JP2009212266A - 半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
半導体装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009212266A JP2009212266A JP2008052973A JP2008052973A JP2009212266A JP 2009212266 A JP2009212266 A JP 2009212266A JP 2008052973 A JP2008052973 A JP 2008052973A JP 2008052973 A JP2008052973 A JP 2008052973A JP 2009212266 A JP2009212266 A JP 2009212266A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- insulating film
- floating gate
- semiconductor device
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Memories (AREA)
- Non-Volatile Memory (AREA)
Abstract
【課題】溝部に埋め込まれている絶縁膜とフローティングゲートによる段差部の発生を抑制することにより信頼性の低下を抑制できる半導体装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、シリコン基板1上に形成されたLOCOS酸化膜2と、LOCOS酸化膜の相互間に位置するシリコン基板上に形成されたトンネル酸化膜3と、トンネル酸化膜及びLOCOS酸化膜上に形成されたフローティングゲート4と、LOCOS酸化膜上に形成され、フローティングゲートの相互間に位置する溝部8と、溝部内に埋め込まれ、溝部上に形成された層間絶縁膜5と、層間絶縁膜及びフローティングゲートの上に形成された誘電体膜6と、誘電体膜上に形成されたコントロールゲート7と、を具備し、層間絶縁膜5の表面はフローティングゲート4の上面より高く形成され、層間絶縁膜の表面にテーパー形状が形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、シリコン基板1上に形成されたLOCOS酸化膜2と、LOCOS酸化膜の相互間に位置するシリコン基板上に形成されたトンネル酸化膜3と、トンネル酸化膜及びLOCOS酸化膜上に形成されたフローティングゲート4と、LOCOS酸化膜上に形成され、フローティングゲートの相互間に位置する溝部8と、溝部内に埋め込まれ、溝部上に形成された層間絶縁膜5と、層間絶縁膜及びフローティングゲートの上に形成された誘電体膜6と、誘電体膜上に形成されたコントロールゲート7と、を具備し、層間絶縁膜5の表面はフローティングゲート4の上面より高く形成され、層間絶縁膜の表面にテーパー形状が形成されていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置及びその製造方法に係わり、特に、溝部に埋め込まれている絶縁膜とフローティングゲートによる段差部の発生を抑制することにより信頼性の低下を抑制できる半導体装置及びその製造方法に関する。
図5は従来の半導体装置を示す平面図であり、図6〜図8は、従来の半導体装置の製造方法を説明する為の断面図である。図5に示す半導体装置はスタックドゲート構造を有する不揮発性メモリであり、シリコン基板1、トンネル酸化膜3、フローティングゲート4、誘電体膜6、コントロールゲート7をこの順に積層した構造である。フローティングゲート4に溝部(スリット)8が形成され、その溝部8に層間絶縁膜5が埋め込まれている。また、図7は図5に示すB−B'部の断面図であり、図8は図5に示すA−A'部の断面図である。
図6(a)に示すように、シリコン基板1上にLOCOS法により、素子分離膜であるLOCOS酸化膜2を形成する。次いでシリコン基板1上に熱酸化にてトンネル酸化膜3を形成する。フローティングゲート用である第1のPoly−Si膜を成膜して、フォトリソグラフィー法及びドライエッチング法にて第1のPoly−Si膜を加工する。これにより、LOCOS酸化膜2上に溝部8が形成され、トンネル酸化膜3上にフローティングゲートが形成される。次にフローティングゲート4を覆うように、層間絶縁膜を成膜する。
その後、図6(b)に示すように、エッチバック法によりフローティングゲート4上の層間絶縁膜を除去し、フローティングゲート間の溝部8のみに層間絶縁膜5を残す。
その後、図7及び図8に示すように、フローティングゲート4及び層間絶縁膜5上に誘電体膜6及びコントロールゲート7となる第2のPoly−Si膜を成膜する。次に、フォトリソグラフィー法及びドライエッチング法によって第2のPoly−Si膜、誘電体膜6、層間絶縁膜5及びフローティングゲート4を連続的に順次エッチングする。(例えば特許文献1参照)
ところで、上記従来の半導体装置の製造方法では、図6(b)に示す、フローティングゲート4間の溝部8へ層間絶縁膜5を埋め込む工程において、エッチバック法によりフローティングゲート4上の層間絶縁膜5を除去している。この場合、フローティングゲート4上の絶縁膜は完全に除去する必要がある為、層間絶縁膜5の膜厚以上のエッチングを行わなければならず、フローティングゲート4とフローティングゲート4との間の溝部8に埋め込まれた層間絶縁膜5に段差部10が生じる。その為、段差部10では後に成膜するフローティングゲート4とコントロールゲート7との間にある誘電体膜6が薄くなる。その結果、段差部10において電界集中が起こることにより誘電体膜6の信頼性が低下する。
また、図7及び図8に示す工程においては、同一のフォトレジストマスクにより、コントロールゲート7、誘電体膜6、層間絶縁膜5及びフローティングゲート4を加工する。その際、溝部8に埋め込まれている層間絶縁膜5とフローティングゲート4に段差部10があることで、図8に示すように、層間絶縁膜5上にコントロールゲート膜残りによる残渣7a及び誘電体膜残りによる残渣6aが発生する。それにより半導体装置の信頼性が低下する。
本発明は上記のような事情を考慮してなされたものであり、その目的は、溝部に埋め込まれている絶縁膜とフローティングゲートによる段差部の発生を抑制することにより信頼性の低下を抑制できる半導体装置及びその製造方法を提供することにある。
上記課題を解決するため、本発明に係る半導体装置の製造方法は、半導体基板上に素子分離膜を形成する工程と、
前記素子分離膜の相互間に位置する半導体基板上にトンネル酸化膜を形成する工程と、
前記トンネル酸化膜及び前記素子分離膜上にフローティングゲートを形成すると共に、前記素子分離膜上に前記フローティングゲートの相互間に位置する溝部を形成する工程と、
前記溝部内及び前記フローティングゲート上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に、前記溝部の上方に位置する第1のフォトレジストを形成する工程と、
前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングすることにより、前記フローティングゲートの上面を露出させると共に前記溝部内に前記絶縁膜を埋め込み、前記溝部上の前記絶縁膜の表面を前記フローティングゲートの上面より高くしつつ前記溝部上の前記絶縁膜の表面にテーパー形状を形成する工程と、
前記第1のフォトレジストを除去し、前記フローティングゲート及び前記絶縁膜の上に誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜上に前記ポリシリコン膜を形成する工程と、
前記ポリシリコン膜上に第2のフォトレジストを形成する工程と、
前記第2のフォトレジストをマスクとして前記ポリシリコン膜、前記誘電体膜及び前記フローティングゲートをエッチングすることにより、前記フローティングゲート上に前記誘電体膜を介して前記ポリシリコン膜からなるコントロールゲートを形成する工程と、
を具備することを特徴とする。
前記素子分離膜の相互間に位置する半導体基板上にトンネル酸化膜を形成する工程と、
前記トンネル酸化膜及び前記素子分離膜上にフローティングゲートを形成すると共に、前記素子分離膜上に前記フローティングゲートの相互間に位置する溝部を形成する工程と、
前記溝部内及び前記フローティングゲート上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に、前記溝部の上方に位置する第1のフォトレジストを形成する工程と、
前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングすることにより、前記フローティングゲートの上面を露出させると共に前記溝部内に前記絶縁膜を埋め込み、前記溝部上の前記絶縁膜の表面を前記フローティングゲートの上面より高くしつつ前記溝部上の前記絶縁膜の表面にテーパー形状を形成する工程と、
前記第1のフォトレジストを除去し、前記フローティングゲート及び前記絶縁膜の上に誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜上に前記ポリシリコン膜を形成する工程と、
前記ポリシリコン膜上に第2のフォトレジストを形成する工程と、
前記第2のフォトレジストをマスクとして前記ポリシリコン膜、前記誘電体膜及び前記フローティングゲートをエッチングすることにより、前記フローティングゲート上に前記誘電体膜を介して前記ポリシリコン膜からなるコントロールゲートを形成する工程と、
を具備することを特徴とする。
上記本発明に係る半導体装置の製造方法によれば、溝部内に絶縁膜を埋め込む工程において第1のフォトレジストをマスクとして絶縁膜をエッチングしている為、溝部の絶縁膜はエッチングに曝されることはない。従って、溝部の絶縁膜の表面高さがフローティングゲートの上面高さよりも低くなることはなく、絶縁膜の表面をテーパー形状とすることで段差部の発生を抑制できる。その結果、半導体装置の信頼性を向上させることができる。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングする際はドライエッチングを用いることも可能である。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングする際はウェットエッチングを用いることが好ましい。これにより、フローティングゲートの上面の粗さを低減でき、その結果、フローティングゲート上に形成する誘電体膜の膜質を向上させることができる。
また、本発明に係る半導体装置の製造方法において、前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングする際は、ドライエッチングを行った後にウェットエッチングを行うことも可能である。このようにウェットエッチングを用いることにより、フローティングゲートの上面の粗さを低減でき、その結果、フローティングゲート上に形成する誘電体膜の膜質を向上させることができる。
本発明に係る半導体装置は、半導体基板上に形成された素子分離膜と、
前記素子分離膜の相互間に位置する半導体基板上に形成されたトンネル酸化膜と、
前記トンネル酸化膜及び前記素子分離膜上に形成されたフローティングゲートと、
前記素子分離膜上に形成され、前記フローティングゲートの相互間に位置する溝部と、
前記溝部内に埋め込まれ、前記溝部上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜及び前記フローティングゲートの上に形成された誘電体膜と、
前記誘電体膜上に形成されたコントロールゲートと、
を具備し、
前記絶縁膜の表面は前記フローティングゲートの上面より高く形成され、前記絶縁膜の表面にテーパー形状が形成されていることを特徴とする。
前記素子分離膜の相互間に位置する半導体基板上に形成されたトンネル酸化膜と、
前記トンネル酸化膜及び前記素子分離膜上に形成されたフローティングゲートと、
前記素子分離膜上に形成され、前記フローティングゲートの相互間に位置する溝部と、
前記溝部内に埋め込まれ、前記溝部上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜及び前記フローティングゲートの上に形成された誘電体膜と、
前記誘電体膜上に形成されたコントロールゲートと、
を具備し、
前記絶縁膜の表面は前記フローティングゲートの上面より高く形成され、前記絶縁膜の表面にテーパー形状が形成されていることを特徴とする。
また、本発明に係る半導体装置において、前記絶縁膜の表面に形成されたテーパー形状は、前記フローティングゲートの上面と接する部分が最も低く、前記接する部分から離れるにつれて高くなるような形状であることが好ましい。
以下、図面を参照して本発明の実施形態について説明する。
図4は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置を説明する為の平面図であり、図1〜図3は図4に示す半導体装置の製造方法を説明する為の断面図である。また、図2(a)、図2(b)は図4に示すB−B'部の断面図であり、図3(a)、図3(b)は図4に示すA−A'部の断面図である。
図4は本発明の第1の実施形態に係る半導体装置を説明する為の平面図であり、図1〜図3は図4に示す半導体装置の製造方法を説明する為の断面図である。また、図2(a)、図2(b)は図4に示すB−B'部の断面図であり、図3(a)、図3(b)は図4に示すA−A'部の断面図である。
まず、図1(a)に示すように、シリコン基板1上にLOCOS法により、素子分離領域に位置するLOCOS酸化膜2を形成する。LOCOS形成にはシリコン窒化膜を選択酸化マスクとして用い、酸化時の応力緩和の為に、シリコン基板とシリコン窒化膜との間には熱酸化膜を挟む構造とし、シリコン窒化膜の膜厚は5〜30nm、熱酸化膜の膜厚は50〜300nmが用いられる。素子分離法としては、種々の改良LOCOS法及びトレンチアイソレーション法を用いることも可能である。さらに、シリコン基板としてはP型のシリコン基板を用いることが一般的であるが、N型のシリコン基板を用いウェルを形成することにより代用が可能となる。
その後、図1(b)に示すように、シリコン基板1上に熱酸化によりトンネル酸化膜3を形成する。トンネル酸化膜3の膜厚は、一般的には6〜20nmの膜厚が用いられる。また、酸化手法としては、パイロジェニック酸化及びドライ酸化等を用いることが可能である。
その後、図1(c)に示すように、LOCOS酸化膜2及びトンネル酸化膜3上にフローティングゲート用の第1Poly−Si膜4aを成膜する。第1Poly−Si膜4aの膜厚は、50〜400nm程度が多く用いられており、一般的な原料ガスとしてシラン系ガスを用いたLP−CVD法により成膜する。次いで、イオン注入によりN型の不純物として一般的なリンをドーピングする。イオン注入は10〜50Kev程度の加速エネルギーにより、ドーズ量1×1014〜5×1016atm/cm2程度の条件で行う。また、不純物の導入は、イオン注入法に限定されず、Poly−Si膜の成膜時にin―situでドーピングする方法により、固体拡散により不純物を導入することも可能である。
その後、図1(d)に示すように、第1のPoly−Si膜4aにフォトリソグラフィー及びドライエッチング法を用いて、溝状のパターンを形成することにより、LOCOS酸化膜2上に溝部(スリット)8が形成され、トンネル酸化膜3上にフローティングゲート4が形成される。
その後、図1(e)に示すように、溝部8内及びフローティングゲート4を覆うように層間絶縁膜5を成膜する。層間絶縁膜としては不純物を含有しないシリコン酸化膜の他、リン、ボロン、フッ素等の不純物を含有するシリコン酸化膜か、あるいはこれらの膜を積層構造にした層間絶縁膜を用いることができる。また、成膜方法はCVD法やゾルゲル法等を用いることが可能である。層間絶縁膜5の膜厚は、設計的要因であるが、フローティングゲート4の膜厚以上、且つフローティングゲート4の相互間の溝幅の1/2以上とし、フローティングゲート間の溝部8を完全に埋め込むことが要求される。
その後、層間絶縁膜5上に、フォトリソグラフィー法により溝部8の上方に位置し且つ溝部8を覆うようにフォトレジスト9を形成する。
次に、図1(f)に示すように、フォトレジスト9をマスクとして層間絶縁膜5をドライエッチングすることによりフローティングゲート4上の層間絶縁膜5を除去する。これにより、溝部8での層間絶縁膜5の表面高さがフローティングゲート4の上面高さよりも高くなり、溝部8での層間絶縁膜5の表面高さは中心部が最も高く、フローティングゲート4の上面と接する部分に向かってなだらかなテーパー形状が得られる。つまり、このテーパー形状は、前記フローティングゲートの上面と接する部分が最も低く、前記接する部分から離れるにつれて高くなるような形状であることが好ましい。
次に、図1(f)に示すように、フォトレジスト9をマスクとして層間絶縁膜5をドライエッチングすることによりフローティングゲート4上の層間絶縁膜5を除去する。これにより、溝部8での層間絶縁膜5の表面高さがフローティングゲート4の上面高さよりも高くなり、溝部8での層間絶縁膜5の表面高さは中心部が最も高く、フローティングゲート4の上面と接する部分に向かってなだらかなテーパー形状が得られる。つまり、このテーパー形状は、前記フローティングゲートの上面と接する部分が最も低く、前記接する部分から離れるにつれて高くなるような形状であることが好ましい。
その後、図1(g)に示すように、フローティングゲート4及び層間絶縁膜5上に誘電体膜6及びコントロールゲートとなる第2のPoly−Si膜7を成膜する。誘電体膜6には、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜あるいは、その積層構造が用いられる。成膜方法としては、熱酸化法、CVD法を用いることが可能である。膜厚は素子特性に関連した設計要因であるが、一般的には10〜50nmを用いる。また、第2のPoly−Si膜の成膜及び第2のPoly−Si膜への不純物導入に関しては、第1のPoly−Si膜形成と同様の手法を用いることができる。
次に、図2(a)及び図3(a)に示すように、第2のPoly−Si膜上にフォトリソグラフィー法にて形成されるフォトレジスト9aをマスクとして第2のPoly−Si膜7、誘電体膜6及びフローティングゲート4を連続的に順次エッチングする。この際に、層間絶縁膜5の表面がオーバーエッチングされる。
その後、図2(b)及び図3(b)に示すように、フォトレジスト9aの剥離後、イオン注入によりソース・ドレイン領域10を形成し、CVD法により層間絶縁膜11を形成し、ドライエッチング法によりコンタクトホール12形成する。さらにスパッタ法での引き出し電極13及び配線14の形成を行い、保護膜15の形成によりメモリーセルが作製される。
以上、本発明の第1の実施形態によれば、フローティングゲート4間の溝部8に層間絶縁膜5を埋め込む工程においてフォトレジスト9をマスクとして層間絶縁膜5をエッチングしている為、溝部8の層間絶縁膜5はドライエッチングに曝されることはない。従って、溝部8の層間絶縁膜5の表面高さがフローティングゲート4の上面高さよりも低くなることはなく、層間絶縁膜5の表面はテーパー形状となることで、層間絶縁膜5の表面高さが最も高い中心部からフローティングゲート4の接する面はなだらかな傾斜となり、前述した段差部の発生を防止することができる。その結果、段差部で誘電体膜が薄くなることを防止でき、段差部における電界集中に起因する信頼性の低下を抑制できる。
また、段差部の発生を防止することにより、第2のPoly−Si膜7、誘電体膜6、層間絶縁膜5及びフローティングゲート4を連続的に順次エッチングする工程において、層間絶縁膜5上に発生するコントロールゲート膜残りによる残渣及び誘電体膜残りによる残渣も抑制することができる。それにより、半導体装置の信頼性を向上させることができる。
次に、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。本実施形態は、前記フローティングゲート4の相互間の溝部8に層間絶縁膜5を埋め込む工程においてウェットエッチングで行う点を除いて、第1の実施形態と同様である。
以上、本発明の第2の実施形態においても第1の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらにフローティングゲート4間の溝部8に層間絶縁膜5を埋め込む工程をウェットエッチングで行っている為、ドライエッチングで加工するよりも、さらにフローティングゲートであるPoly−Si膜表面の粗さが低減される。これにより、フローティングゲート4とコントロールゲート7との間の誘電体膜6の膜質を向上させることができ、その結果、半導体装置の信頼性を向上させることができる。
詳細には、フローティングゲート4上の層間絶縁膜5をドライエッチングにより除去すると、フローティングゲート4の表面はリアクティブイオンエッチングに曝され、フローティングゲート表面に微小な凹凸が生じ易く、その結果、膜質の高い誘電体膜6が得られない可能性がある。しかし、本実施の形態では、フローティングゲート4上の層間絶縁膜5をウェットエッチングにより除去するため、フローティングゲート表面に微小な凹凸が生じにくくなり、その結果、誘電体膜6の膜質を向上させることができる。よって、半導体装置の信頼性を向上させることができる。
次に、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置の製造方法について説明する。本実施形態は、前記フローティングゲート4間の溝部8に層間絶縁膜5を埋め込む工程において層間絶縁膜5の加工をドライエッチング及びウェットエッチングにより分割して行う点を除いて、第1の実施形態と同様である。
まず、フローティングゲート4間の溝部8に層間絶縁膜5を埋め込む工程において、フローティングゲート4上の層間絶縁膜5は完全に除去する必要がある。そこで、最初にドライエッチング法にてフローティングゲート4が露出しないように層間絶縁膜5をわずかに残した状態にした後、ウェットエッチング法にて層間絶縁膜5を完全に除去する。
以上、本発明の第3の実施形態においても第2の実施形態と同様の効果を得ることができる。さらに層間絶縁膜5をドライエッチングとウェットエッチングにて分割して加工することにより、最初にフローティングゲート4と層間絶縁膜5の低選択比条件にて高速にドライエッチングを行い、その後、高選択比条件にてウェットエッチングを行うことで、層間絶縁膜5の加工時間の短縮が可能となる。
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲内で種々変更して実施することが可能である。
1,101・・・シリコン基板、2,102・・・LOCOS酸化膜、3,103・・・トンネル酸化膜、4,104・・・フローティングゲート、4b・・・Poly−Si膜、5,105・・・層間絶縁膜、6,106・・・誘電体膜、106a・・・誘電体膜残渣、7,107・・・コントロールゲート、107a・・・コントロールゲート残渣、8,108・・・スリット、9・・・フォトレジスト、9a・・・第2のPoly−Si上のフォトレジスト、10・・・ソース・ドレイン領域、11・・・層間絶縁膜a、12・・・コンタクトホール、13・・・引き出し電極、14・・・配線、15・・・保護膜
Claims (6)
- 半導体基板上に素子分離膜を形成する工程と、
前記素子分離膜の相互間に位置する半導体基板上にトンネル酸化膜を形成する工程と、
前記トンネル酸化膜及び前記素子分離膜上にフローティングゲートを形成すると共に、前記素子分離膜上に前記フローティングゲートの相互間に位置する溝部を形成する工程と、
前記溝部内及び前記フローティングゲート上に絶縁膜を形成する工程と、
前記絶縁膜上に、前記溝部の上方に位置する第1のフォトレジストを形成する工程と、
前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングすることにより、前記フローティングゲートの上面を露出させると共に前記溝部内に前記絶縁膜を埋め込み、前記溝部上の前記絶縁膜の表面を前記フローティングゲートの上面より高くしつつ前記溝部上の前記絶縁膜の表面にテーパー形状を形成する工程と、
前記第1のフォトレジストを除去し、前記フローティングゲート及び前記絶縁膜の上に誘電体膜を形成する工程と、
前記誘電体膜上に前記ポリシリコン膜を形成する工程と、
前記ポリシリコン膜上に第2のフォトレジストを形成する工程と、
前記第2のフォトレジストをマスクとして前記ポリシリコン膜、前記誘電体膜及び前記フローティングゲートをエッチングすることにより、前記フローティングゲート上に前記誘電体膜を介して前記ポリシリコン膜からなるコントロールゲートを形成する工程と、
を具備することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1において、前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングする際はドライエッチングを用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1において、前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングする際はウェットエッチングを用いることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 請求項1において、前記第1のフォトレジストをマスクとして前記絶縁膜をエッチングする際は、ドライエッチングを行った後にウェットエッチングを行うことを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 半導体基板上に形成された素子分離膜と、
前記素子分離膜の相互間に位置する半導体基板上に形成されたトンネル酸化膜と、
前記トンネル酸化膜及び前記素子分離膜上に形成されたフローティングゲートと、
前記素子分離膜上に形成され、前記フローティングゲートの相互間に位置する溝部と、
前記溝部内に埋め込まれ、前記溝部上に形成された絶縁膜と、
前記絶縁膜及び前記フローティングゲートの上に形成された誘電体膜と、
前記誘電体膜上に形成されたコントロールゲートと、
を具備し、
前記絶縁膜の表面は前記フローティングゲートの上面より高く形成され、前記絶縁膜の表面にテーパー形状が形成されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項5において、前記絶縁膜の表面に形成されたテーパー形状は、前記フローティングゲートの上面と接する部分が最も低く、前記接する部分から離れるにつれて高くなるような形状であることを特徴とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008052973A JP2009212266A (ja) | 2008-03-04 | 2008-03-04 | 半導体装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008052973A JP2009212266A (ja) | 2008-03-04 | 2008-03-04 | 半導体装置及びその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009212266A true JP2009212266A (ja) | 2009-09-17 |
Family
ID=41185137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008052973A Withdrawn JP2009212266A (ja) | 2008-03-04 | 2008-03-04 | 半導体装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009212266A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010040749A1 (de) | 2009-09-14 | 2011-03-17 | Denso Corporation, Kariya-City | Radarvorrichtung zum Abstrahlen und Empfangen elektrischer Wellen mit Gitterkeulen |
-
2008
- 2008-03-04 JP JP2008052973A patent/JP2009212266A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102010040749A1 (de) | 2009-09-14 | 2011-03-17 | Denso Corporation, Kariya-City | Radarvorrichtung zum Abstrahlen und Empfangen elektrischer Wellen mit Gitterkeulen |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4947931B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP4551795B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006032946A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2013026382A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2006303009A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2012028805A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2012089772A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2007194333A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5274878B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2007019191A (ja) | 半導体装置とその製造方法 | |
JP2008085101A (ja) | 半導体装置 | |
JP2009212266A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
US20090140332A1 (en) | Semiconductor device and method of fabricating the same | |
JP4191203B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2008084975A (ja) | 半導体装置、およびその製造方法 | |
JP2006310484A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009004492A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2009004480A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2010067683A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP2008047691A (ja) | 半導体装置の製法 | |
JP5279222B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP5458547B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2008124061A (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2005223196A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2009111020A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20110510 |