JP2009200301A - プリント配線板、およびその製造方法 - Google Patents
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- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
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Abstract
【解決手段】本発明は、内層銅と、この内層銅上に設けられた絶縁層と、この絶縁層を貫通し前記内層銅表面まで達するレーザー照射によって形成された層間接続穴と、この層間接続穴内に形成された導通体と、を有するプリント配線板であって、前記レーザー照射がなされる内層銅表面に、表面粗さが3μmから20μmの凹凸を設けたプリント配線板である。
【選択図】図1
Description
また、デスミア処理をより効果的に行うために、特許文献2に開示された技術によれば、プラズマクリーニングによりデスミア処理を行っていた。
(1) 内層銅と、この内層銅上に設けられた絶縁層と、この絶縁層を貫通し前記内層銅表面まで達するレーザー照射によって形成された層間接続穴と、この層間接続穴内に形成された導通体と、を有するプリント配線板であって、前記レーザー照射がなされる内層銅表面に、表面粗さが3μmから20μmの凹凸を設けたプリント配線板。
(2) 上記(1)において、表面粗さが3μmから20μmの凹凸の凸部に、銅粒を設けたプリント配線板。
(3) 上記(2)において、凸部に設けた銅粒を埋めるように、銅めっきの薄膜を形成したプリント配線板。
(4) 上記(1)から(3)の何れかにおいて、内層銅表面に設けた表面粗さが3μmから20μmの凹凸の凸部分の面積が、凹部分の面積と同等以上であるプリント配線板。
(5) 内層銅と、この内層銅上に設けられた絶縁層と、この絶縁層を貫通し前記内層銅表面まで達するレーザー照射によって形成された層間接続穴と、この層間接続穴内に形成された導通体と、を有するプリント配線板の製造方法であって、前記内層銅表面に表面粗さが3μmから20μmの凹凸を設ける工程と、前記凹凸の凸部に銅粒を設ける工程と、前記凸部に設けた銅粒を埋めるように、銅めっきの薄膜を形成する工程と、を有するプリント配線板の製造方法。
(6) 内層銅と、この内層銅上に設けられた絶縁層と、この絶縁層を貫通し前記内層銅表面まで達するレーザー照射によって形成された層間接続穴と、この層間接続穴内に形成された導通体と、を有するプリント配線板の製造方法であって、前記内層銅表面に表面粗さが3μmから20μmの凹凸を設ける工程と、前記凹凸の凸部分の面積が、凹部分の面積と同等以上となるよう、前記凸部分をつぶして凸部頂上を広げる工程と、を有するプリント配線板の製造方法。
電解エッチングとしては、硫酸、塩酸、スルファミン酸などの酸性浴や、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、ピロリン酸、シアン浴などのアルカリ浴が使用できる。
また、これらの酸またはアルカリ系の溶液に必要により添加剤を加える。添加剤は化学エッチングに使用されているものと同様のもの、または通常光沢めっき液に使用する市販の添加剤等々が使用できる。
ショットブラストとしては、金属やセラミック微粒子と圧縮空気とを混合して吹き付ける一般的なものが使用できる。
両面粗化箔を使用した銅張積層板を内層基板に用い、銅箔の粗面形状を、そのまま内層銅表面の凹凸としてもよい。
ガラスエポキシ材に厚さ18μmの銅箔を張り合わせた銅張積層板(日立化成工業株式会社製 MCL−E−679FG)を、エッチングによりパターンニングを行い、内層銅を形成した。
次に、内層銅表面の凹凸の形成方法は、CZ処理(メックエッチボンドCZ−8100、メックエッチボンドは、メック株式会社の登録商標。)により、表面粗さが3から5μmの凹凸を設けた。
その内層材にプリプレグ(日立化成工業株式会社製 GEA−679FG)とその上層に外層配線用の銅箔(三井金属鉱業株式会社製 MT18S5DH)とを積層一体化し、その外層配線用の銅箔をエッチングにより銅箔を除去し、レーザー穴あけ加工用のコンフォーマルマスクを形成した。
次に、銅箔を除去し樹脂が露出しているコンフォーマルマスクの部分へ、炭酸ガスレーザー(日立ビアメカニクス株式会社製 レーザー加工条件:周波数1000Hz、パルス幅10〜30μsec、サイクル数5〜10)を照射し、樹脂を燃焼分解して除去することにより、非貫通穴を複数形成した。
デスミア処理は、膨潤部にスウェリングディップセキュリガントP(アトテックジャパン株式会社製、セキュリガントは、ドイツ国のアトテツク社の登録商標。)約500ml/lと苛性ソーダ(信越化学工業株式会社製)pH9.5〜11.8を使用、エッチング部にNaMnO4約60g/lを使用、還元部にリダクションセキュリガントP(アトテックジャパン株式会社製、セキュリガントは、ドイツ国のアトテツク社の登録商標。)約70ml/lと98%H2SO4(古河機械金属株式会社製)約50ml/lを使用したドイツ国のアトテック社製デスミア水平ラインをライン速度1.0m/min.で、通常は2pass処理(2回処理)するところを、1passのみ処理(1回処理)を行った。
次に、金属箔上及びビアホール内部にパラジウムコロイド触媒であるHS201B(日立化成工業株式会社製、商品名)を使用して触媒核を付与後、CUST2000(日立化成工業株式会社製、商品名)を使用して厚さ0.5〜1.0μmの下地無電解めっき層を穴内及び表面銅体層上に形成した。
次に、電解フィルドめっき(メルテックス株式会社製)により、厚み約20μmのめっきを穴内及び表面銅体層上に行った。
その後、ドライフィルムH−9040(日立化成工業株式会社、商品名)を使用して、めっきを完了した基板上全面にラミネートを行い、厚さ40μmのレジストを形成する。そのレジスト上に直描機により回路を焼付け、現像・塩化鉄によるエッチング・アルカリ性剥離液を用いてレジストの剥離、の各処理をおこなうフォト法にて外層回路形成を行った。
この方法で作製された導通体ビアの接続不良率(ホットオイル試験260℃、5秒⇔流水5秒、30サイクル後導通抵抗変化率±10%以下で合格)を表1に示す。
内層銅箔の凹凸の形成は、両面粗化箔を内層基板の導張積層板に使用することにより形成し、表面粗さが5から7μmの凹凸を設けた以外は実施例1と同様に製作し、その基板の接続不良率を表1に示す。
内層銅箔の凹凸の形成後に、圧延ロールで表面の鋭角な凸部分を0.7μmから1.2μmつぶして凸部頂上を広げた以外は実施例1と同様に製作し、その基板の接続不良率を表1に示す。
内層銅箔の凹凸の形成後に、その凹凸の凸部に銅粒を設けて、それ以外は実施例1と同様に製作し、その基板の接続不良率を表1に示す。
銅粒は、濃度が銅10g/l、硫酸100g/l、デキストリンとニカワを添加し、液温25℃、電流密度は、電解液の限界電流密度付近で行った。見かけ上の膜厚は、0.5から2μm程度であった。
内層銅箔の凹凸の形成後に、その凹凸の凸部に銅粒を設け、さらに銅粒を埋めるように、銅めっきの薄膜を形成した。それ以外は実施例1と同様に製作し、その基板の接続不良率を表1に示す。
銅粒は、濃度が銅10g/l、硫酸100g/l、デキストリンとニカワを添加し、液温25℃、電流密度は、電解液の限界電流密度付近で行った。見かけ上の膜厚は、0.5から2μm程度であった。
次に、その凹凸の凸部に銅粒と銅粒間を隙間なく充填し、銅めっきの薄膜を形成するような平滑めっき条件は、濃度が銅70g/l、硫酸100g/l、液温40℃、電流密度30A/dm2の条件とした。見かけ上の膜厚は、0.5から1.0μmであった。
内層銅箔の表面に特に凹凸加工をしないで、それ以外実施例1と同様に製作し、その基板の接続不良率を表1に示す。
内層銅箔に設けた凹凸の表面粗さを1から2μmとし、それ以外実施例1と同様に製作し、その基板の接続不良率を表1に示す。
Claims (6)
- 内層銅と、この内層銅上に設けられた絶縁層と、この絶縁層を貫通し前記内層銅表面まで達するレーザー照射によって形成された層間接続穴と、この層間接続穴内に形成された導通体と、を有するプリント配線板であって、前記レーザー照射がなされる内層銅表面に、表面粗さが3μmから20μmの凹凸を設けたプリント配線板。
- 請求項1において、表面粗さが3μmから20μmの凹凸の凸部に、銅粒を設けたプリント配線板。
- 請求項2において、凸部に設けた銅粒を埋めるように、銅めっきの薄膜を形成したプリント配線板。
- 請求項1から3の何れかにおいて、内層銅表面に設けた表面粗さが3μmから20μmの凹凸の凸部分の面積が、凹部分の面積と同等以上であるプリント配線板。
- 内層銅と、この内層銅上に設けられた絶縁層と、この絶縁層を貫通し前記内層銅表面まで達するレーザー照射によって形成された層間接続穴と、この層間接続穴内に形成された導通体と、を有するプリント配線板の製造方法であって、前記内層銅表面に表面粗さが3μmから20μmの凹凸を設ける工程と、前記凹凸の凸部に銅粒を設ける工程と、前記凸部に設けた銅粒を埋めるように、銅めっきの薄膜を形成する工程と、を有するプリント配線板の製造方法。
- 内層銅と、この内層銅上に設けられた絶縁層と、この絶縁層を貫通し前記内層銅表面まで達するレーザー照射によって形成された層間接続穴と、この層間接続穴内に形成された導通体と、を有するプリント配線板の製造方法であって、前記内層銅表面に表面粗さが3μmから20μmの凹凸を設ける工程と、前記凹凸の凸部分の面積が、凹部分の面積と同等以上となるよう、前記凸部分をつぶして凸部頂上を広げる工程と、を有するプリント配線板の製造方法。
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