JP2009193655A - 物品の製造方法 - Google Patents

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    • G11B5/84Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
    • G11B5/855Coating only part of a support with a magnetic layer

Abstract

【課題】高い精度で物品を製造することができる物品の製造方法を提供する。
【解決手段】表面に凹凸パターン32を区画する基材31の表面に流動性を有する保護膜16が形成される。基材31の裏面に雄型29の打ち抜き面29aが重ね合わせられる。基材31の表面には流動性を有する保護膜16が形成される。基材31の表面に区画される凹凸パターン32は保護膜16で覆われる。雄型29は雌型23に進入する。こうして基材31から物品11が打ち抜かれる。打ち抜き時に、保護膜16は、打ち抜き面29aから作用する押し付け力を吸収することができる。基材31の変形は抑制される。基材31の凹凸パターン32の損傷は回避される。こうして物品11は高い精度で製造される。しかも、物品11は簡単に打ち抜かれることから、十分に高い量産性が実現される。
【選択図】図7

Description

本発明は、例えば記憶媒体の製造に用いられる金型といった物品の製造方法に関する。
例えばハードディスク駆動装置(HDD)にはいわゆるビットパターンドメディアといった磁気ディスクが組み込まれる。ビットパターンドメディアは、その表面に例えば規則的に配列されるナノホールを備える。ナノホール内には磁性体が埋め込まれる。例えば1つの磁性体が1つの記録ビットを構成する。こうしたビットパターンドメディアは記録密度の向上に大いに寄与する。
ビットパターンドメディアの製造には金型が利用される。金型の表面にはナノパターンが形成される。金型の表面にアルミニウム膜が成膜されると、ナノパターンはアルミニウム膜に転写される。アルミニウム膜は金型から剥がされる。その後、アルミニウム膜の表面には陽極酸化処理が施される。アルミニウム膜の表面にはナノホールが形成される。その後、ナノホールに磁性体が充填される。
アルミニウム膜の輪郭が磁気ディスクの輪郭よりも大きいと、アルミニウム膜の輪郭は磁気ディスクの輪郭に切り出されなければならない。こうした切り出し作業は手間がかかる。したがって、製造工程の簡略化にあたって、アルミニウム膜の輪郭は磁気ディスクの輪郭に一致することが好ましい。言い替えれば、金型の輪郭は磁気ディスクの輪郭に一致することが好ましい。
金型の形成にあたって例えば基板の表面に電解めっきに基づきニッケル膜が成膜される。ニッケル膜は基板から取り外される。ニッケル膜には基板のナノパターンが転写される。一般に、電解めっきでは外周に向かうにつれてニッケル膜の膜厚が増大する。しかしながら、ニッケル膜の膜厚すなわち金型の厚みは均一でなければならない。したがって、ニッケル膜には外周に沿って打ち抜き代が予め形成される。打ち抜き代の内側でニッケル膜は均一な膜厚を有する。こうしたニッケル膜から金型が打ち抜かれる。
特開2005−212428号公報
金型の打ち抜きにあたって例えばプレス加工が利用される。プレス加工では雄型の打ち抜き面がニッケル膜の表面に押し付けられる。前述のように、ニッケル膜の表面にはナノパターンが形成される。したがって、打ち抜き面はナノパターン以外の領域でニッケル膜の表面に押し付けられる。その結果、雄型はニッケル膜に十分な荷重を作用させることができない。ニッケル膜は十分に固定されることができない。こうした状態で雄型が雌型に進入すると、例えば金型の外縁に変形が生じてしまう。こうした金型はナノパターンの転写に用いられることができない。
本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、高い精度で物品を製造することができる物品の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、第1発明によれば、表面に凹凸パターンを区画する基材の表面に流動性を有する保護膜を形成する工程と、基材の裏面に雄型の打ち抜き面を重ね合わせつつ雌型に雄型を進入させて基材から物品を打ち抜く工程とを備えることを特徴とする物品の製造方法が提供される。
こうした物品の製造方法によれば、基材の裏面に雄型の打ち抜き面が重ね合わせられる。基材の表面には流動性を有する保護膜が形成される。基材の表面に区画される凹凸パターンは保護膜で覆われる。雄型は雌型に進入する。こうして基材から物品が打ち抜かれる。打ち抜き時に、保護膜は、打ち抜き面から作用する押し付け力を吸収することができる。基材の変形は抑制される。基材の凹凸パターンの損傷は回避される。こうして物品は高い精度で製造される。しかも、物品は簡単に打ち抜かれることから、十分に高い量産性が実現される。
こういった物品の製造方法では、前記打ち抜き面の重ね合わせにあたって、前記基材および前記保護膜は、前記打ち抜き面と、前記雌型で前記雄型を受け入れる開口内に配置される受け部材との間に挟み込まれる。このとき、前記打ち抜き面の重ね合わせにあたって前記保護膜および前記受け部材の間には固体の重ね合わせ部材が挟み込まれる。こうして受け部材に対して保護膜の付着は回避される。前記打ち抜き面の重ね合わせにあたって大気圧よりも小さい気圧が設定される。こうして保護膜は基材や重ね合わせ部材に十分に密着することができる。
前記保護膜は熱可塑性樹脂から形成される。前記熱可塑性樹脂は例えばポリメタクリル酸メチル樹脂から形成される。このとき、熱可塑性樹脂は摂氏100度〜摂氏120度の温度に維持される。
第2発明によれば、表面に凹凸パターンを区画する基材の表面に流動性を有する保護膜を形成する工程と、凹凸パターン上の保護膜に雄型の打ち抜き面を重ね合わせつつ雌型に雄型を進入させて基材から物品を打ち抜く工程とを備えることを特徴とする物品の製造方法が提供される。
こうした物品の製造方法によれば、凹凸パターン上の保護膜に雄型の打ち抜き面が重ね合わせられる。基材の表面には流動性を有する保護膜が形成される。基材の表面に区画される凹凸パターンは保護膜で覆われる。雄型は雌型に進入する。こうして基材から物品が打ち抜かれる。打ち抜き時に、保護膜は、打ち抜き面から作用する押し付け力を吸収することができる。基材の変形は抑制される。基材の凹凸パターンの損傷は回避される。こうして物品は高い精度で製造される。しかも、物品は簡単に打ち抜かれることから、十分に高い量産性が実現される。
第3発明によれば、部材の平面に熱可塑性材を塗布する工程と、前記部材の平面にナノパターン部材のナノパターン形成面を重ね合わせる工程と、前記熱可塑性材を加熱する工程と、前記部材、前記熱可塑性材および前記ナノパターン部材の積層方向に対して平行にプレスを行い、前記ナノパターン部材から金型を切り出す工程とを備えることを特徴とする金型の製造方法が提供される。
こうした金型の製造方法では、前記ナノパターン形成面の重ね合わせに先立って、前記ナノパターン部材のナノパターン形成面に離型剤が塗布されればよい。前記熱可塑性材はポリメタクリル酸メチル樹脂から形成されればよい。このとき、熱可塑性材の加熱温度は摂氏100度〜摂氏120度に設定されればよい。前記部材はニッケルを含めばよい。前記ナノパターン形成面の重ね合わせにあたって大気圧よりも小さい気圧が設定されればよい。
第4発明によれば、以上のような金型の製造方法によって製造された金型を用いて、前記ナノパターンの形状に応じたナノパターンを確立する磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体の製造方法が提供される。
以上のように本発明によれば、高い精度で物品を製造することができる物品の製造方法を提供することができる。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。
図1は一具体例に係る物品すなわち金型11の構造を概略的に示す。金型11は例えば円盤形に形成される。金型11は例えばニッケルといった金属材料から形成される。金型11は例えば0.2mm〜0.3mm程度の厚みを有する。金型11は製造対象の磁気ディスクと同一の直径を有する。金型11の直径は例えば1インチに設定される。金型11の中心には中心孔12が形成される。中心孔12は金型11の表面から裏面に貫通する。中心孔12の軸心は金型11の軸心に一致する。
金型11の表面には後述のナノパターンすなわち凹凸パターン(図示されず)が区画される。凹凸パターンは、例えば磁気ディスクの記録トラックの形状に応じて所定の凹凸を区画する。凹凸の高低差は例えば100nm程度に設定される。凹凸パターンは例えば電解めっき法に基づき形成される。形成にあたって、例えば予め凹凸パターンを表面に区画する基板にニッケル膜が成膜される。成膜後のニッケル膜は基板から剥離される。こうしてニッケル膜の表面に凹凸パターンが転写される。ただし、転写パターンは例えば電子線ビームの照射によって形成されてもよい。
こうした金型11は、いわゆるディスクリートトラックメディアやビットパターンドメディアといった磁気記録媒体すなわち磁気ディスクの製造にあたって用いられる。こうした磁気ディスクの製造にあたって、まず、金型11の表面に均一な膜厚でアルミニウム膜が成膜される。成膜にあたって周知のスパッタリング法が実施される。アルミニウム膜の裏面には例えばガラス基板が貼り付けられる。貼り付けにあたって接着剤が用いられる。アルミニウム膜はガラス基板ごと金型11から剥離される。こうしてアルミニウム膜の表面には凹凸パターンが転写される。
その後、アルミニウム膜の表面には陽極酸化処理が施される。陽極酸化処理に基づきアルミニウム膜の表面は酸化する。その結果、凹凸パターンからいわゆるナノホールが成長していく。アルミニウム膜の表面はアルミナ膜に変化する。こうして形成されたナノホールには磁性体が充填される。磁性体の充填後、アルミニウム膜の表面には研磨処理が施される。その後、アルミニウム膜の表面にはDLC膜や潤滑膜が形成される。こうして磁気ディスクが製造される。
次に、金型11の製造方法を説明する。図2に示されるように、金型11の製造にあたって、まず、例えば円盤形の重ね合わせ部材15が用意される。重ね合わせ部材15の直径は金型11の直径よりも大きく規定される。重ね合わせ部材15は金型11よりもひとまわり大きく形成される。すなわち、重ね合わせ部材15には打ち抜き代が規定される。ここでは、重ね合わせ部材15は例えば50mm程度の直径を有する。重ね合わせ部材15は均一な厚みを有する。重ね合わせ部材15は固体から形成される。ここでは、重ね合わせ部材15は例えばニッケルといった金属材料から形成される。
重ね合わせ部材15の表面には樹脂材料すなわち熱可塑性材が塗布される。塗布にあたって例えばスピンコート法が実施される。樹脂材料には例えばポリメタクリル酸メチル樹脂(PMMA)といった熱可塑性樹脂が用いられる。スピンコート法の実施にあたって樹脂材料は所定の温度に加熱される。その結果、図3に示されるように、重ね合わせ部材15の表面には均一な膜厚の保護膜16が形成される。保護膜16は、前述の金型11の表面に区画される凹凸パターンの凹凸の高低差よりも大きい膜厚を有する。ここでは、保護膜16は例えば150nm程度の膜厚を有する。
続いて、図4に示されるように、プレス加工機21が用意される。プレス加工機21はダイプレート22を備える。ダイプレート22は雌型23を備える。雌型23の表面は平坦面で規定される。雌型23には円柱形の案内孔24が形成される。案内孔24は、雌型23の表面に直交する垂直方向に延びる。案内孔24は例えば1インチの内径を有する。案内孔24は雌型23の表面で開口24aを規定する。案内孔24の開口24aには円柱形の受け部材25が配置される。受け部材25は開口24aで雌型23の表面に露出する。案内孔24は垂直方向に受け部材25の移動を案内する。
受け部材25の表面は平坦面で規定される。したがって、受け部材25が例えば基準位置に位置決めされると、受け部材25の表面は雌型23の表面に面一に規定される。このとき、雌型23および受け部材25で平坦面22aが規定される。受け部材25の表面の輪郭は金型11の輪郭を象る。受け部材25は例えば金属材料から形成される。受け部材25にはヒータ(図示されず)が組み込まれる。ヒータは発熱に基づき受け部材25および雌型23の温度を上昇させることができる。ここでは、ヒータは例えば電熱線で形成されればよい。
プレス加工機21は押し付け機構26を備える。押し付け機構26は、案内孔24の軸心に沿ってダイプレート22に対して相対移動することができる。押し付け機構26は支持ブロック27を備える。支持ブロック27の下面は平坦面で規定される。支持ブロック27には円柱状の案内孔28が形成される。案内孔28は、ダイプレート22の平坦面22aに直交する垂直方向に延びる。案内孔28は例えば1インチの内径を有する。案内孔28には円柱形の雄型29が受け入れられる。雄型29は支持ブロック27の下面に露出する。案内孔28は垂直方向に雄型29の移動を案内する。
雄型29の先端面すなわち打ち抜き面29aは平坦面で規定される。したがって、雄型29が例えば基準位置に位置決めされると、支持ブロック27の下面および雄型29の打ち抜き面29aは面一に規定される。このとき、支持ブロック27の下面および雄型29の打ち抜き面29aで平坦面27aが規定される。平坦面27aはダイプレート22の平坦面22aに平行に広がる。雄型29および受け部材25は、同一の母線で描かれる円柱に沿って輪郭を規定する。打ち抜き面29aは例えば1インチの直径を有する。こうして雄型29は雌型23すなわち案内孔24に進入することができる。
ダイプレート22には平坦面22aの所定の位置に重ね合わせ部材15が配置される。配置にあたって、重ね合わせ部材15の軸心は受け部材25の軸心に合わせ込まれる。受け部材25のヒータは受け部材25および雌型23を加熱する。熱は重ね合わせ部材15に伝達される。重ね合わせ部材15および保護膜16の温度は上昇する。保護膜16の温度は例えば摂氏100度〜摂氏120度程度に設定される。その結果、重ね合わせ部材15の表面で保護膜16は軟化する。保護膜16は流動性を有する。ヒータの温度の維持に基づき保護膜16の流動性は保持される。
このとき、図5に示されるように、重ね合わせ部材15の表面には円盤形のナノパターン部材すなわち基材31の表面が重ね合わせられる。基材31の表面すなわちナノパターン形成面には凹凸パターン32が形成される。凹凸パターン32は打ち抜き代の内側で基材31の表面に形成される。基材31はニッケル単体から形成される。基材31の輪郭は例えば重ね合わせ部材15の輪郭に合わせ込まれる。ここでは、基材31は例えば50mm程度の直径を有する。こうして基材31には、重ね合わせ部材15と同様に、打ち抜き代が規定される。ここでは、重ね合わせに先立って基材31の表面には離型剤(図示されず)が塗布される。
基材31が重ね合わせ部材15に重ね合わせられると、保護膜16の流動性の働きで重ね合わせ部材15の表面および基材31の表面の間には保護膜16が挟み込まれる。重ね合わせにあたってプレス加工機21の周囲の環境は大気圧よりも低い気圧に設定される。ここでは、気圧は例えば大気圧の10分の1程度に設定される。その結果、保護膜16は基材31の凹凸パターン32および重ね合わせ部材15に十分に密着する。保護膜16と基材31や重ね合わせ部材15との間で空気の残存は回避される。
図6に示されるように、押し付け機構26は平坦面27aでダイプレート22に向かって基材31を押し付ける。雄型29は打ち抜き面29aで基材31の裏面に受け止められる。こうして基材31および重ね合わせ部材15は打ち抜き面29aと受け部材25の表面との間に挟み込まれる。打ち抜き面29aの周囲で支持ブロック27の下面は基材31に受け止められる。こうして基材31および重ね合わせ部材15は平坦面22aおよび平坦面27aで挟み込まれる。このとき、プレス加工機21の周囲の環境は大気圧に設定されればよい。押し付け力は例えば数百[Pa]〜数十[kPa]程度に設定される。
前述のように保護膜16は流動性を有する。その結果、押し付け力に基づき基材31の凹凸パターン32の凹凸には保護膜16が確実に入り込む。保護膜16は重ね合わせ部材15および基材31に十分に密着する。こうして基材31および重ね合わせ部材15は平坦面22aおよび平坦面27aの間で所定の位置に確実に保持される。平坦面22a、27a同士の間に挟み込まれることから、基材31および重ね合わせ部材15の変形は阻止される。しかも、保護膜16の膜厚は凹凸パターン32の凹凸よりも大きいことから、基材31の凹凸パターン32と重ね合わせ部材15との接触は回避される。凹凸パターン32の損傷は回避される。
このとき、図7に示されるように、雄型29は、基材31の表面に直交する方向すなわち基材31および重ね合わせ部材15の積層方向に対して平行に雌型23に向かって一気に降下する。雄型29は基材31および重ね合わせ部材15から打ち抜き面29aの輪郭に打ち抜き部品33を打ち抜く。雄型29は雌型23の案内孔24に進入する。打ち抜き後、打ち抜き部品33はプレス加工機21から取り出される。打ち抜き部品33は常温まで冷却される。その結果、保護膜16は硬化する。その後、図8に示されるように、保護膜16から打ち抜き後の基材31すなわち金型11が取り外される。基材31の表面には離型剤が塗布されることから、金型11の取り外し作業は簡単に実施されることができる。こうして金型11は製造される。
こうした金型11の製造方法によれば、基材31および重ね合わせ部材15の間には流動性を有する保護膜16が挟み込まれる。その結果、雄型29は、平坦面で規定される打ち抜き面29aの全面で平坦面22aに向かって基材31を押し付けることができる。基材31は所定の位置に確実に保持される。しかも、打ち抜き時に打ち抜き面29aから作用する押し付け力は保護膜16で吸収される。基材31の変形は抑制される。基材31の凹凸パターン32の損傷は回避される。金型11は高い精度で製造される。こうして金型11は簡単に打ち抜かれることから、十分に高い量産性が実現される。しかも、保護膜16は基材31および重ね合わせ部材15に挟み込まれることから、雄型29や雌型23、受け部材25に対する保護膜16の付着は回避される。
以上のような金型11の製造方法では、基材31および重ね合わせ部材15の重ね合わせにあたって、図9に示されるように、ダイプレート22の平坦面22aに基材31が先に配置されてもよい。基材31の表面に重ね合わせ部材15の表面が重ね合わせられればよい。こうして押し付け機構26の平坦面27aは重ね合わせ部材15の裏面に受け止められる。雄型29は重ね合わせ部材15、基材31の順番で重ね合わせ部材15および基材31を打ち抜く。こうして金型11が製造されてもよい。こうして前述と同様の作用効果が実現される。
また、重ね合わせ部材15は例えばニッケルよりも柔らかい金属材料が用いられてもよい。こうした金属材料には例えば銅やアルミニウム、真鍮が含まれる。こうした重ね合わせ部材15が金型11の製造にあたって用いられると、重ね合わせ部材15は、ニッケルから形成される基材31よりも先に変形することができる。その結果、保護膜16に加えて、重ね合わせ部材15は、雄型29から作用する押し付け力を吸収することができる。したがって、基材31の変形は一層回避される。モールド11は一層高い精度で製造される。
(付記1) 表面に凹凸パターンを区画する基材の表面に流動性を有する保護膜を形成する工程と、
基材の裏面に雄型の打ち抜き面を重ね合わせつつ雌型に雄型を進入させて基材から物品を打ち抜く工程とを備えることを特徴とする物品の製造方法。
(付記2) 付記1に記載の物品の製造方法において、前記打ち抜き面の重ね合わせにあたって、前記基材および前記保護膜は、前記打ち抜き面と、前記雌型で前記雄型を受け入れる開口内に配置される受け部材との間に挟み込まれることを特徴とする物品の製造方法。
(付記3) 付記2に記載の物品の製造方法において、前記打ち抜き面の重ね合わせにあたって前記保護膜および前記受け部材の間には固体の重ね合わせ部材が挟み込まれることを特徴とする物品の製造方法。
(付記4) 付記3に記載の物品の製造方法において、前記打ち抜き面の重ね合わせにあたって大気圧よりも小さい気圧が設定されることを特徴とする物品の製造方法。
(付記5) 付記1に記載の物品の製造方法において、前記保護膜は熱可塑性樹脂から形成されることを特徴とする物品の製造方法。
(付記6) 付記5に記載の物品の製造方法において、前記熱可塑性樹脂は、ポリメタクリル酸メチル樹脂から形成されて摂氏100度〜摂氏120度の温度に維持されることを特徴とする物品の製造方法。
(付記7) 表面に凹凸パターンを区画する基材の表面に流動性を有する保護膜を形成する工程と、
凹凸パターン上の保護膜に雄型の打ち抜き面を重ね合わせつつ雌型に雄型を進入させて基材から物品を打ち抜く工程とを備えることを特徴とする物品の製造方法。
(付記8) 部材の平面に熱可塑性材を塗布する工程と、
前記部材の平面にナノパターン部材のナノパターン形成面を重ね合わせる工程と、
前記熱可塑性材を加熱する工程と、
前記部材、前記熱可塑性材および前記ナノパターン部材の積層方向に対して平行にプレスを行い、前記ナノパターン部材から金型を切り出す工程とを備えることを特徴とする金型の製造方法。
(付記9) 付記8に記載の金型の製造方法において、前記ナノパターン形成面の重ね合わせに先立って、前記ナノパターン部材のナノパターン形成面に離型剤が塗布されることを特徴とする金型の製造方法。
(付記10) 付記8または9に記載の金型の製造方法において、前記熱可塑性材はポリメタクリル酸メチル樹脂から形成され、加熱温度は摂氏100度〜摂氏120度であることを特徴とする金型の製造方法。
(付記11) 付記8〜10のいずれかに記載の金型の製造方法において、前記部材はニッケルを含むことを特徴とする金型の製造方法。
(付記12) 付記8〜11のいずれかに記載の金型の製造方法において、前記ナノパターン形成面の重ね合わせにあたって大気圧よりも小さい気圧が設定されることを特徴とする金型の製造方法。
(付記13) 付記8〜12のいずれかに記載の金型の製造方法によって製造された金型を用いて、前記ナノパターンの形状に応じたナノパターンを確立する磁気記録媒体を製造する磁気記録媒体の製造方法。
金型の構造を概略的に示す斜視図である。 重ね合わせ部材の構造を概略的に示す側面図である。 重ね合わせ部材の表面に保護膜が形成される様子を概略的に示す側面図である。 雌型上に重ね合わせ部材が配置される様子を概略的に示す断面図である。 重ね合わせ部材の表面に基材の表面が重ね合わせられる様子を概略的に示す断面図である。 雌型に向かって基材が押し付けられる様子を概略的に示す断面図である。 雌型に雄型が進入して金型が打ち抜かれる様子を概略的に示す断面図である。 打ち抜き後の重ね合わせ部材から基材が引き剥がされる様子を概略的に示す断面図である。 雌型上に基材が配置される様子を概略的に示す断面図である。
符号の説明
11 金型(物品)、15 重ね合わせ部材・部材、16 保護膜、23 雌型、25 受け部材、29 雄型、29a 打ち抜き面、31 基材・ナノパターン部材、32 凹凸パターン・ナノパターン。

Claims (6)

  1. 表面に凹凸パターンを区画する基材の表面に流動性を有する保護膜を形成する工程と、
    基材の裏面に雄型の打ち抜き面を重ね合わせつつ雌型に雄型を進入させて基材から物品を打ち抜く工程とを備えることを特徴とする物品の製造方法。
  2. 請求項1に記載の物品の製造方法において、前記打ち抜き面の重ね合わせにあたって、前記基材および前記保護膜は、前記打ち抜き面と、前記雌型で前記雄型を受け入れる開口内に配置される受け部材との間に挟み込まれることを特徴とする物品の製造方法。
  3. 請求項2に記載の物品の製造方法において、前記打ち抜き面の重ね合わせにあたって前記保護膜および前記受け部材の間には固体の重ね合わせ部材が挟み込まれることを特徴とする物品の製造方法。
  4. 請求項1に記載の物品の製造方法において、前記保護膜は熱可塑性樹脂から形成されることを特徴とする物品の製造方法。
  5. 請求項4に記載の物品の製造方法において、前記熱可塑性樹脂は、ポリメタクリル酸メチル樹脂から形成されて摂氏100度〜摂氏120度の温度に維持されることを特徴とする物品の製造方法。
  6. 表面に凹凸パターンを区画する基材の表面に流動性を有する保護膜を形成する工程と、
    凹凸パターン上の保護膜に雄型の打ち抜き面を重ね合わせつつ雌型に雄型を進入させて基材から物品を打ち抜く工程とを備えることを特徴とする物品の製造方法。
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