JP2009205743A - 光情報記録媒体の製造方法、及びその製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】層間膜厚が均一で、偏芯が回避され、かつ微細凹凸の転写状態が良好な高密度記録型の光情報記録媒体を作製する。
【解決手段】ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体を製造する方法において、前記中間層に、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる第一工程と、前記スタンパ上からローラー２０によって圧力をかけ、前記中間層に微細凹凸を転写する第二工程を有しており、この第二工程においては、ローラー２０をディスク中心を基準として周方向に回転させることとする。
【選択図】図９

Description

本発明は、光情報記録媒体の製造方法、及び光情報記録媒体の製造装置に関するものである。

従来から、基板上に形成された情報信号部にレーザ光を照射して信号の記録／再生を行う高密度型の光情報記録媒体が提案されている。
図１は、基板１０１の一主面上に、反射層または記録層よりなる情報信号部１０２が形成され、さらにカバー層１０３が積層された単層構造の光情報記録媒体の概略断面図である。カバー層１０３側から対物レンズを介してレーザ光を照射することにより信号の記録／再生が行われる。
図２は、二層構造の光情報記録媒体の概略断面図である。これにおいては、基板１０１の一主面上に、反射膜２０５を具備する第一の情報信号部２０１と、半透明膜２０６を具備する第二の情報信号部２０２とが、中間層２０３を介して積層されており、最上層にカバー層１０３が形成されている。カバー層１０３側から対物レンズを介してレーザ光を照射することにより、信号の記録／再生が行われる。
特に図２に示すような積層型の光情報記録媒体においては、中間層２０３に膜厚の均一性が要求される。

図３及び図４を参照して、図２の光情報記録媒体の作製工程について説明する。
まず、図３（ａ）に示すように、基板上にブルーレイ規格においてＬ0層と称する記録層をスパッタ成膜し、基板を回転テーブル３００上に載置し中心孔をピンに嵌め合わせる。
センターキャップ３０１を基板の中心孔に嵌め合わせる。
図３（ｂ）に示すように、基板１０１の中心部に、紫外線硬化樹脂３０３を塗布し、回転テーブル３００を回転させ振り切りを行う。
これにより、図３（ｃ）に示すように基板１０１上に中間層２０３が形成される。

次に、図４（ａ）に示すように、センターキャップ３０１を上方向に外す。
図４（ｂ）に示すように、中間層２０３に所定の微細凹凸を具備する光透過性の透明スタンパ３０４を載置し、図４（ｃ）に示すように紫外線を照射して中間層２０３に微細凹凸を転写形成する。
このような中間層形成法を２Ｐ法と称する。
次に、図４（ｄ）に示すように、中間層２０３上に図２中の半透明膜２０６をスパッタ成膜し、ブルーレイ規格においてＬ1層と称される記録層を形成する。

続いて、図２中のカバー層１０３を形成する。
先ず、上記のようにして前記Ｌ1層を形成した後、図６に示す断面形状を有するセンターキャップ３０１を基板の中心孔に嵌め合わせ、図５（ａ）に示すように、センターキャップ３０１上から紫外線硬化樹脂を塗布する。
図５（ｂ）に示すように、回転テーブル３００の回転により樹脂の振り切りを行い、紫外線照射により硬化してカバー層１０３を形成し、目的とする光情報記録媒体が得られる。
上述した２Ｐ法は、例えば、下記特許文献１、２に開示されている。

しかしながら、上述した２Ｐ法によって中間層を形成すると、図４（ｄ）中の円で囲まれた領域の拡大図である図４（ｅ）に示されているように、センターキャップ３０１と基板１０１との隙間に毛管現象によって紫外線硬化性樹脂が入り込み、センターキャップ３０１を取り外した後に残存する。また、センターキャップ３０１の端部に沿った凸状の形状不良が発生する。
このように中間層形成工程において、クランプ部に凸状の形状不良が発生していると、カバー層を平滑面に形成できないという問題を引き起こす。
すなわち、図７に示すような、放射状のスジ状の欠陥部が多く発生してしまうことが確かめられた。

一方において、下記特許文献３においては、可動型金型と固定型金型とを嵌合して形成して密封構造内を気泡が発生することのない減圧雰囲気とし、その中で基板にスタンパの微細な凹凸パターンを熱転写させる技術が提案されている。
しかし、この手法では、基板やスタンパを基板のガラス転移点以上に熱してスタンパの溝を転写するため、タクトが長い、溝の形状が変形する等の問題が生じた。

また、下記特許文献４、５においては、中間層用の材料としてドライ光硬化性フィルムを用いる方法が提案された。
これは、ゲル状の半硬化状態のフィルムを記録層に対して接着し、光硬化させ、均等な膜厚の中間層を形成するという技術である。
しかしこの方法によると、極めて微細な凹凸を確実に転写させるための手段が開示されておらず、結局のところ、信号転写性に劣るという問題がある。

また、下記特許文献６においては、ドライ光硬化性フィルムよりなる中間層に対し微細凹凸の転写を行う工程において、透明スタンパをドライ光硬化性フィルムから少しだけ離した状態に配置して、端部からローラーを用いて圧力をかけながら転写していく方法が提案されている。
しかしながら、ローラー圧着工程においては、図８に示されているように偏芯が発生してしまい、特に数十ミクロンの偏芯が生じると高密度型の記録媒体においては信号不良の大きな原因となった。

特開平１１−２１３４５９号公報 特開２００４−９５１０８号公報 特開２００２−４２３８７号公報 特開２００７−２９４０９８号公報 特開２００７−３０５２２０号公報 特開２００６−３１８６１０号公報

そこで本発明においては、上述した従来技術の問題に鑑みて、層間膜厚が均一で、偏芯の発生が回避でき、かつ微細凹凸を確実に転写可能な、高密度記録型の光情報記録媒体の製造方法、及びその製造装置を提供することを目的とした。

請求項１の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造方法であって、前記中間層に、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる第一工程と、前記スタンパ上からローラーによって圧力をかけ、前記中間層に微細凹凸を転写する第二工程を有しており、当該第二工程においては、前記ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法を提供する。

請求項２の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、前記中間層に、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる、貼り合わせ機構と、前記スタンパ上から圧力をかけるローラーを具備しており、 前記ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させる駆動系を具備していることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置を提供する。

請求項３の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、前記中間層に微細凹凸を転写するスタンパを貼り合わせる貼り合わせ機構と、前記スタンパ上から圧力をかけるローラーを具備しており、前記貼り合わせ機構及び前記ローラーは、連続した減圧・真空に制御可能な雰囲気中に設けられていることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置を提供する。

請求項４の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体の製造方法であって、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、前記中間層に対して転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる第一工程と、当該第一工程と連続して、減圧・真空雰囲気下で、前記スタンパ上からローラーによって圧力をかけ、前記中間層に微細凹凸を転写する第二工程を有しており、当該第二工程においては、前記ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法を提供する。

請求項５の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、前記中間層に微細凹凸を転写するスタンパを貼り合わせる、貼り合わせ機構と、前記スタンパ上から圧力をかけるローラーを具備しており、前記貼り合わせ機構、及び前記ローラーは、連続した減圧・真空に制御可能な雰囲気中に設けられ、前記ローラーは、ディスク中心を基準として周方向に回転する駆動系を具備していることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置を提供する。

請求項６の発明においては、前記第一工程を、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、前記第二工程を常圧雰囲気下で、連続して行うことを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体の製造方法を提供する。

請求項７の発明においては、前記中間層に微細凹凸を転写するスタンパを貼り合わせる貼り合わせ機構の周囲を、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）に制御し、前記スタンパ上から圧力をかけるローラーの周囲を、常圧雰囲気に制御する、圧力制御機構を具備していることを特徴とする請求項２に記載の光情報記録媒体の製造装置を提供する。

請求項８の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体の製造方法であって、前記中間層に対して、転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる第一工程と、前記スタンパ上からローラーによって圧力をかけ、前記中間層に微細凹凸を転写する第二工程を有しており、前記第一工程を１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、前記第二工程を常圧雰囲気下で、連続して行うこととし、前記第二工程においては、前記ローラーを、ディスク中心から外周部方向に移動させることを特徴とする特徴とする光情報記録媒体の製造方法を提供する。

請求項９の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、前記中間層に微細凹凸を転写するスタンパを貼り合わせる、貼り合わせ機構と、前記スタンパ上から圧力をかけるローラーを具備しており、前記ローラーは、ディスク中心から外周部方向に移動する駆動系を具備していることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置を提供する。

請求項１０の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体の製造方法であって、カバー層形成工程においては、フィルム状樹脂膜を最上層に貼り合わせ、前記ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させることを特徴とする請求項１、４、６、８のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法を提供する。

請求項１１の発明においては、ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、フィルム状樹脂膜を最上層に貼り合わせて前記ローラーによって圧力をかけ、前記ローラーは、ディスク中心を基準として周方向に回転する駆動系を具備していることを特徴とする請求項２、３、５、７、９のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造装置を提供する。

請求項１、２の発明によれば、中間層膜厚が均一で、偏芯の発生が確実に回避された高密度記録型の光情報記録媒体が得られた。

請求項３、８、９の発明によれば、層間に気泡が侵入することを防止でき、微細凹凸を確実に転写形成された高密度記録型の光情報記録媒体が得られた。

請求項４、５の発明によれば、中間層膜厚が均一で、偏芯の発生が確実に回避され、かつ、信号やプリグルーブ等を構成する微細凹凸を確実に転写形成された高密度記録型の光情報記録媒体が得られた。

請求項６、７の発明によれば、圧力制御されるスペースを小さくでき、かつ工程時間を短縮でき、全体の作製コストを低減化できた。

請求項１０、１１の発明によれば、カバー層の膜厚が均一で、偏芯の発生が確実に回避された高密度記録型の光情報記録媒体が得られた。

本発明は、光情報記録媒体の製造方法、及び当該方法を実施するための製造装置の関するものである。
以下、具体例を挙げて説明するが、本発明は下記の例に限定されるものではなく、再生、消去、記録について適宜機能を選定した構成の光情報記録媒体、単層型、多層型のいずれにおいても適用可能である。

ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体を作製する。
例えば信号やグルーブ等を構成する微細凹凸を具備する基板上に、光透過性の材料よりなる中間層を形成する。
続いて、所定のスタンパ貼り合わせ機構によって、前記中間層に対して転写用微細凹凸を具備するスタンパの貼り合わせを行う（第一工程）。
続いて、スタンパ上からローラーによって圧力をかけ、中間層に微細凹凸を転写する（第二工程）。
前記ローラーは、ディスク中心を基準として周方向に回転させる駆動系を具備しているものとし、前記第二工程においてはローラーをディスク中心を基準として周方向に回転させる。

上記第二工程における、ローラーの駆動状態について説明する。
例えば、図９に示すように、所定のステージ１０上に、スタンパを貼り合わせた状態の基板と中間層との積層体１５を載置する。
続いて、図９中の一点鎖線で示すディスク中心を基準として、図９中矢印に示す周方向にローラー２０を回転させて、スタンパ面に圧力をかけて微細凹凸を転写する。

ここで、図１０に示すように、ディスク中心近傍における径と、ディスク外周端近傍における径とが異なるローラー３０が好適に用いられる。
この図１０に示すローラー３０は、ディスク内周部に相当するローラーの進行距離とディスク外周部に相当するローラーの進行距離とが異なることに対応し、ローラー走行距離の比と、ローラーの径の比とを等しくさせたものとする。
これにより円滑な微細凹凸転写が可能となる。

図９、図１０に示すように、スタンパ上からの押圧を、ローラーの線接触移動によって行うことにより、中間層膜厚が均一化し、偏芯の発生が確実に回避される。

前記第一工程と第二工程は、所定の圧力制御機構によって、周囲の圧力条件を適宜制御可能となされている。
前記第一工程、あるいは前記第二工程を減圧・真空雰囲気下で行うことにより、層間に気泡が侵入することを防止でき、確実な微細凹凸転写を行われた。
ここで、減圧・真空雰囲気下とは、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下であるものとする。
なお、第二工程を、常圧下とした他のステージ上で行うようにしてもよい。これによると、減圧・真空雰囲気下に制御する装置スペースを小さくでき、かつ圧力制御時間が短縮できるようになるので、トータルの作製工程時間を短縮できコストの低減化が図られる。

また、上記第二工程における、ローラーの駆動状態は、図９、図１０に示す周方向の回転駆動に限定されるものではなく、図１１に示すように、ローラー４０を、ディスク中心からディスク外周方向に向かって進行させる移動を行うように、駆動系を制御してもよい。

上記のように中間層に微細凹凸を転写した後、所定の機能膜を形成し、さらに最上層としてカバー層を形成する。
カバー層は、フィルム状樹脂膜を貼り合わせ、ローラーによって圧力をかけて形成する。
このときローラーは、図９、１０に示すように、ディスク中心を基準として周方向に回転するように駆動制御することが好ましい。これにより均一な膜厚のカバー層が形成できる。

〔実施例１〕
この例においては、図２に示す構成の二層型の光ディスクを作製する。
基板１０１の一主面上に、金属反射膜２０５を具備する第一の情報信号部２０１と、半透過膜２０６を具備する第二の情報信号部２０２とが形成されている。
第一の情報信号部２０１と第二の情報信号部２０２とは、２５μｍの膜厚の中間層２０３を介して形成されている。
最上層には、７５μｍの膜厚の光透過性のカバー層１０３が形成されており、このカバー層形成面側からレーザ光を照射することにより、信号の記録／再生が行われる。

先ず、ピット、プリグルーブ等の微細凹凸を具備するスタンパを用いて、ポリカーボネート等の光透過性樹脂を射出成形や加圧成形することにより、図１２（ａ）に示すように、所定の微細凹凸が転写されたディスク状の基板を作製する。
次に、図１２（ｂ）に示すように、基板面上に、スパッタ法や真空蒸着法等により、アルミニウムや銀合金等の金属材料による金属反射膜２０５を積層し、第一の情報信号部２０１を形成する。ブルーレイディスクにおいては、Ｌ0層と称される。

次に、中間層２０３について説明する。
中間層２０３は、ドライ光硬化性フィルムと呼ばれる半硬化状態のフィルムを適用する。
先ず、ドライ光硬化性フィルムの材料について説明する。
ブチルアクリレート６２重量部と、メチルメタクリレート１０重量部と、２−ヒドロキシエチルアクリレート２８重量部とを酢酸エチル中で反応させて、官能基にヒドロキシル基を有するアクリル系共重合体の酢酸エチル溶液（固形分濃度４０重量％）を得た。
更に、上記アクリル系共重合体の酢酸エチル溶液２５０重量部に、酢酸エチル１００重量部と、置換基にイソシアナート基を有する不飽和基含有化合物としてのメタクリロイルオキシエチルイソシアナート３０重量部（アクリル系共重合体の２−ヒドロキシエチルアクリレート１００当量に対し８０．５当量）と、触媒としてのジブチル錫ジラウレート０．１２重量部とを添加し、窒素雰囲気下、室温で２４時間反応させて、エネルギー線硬化型共重合体を得た。
前記エネルギー線硬化型共重合体の重量平均分子量（Ｍｗ）は、６０００００であった。
前記エネルギー線硬化型共重合体固形分１００重量部に光重合開始剤である１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン（チバ・スペシャリティ・ケミカルズ株式会社製，商品名：イルガキュア１８４）３．７重量部を溶解させて、固形分濃度を３５重量％に調整し、スタンパ受容層用の塗布剤Ａとした。
一方、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム（厚さ：３８μｍ）の片面に重剥離型のシリコーン樹脂で離型処理した重剥離型剥離シート（剥離処理面の表面粗さ：Ｒａ＝０．０１６μｍ）、およびＰＥＴフィルム（厚さ：３８μｍ）の片面に軽剥離型のシリコーン樹脂で離型処理した軽剥離型剥離シート（剥離処理面の表面粗さ：Ｒａ＝０．０２３μｍ）の２種類の剥離シートを用意した。
上記塗布剤Ａを、ナイフコーターによって上記重剥離型剥離シートの離型処理面上に塗布して９０℃で１分間乾燥させ、厚さ１０μｍのドライ光硬化性フィルムを形成した。
そして、そのドライ光硬化性フィルムの表面に上記軽剥離型剥離シートを積層し、これを光ディスク製造用シートとした。

図１２（ｃ）に示すように、上記のように作製した光ディスク製造用シートの一方の剥離シートを剥離除去し、ドライ光硬化性フィルム１１の一主面を露出させる。
続いて、図１２（ｄ）に示すように、上述した基板１０１の第一の情報信号部２０１上に、気泡侵入を回避しながら貼り付け、圧着し、更に、ドライ光硬化性フィルム１１上に積層されている他方の剥離シート１２を剥離除去し、他の面においても、ドライ光硬化性フィルムを露出させる。

次に、図１２（ｅ）に示すように、上記のように露出させたドライ光硬化性フィルム１１の面上に、スタンパＳを減圧・真空雰囲気下で貼り合わせる。これにより気泡の侵入が回避できる。
このとき、スタンパＳに設けられている所定の微細凹凸パターンを、ドライ光硬化性フィルムに転写する工程においては、減圧・真空雰囲気下で、ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させながら押圧し、圧着させる。これによりスタンパＳの微細凹凸パターンがムラなく確実に転写される。

上記スタンパＳは、ニッケル合金等の金属材料もしくは光を透過するポリカーボネート等からなるものを適用できる。
特に、ドライ光硬化性フィルム１１との剥離性が良好な材料が好ましく、例えば、日本ゼオン製のＺＥＯＮＯＲ（登録商標）が挙げられる。
なお、スタンパＳは板状形状に限定されるものではなく、ロール形状のものも適用できる。

次に、ドライ光硬化性フィルム１１にスタンパＳを密着させた状態で、エネルギー線照射装置、例えばＵＶランプを使用して、エネルギー線照射を行う。このとき、前記スタンパとして日本ゼオン製のＺＥＯＮＯＲ（登録商標）を用いた場合には、スタンパ側からエネルギー線を照射できる。これによりドライ光硬化性フィルム１１を構成するエネルギー線硬化性の材料が硬化し、貯蔵弾性率が上昇する。
なお、照射するエネルギー線としては、紫外線、電子線等が適用できる。

続いて、スタンパＳをドライ光硬化性フィルム１１から剥離する。
ドライ光硬化性フィルム１１にスタンパＳの凹凸パターンが転写・固定され、所望のピットまたはグルーブを形成した後、図１２（ｆ）に示すように、スパッタリング等により、半透過膜２０６を形成し、第二の情報記録部２０２とする。ブルーレイディスクにおいては、この記録層をＬ1層と称する。
この半透過膜２０６は、例えば相変化膜等を含んでいてもよく、所定の機能層を積層させた多層構造であってもよい。

その後、図１２（ｇ）に示すように、接着剤４を介してカバー層１０３を積層し、目的とする二層構造の光情報記録媒体を得た。

〔実施例２〕
図１２（ｃ）〜（ｄ）の、中間層形成工程におけるドライ光硬化性フィルム１１の貼り合わせを、減圧・真空雰囲気下で行い、その後、大気解放して常圧雰囲気下とし、スタンパの微細凹凸を転写するために、ローラーを、ディスク中心を基準として回転させながら圧着させた。その他の条件は、上記実施例１と同様として光情報記録媒体を作製した。

〔実施例３〕
図１２（ｃ）〜（ｄ）の、中間層形成工程におけるドライ光硬化性フィルム１１の貼り合わせを、減圧・真空雰囲気下で行う。次に、大気解放して常圧雰囲気下とし、図１１に示すように、ローラーを、先ず矢印Ａ方向にディスク中心から一の外周方向に向かって直線的に移動させて押圧する。続いてローラーをディスク中心に戻し、矢印Ｂ方向に、ディスク中心から他の外周方向に向かって直線的に移動させて押圧し、スタンパの微細凹凸を転写させた。
その他の条件は、上記実施例１と同様として光情報記録媒体を作製した。

〔実施例４〕
最上層となるカバー層１０３を、第二の情報信号部２０２上に積層形成する際に、ローラーを、ディスク中心を基準として回転させながら圧着させた。
その他の条件は、実施例１と同様として光情報記録媒体を作製した。

〔比較例１〕
図１２（ｅ）に示すように、ドライ光硬化性フィルム１１の面上に、スタンパＳを、減圧・真空雰囲気下で貼り合わせた。
スタンパＳに設けられている所定の微細凹凸パターンを、ドライ光硬化性フィルムに転写する工程においては、減圧・真空雰囲気下で、ローラーを、図８に示すように、一の端部から対向する端部に向かって回転させ、圧着させた。
その他の条件は、実施例１と同様として光情報記録媒体を作製した。

〔比較例２〕
図１２（ｅ）に示すように、ドライ光硬化性フィルム１１の面上に、スタンパＳを貼り合わせる際、常圧条件下で行った。

〔比較例３〕
最上層となるカバー層１０３を、第二の情報信号部２０２上に積層形成する際に、ローラーを、図８に示すように、一の端部から対向する端部に向かって回転させ、圧着させた。
その他の条件は、実施例１と同様として光情報記録媒体を作製した。

上述した実施例１〜４、比較例１〜３の光情報記録媒体をそれぞれ１０枚作製し、評価用サンプルとした。
これらの光情報記録媒体のＰ−Ｐ（プッシュプル）のばらつき、欠陥について、１０枚のサンプルの平均値を比較した。評価結果を下記〔表１〕に示す。
なお、Ｐ−Ｐ（プッシュプル）のばらつきは、ディスクの最内周から最外周までのＰ−Ｐ値の最大値と最小値を求め、その差異を以って当該ディスクのＰ−Ｐのばらつきであると定義した。すなわち、このばらつきが大きければディスクに対して全面に均一に溝の転写が出来ていないことを意味する。
また、欠陥はDr. Schenk社製の欠陥検査機（ISM.blue+）にて表面の欠陥を検査した。ここでの欠陥は、気泡やダストの混入、傷、スポット等を指し、上記検査機によって検出される。

上記表１に示すように、本発明の実施例１〜４においては、いずれにおいても、偏芯量が十分に低減化されており、Ｐ−Ｐ全面のばらつきも極めて少なく、ディスク全面において気泡等による欠陥が確認されなかった。
一方、比較例１においては、スタンパの貼り合わせ工程において、ローラーを図８に示すように、一端部から、対向する他の端部に向けて回転させたことにより、偏芯量が大きくなってしまい、信号欠陥を招来した。
また、スタンパの貼り合わせを常圧条件下で行った比較例２においては、層間にエアが侵入し、気泡欠陥が生じた。
また、比較例３においては、カバー層の貼り合わせ工程で、ローラーを図８に示すように、一端部から対向する他の端部に向けて回転させたことにより、端部の欠陥が発生した。
この比較例３のようなやり方では、貼り合せ初期のタッチングにて同時に圧着することは困難であり、圧着無しで貼られた開始部には細かな気泡が入りやすいという欠点があることが確認された。

薄層のカバー層側からレーザ光を照射して信号の記録及び／又は再生を行う、高密度記録型の光情報記録媒体においては、開口度（ＮＡ）の大きな光学系を適用するため、中間層やカバー層の層厚均一性や、層間の状態は極めて重要な要素である。
本発明は、高密度記録型の光情報記録媒体を作製するために極めて好適である、情報記録層間の中間層や最上層のカバー層を均等膜厚に形成でき、かつ層間の気泡の侵入を効果的に防止できることが確認された。
具体的には、照射レーザ光の波長を４０５ｎｍとし、照射光学系の対物レンズの開口数０．８５を想定した場合、カバー層の屈折率（約１．５）に対応した二層光ディスクを作製したとき、カバー層の所定膜厚（７５μｍ）で、カバー層の内周と外周における膜厚差が３μｍ以下となって、実用上十分に高い精度に形成されていることが確認された。

単層構造の光情報記録媒体の概略断面図を示す。 二層構造の光情報記録媒体の概略断面図を示す。 （ａ）〜（ｃ）中間層形成工程図を示す。 （ａ）〜（ｅ）中間層への微細凹凸転写工程図を示す。 （ａ）、（ｂ）カバー層形成工程図を示す。 センターキャップの概略断面図を示す。 従来方法により作製した光ディスクの上面図を示す。 従来方法に適用するローラーの駆動状態を示す。 本発明に適用するローラーの駆動状態の一例を示す。 本発明方法に適用するローラーの駆動状態の他の一例を示す。 本発明に適用するローラーの駆動状態の他の一例を示す。 （ａ）〜（ｇ）本発明方法による光情報記録媒体の作製工程図を示す。

符号の説明

１０ ステージ
１１ ドライ光硬化性フィルム
１２ 剥離シート
１５ 積層体
２０ ローラー
３０ ローラー
１０１ 基板
１０２ 情報信号部
１０３ カバー層
２０１ 第一の情報信号部
２０２ 第二の情報信号部
２０３ 中間層
２０５ 反射膜
２０６ 半透明膜
３００ 回転テーブル
３０１ センターキャップ
３０３ 紫外線硬化樹脂
３０４ 透明スタンパ

Claims (11)

1. ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造方法であって、
   前記中間層に、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる第一工程と、
   前記スタンパ上からローラーによって圧力をかけ、前記中間層に微細凹凸を転写する第二工程を有しており、
   当該第二工程においては、前記ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
2. ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、
   前記中間層に、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる、貼り合わせ機構と、
   前記スタンパ上から圧力をかけるローラーを具備しており、
   前記ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させる駆動系を具備していることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置。
3. ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、
   前記中間層に微細凹凸を転写するスタンパを貼り合わせる貼り合わせ機構と、
   前記スタンパ上から圧力をかけるローラーを具備しており、
   前記貼り合わせ機構及び前記ローラーは、連続した減圧・真空に制御可能な雰囲気中に設けられていることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置。
4. ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体の製造方法であって、
   １０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、前記中間層に対して転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる第一工程と、
   当該第一工程と連続して、減圧・真空雰囲気下で、前記スタンパ上からローラーによって圧力をかけ、前記中間層に微細凹凸を転写する第二工程を有しており、
   当該第二工程においては、前記ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させることを特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
5. ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、
   前記中間層に微細凹凸を転写するスタンパを貼り合わせる、貼り合わせ機構と、
   前記スタンパ上から圧力をかけるローラーを具備しており、
   前記貼り合わせ機構、及び前記ローラーは、連続した減圧・真空に制御可能な雰囲気中に設けられ、
   前記ローラーは、ディスク中心を基準として周方向に回転する駆動系を具備していることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置。
6. 前記第一工程を、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、前記第二工程を常圧雰囲気下で、連続して行うことを特徴とする請求項１に記載の光情報記録媒体の製造方法。
7. 前記中間層に微細凹凸を転写するスタンパを貼り合わせる貼り合わせ機構の周囲を、１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）に制御し、
   前記スタンパ上から圧力をかけるローラーの周囲を、常圧雰囲気に制御する、圧力制御機構を具備していることを特徴とする請求項２に記載の光情報記録媒体の製造装置。
8. ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体の製造方法であって、
   前記中間層に対して、転写用微細凹凸を具備するスタンパを貼り合わせる第一工程と、
   前記スタンパ上からローラーによって圧力をかけ、前記中間層に微細凹凸を転写する第二工程を有しており、
   前記第一工程を１０^-1Ｐaよりも減圧状態にした雰囲気下（減圧・真空雰囲気下）で、
   前記第二工程を常圧雰囲気下で、連続して行うこととし、
   前記第二工程においては、前記ローラーを、ディスク中心から外周部方向に移動させることを特徴とする特徴とする光情報記録媒体の製造方法。
9. ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、
   前記中間層に微細凹凸を転写するスタンパを貼り合わせる、貼り合わせ機構と、
   前記スタンパ上から圧力をかけるローラーを具備しており、
   前記ローラーは、ディスク中心から外周部方向に移動する駆動系を具備していることを特徴とする光情報記録媒体の製造装置。
10. ディスク状の基板上に、少なくとも中間層とカバー層とを具備する光情報記録媒体の製造方法であって、
    カバー層形成工程においては、フィルム状樹脂膜を最上層に貼り合わせ、前記ローラーを、ディスク中心を基準として周方向に回転させることを特徴とする請求項１、４、６、８のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造方法。
11. ディスク状の基板上に、少なくとも、中間層と、カバー層とを具備する光情報記録媒体の製造装置であって、
    フィルム状樹脂膜を最上層に貼り合わせて前記ローラーによって圧力をかけ、前記ローラーは、ディスク中心を基準として周方向に回転する駆動系を具備していることを特徴とする請求項２、３、５、７、９のいずれか一項に記載の光情報記録媒体の製造装置。

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