JP2009199641A - 垂直磁気記録媒体とそれを用いた垂直磁気記録装置、および垂直磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】記録層の上層と充填層が同一の材料からなるように作製する。
【選択図】 図2
Description
エッチング中は2次イオン質量分析などによりエッチングの状況をモニターすることが出来るので、第3の中間層17はエッチングモニター層としての役割を担っても良い。
平坦化の際、アルゴンイオンが表面に突入し、第2の中間層16と充填層19の最表面のDLCが保護層としての機能を果たせなくなっている場合は、図2(h)のように磁気記録層15の上層の充填層までエッチングまたはアッシングし、充填層19と第2の中間層を媒体表面均一に除去する。次に、図2(i)のように再度保護層を4 nm形成し、その後潤滑材を塗布しても平坦性は保持することができる。
12 下地層
13 軟磁性層
14 第1の中間層
15 磁気記録層
16 第2の中間層
17 第3の中間層
18 レジストパターン層
19 充填層
20 潤滑層
21 保護層
30 下地層12, 軟磁性層13, 第1の中間層14の3層
41 トラックの幅
47 レジスト層
250 磁気ディスク
251 スピンドルモータ
252 磁気ヘッド
253 アーム
254 アクチュエータ
255 記録再生回路。
Claims (6)
- 磁気記録層が、非磁性の充填材によってトラック間で分断されている垂直磁気記録媒体において、
基板と、
前記基板上に順に形成された下地層、軟磁性層および第1の中間層と、
前記中間層の上に形成された前記磁気記録層の上に形成された第2の中間層とを備え、
前記第2の中間層と前記充填材が同一の材料からなることを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記充填材はダイヤモンドライクカーボンを含むことを特徴とする請求項1記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁気記録層の上部にエッチングレートを調節する目的の層を有する請求項1記載の垂直磁気記録媒体。
- 基板少なくとも片側の面に、請求項1もしくは2もしくは3に記載の構造を有することを特徴とする垂直磁気記録装置。
- 磁気記録層が、非磁性の充填材によってトラック間で分断されている垂直磁気記録媒体の製造方法において、
基板の上に下地層、軟磁性層、第1の中間層、磁気記録層、第2の中間層、前記第2の中間層よりエッチングレートが速い第3の中間層およびレジストを積層し、
前記レジスト層をパターニングし、
前記第3の中間層と、前記第2の中間層と、前記磁気記録層に前記レジストパターンの構造を転写し、
前記第2の中間層と同一の材料からなる前記充填材からなる充填層を形成し、
前記第3の中間層をエッチングにより除去することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。 - 前記充填材および前記第2の中間層は、ダイヤモンドライクカーボンを含むことを特徴とする請求項5記載の製造方法。
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