を示す模式図。 実施形態及び変形例に係るインクジェット式記録装置の概略図。 コンプライアンス部の位置関係の一例を示す模式図。 コンプライアンス部の位置関係の一例を示す模式図。

符号の説明

１０…液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド、２１…圧力発生室、３２…リザーバ、３２ａ…第１の領域、３２ｂ，３２ｃ…第２の領域、３４…ノズル開口、４０…圧力発生素子としての圧電素子、５１…第２のコンプライアンス部、５５…第１のコンプライアンス部、上面…３２１、下面…３２２、Ｉ…液体噴射装置としてのインクジェット式記録装置。

Claims (5)

1. 圧力変動により各ノズル開口を介して液体をそれぞれ吐出するように並設された複数の圧力発生室と、
   前記圧力発生室内に圧力変動を生じさせる圧力発生素子と、
   複数の前記圧力発生室に前記液体を供給するように前記圧力発生室の並設方向にわたって設けられ、第１の領域及び前記並設方向と直交する方向の幅が前記第１の領域よりも狭い第２の領域が形成されているリザーバと、
   前記リザーバに対応する領域に設けられるとともに前記リザーバの圧力変動を吸収するコンプライアンスとを備え、
   前記コンプライアンスは、前記リザーバの上面側又は下面側のいずれか一方に形成されている第１のコンプライアンス部と他方に形成されている第２のコンプライアンス部とを有し、
   前記第１のコンプライアンス部は前記リザーバの前記第１の領域および前記第２の領域の両方に対応した領域に形成され、前記第２のコンプライアンス部は少なくとも前記第１の領域の一部に対応した領域に形成されていない
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
2. 請求項１に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記第１のコンプライアンス部の前記第２の領域に対応した領域の所定部分の幅は、前記第２のコンプライアンス部の前記所定部分の幅よりも幅狭に形成されている
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
3. 請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記リザーバの幅は、対応する領域の前記第１のコンプライアンス部の幅よりも広い
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
4. 請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドにおいて、
   前記他方のコンプライアンス部の前記幅をｌ₁、この幅ｌ₁部分に対応する前記一方のコンプライアンス部の前記幅をｌ₂とするとき、
   幅ｌ₁ ⁴＋幅ｌ₂ ⁴が一定となるように前記第１のコンプライアンス部及び前記第２のコンプライアンス部が形成されている
   ことを特徴とする液体噴射ヘッド。
5. 請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。

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