JP2009202473A - インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009202473A JP2009202473A JP2008048234A JP2008048234A JP2009202473A JP 2009202473 A JP2009202473 A JP 2009202473A JP 2008048234 A JP2008048234 A JP 2008048234A JP 2008048234 A JP2008048234 A JP 2008048234A JP 2009202473 A JP2009202473 A JP 2009202473A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- mask member
- grease
- inkjet head
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/10—Finger type piezoelectric elements
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
【課題】マスキングに使用されたマスクを除去する際に、必要な部分の絶縁膜が一緒に剥がれてしまうことを防止することができるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドの製造方法は、電気的接続部である第1の部分31と、第1の部分31の周囲にある第2の部分32と、を有する基板13の第1の部分32にマスク部材42と、このマスク部材42の周囲に位置するように設けたグリス34とを配置し、第1の部分31および第2の部分32を覆うように絶縁膜33を形成し、グリス34を残すようにマスク部材42とマスク部材42上に形成された絶縁膜33とを除去することにより、第2の部分32と第1の部分31の一部とに絶縁膜33を形成する。
【選択図】図10
【解決手段】インクジェットヘッドの製造方法は、電気的接続部である第1の部分31と、第1の部分31の周囲にある第2の部分32と、を有する基板13の第1の部分32にマスク部材42と、このマスク部材42の周囲に位置するように設けたグリス34とを配置し、第1の部分31および第2の部分32を覆うように絶縁膜33を形成し、グリス34を残すようにマスク部材42とマスク部材42上に形成された絶縁膜33とを除去することにより、第2の部分32と第1の部分31の一部とに絶縁膜33を形成する。
【選択図】図10
Description
本発明は、記録媒体に対して画像を形成することができるインクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッドに関する。
電気的絶縁、防湿、耐磨耗等を目的として、基体の表面にパリレン膜を形成したインクジェットヘッドが開示されている。このインクジェットヘッドは、圧電性基体上に電極を設けた可動壁と、蓋部材と、を有し、これらによってインクチャンネルを構成している。この電極は、絶縁膜、すなわち、シランカップリング剤を含有させたパリレン膜で被覆されている。
このインクジェットヘッドでは、パリレン膜を気相合成法により形成する。この従来例では、パリレン膜にシランカップリング剤を含有させることで、パリレン膜と基体との密着性が向上するとしているが、そもそもパリレン膜は、被着物との間で密着性が弱い性質を有している。このインクジェットヘッドにおいて、基体上でパリレン膜の保護膜を設けない部分には、予めマスキングがなされる(例えば、特許文献1参照)。
特開2003―19797号公報
上記従来のインクジェットヘッドでは、気相合成法によってパリレン膜を形成した後に、マスクを除去することになる。このとき、マスクを除去する際に、マスクの周囲に位置するパリレン膜まで一緒に剥がれてしまうおそれがあった。マスクの周囲に配置されるパリレン膜は、本来的に絶縁が必要な箇所に配置されるものであるため、改良の余地があった。
本発明の目的は、マスキングに使用されたマスクを除去する際に、必要な部分の絶縁膜が一緒に剥がれてしまうことを防止することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
前記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るインクジェットヘッドの製造方法は、電気的接続部である第1の部分と、前記第1の部分の周囲にある第2の部分と、を有する基板の前記第2の部分にマスク部材と、このマスク部材の周囲に位置するように設けたグリスとを配置し、前記第1の部分および前記第2の部分を覆うように絶縁膜を形成し、前記グリスを残すように前記マスク部材と前記マスク部材上に形成された絶縁膜とを除去することにより、前記第1の部分と前記第2の部分の一部とに絶縁膜を形成する。
前記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るインクジェットヘッドは、電気的接続部である第1の部分と、前記第1の部分の周囲にある第2の部分と、を有する基板と、前記第1の部分と前記第2の部分の一部とに形成された絶縁膜と、を具備し、前記第2の部分にマスク部材と、このマスク部材の周囲に位置するように設けたグリスとを配置し、前記第1の部分および前記第2の部分を覆うように絶縁膜を形成し、前記グリスを残すように前記マスク部材と、前記マスク部材上に形成された絶縁膜とを除去することにより前記絶縁膜が形成される。
前記目的を達成するため、本発明の一つの形態に係るインクジェットヘッドは、電気的接続部である第1の部分と、前記第1の部分の周囲にある第2の部分と、前記第1の部分の外周部に設けられた縁部と、を有する基板と、前記基板に設けられた圧力室と、前記圧力室に臨んで形成されるとともに、液を吐出可能なノズルと、前記第2の部分と前記縁部とを覆うように形成された絶縁膜と、前記縁部と、前記絶縁膜のうち前記縁部に対応する部分と、の間の位置に設けられるとともに、前記縁部と前記縁部に対応する部分とを接着するグリスと、を具備する。
本発明によれば、マスキングに使用されたマスクを除去する際に、必要な部分の絶縁膜が一緒に剥がれてしまうことを防止することができるインクジェットヘッドの製造方法を提供できる。
以下図面を参照して、この発明の実施例について説明する。
図1から図4に示すように、インクジェットヘッド11は、いわゆるシェアモードタイプのものである。インクジェットヘッド11は、複数の圧力室12を有する基板13と、基板13の下側に接着されたベース部14と、基板13に接着された天板15と、基板13と天板15とにまたがって接着されたノズルプレート16と、を備えている。ノズルプレート16は、複数のノズル17を有している。ノズルプレート16は、例えば、ポリイミドで形成されている。ノズルプレート16が基板13および天板15に対して接着された状態において、各ノズル17は、各圧力室12に連通する。
天板15は、インク流路21に接続する供給口22を有している。天板15は、その内部にインク流路21を有している。インク流路21は、各圧力室12に連通している。図3と図4に示すように、圧力室12は、底部が曲面になった、断面かまぼこ形に形成されている。
図1から図4に示すように、基板13は、例えば、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)製の2枚の圧電部材23を張り合わせて形成されている。圧電部材23は、互いの分極方向が逆向きになるように接着されている。基板13は、その表面から溝状に形成される複数の圧力室12と、各圧力室12の両側部に設けられる駆動素子である支柱24と、各支柱24の側面および圧力室12の底部に形成される電極25と、を有している。また、基板13上には、複数の電気配線26が設けられている。各電気配線26は、その一端で電極25と連続しており、他端で図10に示すヘッド駆動用のプリント回路板27に接続されている。なお、各電気配線26は、他端でプリント回路板27に連なるフレキシブルケーブルに接続するようにしてもよい。
図5に示すように基板13は、プリント回路板27ないしフレキシブルケーブルとの間で電気的接続部を形成する第1の部分31と、第1の部分31の周囲に設けられた第2の部分32と、を有している。第1の部分31は、さらに、第1の部分31の外周部に設けられた縁部31Aを有している。
図10に示すように、基板13は、電極25(電気配線26)の表面に絶縁膜33を有している。絶縁膜33は、基板13の前記第2の部分32と、前記第1の部分31の縁部31Aと、の上側にそれぞれ形成されている。つまり、絶縁膜33は、電極25(電気配線26)の表面に形成される部分33Aと、基板13の縁部に対応する部分33Bと、を有している。絶縁膜33の一例としては、パリレン膜がある。本実施形態では、蒸着法によって、基板13上に例えば1μmから10μmの厚さでパリレンの薄膜が、基板13を被覆するように形成されている。絶縁膜33は、圧力室12内に充填されるインクと、電極25とを絶縁することができる。
基板13は、さらに、縁部31Aと、絶縁膜33の縁部に対応する部分33Bとの間に、グリス34を有している。グリス34は、第1の部分31の外周部に沿って配置されている。グリス34は、後述するインクジェットヘッド11の製造方法で、絶縁膜33を蒸着する際のマスキングに用いられるものである。グリス34は、例えば、真空グリスであり、精製したシリコーンオイルを基油に例えばシリカ粉末を配合したオイルコンパウンドで構成されている。グリス34の粘着力によって、不要部分の絶縁膜33を除去する際に、必要な領域の絶縁膜33が一緒に除去されてしまうことが防止される。
上記構成のインクジェットヘッド11をプリンタに搭載して、このプリンタで印刷処理を行うには、プリンタのインクタンクからインクジェットヘッド11にインクを供給する必要がある。インクの供給は、供給口22を介して行われ、インクタンクから流出したインクは、供給口22を経由してインク流路21および圧力室12内に満たされる。
また、この状態で、ユーザがプリンタに対して印刷を指示すると、プリンタの制御部は、インクジェットヘッド11に対して印字信号をプリント回路板27に出力する。印刷信号を受けたプリント回路板27は、電気配線26を介して駆動パルス電圧を支柱に印加する。これにより、左右一対の支柱24は、シェアモード変形を行って湾曲するように離反する。そして、これらを初期位置に復帰させて圧力室12のインクの圧力を大きくすることで、ノズル17からインク滴が勢い良く吐出される。
続いて、図4から図10を参照して、本実施形態のインクジェットヘッド11の製造方法について説明する。
図4に示すように、基板13は、2枚の圧電部材23に接着して形成されている。基板13には、さらに、圧力室12となる複数の溝部が、研削加工によって所定のピッチで形成されている。この溝部の表面に、図6に示すように、電極25が例えば、無電解ニッケルメッキ法によって作りこまれている。
続いて、この基板13に対して、絶縁膜33を形成する。この絶縁膜33の形成に先立って、絶縁膜33を形成しない箇所である基板13の第1の部分31にマスク部材を配置する。また、第1の部分31のうち、マスク部材の周囲に位置する縁部31Aにグリス34を配置する。このとき、グリス34は、第1の部分31の外周部に沿うように配置される。なお、第1の実施形態では、マスク部材をグリス34によって兼ねるようにしている。このため、本実施形態では、図5と図6に示すように、第1の部分31の全体にグリス34を塗布するようにする。
図7に示すように、基板13の第1の部分31および第2の部分32の表面に絶縁膜33を形成する。図8に示すように、第1の部分31の縁部31Aの近傍において、矢印で示す位置に、例えばカッタによって絶縁膜33に切り込みを形成する。図9に示すように、第1の部分31の表面に形成された絶縁膜33を除去する。このとき、図9と図10に示すように、縁部31Aと、絶縁膜33の縁部に対応する部分33Bとの間には、グリス34の一部が残存している。これによって、第1の部分31の表面に形成された絶縁膜33を除去する際に、必要な部分の絶縁膜33が一緒に剥がされてしまうことが防止される。
図10に示すように、グリス34のうちの大部分を例えば布等によって拭き取り、この部分の電極25にプリント回路板27を半田で接続する。なお、グリス34が電気配線26上に残存することがあっても、半田付けをする際の熱によってグリス34が除去されるため、電気配線26とプリント回路板27との間の電気的な接続に不具合を生ずることはない。さらに、このように形成した基板13に対してベース部14、天板15およびノズルプレート16を接着する。このノズルプレート16に対してレーザ光を照射してノズル17を形成して、インクジェットヘッド11が完成する。
第1の実施形態によれば、インクジェットヘッドの製造方法は、電気的接続部である第1の部分31と、第1の部分31の周囲に形成された第2の部分32と、を有する基板13の第1の部分31にマスク部材と、このマスク部材の周囲に位置するように設けたグリス34とを配置し、第1の部分31および第2の部分32を覆うように絶縁膜33を形成し、グリス34を残すようにマスク部材とマスク部材上に形成された絶縁膜33とを除去することにより、第2の部分32と第1の部分31の一部とに絶縁膜33を形成する。
また、インクジェットヘッド11は、電気的接続部である第1の部分31と、第1の部分31の周囲に形成された第2の部分32と、を有する基板13と、第1の部分31と第2の部分32の一部とに形成された絶縁膜33と、を具備し、第1の部分31にマスク部材と、このマスク部材の周囲に位置するように設けたグリス34とを配置し、第1の部分31および第2の部分32を覆うように絶縁膜33を形成し、グリス34を残すようにマスク部材と、マスク部材上に形成された絶縁膜33とを除去することにより絶縁膜33が形成される。
また、インクジェットヘッド11は、電極25が形成された第1の部分31と、第1の部分31の周囲に形成された縁部31Aと、を有する基板13と、基板13に形成された圧力室12と、圧力室12に臨んで形成されるとともに、液を吐出可能なノズル17と、第1の部分31と縁部31Aとを覆うように形成された絶縁膜33と、縁部31Aと、絶縁膜33のうち縁部に対応する部分33Bと、の間の位置に設けられるとともに、縁部31Aと縁部に対応する部分33Bとを接着するグリス34と、を具備する。
これらの構成によれば、絶縁膜33の縁部に対応する部分33Bと縁部31Aとの間に残存するグリス34は、絶縁膜33の縁部に対応する部分33Bと縁部31Aとが接着した状態を保持する。このため、不要部分のマスク部材上の絶縁膜33を除去する際に、必要部分の第2の部分32を覆う絶縁膜33を一緒に除去してしまうことを防止することができる。これにより、電極25部分に十分な絶縁が施された基板を備えたインクジェットヘッド11を提供することができる。これによって、水性インクなど、導電性のインクを用いる際であっても、圧力室12内でインクが電気分解されて気泡が発生する等の不具合が生ずるのを防止できる。
この場合、グリス34は、第1の部分31の外周部に沿って配置される。この構成によれば、第1の部分31の外周部において、グリス34によって基板13の縁部31Aと絶縁膜33の縁部に対応する部分33Bとを接着することができる。このため、絶縁膜33のうち、本来的に不必要な部分の面積を最小限にすることができる。
この場合、グリス34は、マスク部材を兼ねている。この構成によれば、インクジェットヘッド11の製造工程において、別途にマスク部材を用意する必要がなくなるため、部品点数を削減することができる。
続いて、図11から図14を参照して、インクジェットヘッドの製造方法の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態に係るインクジェットヘッド41は、マスク部材42を使用する点で製造方法が第1の実施形態のものと異なっているが、完成品の構造は第1の実施形態と共通している。このため、主として異なる部分について説明し、共通する部分については共通の符号を付して説明を省略する。
第2の実施形態にかかるインクジェットヘッドの製造方法では、図11に示すように、電極25(電気配線26)が形成された基板13に、マスク部材42とグリス34とを配置する。すなわち、基板13の第1の部分31にマスク部材42を配置する。マスク部材42は、フィルム等の合成樹脂ないしプラスチックのシートによって形成されている。マスク部材42は、例えば、0.1mmから0.2mmの厚さで形成されている。また、第1の部分31の縁部31Aに、グリス34を配置する。このとき、グリス34は、第1の部分31の外周部に沿うように配置される。
図12に示すように、基板13の第1の部分31と第2の部分32の表面に絶縁膜33を形成する。さらに、図12に示すように、第1の部分31の縁部31Aの近傍において、矢印で示す位置に、例えばカッタなどによって絶縁膜33に切り込みを形成する。図13に示すように、マスク部材42と、第1の部分31の表面に形成された絶縁膜33と、を一括して除去する。このとき、図13に示すように、縁部31Aと、絶縁膜33の縁部に対応する部分33Bとの間には、グリス34の一部が残存している。これによって、マスク部材42および第1の部分31の表面に形成された絶縁膜33を除去する際に、必要な部分の絶縁膜33が一緒に剥がされてしまうことが防止される。
図14に示すように、マスク部材42を除去した部分の電極25にプリント回路板27を半田で接続する。さらに、このように形成した基板13に対して天板15およびノズルプレート16を接着する。このノズルプレート16に対してレーザ光を照射してノズル17を形成して、インクジェットヘッド41が完成する。
第2の実施形態によれば、マスク部材42は、樹脂製のシートである。この構成によれば、基板13上で絶縁膜33が不要な部分について、マスク部材42によって簡単にマスキングを施すことができる。また、マスク部材42の周囲にグリス34が配置され、当該グリス34がマスク部材42の接着剤として機能するため、マスク部材42が所望の位置からずれてしまうことがない。
本発明は、前記実施の形態に限定されるものではない。このほか、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々変形実施可能であるのは勿論である。
11、41…インクジェットヘッド、12…圧力室、13…基板、17…ノズル、26…電気配線、31…第1の部分、32…第2の部分、32A…縁部、33…絶縁膜、33B…縁部に対応する部分、34…グリス、42…マスク部材
Claims (9)
- 電気的接続部である第1の部分と、前記第1の部分の周囲にある第2の部分と、を有する基板の前記第1の部分にマスク部材と、このマスク部材の周囲に位置するように設けたグリスとを配置し、前記第1の部分および前記第2の部分を覆うように絶縁膜を形成し、前記グリスを残すように前記マスク部材と前記マスク部材上に形成された絶縁膜とを除去することにより、前記第2の部分と前記第1の部分の一部とに絶縁膜を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記グリスは、前記第1の部分の外周部に沿って配置されることを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記グリスは、前記マスク部材を兼ねていることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記マスク部材は、樹脂製のシートであることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 電気的接続部である第1の部分と、前記第1の部分の周囲にある第2の部分と、を有する基板と、
前記第2の部分と前記第1の部分の一部とに形成された絶縁膜と、
を具備し、
前記第1の部分にマスク部材と、このマスク部材の周囲に位置するように設けたグリスとを配置し、前記第1の部分および前記第2の部分を覆うように絶縁膜を形成し、前記グリスを残すように前記マスク部材と、前記マスク部材上に形成された絶縁膜とを除去することにより前記絶縁膜が形成されることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記グリスは、前記第1の部分の外周部に沿って配置されることを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッド。
- 前記グリスは、前記マスク部材を兼ねていることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド。
- 前記マスク部材は、樹脂製のシートであることを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド。
- 電気的接続部である第1の部分と、前記第1の部分の周囲にある第2の部分と、前記第1の部分の外周部に設けられた縁部と、を有する基板と、
前記基板に設けられた圧力室と、
前記圧力室に臨んで形成されるとともに、液を吐出可能なノズルと、
前記第2の部分と前記縁部とを覆うように形成された絶縁膜と、
前記縁部と、前記絶縁膜のうち前記縁部に対応する部分と、の間の位置に設けられるとともに、前記縁部と前記縁部に対応する部分とを接着するグリスと、
を具備することを特徴とするインクジェットヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008048234A JP2009202473A (ja) | 2008-02-28 | 2008-02-28 | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008048234A JP2009202473A (ja) | 2008-02-28 | 2008-02-28 | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009202473A true JP2009202473A (ja) | 2009-09-10 |
Family
ID=41145227
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008048234A Pending JP2009202473A (ja) | 2008-02-28 | 2008-02-28 | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009202473A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012096406A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドの製造方法 |
US20120229578A1 (en) * | 2011-03-11 | 2012-09-13 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing ink-jet head |
US20120229579A1 (en) * | 2011-03-09 | 2012-09-13 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method of manufacturing the ink jet head |
US20120229577A1 (en) * | 2011-03-11 | 2012-09-13 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing ink-jet head |
CN102673149A (zh) * | 2011-03-11 | 2012-09-19 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头 |
CN103085474A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 三星电机株式会社 | 喷墨印刷头组件 |
CN103240992A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头和喷墨头的制造方法 |
CN103302986A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-09-18 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头 |
JP2013188954A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
CN103862872A (zh) * | 2012-12-12 | 2014-06-18 | 株式会社东芝 | 喷墨头及喷墨头的制造方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0331595B2 (ja) * | 1986-07-24 | 1991-05-07 | Hokuto Mfg | |
JPH09169115A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP2000077440A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂封止型混成集積回路の樹脂封止方法 |
JP2003011364A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Sharp Corp | インクジェットヘッド |
JP2005077923A (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-24 | Sony Corp | 基板およびその製造方法、並びに表示装置 |
-
2008
- 2008-02-28 JP JP2008048234A patent/JP2009202473A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0331595B2 (ja) * | 1986-07-24 | 1991-05-07 | Hokuto Mfg | |
JPH09169115A (ja) * | 1995-12-21 | 1997-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JP2000077440A (ja) * | 1998-08-31 | 2000-03-14 | Mitsubishi Electric Corp | 樹脂封止型混成集積回路の樹脂封止方法 |
JP2003011364A (ja) * | 2001-06-29 | 2003-01-15 | Sharp Corp | インクジェットヘッド |
JP2005077923A (ja) * | 2003-09-02 | 2005-03-24 | Sony Corp | 基板およびその製造方法、並びに表示装置 |
Cited By (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012096406A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッドの製造方法 |
CN102673151A (zh) * | 2011-03-09 | 2012-09-19 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头以及喷墨头的制造方法 |
US8708464B2 (en) * | 2011-03-09 | 2014-04-29 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method of manufacturing the ink jet head |
US20120229579A1 (en) * | 2011-03-09 | 2012-09-13 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method of manufacturing the ink jet head |
JP2012187864A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-04 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッド |
CN102673148A (zh) * | 2011-03-11 | 2012-09-19 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头 |
CN102673149A (zh) * | 2011-03-11 | 2012-09-19 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头 |
CN102673147A (zh) * | 2011-03-11 | 2012-09-19 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头 |
US8807709B2 (en) * | 2011-03-11 | 2014-08-19 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing ink-jet head |
US20120229577A1 (en) * | 2011-03-11 | 2012-09-13 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing ink-jet head |
US8534804B2 (en) | 2011-03-11 | 2013-09-17 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing ink-jet head |
US8998373B2 (en) | 2011-03-11 | 2015-04-07 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing ink-jet head |
CN102673149B (zh) * | 2011-03-11 | 2014-12-31 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头 |
US20120229578A1 (en) * | 2011-03-11 | 2012-09-13 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Ink-jet head and method of manufacturing ink-jet head |
CN102673148B (zh) * | 2011-03-11 | 2014-11-05 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头 |
CN103085474A (zh) * | 2011-10-28 | 2013-05-08 | 三星电机株式会社 | 喷墨印刷头组件 |
CN103240992A (zh) * | 2012-02-14 | 2013-08-14 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头和喷墨头的制造方法 |
US8998374B2 (en) | 2012-02-14 | 2015-04-07 | Toshiba Tec Kabushiki Kaisha | Inkjet head and methods of manufacturing the inkjet head |
CN103302986A (zh) * | 2012-03-12 | 2013-09-18 | 东芝泰格有限公司 | 喷墨头 |
JP2013188954A (ja) * | 2012-03-14 | 2013-09-26 | Toshiba Tec Corp | インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法 |
CN103862872A (zh) * | 2012-12-12 | 2014-06-18 | 株式会社东芝 | 喷墨头及喷墨头的制造方法 |
US8931886B2 (en) | 2012-12-12 | 2015-01-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Inkjet head and method for manufacturing inkjet head |
CN103862872B (zh) * | 2012-12-12 | 2016-01-20 | 株式会社东芝 | 喷墨头及喷墨头的制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009202473A (ja) | インクジェットヘッドの製造方法およびインクジェットヘッド | |
JP5552825B2 (ja) | アクチュエータ、液滴噴射ヘッド及びその製造方法、並びに液滴噴射装置 | |
JP2006044222A (ja) | インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 | |
JP2009143002A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2006116953A (ja) | 液体噴射装置及びその製造方法 | |
JP2007237556A (ja) | 液滴吐出ヘッド、その製造方法及び液滴吐出装置 | |
JP4984960B2 (ja) | 液滴吐出装置及びその製造方法 | |
JP4715350B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出装置 | |
JPH1134324A (ja) | インクジェット記録装置及びインクジェットヘッド | |
JP2006248166A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2010228268A (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びアクチュエーター装置 | |
JP2007001192A (ja) | ヘッドモジュールの製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法、及び液体吐出装置の製造方法 | |
JP6604035B2 (ja) | 液体吐出装置、及び液体吐出装置の製造方法 | |
JP4930673B2 (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP5425850B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2005153155A (ja) | 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 | |
JP2007001194A (ja) | ヘッドモジュール、液体吐出ヘッド、及び液体吐出装置 | |
JP2006305987A (ja) | 液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出ヘッドの製造方法 | |
JP2007001190A (ja) | ヘッドモジュール、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、及びヘッドモジュールの製造方法 | |
JP2016032880A (ja) | 液体吐出装置の製造方法、及び、液体吐出装置 | |
JP7102788B2 (ja) | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 | |
JP5866273B2 (ja) | インクジェットヘッド | |
JP2006168004A (ja) | インクジェットヘッド及びその製造方法 | |
JP5936986B2 (ja) | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッド製造方法 | |
JP2007015341A (ja) | 液滴吐出ヘッド及びその製造方法、並びに液滴吐出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20100304 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20121002 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |