JP2009211056A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基板と対向基板の間に液晶材料と、
   前記基板上に設けられ、前記液晶材料と接し、かつ、可動部を有する微小構造体と、を有することを特徴とする液晶表示装置。
2. 請求項１において、
   前記微小構造体は、
   下部電極と、
   上部電極と、
   前記下部電極及び前記上部電極の間に空間部分と、を有することを特徴とする液晶表示装置。
3. 請求項１又は請求項２において、
   前記微小構造体を有する画素を、複数有し、
   複数の前記画素のうち隣り合う画素が有する前記微小構造体は、一つの配線に電気的に接続されることを特徴とする液晶表示装置。
4. 請求項１又は請求項２において、
   複数の画素を有し、
   前記複数の画素のそれぞれは、
   前記微小構造体と、
   前記微小構造体の駆動を制御する機能を有する素子と、を有することを特徴とする液晶表示装置。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
   前記微小構造体は、
   第１の電極と、
   第２の電極と、
   前記第１の電極と前記第２の電極に挟まれた圧着材料と、を有することを特徴とする液晶表示装置。
6. 請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、
   前記微小構造体は、
   応力の異なる第１の材料膜及び第２の材料膜と、
   前記第１の材料膜と前記第２の材料膜に挟まれ、かつ、熱導電性材料を有するヒータと、を有することを特徴とする液晶表示装置。
7. 基板上に、下部電極と、上部電極と、前記下部電極及び前記上部電極の間に空間部分と、を有する微小構造体を形成し、
   前記基板に設けられたシール材に囲まれた領域に液晶材料を滴下することにより、前記液晶材料と前記微小構造体が接するように配置し、
   前記基板と対向基板を貼り合わせることを特徴とする液晶表示装置の作製方法。
8. 請求項７において、
   前記微小構造体を形成する工程は、
   前記基板上に前記下部電極を形成する工程と、
   前記下部電極上に犠牲層を形成する工程と、
   前記犠牲層上に前記上部電極を形成する工程と、
   前記犠牲層をエッチングにより除去することによって前記空間部分を形成する工程と、を有することを特徴とする液晶表示装置の作製方法。