JP2009204895A - 着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタおよびカラー液晶表示素子 - Google Patents

Abstract

【課題】基板との密着性に優れ、高精細で優れたパターン形状を有する画素およびブラックマトリックスを形成することができる感放射線性組成物の提供。
【解決手段】（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）２個以上のラジカル重合性不飽和結合を有する単量体、（Ｄ）感放射線性ラジカル発生剤、並びに（Ｅ）特定のフェノール性化合物を含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物。
【選択図】なし

Description

本発明は、着色層形成用感放射線性組成物、カラーフィルタ及び液晶表示素子に関し、より詳しくは、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用いられるカラーフィルタに有用な着色層の形成に用いられる感放射線性組成物、当該感放射線性組成物を用いて形成された着色層を備えるカラーフィルタ、並びに当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子に関する。

着色感放射線性組成物を用いてカラーフィルタを形成する方法として、基板上あるいは予め所望のパターンの遮光層を形成した基板上に、着色感放射線組成物の塗膜を形成して、所定のパターンを有するフォトマスクを介して放射線を照射（以下、「露光」という。）し、現像して未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、各色の画素を得る方法（例えば、特許文献１および２参照）が知られている。

そして近年では、モニターやテレビ用により明るく色再現性の良い画面が望まれており、バックライトの輝度の向上とともに、感放射線性組成物中に含まれる着色剤、特に顔料の含有量を高くする必要が生じてきた（非特許文献１）。さらに、液晶モニター画面や液晶テレビ画面はより高精細化され、画面上の単位面積当たりの画素数が増加する傾向にある。そのため、感放射線性組成物は、ブラックマトリックス形成用、画素形成用ともに、より微細なパターンを形成できるものが要求されるようになってきている。

かかる要求に対し、例えば、特許文献３には、感放射線性組成物中に特定の構造を有するアルカリ可溶性樹脂を含有せしめることにより、高い解像度を有するパターンを形成できることが開示されている。しかしながら、いわゆるネガ型感放射線性組成物においては、プロキシミティ露光時の回折光の影響により、形成されるパターンの線幅がフォトマスクの設計寸法より太ってしまうため、所望の線幅を有する微細なパターンを得ることができないという問題があった。
一方、上記ネガ型感放射線性組成物のパターン線幅太りを解消する手法としては、例えば、露光量を低減する、現像条件を強化する、感放射線性組成物中の感放射線性重合開始剤の含有量を減量するあるいは感放射線性組成物中に重合禁止剤を含有せしめる等の手法が知られている。しかしながら、いずれの手法によっても、現像時にパターンの欠けや剥がれ、アンダーカットが生じ易くなる傾向にあり、特に感放射線性組成物中に含まれる着色剤の含有量が高くなった場合には到底適用できるものでなかった。
特開平２−１４４５０２号公報 特開平３−５３２０１号公報 特開２００４−２０５８６２号公報 村上匡計著「ＬＣＤ用フロント・バックライトの新展開」、第１版、（株）東レリサーチセンター、２００２年９月発行

本発明の目的は、感放射線性組成物中に含まれる着色剤の含有量が高い場合であっても、基板との密着性に優れ、高精細で優れたパターン形状を有する画素およびブラックマトリックスを形成することができ、かつプロキシミティ露光においてもパターン線幅太りすることのない着色層形成用感放射線性組成物を提供することにある。
更に本発明の目的は、該着色層形成用感放射線性組成物から形成された着色層を備えてなるカラーフィルタ、および当該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子を提供することにある。

斯かる実情に鑑み、本発明者らは、鋭意研究を行ったところ、着色層形成用感放射線性組成物中に特定の構造を有するフェノール性化合物を含有せしめることにより、上記課題を解決することができることを見出し、本発明を完成するに至った。

即ち、本発明は、（Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）２個以上のラジカル重合性不飽和結合を有する単量体、（Ｄ）感放射線性ラジカル発生剤、並びに（Ｅ）下記式（１）〜（５）

〔式（１）において、Ｒ¹は水素原子、炭素数４以下のアルキル基、炭素数４以下のアルコキシ基、フェニル基、ナフチル基または−(CH₂)x-COOＺ基を示し、複数存在するR¹は相互に同一でも異なってもよく、Ｚはアルコキシアルキル基、環式エーテル基、ビニルオキシアルキル基またはｔ−アルコキシカルボニルアルキル基を示し、複数存在するＺは相互に同一でも異なってもよく、ｘは０〜４の整数であり、Ａは単結合、 -S-基、-O-基、-CO-基、 -COO-基、-SO-基、 -SO₂-基、 -C(R²)(R³)-基または

基（但し、ｋは０〜４の整数である。）を示し、Ｒ²およびＲ³は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、炭素数６以下のアルキル基、炭素数６以下のアシル基、フェニル基、ナフチル基または−(CH₂)x-COOＺ基を示し、ｍ、ｎ、ｐおよびｑは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦５、ｎ＋ｑ≧１の関係を満たす。〕

〔式（２）において、Ｒ¹は式（１）のＲ¹と同じ基を示し、Ｒ⁴は式（１）のＲ²と同じ基を示し、ｍ、ｎ、ｐ、ｑ、ｒおよびｓは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦５、ｒ＋ｓ≦５、ｎ＋ｑ＋ｓ≧１の関係を満たす。〕

〔式（３）において、Ｒ¹は式（１）のＲ¹と同じ基を示し、Ｒ⁴は式（１）のＲ²と同じ基を示すが、２個のＲ⁴は相互に同一でも異なってもよく、Ａは式（１）のＡと同じ基を示し、ｍ、ｎ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔおよびｕは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦５、ｒ＋ｓ≦５、ｔ＋ｕ≦５、ｎ＋ｑ＋ｓ＋ｕ≧１の関係を満たす。〕

〔式（４）において、Ｒ¹は式（１）のＲ¹と同じ基を示し、Ｒ²、Ｒ³およびＲ⁴はそれぞれ式（１）の、Ｒ²、Ｒ³および式（２）のＲ⁴と同じ基を示し、ｍ、ｎ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔおよびｕは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦５、ｒ＋ｓ≦５、ｔ＋ｕ≦４、ｎ＋ｑ＋ｓ＋ｕ≧１の関係を満たす。〕

〔式中、Ｒ¹、Ｒ²、およびＲ³は式（１）のＲ¹、Ｒ²、およびＲ³と同じ基を示し、ｍ、ｎ、ｐ、ｑ、ｒおよびｓは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦４、ｒ＋ｓ≦５、ｎ＋ｑ＋ｓ≧２の関係を満たし、ｌは１〜５の整数を示す。〕
で表される化合物、フラバン骨格を有するフェノール性化合物、スピロビインダン骨格を有するフェノール性化合物およびスピロビインデン骨格を有するフェノール性化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物
を含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物を提供するものである。

また、本発明は、該着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成されてなる着色層を有するカラーフィルタ、及び該カラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子をも提供するものである。

本発明の（Ｅ）成分を含む感放射線性組成物を用いることにより、感放射線性組成物中に含まれる着色剤の含有量が高い場合であっても、基板との密着性に優れ、高精細で優れたパターン形状を有する画素およびブラックマトリックスを形成することができ、かつプロキシミティ露光においてもパターン線幅太りすることがない。
従って、本発明のカラーフィルタは、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に有用である。

（着色層形成用感放射線性組成物）
本発明の着色層形成用感放射線性組成物（以下、単に「感放射線性組成物」ということがある。）における「着色層」とは、カラーフィルタに用いられる画素および／またはブラックマトリックスからなる層を意味する。
以下、本発明の着色層形成用感放射線性組成物の構成成分について説明する。

−（Ａ）着色剤−
本発明における（Ａ）着色剤としては、特に限定されるものではなく、有機顔料、無機顔料のいずれでもよい。
有機顔料としては、例えば、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ 社発行）においてピグメントに分 本発明における（Ａ）着色剤としては、特に限定されるものではなく、有機顔類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを挙げることができる。

Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー９３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１１０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー２１１；

Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４６、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７２、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７３、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ７４；

Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド４１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１４９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１６８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７８、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１８７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０６、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２０９、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２１４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２０、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２２４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２４３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５５、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２６４、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２７２；

Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３２、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット３８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー６０、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー８０；
Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン５８；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン２５；
Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック１、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック７。

本発明において、有機顔料は、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせにより精製して使用することもできる。

また、上記無機顔料としては、例えば、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。

これらの着色剤は、所望により、その粒子表面をポリマーで改質して使用してもよい。顔料の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば特開平８−２５９８７６号公報に記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリマー又はオリゴマー等を挙げることができる。カーボンブラック表面のポリマー被覆方法については、例えば特開平９−７１７３３号公報、特開平９−９５６２５号公報、特開平９−１２４９６９号公報等に開示されている。
前記着色剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明の感放射線性組成物を画素の形成に用いる場合、画素には高精細な発色と耐熱性が求められることから、（Ａ）着色剤としては、発色性が高く且つ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い着色剤が好ましく、具体的には有機着色剤が好ましく、特に有機顔料が好ましく用いられる。
一方、本発明の感放射線性組成物をブラックマトリックスの形成に用いる場合、ブラックマトリックスには遮光性が要求されることから、（Ａ）着色剤としては有機顔料またはカーボンブラックが好ましく用いられる。

本発明の感放射線性組成物によれば、着色剤の含有量が、感放射線性組成物の全固形分中、３０重量％以上となる場合であっても、欠けや剥がれが生じずかつ線幅太りすることもないパターンを形成することができる。また、本発明において、着色剤の含有量の上限は、現像性を確保する観点から、感放射線性組成物の全固形分中、好ましくは６０重量％以下、特に好ましくは５０重量％以下である。ここで、固形分とは、後述する溶媒以外の成分である。

本発明における着色剤は、所望により、分散剤、分散助剤と共に使用することができる。
上記分散剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオン系や両性等の適宜の分散剤を使用することができるが、ポリマー分散剤が好ましい。具体的には、変性アクリル系共重合体、アクリル系共重合体、ポリウレタン、ポリエステル、高分子共重合体のアルキルアンモニウム塩又はリン酸エステル塩、カチオン性櫛型グラフトポリマー等を挙げることができる。ここで、カチオン性櫛型グラフトポリマーとは、複数の塩基性基（カチオン性の官能基）を有する幹ポリマー１分子に、２分子以上の枝ポリマーがグラフト結合した構造のポリマーをいい、例えば、幹ポリマー部がポリエチレンイミン、枝ポリマー部がε−カプロラクトンの開環重合体で構成されるポリマーが挙げられる。これら分散剤の中で、変性アクリル系共重合体、ポリウレタン、カチオン性櫛型グラフトポリマーが好ましい。

このような分散剤は商業的に入手することができ、例えば、変性アクリル系共重合体として、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２０００、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１（以上、ビックケミー（ＢＹＫ）社製）、ポリウレタンとして、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６１、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６２、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６５、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１７０、Ｄｉｓｐｅｒｂｙｋ−１８２（以上、ビックケミー（ＢＹＫ）社製）、ＥＦＫＡ４０４６（チバスペシャリティケミカルズ製）、ソルスパース７６５００（ルーブリゾール（株）社製）、カチオン性櫛型グラフトポリマーとして、ソルスパース２４０００（ルーブリゾール（株）社製）、アジスパーＰＢ８２１、アジスパーＰＢ８２２（味の素ファインテクノ株式会社製）等を挙げることができる。

これらの分散剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。分散剤の含有量は、（Ａ）着色剤１００重量部に対して、通常、１００重量部以下、好ましくは０．５〜１００重量部、さらに好ましくは１〜７０重量部、特に好ましくは１０〜５０重量部である。この場合、分散剤の含有量が１００重量部を超えると、現像性等が損なわれるおそれがある。

上記分散助剤としては、例えば青色顔料誘導体、黄色顔料誘導体等を挙げることができ、具体的には、例えば銅フタロシアニン誘導体等を挙げることができる。

−（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂−
本発明の感放射線性組成物に含有される（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、着色層を形成する際の現像処理工程において用いられるアルカリ現像液に対して可溶性を有するものであれば、特に限定されるものではないが、通常、カルボキシル基、フェノール性水酸基等の酸性官能基を有する重合体である。なかでも、カルボキシル基を有する重合体を含有することが好ましく、特に、下記式（６）で表される繰り返し単位を有する重合体（以下、「重合体（Ｂ１）」という。）、および下記式（７）で表される繰り返し単位を有する重合体（以下、「重合体（Ｂ２）」という。）よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含有することが好ましい。

（式中、Ｒ⁵は水素原子またはメチル基を表す。）

（式中、Ｒ⁶、Ｒ⁷およびＲ⁸はそれぞれ独立に水素原子または炭素数１〜１０のアルキル基を示し、Ｘはアクリロイル基もしくはメタクリロイル基を有する一価の有機基、ビニル基または１−メチルビニル基を示し、Ｙは二価の有機基を表し、ｈは１〜５の整数を示す。）

上記式（７）において、Ｒ⁶は水素原子またはメチル基であることが好ましく、水素原子であることがより好ましい。Ｒ⁷およびＲ⁸は水素原子であることが好ましい。ｈは１であることが好ましい。

上記式（７）において、Ｘのアクリロイル基もしくはメタクリロイル基を有する一価の有機基としては、下記式（Ｘ−１）または下記式（Ｘ−２）で表される基が好ましい。上記式（７）におけるＸとしては、ビニル基または１−メチルビニル基が好ましい。

（式中、Ｒ¹⁶は水素原子またはメチル基を示し、ｉは２〜５の整数を示し、ｊは１〜１０の整数を示し、「＊」は結合手であることを示す。）

（式中、Ｒ¹⁷は水素原子またはメチル基を示し、Ｒ¹⁸は単結合、メチレン基、炭素数２〜６のアルキレン基、シクロヘキサン−１，２−ジイル基または１，２−フェニレン基を示し、「＊」は結合手であることを示す。）

上記式（７）におけるＹとしては、メチレン基、炭素数２〜６のアルキレン基、炭素数２〜６のアルケニレン基（ただしこれらのアルキレン基およびアルケニレン基は途中が酸素原子により中断されていてもよい。）、シクロヘキサンジイル基、シクロヘキセンジイル基または炭素数６〜１２のアリーレン基（ただしこのアリーレン基はカルボキシル基または酸無水物基を有していてもよい。）であることが好ましく、メチレン基、エチレン基、１，３−プロピレン基、１，２−エテニレン基、１，２−プロペニレン基、１，３−プロペニレン基、２，３−プロペニレン基、シクロヘキサン−１，２−ジイル基、４−シクロヘキセン−１，２−ジイル基、１，２−フェニレン基、ビフェニル−２，２’−ジイル基または−ＣＨ₂−Ｏ−ＣＨ₂−で表される２価の基がより好ましい。

本発明の感放射線性組成物に含有される（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂は、上記式（６）または上記式（７）で表される繰り返し単位のほかに、下記式（８）で表される繰り返し単位および下記式（９）で表される繰り返し単位よりなる群から選ばれる少なくとも１種の繰り返し単位を有する重合体であることが好ましい。

（式中、Ｒ⁹は炭素数１〜１２の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基または炭素数６〜１２のアリール基を示す。）

（式中、Ｒ¹⁰〜Ｒ¹⁵は相互に独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、ヒドロキシメチル基またはカルボキシル基を示す。）

上記式（８）において、Ｒ⁹の炭素数１〜１２の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、ｎ−プロピル基、ｉ−プロピル基、ｎ−ブチル基、ｉ−ブチル基、ｓｅｃ−ブチル基、ｔ−ブチル基、ｎ−ペンチル基、ｎ−ヘキシル基、ｎ−ヘプチル基、ｎ−オクチル基、ｎ−ノニル基、ｎ−デシル基、ｎ−ウンデシル基、ｎ−ドデシル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基等を挙げることができる。

また、Ｒ⁹の炭素数６〜１２のアリール基としては、例えば、フェニル基、ｏ−トリル基、ｍ−トリル基、ｐ−トリル基、１−ナフチル基、２−ナフチル基等を挙げることができる。

上記式（８）におけるＲ⁹としては、シクロヘキシル基、フェニル基等が好ましく、特に、フェニル基が好ましい。

上記式（９）におけるＲ¹⁰〜Ｒ¹⁵のハロゲン原子としては、塩素原子、臭素原子またはヨウ素原子が挙げられ、塩素原子が好ましい。
上記式（９）において、Ｒ¹⁰〜Ｒ¹⁵は、そのすべてが水素原子であるか、またはＲ¹²が塩素原子、水酸基またはヒドロキシメチル基であり且つＲ¹⁰およびＲ¹¹ならびにＲ¹³〜Ｒ¹⁵のすべてが水素原子であることが好ましく、Ｒ¹⁰〜Ｒ¹⁵のすべてが水素原子であることがより好ましい。

重合体（Ｂ１）において、上記式（６）で表される繰り返し単位は、重合体（Ｂ１）の全繰り返し単位に対して１〜４０重量％であることが好ましく、５〜３０重量％であることがより好ましい。また、重合体（Ｂ２）において、上記式（７）で表される繰り返し単位は、重合体（Ｂ２）の全繰り返し単位に対して５〜８０重量％であることが好ましく、１０〜６０重量％であることがより好ましい。（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂における式（６）または式（７）で表される繰り返し単位の割合をこのような範囲とすることによって、これを含有する感放射線性組成物の現像性がより良好となり現像時の残滓の発生の抑制がより効果的になることとなり、好ましい。

本発明における重合体（Ｂ１）および重合体（Ｂ２）は、上記式（８）で表される繰り返し単位を、重合体（Ｂ１）または重合体（Ｂ２）の全繰り返し単位に対して５０重量％以下の範囲で有することが好ましく、５〜４０重量％の範囲で有することがより好ましい。また、重合体（Ｂ１）および重合体（Ｂ２）は、上記式（９）で表される繰り返し単位を、重合体（Ｂ１）または重合体（Ｂ２）の全繰り返し単位に対して６０重量％以下の範囲で有することが好ましく、５〜４０重量％の範囲で有することがより好ましい。さらに重合体（Ｂ１）および重合体（Ｂ２）は、上記式（８）で表される繰り返し単位および上記式（９）で表される繰り返し単位の双方を有していてもよく、この場合、両者の含有割合の合計は重合体（Ｂ１）または重合体（Ｂ２）の全繰り返し単位に対して好ましくは８０重量％以下であり、より好ましくは１０〜７０重量％である。この場合、上記式（８）で表される繰り返し単位または上記式（９）で表される繰り返し単位の個別の含有割合は、それぞれ上記した値の範囲内であることが好ましい。

重合体（Ｂ１）および重合体（Ｂ２）における上記式（８）で表される繰り返し単位および上記式（９）で表される繰り返し単位の含有割合を上記の範囲とすることにより、より基板に対する密着性が向上するという利点が得られることとなり、好ましい。

本発明における（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ、溶出溶媒：テトラヒドロフラン）で測定したポリスチレン換算重量平均分子量（以下、「Ｍｗ」ということがある。）は、通常、１，０００〜４５，０００が好ましく、特に３，０００〜２０，０００が好ましい。
また、本発明における（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ、溶出溶媒：テトラヒドロフラン）で測定したポリスチレン換算数平均分子量（以下、「Ｍｎ」ということがある。）は、通常、１，０００〜４５，０００が好ましく、特に３，０００〜２０，０００が好ましい。
この場合、Ｍｗが１，０００未満であると、得られる被膜の残膜率等が低下したり、パターン形状、耐熱性等が損なわれたり、また電気特性が悪化するおそれがあり、一方４５，０００を超えると、解像度が低下したり、パターン形状が損なわれたり、またスリットノズル方式による塗布時に乾燥異物が発生し易くなるおそれがある。

重合体（Ｂ１）は、例えば、（メタ）アクリル酸を含有してなるラジカル重合性化合物、適当な溶媒中、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）等のラジカル重合開始剤の存在下で重合することにより製造することができる。

また、重合体（Ｂ１）は、上記のようにラジカル重合性化合物をラジカル重合した後に、極性の異なる有機溶媒を２種以上用いる再沈殿法を経て精製することができる。即ち、重合後の良溶媒中の溶液を、必要に応じてろ過あるいは遠心分離などによって不溶な不純物を除去したのち、大量（通常は、重合体溶液体積の５〜１０倍量）の沈殿剤（貧溶媒）中に注いで、重合体を再沈殿させることにより精製する。その際、重合体溶液中に残っている不純物のうち、沈殿剤に可溶な不純物は液相に残り、精製された重合体（Ｂ１）から分離される。
この再沈殿法に使用される良溶媒／沈殿剤の組み合わせとしては、例えば、シクロヘキサノン／ｎ−ヘキサン、プロピレングリコールモノエチルエーテル／ｎ−ヘキサン、シクロヘキサノン／ｎ−ヘプタン、プロピレングリコールモノエチルエーテル／ｎ−ヘプタン等を挙げることができる。

また、重合体（Ｂ１）は、上記ラジカル重合開始剤、およびピラゾール−１−ジチオカルボン酸シアノ（ジメチル）メチルエステル、ピラゾール−１−ジチオカルボン酸ベンジルエステル、テトラエチルチウラムジスルフィド、ビス（ピラゾール−１−イルチオカルボニル）ジスルフィド、ビス（３−メチル−ピラゾール−１−イルチオカルボニル）ジスルフィド、ビス（４−メチル−ピラゾール−１−イルチオカルボニル）ジスルフィド、ビス（５−メチル−ピラゾール−１−イルチオカルボニル）ジスルフィド、ビス（３，４，５−トリメチル−ピラゾール−１−イルチオカルボニル）ジスルフィド、ビス（ピロール−１−イルチオカルボニル）ジスルフィド、ビスチオベンゾイルジスルフィド等のイニファターとして作用する分子量制御剤の存在下、不活性溶媒中で、反応温度を、通常、０〜１５０℃、好ましくは５０〜１２０℃として、リビングラジカル重合することにより製造することもできる。

重合体（Ｂ１）において、（メタ）アクリル酸と共重合することが好ましい他のラジカル重合性化合物としては、下記式（８−１）で表される化合物（以下、「化合物（ｂ１）」ということがある。）、下記式（９−１）で表される化合物（以下、「化合物（ｂ２）」ということがある。）、ならびに（メタ）アクリル酸、化合物（ｂ１）および化合物（ｂ２）以外のラジカル重合性化合物（以下、「化合物（ｂ３）」という。）を挙げることができる。また、重合体（Ｂ１）においては、例えば、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート等のヒドロキシル基を有するラジカル重合性化合物を共重合した重合体（Ｂ１）に、２−（メタ）アクリロイルオキシエチルイソシアネート等の不飽和イソシアナート化合物を反応させることにより、重合体側鎖に重合性不飽和結合を導入することもできる。

（式中、Ｒ⁹は上記式（８）におけるＲ⁹と同義である。）

（式中、Ｒ¹⁰〜Ｒ¹⁵は上記式（９）におけるＲ¹⁰〜Ｒ¹⁵と同義である。）

上記化合物（ｂ１）は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂に上記式（８）で表される繰り返し単位を導くものである。化合物（ｂ１）の具体例としては、例えば、Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−ｎ−プロピルマレイミド、Ｎ−ｉ−プロピルマレイミド、Ｎ−ｎ−ブチルマレイミド、Ｎ−ｔ−ブチルマレイミド、Ｎ−ｎ−ヘキシルマレイミド、Ｎ−シクロペンチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−１−ナフチルマレイミド等を挙げることができる。これらの化合物（ｂ１）のうち、Ｎ−シクロヘキシルマレイミド、Ｎ−フェニルマレイミドが好ましく、特に、Ｎ−フェニルマレイミドが好ましい。重合体（Ｂ１）において、化合物（ｂ１）は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

上記化合物（ｂ２）は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂に上記式（９）で表される繰り返し単位を導くものである。化合物（ｂ２）の具体例としては、例えば、アセナフチレン、５−クロロアセナフチレン、５−ヒドロキシメチルアセナフチレン、５−ヒドロキシアセナフチレン等を挙げることができる。これらの化合物（ｂ２）のうち、アセナフチレン、５−クロロアセナフチレンが好ましく、特にアセナフチレンが好ましい。重合体（Ｂ１）において、不飽和化合物（ｂ２）は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

上記化合物（ｂ３）としては、例えば、
クロトン酸、α−クロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸類；
マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無水物類；
こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕等の２価以上の多価カルボン酸のモノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル類；
ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート等の両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート類；
ｏ−ビニルフェノール、ｍ−ビニルフェノール、ｐ−ビニルフェノール、２−メチル−４−ビニルフェノール、３−メチル−４−ビニルフェノール、ｏ−イソプロペニルフェノール、ｍ−イソプロペニルフェノール、ｐ−イソプロペニルフェノール等の不飽和フェノール類；
２−ビニル−１−ナフトール、３−ビニル−１−ナフトール、１−ビニル−２−ナフトール、３−ビニル−２−ナフトール、２−イソプロペニル−１−ナフトール、３−イソプロペニル−１−ナフトール等の不飽和ナフトール類；

スチレン、α−メチルスチレン、ｏ−ビニルトルエン、ｍ−ビニルトルエン、ｐ−ビニルトルエン、ｐ−クロルスチレン、ｏ−メトキシスチレン、ｍ−メトキシスチレン、ｐ−メトキシスチレン、ｏ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｍ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｐ−ビニルベンジルメチルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物；
インデン、１−メチルインデン等のインデン類；

メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、ｉ−プロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｉ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、３−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、２−メトキシエチル（メタ）アクリレート、２−フェノキシエチル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシプロピレングルコール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレングルコール（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロ［５．２．１．０^2,6］デカン−８−イル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロピル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性（メタ）アクリレートの如き不飽和カルボン酸エステル；

２−アミノエチル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、２−アミノプロピル（メタ）アクリレート、２−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート、３−アミノプロピル（メタ）アクリレート、３−ジメチルアミノプロピル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキルエステル類；
グリシジル（メタ）アクリレート等の不飽和カルボン酸グリシジルエステル類；
（メタ）アクリロニトリル、α−クロロアクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビニル化合物；
（メタ）アクリルアミド、α−クロロアクリルアミド、Ｎ−２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリルアミド等の不飽和アミド類；
酢酸ビニル、プロピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカルボン酸ビニルエステル類；
ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽和エーテル類；
１，３−ブタジエン、イソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類；
ポリスチレン、ポリメチル（メタ）アクリレート、ポリ−ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ポリシロキサン等の重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類
等を挙げることができる。

重合体（Ｂ１）において、化合物（ｂ３）としては、２価以上の多価カルボン酸のモノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル類、両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート類、不飽和フェノール類、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル、重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類等が好ましく、特に、こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレート、ｐ−イソプロペニルフェノール、スチレン、α−メチルスチレン、メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシフェニル（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が好ましい。
重合体（Ｂ１）において、化合物（ｂ３）は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

また、重合体（Ｂ２）は、下記式（７−１）で表される化合物（以下、「化合物（ｂ４）」ということがある。）を含有してなるラジカル重合性化合物の重合体（以下、「スチレンエポキシ重合体」ということがある。）に、下記式（７−２）で表される化合物（以下、「不飽和モノカルボン酸（Ｘ）」という。）を付加し、次いで下記式（７−３）で表される化合物（以下、「多塩基酸無水物（ｙ）」という。）を付加することにより製造することができる。

（式中、Ｒ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸およびｈはそれぞれ上記式（７）におけるＲ⁶、Ｒ⁷、Ｒ⁸およびｈと同義である。）

（式中、Ｘは上記式（７）におけるＸと同義である。）

（式中、Ｙは上記式（７）におけるＹと同義である。）

化合物（ｂ４）の具体例としては、例えばｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、α−メチル−ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、２，３−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，４−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，５−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，６−ジグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，４−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，５−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，３，６−トリグリシジルオキシメチルスチレン、３，４，５−トリグリシジルオキシメチルスチレン、２，４，６−トリグリシジルオキシメチルスチレン等を挙げることができる。これらの化合物（ｂ４）うち、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテルが好ましく、特にｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテルが好ましい。重合体（Ｂ２）において、化合物（ｂ４）は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

スチレンエポキシ重合体において、化合物（ｂ４）と共重合することが好ましい他のラジカル重合性化合物としては、上記化合物（ｂ１）、化合物（ｂ２）および化合物（ｂ３）を挙げることができる。スチレンエポキシ重合体において、化合物（ｂ１）および化合物（ｂ２）としては、重合体（Ｂ１）において例示したのと同様の化合物が好ましい。また、スチレンエポキシ重合体において化合物（ｂ３）としては、芳香族ビニル化合物、不飽和カルボン酸エステル、重合体分子鎖の末端にモノ（メタ）アクリロイル基を有するマクロモノマー類等が好ましく、特に、スチレン、α−メチルスチレン、メチル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、アリル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、グリセロールモノ（メタ）アクリレート、パラクミルフェノールのエチレンオキサイド変性（メタ）アクリレート、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチルメタクリレートマクロモノマー等が好ましい。
スチレンエポキシ重合体において、化合物（ｂ１）、化合物（ｂ２）および化合物（ｂ３）は、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

スチレンエポキシ重合体は、重合体（Ｂ１）と同様に製造することができ、そのＭｗおよびＭｎは、所望の（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂のＭｗおよびＭｎに応じて適宜に設定することができる。

上記不飽和カルボン酸（Ｘ）は、上記式（７）における所望のＸの種類に応じて適宜に選択することができる。好ましい不飽和カルボン酸（Ｘ）としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレート、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノメタクリレート、２−アクリロイロキシエチルこはく酸、２−メタクリロイロキシエチルこはく酸等を挙げることができる。上記ω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノアクリレートおよびω−カルボキシ−ポリカプロラクトンモノメタクリレートにおいて、ポリカプロラクトンの繰り返し単位数は好ましくは１〜１０であり、より好ましく２〜５である。上記の不飽和カルボン酸（Ｘ）の中では、アクリル酸またはメタクリル酸が反応性に富むためより好ましく、アクリル酸が特に好ましい。
不飽和カルボン酸（Ｘ）は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

上記スチレンエポキシ重合体への不飽和モノカルボン酸（Ｘ）の付加反応は、公知の方法に準じて行うことができる。不飽和モノカルボン酸（Ｘ）の使用量は、スチレンエポキシ重合体のエポキシ基１当量に対して、０．７〜１．３当量の範囲であることが好ましく、０．９〜１．２当量の範囲であることがさらに好ましい。

上記多塩基酸無水物（ｙ）は、上記式（７）における所望のＹの種類に応じて適宜に選択することができる。好ましい多塩基酸無水物（ｙ）としては、例えば、無水マロン酸、無水マレイン酸、無水シトラコン酸、無水こはく酸、無水グルタル酸、無水グルタコン酸、無水イタコン酸、無水ジグリコール酸、無水フタル酸、シクロヘキサン−１，２−ジカルボン酸無水物、４−シクロへキセン−１，２−ジカルボン酸無水物、無水ジフェン酸等を挙げることができる。これらの中では特に、無水こはく酸、無水グルタル酸、無水フタル酸または４−シクロへキセン−１，２−ジカルボン酸無水物が、反応性に富むため好ましい。

スチレンエポキシ重合体への多塩基酸無水物（ｙ）の付加反応は、公知の方法に準じて行うことができる。多塩基酸無水物（ｙ）の付加量は、スチレンエポキシ重合体のエポキシ基１当量に対して、０．２〜１．０当量の範囲であることが好ましく、さらに好ましくは０．４〜０．９当量の範囲である。

本発明において、重合体（Ｂ１）および重合体（Ｂ２）は、それぞれ単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。また、アルカリ可溶性樹脂として、重合体（Ｂ１）および／または重合体（Ｂ２）と共に、例えば、（メタ）アクリル酸と上記化合物（ｂ３）との共重合体を使用することもできる。
本発明において、アルカリ可溶性樹脂の含有量は、（Ａ）着色剤１００重量部に対して、通常、１０〜１，０００重量部が好ましく、特に２０〜５００重量部が好ましい。この場合、アルカリ可溶性樹脂の含有量が１０重量部未満では、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に残渣や地汚れが発生するおそれがあり、一方１，０００重量部を超えると、相対的に着色剤濃度が低下するため、薄膜として目的とする色濃度を達成することが困難となるおそれがある。

−（Ｃ）２個以上のラジカル重合性不飽和結合を有する単量体−
本発明における２個以上のラジカル重合性不飽和結合を有する単量体（以下、「多官能性単量体」ということがある。）としては、例えば、
エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；
ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコールのジ（メタ）アクリレート類；
グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール等の３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類や、それらのジカルボン酸変性物；
ポリエステル、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、スピラン樹脂等のオリゴ（メタ）アクリレート類；
両末端ヒドロキシポリ−１，３−ブタジエン、両末端ヒドロキシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラクトン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ（メタ）アクリレート類や、
トリス〔２−（メタ）アクリロイロキシエチル〕フォスフェートや
イソシアヌル酸エチレンオキシド変性トリアクリレート
等を挙げることができる。

これらの多官能性単量体のうち、３価以上の多価アルコールのポリ（メタ）アクリレート類やそれらのジカルボン酸変性物、具体的には、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ペンタエリスリトールトリメタクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物、ジペンタエリスリトールペンタメタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物等が好ましく、特に、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物およびジペンタエリスリトールペンタアクリレートとこはく酸とのモノエステル化物が、着色層の強度が高く、着色層の表面平滑性に優れ、かつ未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を発生し難い点で好ましい。
前記多官能性単量体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明における（Ｃ）多官能性単量体の含有量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、通常、５〜５００重量部が好ましく、特に２０〜３００重量部が好ましい。この場合、多官能性単量体の含有量が５重量部未満では、着色層の強度や表面平滑性が低下する傾向があり、一方５００重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。

また、本発明においては、多官能性単量体の一部を、ラジカル重合性不飽和結合を１個有する単量体（以下、「単官能性単量体」ということがある。）に置き換えることもできる。
前記単官能性単量体としては、例えば、こはく酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕、フタル酸モノ〔２−（メタ）アクリロイルオキシエチル〕の如き２価以上の多価カルボン酸のモノ〔（メタ）アクリロイルオキシアルキル〕エステル類、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノ（メタ）アクリレートの如き両末端にカルボキシ基と水酸基とを有するポリマーのモノ（メタ）アクリレート類、Ｎ−（メタ）アクリロイルモルフォリン、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニル−ε−カプロラクタムのほか、市販品として、Ｍ−５６００（商品名、東亞合成（株）製）等を挙げることができる。
これらの単官能性単量体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。単官能性単量体の含有割合は、多官能性単量体と単官能性単量体との合計に対して、通常、９０重量％以下、好ましくは５０重量％以下である。この場合、単官能性単量体の含有割合が９０重量％を超えると、得られる着色層の強度や表面平滑性が不十分となるおそれがある。

−（Ｄ）感放射線性ラジカル発生剤−
本発明における感放射線性ラジカル発生剤は、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等の放射線の露光により、前記多官能性単量体および場合により使用される単官能性単量体の重合を開始しうる活性ラジカルを発生する化合物である。
このような感放射線性ラジカル発生剤としては、例えば、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム系化合物、ベンゾイン系化合物、α−ジケトン系化合物等を挙げることができる。

本発明において、感放射線性ラジカル発生剤は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、本発明における感放射線性ラジカル発生剤としては、アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、トリアジン系化合物、Ｏ−アシルオキシム系化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種が好ましい。

本発明において、感放射線性ラジカル発生剤の一般的な含有量は、（Ｃ）多官能性単量体１００重量部に対して、通常、０．０１〜１２０重量部、好ましくは１〜１００重量部である。この場合、感放射線性ラジカル発生剤の含有量が０．０１重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方１２０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

本発明における好ましい感放射線性ラジカル発生剤のうち、アセトフェノン系化合物の具体例としては、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシル・フェニルケトン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−１−オン、１，２−オクタンジオン等を挙げることができる。
これらのアセトフェノン系化合物のうち、特に、２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン、１，２−オクタンジオン等が好ましい。
前記アセトフェノン系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、感放射線性ラジカル発生剤としてアセトフェノン系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｃ）多官能性単量体１００重量部に対して、通常、０．０１〜８０重量部が好ましく、特に好ましくは１〜７０重量部、さらに好ましくは１〜６０重量部である。この場合、アセトフェノン系化合物の含有量が０．０１重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方８０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

また、前記ビイミダゾール系化合物の具体例としては、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラキス（４−エトキシカルボニルフェニル）−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２−ブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリブロモフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等を挙げることができる。

これらのビイミダゾール系化合物のうち、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４−ジクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール、２，２’−ビス（２，４，６−トリクロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾール等が好ましく、特に、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，５，５’−テトラフェニル−１，２’−ビイミダゾールが好ましい。
これらのビイミダゾール系化合物は、溶剤に対する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じることがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の露光により硬化反応を十分進行させるとともに、未露光部で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対して高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、それにより、アンダーカットのない着色層パターンが所定の配列に従って配置された高精細なカラーフィルタを形成することができる。
前記ビイミダゾール系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、感放射線性ラジカル発生剤としてビイミダゾール系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｃ）多官能性単量体合計１００重量部に対して、通常、０．０１〜４０重量部が好ましく、特に好ましくは１〜３０重量部、さらに好ましくは１〜２０重量部である。この場合、ビイミダゾール系化合物の含有量が０．０１重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方４０重量部を超えると、現像する際に、形成された着色層の基板からの脱落や着色層表面の膜あれを来しやすくなる傾向がある。

本発明においては、感放射線性ラジカル発生剤としてビイミダゾール系化合物を用いる場合、下記する水素供与体を併用することが、感度をさらに改良することができる点で好ましい。
ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素原子を供与することができる化合物を意味する。
本発明における水素供与体としては、下記で定義するメルカプタン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。

前記メルカプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したメルカプト基を１個以上、好ましくは１〜３個、さらに好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「メルカプタン系水素供与体」という。）からなる。
前記アミン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合したアミノ基を１個以上、好ましくは１〜３個、さらに好ましくは１〜２個有する化合物（以下、「アミン系水素供与体」という。）からなる。
なお、これらの水素供与体は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有することもできる。

以下、水素供与体について、より具体的に説明する。
メルカプタン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ１個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を２個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基を２個以上有する場合、少なくとも１個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残りのメルカプト基の１個以上がアルキル、アラルキルまたはアリール基で置換されていてもよく、さらには少なくとも１個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、２個の硫黄原子がアルキレン基等の２価の有機基を介在して結合した構造単位、あるいは２個の硫黄原子がジスルフィドの形で結合した構造単位を有することができる。
さらに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。

このようなメルカプタン系水素供与体の具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾール、２−メルカプトベンゾイミダゾール、２，５−ジメルカプト−１，３，４−チアジアゾール、２−メルカプト−２，５−ジメチルアミノピリジン等を挙げることができる。
これらのメルカプタン系水素供与体のうち、２−メルカプトベンゾチアゾール、２−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、特に２−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。

また、アミン系水素供与体は、ベンゼン環あるいは複素環をそれぞれ１個以上有することができ、またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、これらの環を２個以上有する場合、縮合環を形成しても形成しなくてもよい。
また、アミン系水素供与体は、アミノ基の１個以上がアルキル基または置換アルキル基で置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によって置換されていてもよい。

このようなアミン系水素供与体の具体例としては、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、４−ジエチルアミノアセトフェノン、４−ジメチルアミノプロピオフェノン、エチル−４−ジメチルアミノベンゾエート、４−ジメチルアミノ安息香酸、４−ジメチルアミノベンゾニトリル等を挙げることができる。
これらのアミン系水素供与体のうち、４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましく、特に４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンが好ましい。
なお、アミン系水素供与体は、ビイミダゾール系化合物以外のラジカル発生剤の場合においても、増感剤としての作用を有するものである。

本発明において、水素供与体は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができるが、１種以上のメルカプタン系水素供与体と１種以上のアミン系水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成された着色層が現像時に基板から脱落し難く、また着色層強度および感度も高い点で好ましい。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせの具体例としては、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン等を挙げることができ、さらに好ましい組み合わせは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、２−メルカプトベンゾオキサゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンであり、特に好ましい組み合わせは、２−メルカプトベンゾチアゾール／４，４’−ビス（ジエチルアミノ）ベンゾフェノンである。
メルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通常、１：１〜１：４、好ましくは１：１〜１：３である。

本発明において、水素供与体をビイミダゾール系化合物と併用する場合の含有量は、（Ｃ）多官能性単量体合計１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜４０重量部、さらに好ましくは１〜３０重量部、特に好ましくは１〜２０重量部である。この場合、水素供与体の含有量が０．０１重量部未満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一方４０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

なお、アミン系水素供与体は、アセトフェノン系化合物等のビイミダゾール系化合物以外の感放射線性ラジカル発生剤と併用する場合には増感剤として機能することができる。アミン系水素供与体を増感剤として使用する場合、その含有量は、ビイミダゾール系化合物以外の感放射線性ラジカル発生剤１００重量部に対して、通常３００重量部以下が好ましく、特に好ましくは２００重量部以下、さらに好ましくは１００重量部以下であるが、かかる含有量が少なすぎると十分な効果が得難くなることから、含有量の下限を好ましくは２重量部、さらに好ましくは５重量部とするのが望ましい。

また、前記トリアジン系化合物の具体例としては、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（５−メチルフラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（フラン−２−イル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（４−ジエチルアミノ−２−メチルフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシスチリル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、２−（４−ｎ−ブトキシフェニル）−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。

これらのトリアジン系化合物のうち、特に、２−〔２−（３，４−ジメトキシフェニル）エテニル〕−４，６−ビス（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジンが好ましい。
前記トリアジン系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、感放射線性ラジカル発生剤としてトリアジン系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｃ）多官能性単量体１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜４０重量部、さらに好ましくは１〜３０重量部、特に好ましくは１〜２０重量部である。この場合、トリアジン系化合物の含有量が０．０１重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方４０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

また、前記Ｏ−アシルオキシム系化合物の具体例としては、例えば、１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１，２−ジオン ２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−ノナン−１，２−ノナン−２−オキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−ノナン−１，２−ノナン−２−オキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−ペンタン−１，２−ペンタン−２−オキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−ベンゾイル−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−オクタン−１−オンオキシム−Ｏ−アセタート、１−〔９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−エチル−６−（１，３，５−トリメチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、１−〔９−ブチル−６−（２−エチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル〕−エタン−１−オンオキシム−Ｏ−ベンゾアート、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル］−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等を挙げることができる。

これらのＯ−アシルオキシム系化合物のうち、特に、１−〔４−（フェニルチオ）フェニル〕−オクタン−１，２−ジオン ２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）、エタノン，１−［９−エチル−６−［２−メチル−４−（２，２−ジメチル−１，３−ジオキソラニル）メトキシベンゾイル］−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）等が好ましい。
前記Ｏ−アシルオキシム系化合物は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

本発明において、感放射線性ラジカル発生剤としてＯ−アシルオキシム系化合物を使用する場合の含有量は、（Ｃ）多官能性単量体１００重量部に対して、好ましくは０．０１〜８０重量部、さらに好ましくは１〜６０重量部、特に好ましくは１〜５０重量部である。この場合、Ｏ−アシルオキシム系化合物の含有量が０．０１重量部未満であると、露光による硬化が不十分となり、着色層パターンが所定の配列に従って配置されたカラーフィルタを得ることが困難となるおそれがあり、一方８０重量部を超えると、形成された着色層が現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

−（Ｅ）成分−
本発明における（Ｅ）成分は、上記式（１）〜（５）で表される化合物、フラバン骨格を有するフェノール性化合物、スピロビインダン骨格を有するフェノール性化合物およびスピロビインデン骨格を有するフェノール性化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物である。かかる成分を含有することにより、現像時にパターンの欠けや剥がれ、アンダーカットが生じることなく、プロキシミティ露光においてパターン線幅がフォトマスクの設計寸法より太ることを抑制することができる。

上記式（１）で表される化合物において、式中の基Ａとしては、−ＣＯ−基、メチレン基又はイソプロピリデン基が好ましい。また、Ｒ¹としては水素原子又は炭素数４以下のアルキル又はアルコキシ基が好ましい。
上記式（１）で表される化合物の具体例としては、例えば、
（ポリヒドロキシ）ベンゾフェノン類として、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，４，６−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，２’，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，３’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，２’−テトラヒドロキシ−４’−メチルベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシ−３’−メトキシベンゾフェノン、２，３，４，２’，６’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、２，４，６，３’，４’，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、３，４，５，３’，４’，５’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン等；
ビス（ヒドロキシフェニル）アルカン類として、ビス（ｐ−ヒドロキシフェニル）メタン等；
ビス（ポリヒドロキシフェニル）アルカン類として、ビス（２，４−ジヒドロキシフェニル）メタン、ビス（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）メタン、２，２−ビス（２，３，４−トリヒドロキシフェニル）プロパン等
を挙げることができる。

上記式（２）で表される化合物において、式中のＲ¹としては水素原子又は炭素数４以下のアルキル基が好ましく、式中のＲ⁴としては水素原子又は炭素数６以下のアルキル基が好ましい。
上記式（２）で表される化合物の具体例としては、例えば、
トリ（ｐ−ヒドロキシフェニル）メタン、１，１，１−トリ（ｐ−ヒドロキシフェニル）エタン、ビス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−２−ヒドロキシフェニルメタン、２−［ビス｛（５−イソプロピル−４−ヒドロキシ−２−メチル）フェニル｝メチル］フェノール等を挙げることができる。

上記式（３）で表される化合物において、式中の基Ａとしては、メチレン基が好ましい。式中のＲ¹としては水素原子又は炭素数４以下のアルキル基が好ましく、Ｒ⁴としては水素原子又は炭素数６以下のアルキル基が好ましい。
上記式（３）で表される化合物の具体例としては、例えば、
１，１，３−トリス（２，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニル）−３−フェニルプロパン等を挙げることができる。

上記式（４）で表される化合物において、式中のＲ¹としては水素原子が好ましく、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁴、としては水素原子又は炭素数６以下のアルキル基が好ましい。
上記式（４）で表される化合物の具体例としては、例えば、
４，４’−〔１−〔４−〔１−〔４−ヒドロキシフェニル〕−１−メチルエチル〕フェニル〕エチリデン〕ビスフェノール等を挙げることができる。

上記式（５）で表される化合物において、式中のＲ¹としては水素原子が好ましく、Ｒ²、Ｒ³、Ｒ⁴、としては水素原子又は炭素数６以下のアルキル基が好ましい。
上記式（５）で表される化合物の具体例としては、例えば、
４，６−ビス｛１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル｝−１，３−ジヒドロキシベンゼン、１−［１−（３−｛１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル｝−４，６−ジヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル］−３−（１−（３−｛１−（４−ヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル｝−４，６−ジヒドロキシフェニル）−１−メチルエチル）ベンゼン等を挙げることができる。

上記フラバン骨格を有するフェノール性化合物の具体例としては、例えば、
２−メチル−２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−４−（４−ヒドロキシフェニル）−７−ヒドロキシクロマン、２，４，４−トリメチル−７，２’，４’−トリヒドロキシフラバン等を挙げることができる。
上記スピロビインダン骨格を有するフェノール性化合物の具体例としては、例えば、３，３，３’，３’−テトラメチル−１，１’−スピロビインダン−５，６，７，５’，６’，７’−ヘキサノール等を挙げることができる。
上記スピロビインデン骨格を有するフェノール性化合物の具体例としては、例えば、３，３’−ジメチル−１，１’−スピロビインデン−５，６，７，５’，６’，７’−ヘキサノール等を挙げることができる。

これらの化合物のうち、（ポリヒドロキシ）ベンゾフェノン類、上記式（４）で表される化合物、フラバン骨格を有するフェノール性化合物で表される化合物が好ましく、２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、２，３，４，２’，６’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、４，４’−〔１−〔４−〔１−〔４−ヒドロキシフェニル〕−１−メチルエチル〕フェニル〕エチリデン〕ビスフェノール、２−メチル−２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−４−（４−ヒドロキシフェニル）−７−ヒドロキシクロマンが特に好ましい。

本発明において（Ｅ）成分の含有量は、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して、好ましくは０．１〜１０重量部、さらに好ましくは１〜５重量部、特に好ましくは１〜３重量部である。この場合、（Ｅ）成分の含有量が０．１重量部未満であると、所望の効果が得られないおそれがある。一方、１０重量部を越えると、形成されたパターンが現像時に基板から脱落しやすくなる傾向がある。

−添加剤−
本発明の感放射線性組成物は、上記（Ａ）〜（Ｅ）成分を含有するものであるが、必要に応じて他の添加剤をさらに含有することもできる。
前記他の添加剤としては、例えば、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリ（フロオロアルキルアクリレート）類等の高分子化合物；ノニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロイロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤；ポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤；マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シトラコン酸、フマル酸、メサコン酸等のアルカリ溶解性改善剤等を挙げることができる。

溶媒
本発明の着色層形成用感放射線性組成物は、前記（Ａ）〜（Ｅ）成分を必須成分とし、必要に応じて前記添加剤成分を含有するが、通常、溶媒を配合して液状組成物として調製される。
前記溶媒としては、感放射線性組成物を構成する（Ａ）〜（Ｅ）成分や添加剤成分を分散または溶解し、かつこれらの成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限り、適宜に選択して使用することができる。

このような溶媒としては、例えば、
エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、エチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジエチレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−プロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノ−ｎ−ブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテル類；

エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート等の（ポリ）アルキレングリコールモノアルキルエーテルアセテート類；
ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等の他のエーテル類；
メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン等のケトン類；

乳酸メチル、乳酸エチル等の乳酸アルキルエステル類；
２−ヒドロキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ酢酸エチル、２−ヒドロキシ−３−メチルブタン酸メチル、３−メチル−３−メトキシブチルアセテート、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉ−プロピル、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル、ぎ酸ｎ−アミル、酢酸ｉ−アミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｎ−プロピル、酪酸ｉ−プロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸ｎ−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類；
トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類；
Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドン等のアミドまたはラクタム類
等を挙げることができる。

これらの溶媒のうち、溶解性、顔料分散性、塗布性等の観点から、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３−メトキシブチルアセテート、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、乳酸エチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、３−メチル−３−メトキシブチルプロピオネート、酢酸ｎ−ブチル、酢酸ｉ−ブチル、ぎ酸ｎ−アミル、酢酸ｉ−アミル、プロピオン酸ｎ−ブチル、酪酸エチル、酪酸ｉ−プロピル、酪酸ｎ−ブチル、ピルビン酸エチル等が好ましい。
前記溶媒は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。

また、前記溶媒と共に、ベンジルエチルエーテル、ジ−ｎ−ヘキシルエーテル、アセトニルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、１−オクタノール、１−ノナノール、ベンジルアルコール、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニルエーテルアセテート等の高沸点溶媒を併用することもできる。
これらの高沸点溶媒は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができる。
溶媒の含有量は、特に限定されるものではないが、得られる感放射線性組成物の塗布性、安定性等の観点から、当該組成物の溶媒を除いた各成分の合計濃度が、通常、５〜５０重量％が好ましく、特に１０〜４０重量％となる量が望ましい。

カラーフィルタ
本発明のカラーフィルタは、本発明の着色層形成用感放射線性組成物から形成された着色層を備えるものである。
以下に、本発明のカラーフィルタを形成する方法について説明する。
まず、基板の表面上に、必要に応じて、画素を形成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板上に、例えば赤色の顔料が分散された感放射線性組成物の液状組成物を塗布したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露光したのち、アルカリ現像液を用いて現像して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベークすることにより、赤色の画素パターンが所定の配列で配置された画素アレイを形成する。
その後、緑色または青色の顔料が分散された各感放射線性組成物の液状組成物を用い、前記と同様にして、各液状組成物の塗布、プレベーク、露光、現像およびポストベークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の画素アレイを同一基板上に順次形成することにより、赤色、緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置されたカラーフィルタを得る。但し、本発明においては、各色の画素を形成する順序は、前記のものに限定されない。
また、ブラックマトリックスは、本発明の着色層形成用感放射線性組成物を用い、前記画素の形成の場合と同様にして形成することができる。

画素および／またはブラックマトリックスを形成する際に使用される基板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド等を挙げることができる。
また、これらの基板には、所望により、シランカップリング剤等による薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処理を施しておくこともできる。
感放射線性組成物の液状組成物を基板に塗布する際には、スプレー法、ロールコート法、回転塗布法（スピンコート法）、スリットダイ塗布法、バー塗布法、インクジェット法等の適宜の塗布法を採用することができるが、特に、スピンコート法、スリットダイ塗布法が好ましい。
塗布厚さは、乾燥後の膜厚として、通常、０．１〜１０μｍ、好ましくは０．２〜８．０μｍ、特に好ましくは０．２〜６．０μｍである。

画素および／またはブラックマトリックスを形成する際に使用される放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外線、電子線、Ｘ線等を使用することができるが、波長が１９０〜４５０ｎｍの範囲にある放射線が好ましい。
放射線の露光量は、好ましくは１０〜１０，０００Ｊ／ｍ² である。
また、前記アルカリ現像液としては、例えば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コリン、１，８−ジアザビシクロ−［５．４．０］−７−ウンデセン、１，５−ジアザビシクロ−［４．３．０］−５−ノネン等の水溶液が好ましい。
前記アルカリ現像液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗する。
現像処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、ディップ（浸漬）現像法、パドル（液盛り）現像法等を適用することができる。現像条件は、常温で５〜３００秒が好ましい。

このようにして得られる本発明のカラーフィルタは、高精細なカラー液晶表素子、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用である。

カラー液晶表示素子
本発明のカラー液晶表示素子は、本発明のカラーフィルタを具備するものである。
また、本発明のカラー液晶表示素子の１つの実施の形態として、本発明の着色層形成用感放射線性組成物を用いて、薄膜トランジスタ基板アレイ上に、前述したようにして画素および／またはブラックマトリックスを形成することにより、特に高精細なカラー液晶表示素子を作製することができる。

以下、実施例を挙げて、本発明の実施の形態をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施例に限定されるものではない。
下記各合成例で得た樹脂のＭｗおよびＭｎは、下記仕様によるゲルパーミエーションクロマトグラフィ（ＧＰＣ）により測定した。
装置 ：ＧＰＣ−１０１（昭和電工（株）製）。
カラム：ＧＰＣ−ＫＦ−８０１、ＧＰＣ−ＫＦ−８０２、ＧＰＣ−ＫＦ−８０３および ＧＰＣ−ＫＦ−８０４を結合して用いた。
溶出溶媒：リン酸０．５重量％を含むテトラヒドロフラン。

アルカリ可溶性樹脂の合成
合成例１
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸２０重量部、Ｎ−フェニルマレイミド３０重量部、ベンジルメタクリレート３０重量部、スチレン２０重量部、および分子量制御剤として連鎖移動剤であるα−メチルスチレンダイマー５重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を８０℃に昇温し、この温度を保持して３時間重合した。２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を追加し、さらに１時間重合を行い、その後、１００℃に昇温して１時間重合を継続することにより、樹脂溶液（固形分濃度＝３３．０重量％）を得た。得られた樹脂は、Ｍｗ＝９，５００、（Ｍｗ／Ｍｎ）＝２．０であった。この樹脂を「樹脂（Ｂ−１）」とする。

合成例２
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸１５重量部、Ｎ−フェニルマレイミド２０重量部、ベンジルメタクリレート３５重量部、スチレン１０重量部、グリセロールモノメタクリレート１０部、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート１０重量部、および分子量制御剤として連鎖移動剤であるα−メチルスチレンダイマー６重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を８０℃に昇温し、この温度を保持して３時間重合した。２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を追加し、さらに１時間重合を行い、その後、１００℃に昇温して１時間重合を継続することにより、樹脂溶液（固形分濃度＝３３．０重量％）を得た。得られた樹脂は、Ｍｗ＝７，５００、（Ｍｗ／Ｍｎ）＝２．１であった。この樹脂を「樹脂（Ｂ−２）」とする。

合成例３
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸１５重量部、アセナフチレン３０重量部、ベンジルメタクリレート４０重量部、グリセロールモノメタクリレート１０部、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート５重量部、および分子量制御剤として連鎖移動剤であるα−メチルスチレンダイマー５重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を８０℃に昇温し、この温度を保持して３時間重合した。２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を追加し、さらに１時間重合を行い、その後、１００℃に昇温して１時間重合を継続することにより、樹脂溶液（固形分濃度＝３３．０重量％）を得た。得られた樹脂は、Ｍｗ＝１１，０００、（Ｍｗ／Ｍｎ）＝２．２であった。この樹脂を「樹脂（Ｂ−３）」とする。

合成例４
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル３重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２００重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸１５重量部、Ｎ−フェニルマレイミド２５重量部、ベンジルメタクリレート２５重量部、スチレン１５重量部、グリセロールモノメタクリレート１０部、ω−カルボキシポリカプロラクトンモノアクリレート１０重量部、および分子量制御剤として連鎖移動剤であるα−メチルスチレンダイマー５重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を８０℃に昇温し、この温度を保持して３時間重合した。２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を追加し、さらに１時間重合を行い、その後、１００℃に昇温して１時間重合を継続することにより、樹脂溶液（固形分濃度＝３３．０重量％）を得た。得られた樹脂は、Ｍｗ＝１０，０００、（Ｍｗ／Ｍｎ）＝２．２であった。この樹脂を「樹脂（Ｂ−４）」とする。

合成例５
冷却管、攪拌機を備えたフラスコに、２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４重量部およびプロピレングリコールモノエチルエーテル２００重量部を仕込み、引き続きメタクリル酸１５重量部、アセナフチレン３０重量部、ベンジルメタクリレート３５重量部、グリセロールモノメタクリレート２０部および分子量制御剤として連鎖移動剤であるα−メチルスチレンダイマー６重量部を仕込んで、窒素置換したのち、ゆるやかに攪拌しつつ、反応溶液を８０℃に昇温し、この温度を保持して３時間重合した。２，２’−アゾビスイソブチロニトリル０．５重量部を追加し、さらに１時間重合を行い、その後、１００℃に昇温して１時間重合を継続することにより、樹脂溶液（固形分濃度＝３３．０重量％）を得た。得られた樹脂は、Ｍｗ＝１２，０００、（Ｍｗ／Ｍｎ）＝２．２であった。この樹脂を「樹脂（Ｂ−５）」とする。

合成例６
冷却管と攪拌機を備えたフラスコに、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテル４０重量部、Ｎ−フェニルマレイミド２７重量部、スチレン１７重量部およびベンジルメタクリレート１６重量部をプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３００重量部に溶解し、さらに２，２’−アゾビスイソブチロニトリル４重量部およびα−メチルスチレンダイマー６重量部を投入し、その後１５分間窒素パージした。窒素パージの後、反応釜を攪拌しながら８０℃に加熱し、５時間反応することにより、スチレンエポキシ樹脂を２５重量％含む樹脂溶液を得た。このスチレンエポキシ樹脂は、Ｍｗ＝６，０００、（Ｍｗ／Ｍｎ）＝２．５であった。
得られたスチレンエポキシ樹脂を含む樹脂溶液２００重量部、不飽和モノカルボン酸（Ｘ）としてのメタクリル酸１０重量部、ｐ−メトキシフェノール０．２重量部、テトラブチルアンモニウムブロマイド０．２重量部およびプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート３００重量部をフラスコに仕込み、１２０℃の温度で９時間反応させた。これによりスチレンエポキシ樹脂のエポキシ基１当量に対し、メタクリル酸１当量が反応した。さらに、多塩基酸無水物（ｙ）としての４−シクロヘキセン−１，２−ジカルボン酸無水物を１６重量部加え、８０℃で６時間反応させた。この反応混合物につき、液温度を８０℃に保持したまま２回水洗し、減圧濃縮を行うことにより、アルカリ可溶性樹脂を２０重量％含有する樹脂溶液を得た。得られた樹脂は、Ｍｗ＝７，８００、（Ｍｗ／Ｍｎ）＝２．６であった。この樹脂を「樹脂（Ｂ−６）」とする。

顔料分散液の調製
調製例１
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４／Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７＝８０／２０（重量比）混合物１５重量部、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１を４重量部（固形分換算）、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として（Ｂ−１）を６重量部（固形分換算）および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７５重量部を、ビーズミルにより処理して、顔料分散液（ｒ）を調製した。

調製例２
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントグリーン３６／Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８／Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０＝５０／４０／１０（重量比）混合物１５重量部、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１を４重量部（固形分換算）、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として（Ｂ−２）を５重量部（固形分換算）、および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７６重量部を、実施例１と同様に処理して、顔料分散液（ｇ）を調製した。

調製例３
（Ａ）着色剤としてＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６／Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３＝９５／５（重量比）混合物１５重量部、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１を４重量部（固形分換算）、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として（Ｂ−２）を５重量部（固形分換算）、および溶媒としてプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート７６重量部を、実施例１と同様に処理して、顔料分散液（ｂ）を調製した。

調製例４
（Ａ）着色剤としてカーボンブラック（御国色素（株）製）２０重量部、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−２００１を２重量部（固形分換算）、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として（Ｂ−３）を４重量部（固形分換算）、および溶媒として３−メトキシブチルアセテート７４重量部を、実施例１と同様に処理して、顔料分散液（ｂｋ１）を調製した。

調製例５
（Ａ）着色剤としてカーボンブラック（御国色素（株）製）２０重量部、分散剤としてＤｉｓｐｅｒｂｙｋ−１６７を２重量部（固形分換算）、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として（Ｂ−３）を３重量部（固形分換算）、および溶媒として３−メトキシブチルアセテート７５重量部を、実施例１と同様に処理して、顔料分散液（ｂｋ２）を調製した。

実施例１
液状組成物の調製
顔料分散液（ｒ）１００重量部、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として樹脂（Ｂ−４）６重量部（固形分換算）、（Ｃ）多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサアクリレート８重量部、（Ｄ）光重合開始剤として２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン（商品名イルガキュア３６９、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）３重量部、（Ｅ）成分として４，４’−〔１−〔４−〔１−〔４−ヒドロキシフェニル〕−１−メチルエチル〕フェニル〕エチリデン〕ビスフェノール０．１５重量部、および溶媒として３−エトキシプロピオン酸エチル１５０重量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２５重量部を混合して、着色層形成用液状組成物（Ｒ１）を調製した。
液状組成物（Ｒ１）について、下記の手順にしたがって、評価を行った。評価結果を表２に示す。

パターンの形成
液状組成物（Ｒ１）を、ガラス基板の表面上に、スピンコーターを用いて塗布したのち、９０℃で２分間プレベークを行って、膜厚２．５μｍの塗膜を形成した。その後、この基板を室温まで冷却し、基板上の塗膜に、高圧水銀ランプを用い、フォトマスクを介して、露光ギャップを２００μｍとし、１，０００Ｊ／ｍ² の露光量で露光した。その後、基板上の塗膜に、２３℃の０．０４重量％水酸化カリウム水溶液を現像圧２ｋｇｆ／ｃｍ²（ノズル径１ｍｍ）で吐出することにより、シャワー現像を５０秒行ったのち、２３０℃で３０分間ポストベークを行って、基板上に赤色のライン＆スペース（Ｌ/Ｓ）パターンが配列された画素アレイを形成した。

評価
基板上の画素アレイを光学顕微鏡にて観察したところ、画素パターンのエッジに欠けは認められなかった。また、基板上の画素パターンの断面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）にて観察したところ、アンダーカットは認められなかった。スリット幅９０μｍのフォトマスクを介して形成された画素パターンの線幅を光学顕微鏡にて測定したところ、９３．０μｍであった。

実施例２〜１７および比較例１〜６
実施例１において、構成成分の種類と量を表２に示すように変更した以外は実施例１と同様にして、液状組成物（Ｒ２）〜（Ｒ３）、（Ｇ１）〜（Ｇ３）、（Ｂ１）〜（Ｂ３）および（ＢＫ１）〜（ＢＫ１４）を調製した。
次いで、液状組成物（Ｒ１）に代えてそれぞれ液状組成物（Ｒ２）〜（Ｒ３）、（Ｇ１）〜（Ｇ３）、（Ｂ１）〜（Ｂ３）、（ＢＫ１）〜（ＢＫ１４）を用いた以外は、実施例１と同様にして評価を行った。結果を表２に示す。

表１において、各成分は下記のとおりである。
Ｃ−１：ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート
Ｃ−２：トリス（２−ヒドロキシエチル）イソシアヌレートトリアクリレート（商品名Ｍ−３１５、東亞合成株式会社製）
Ｄ−１：２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）ブタン−１−オン（商品名イルガキュア３６９、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）
Ｄ−２：２−メチル−１−〔４−（メチルチオ）フェニル〕−２−モルフォリノプロパン−１−オン（商品名イルガキュア９０７、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）
Ｄ−３：エタノン，１−［９−エチル−６−（２−メチルベンゾイル）−９Ｈ−カルバゾール−３−イル］−，１−（Ｏ−アセチルオキシム）（商品名ＩＲＧＡＣＵＲＥ ＯＸ０２、チバ・スペシャルティー・ケミカルズ社製）
Ｅ−１：４，４’−〔１−〔４−〔１−〔４−ヒドロキシフェニル〕−１−メチルエチル〕フェニル〕エチリデン〕ビスフェノール
Ｅ−２：２，３，４−トリヒドロキシベンゾフェノン
Ｅ−３：２，３，４，４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン
Ｅ−４：２−メチル−２−（２，４−ジヒドロキシフェニル）−４−（４−ヒドロキシフェニル）−７−ヒドロキシクロマン
Ｅ−５：２，３，４，２’，６’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン
Ｆ−１：マロン酸
Ｆ−２：ノニオン系界面活性剤（商品名Ａ−６０、花王（株）社製）
Ｆ−３：重合禁止剤フェノチアジン
ＥＥＰ：３−エトキシプロピオン酸エチル
ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
ＭＢＡ：３−メトキシブチルアセテート

本発明の（Ｅ）成分を含む感放射線性組成物は、感放射線性組成物中に含まれる着色剤の含有量が高い場合であっても、基板との密着性に優れ、高精細で優れたパターン形状を有し、かつプロキシミティ露光においてもパターン線幅太りすることのない画素およびブラックマトリックスを形成することができる。
したがって、本発明の感放射線性組成物は、電子工業分野におけるカラー液晶表示装置用カラーフィルタや固体撮像素子の色分解用カラーフィルタを始めとする各種のカラーフィルタの作製に極めて好適に使用することができる。

Claims (7)

1. （Ａ）着色剤、（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂、（Ｃ）２個以上のラジカル重合性不飽和結合を有する単量体、（Ｄ）感放射線性ラジカル発生剤、並びに（Ｅ）下記式（１）〜（５）
   

   

   〔式（１）において、Ｒ¹は水素原子、炭素数４以下のアルキル基、炭素数４以下のアルコキシ基、フェニル基、ナフチル基または−(CH₂)x-COOＺ基を示し、複数存在するR¹は相互に同一でも異なってもよく、Ｚはアルコキシアルキル基、環式エーテル基、ビニルオキシアルキル基またはｔ−アルコキシカルボニルアルキル基を示し、複数存在するＺは相互に同一でも異なってもよく、ｘは０〜４の整数であり、Ａは単結合、 -S-基、-O-基、-CO-基、 -COO-基、-SO-基、 -SO₂-基、 -C(R²)(R³)-基または
   

   

   基（但し、ｋは０〜４の整数である。）を示し、Ｒ²およびＲ³は相互に同一でも異なってもよく、水素原子、炭素数６以下のアルキル基、炭素数６以下のアシル基、フェニル基、ナフチル基または−(CH₂)x-COOＺ基を示し、ｍ、ｎ、ｐおよびｑは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦５、ｎ＋ｑ≧１の関係を満たす。〕
   

   

   
   〔式（２）において、Ｒ¹は式（１）のＲ¹と同じ基を示し、Ｒ⁴は式（１）のＲ²と同じ基を示し、ｍ、ｎ、ｐ、ｑ、ｒおよびｓは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦５、ｒ＋ｓ≦５、ｎ＋ｑ＋ｓ≧１の関係を満たす。〕
   

   

   
   〔式（３）において、Ｒ¹は式（１）のＲ¹と同じ基を示し、Ｒ⁴は式（１）のＲ²と同じ基を示すが、２個のＲ⁴は相互に同一でも異なってもよく、Ａは式（１）のＡと同じ基を示し、ｍ、ｎ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔおよびｕは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦５、ｒ＋ｓ≦５、ｔ＋ｕ≦５、ｎ＋ｑ＋ｓ＋ｕ≧１の関係を満たす。〕
   

   

   
   〔式（４）において、Ｒ¹は式（１）のＲ¹と同じ基を示し、Ｒ²、Ｒ³およびＲ⁴はそれぞれ式（１）の、Ｒ²、Ｒ³および式（２）のＲ⁴と同じ基を示し、ｍ、ｎ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔおよびｕは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦５、ｒ＋ｓ≦５、ｔ＋ｕ≦４、ｎ＋ｑ＋ｓ＋ｕ≧１の関係を満たす。〕
   

   

   〔式中、Ｒ¹、Ｒ²、およびＲ³は式（１）のＲ¹、Ｒ²、およびＲ³と同じ基を示し、ｍ、ｎ、ｐ、ｑ、ｒおよびｓは０以上の整数で、ｍ＋ｎ≦５、ｐ＋ｑ≦４、ｒ＋ｓ≦５、ｎ＋ｑ＋ｓ≧２の関係を満たし、ｌは１〜５の整数を示す。〕
   で表される化合物、フラバン骨格を有するフェノール性化合物、スピロビインダン骨格を有するフェノール性化合物およびスピロビインデン骨格を有するフェノール性化合物よりなる群から選ばれる少なくとも１種の化合物
   を含有することを特徴とする着色層形成用感放射線性組成物。
2. （Ｅ）成分の含有量が（Ｂ）アルカリ可溶性樹脂１００重量部に対して０．１〜１０重量部である請求項１に記載の着色層形成用感放射線性組成物。
3. （Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として、下記式（６）で表される繰り返し単位を有する重合体および下記式（７）で表される繰り返し単位を有する重合体よりなる群から選ばれる少なくとも１種を含有する、請求項１又は２に記載の着色層形成用感放射線性組成物。
   

   

   （式中、Ｒ⁵は水素原子またはメチル基を表す。）
   

   

   （式中、Ｒ⁶、Ｒ⁷およびＲ⁸はそれぞれ独立に水素原子または炭素数１〜１０のアルキル基を示し、Ｘはアクリロイル基もしくはメタクリロイル基を有する一価の有機基、ビニル基または１−メチルビニル基を示し、Ｙは二価の有機基を示し、ｈは１〜５の整数を示す。）
4. （Ｂ）アルカリ可溶性樹脂として、さらに下記式（８）で表される繰り返し単位および下記式（９）で表される繰り返し単位よりなる群から選ばれる少なくとも１種の繰り返し単位を有する重合体を含有する、請求項３に記載の着色層形成用感放射線性組成物。
   

   

   （式中、Ｒ⁹は炭素数１〜１２の直鎖状、分岐状もしくは環状のアルキル基または炭素数６〜１２のアリール基を示す。）
   

   

   （式中、Ｒ¹⁰〜Ｒ¹⁵は相互に独立に、水素原子、ハロゲン原子、水酸基、ヒドロキシメチル基またはカルボキシル基を示す。）
5. （Ａ）着色剤の含有量が全固形分中３０〜６０重量％である請求項１〜４のいずれか１項に記載の感放射線性組成物。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の着色層形成用感放射線性組成物を用いて形成されてなる着色層を有するカラーフィルタ。
7. 請求項６に記載のカラーフィルタを具備するカラー液晶表示素子。