JP2009188247A - ステンシルマスク用soi基板、ステンシルマスクブランクス、ステンシルマスク、ステンシルマスクの製造方法及びステンシルマスクを用いたパターン露光方法 - Google Patents
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Abstract
ンシルマスク用SOI基板、ステンシルマスクブランクス、ステンシルマスク、ステンシ
ルマスクの製造方法及びステンシルマスクを用いたパターン露光方法を提供すること。
【解決手段】シリコン支持基板層と、シリコン支持基板層上に形成された中間酸化膜層と
、中間酸化膜層上に形成された不純物拡散層を有するシリコン単結晶層と、を備え、不純
物拡散層の抵抗率は0.0001Ω・cm以上1Ω・cm以下であることを特徴とするステンシルマスク用SOI基板。
【選択図】図1
Description
マスク、ステンシルマスクの製造方法及びステンシルマスクを用いたパターン露光方法に
関する。特に、ステンシルマスクの歩留まりが低下することなく、パーティクル欠陥のな
いステンシルマスク用SOI基板、ステンシルマスクブランクス、ステンシルマスク、ス
テンシルマスクの製造方法及びステンシルマスクを用いたパターン露光方法に関するもの
である。
ィ技術が試作開発や準量産のデバイスに使われている。電子線リソグラフィでは、口径を
数10μm以上10nm以下に絞った電子ビームにより回路パターンの露光をおこなうた
め、フォトマスクによる光リソグラフィに比べてスループットが低い。そこでスループッ
ト向上のためには、回路パターンでよく使われる図形を抽出し、抽出したパターンを貫通
パターンとして形成したステンシルマスクを用いた電子線リソグラフィが研究されている
。電子線リソグラフィ法は部分一括露光法と呼ばれている。
子線露光と比較してスループットの向上だけではなく、斜めパターンのエッジラフネスや
矩形パターンのコーナ部の矩形性をも改善することができる。
みがあるシリコンメンブレンにステンシル(貫通)パターンを形成しており、1辺が1m
m以上5mm以下の矩形メンブレンを複数個配置していることが多い。一方、ステンシル
マスクでは荷電粒子の照射によりステンシルマスクにチャージアップ(帯電現象)が発生
し、電子ビームが曲げられてしまうことによって描画不良が発生する。チャージアップを
回避するために、ステンシルマスク表面には導電膜層が形成されている。導電膜材料とし
てはPt(白金)、Pd(パラジウム)、Ti(チタン)、Ta(タンタル)、Mo(モ
リブデン)、Cr(クロム)、W(タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ag(銀)、
Ir(イリジウム)やAu(金)といった導電性や伝熱性の高い金属材料が選択される。
膜層52、シリコン支持基板層53を備えるSOI(Silicon On Insul
ator)基板54を用いて作製される。
て、シリコンメンブレン55にステンシルパターン56が形成されたマスクブランクス5
7が作製される。
晶層51のステンシルパターン56とシリコンメンブレン55とが形成されていない面に
形成し、ステンシルマスク59を得ることができる。
ンシルマスクブランクス57の洗浄を行うにも関わらず、成膜チャンバからのパーティク
ル付着や成膜ジグへの取り付け作業時のパーティクル付着などが生じてしまい、成膜工程
が歩留まりを低下させる原因になっている。
とも可能である。しかしながら、強力な洗浄がシリコン単結晶層51をエッチングしてス
テンシルパターン56の寸法変動を生じさせる問題や、導電膜層58中に取り込まれたパ
ーティクルが除去できなくなる問題のほか、追加洗浄により工程数が増加するなどの問題
が生じてしまう。
板54からステンシルマスク59を作製する方法もある。不純物濃度の高いシリコン単結
晶層51では、通常のシリコン単結晶層51よりも抵抗率を下げることができるので、導
電性の向上に効果が期待できる。しかしながら、濃度の高いシリコン単結晶層51は、シ
リコン表面の欠陥などが原因でシリコン単結晶層51とシリコン支持基板層53とを中間
酸化膜層52に貼り合せることが難しく、良質なSOI基板54を得ることができなくな
ってしまう。
ステンシルマスク用SOI基板、ステンシルマスクブランクス、ステンシルマスク、ステ
ンシルマスクの製造方法及びステンシルマスクを用いたパターン露光方法を提供すること
である。
された中間酸化膜層と、中間酸化膜層上に形成された不純物拡散層を有するシリコン単結
晶層と、を備えることを特徴とするステンシルマスク用SOI基板としたものである。
びAs(砒素)のいずれかであることを特徴とする請求項1または2に記載のステンシル
マスク用SOI基板としたものである。
化膜層はシリコン酸化物であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のステ
ンシルマスク用SOI基板としたものである。
リコン支持基板層上に形成された第2の開口部が形成された中間酸化膜層と、中間酸化膜
層上に形成された第3の開口部を有して、不純物拡散層を有するシリコン単結晶層と、を
備えたことを特徴とするステンシルマスクブランクスとしたものである。
びAs(砒素)のいずれかを用いることを特徴とする請求項5または6に記載のステンシ
ルマスクブランクスとしたものである。
化膜層はシリコン酸化物であることを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載のステ
ンシルマスクブランクスとしたものである。
リコン支持基板層上に形成された第1の開口部が形成された中間酸化膜層と、中間酸化膜
層上に形成された第2の開口部と不純物拡散層とを有するシリコン単結晶層と、を備えた
ことを特徴とするステンシルマスクとしたものである。
及びAs(砒素)のいずれかを用いることを特徴とする請求項9または10に記載のステ
ンシルマスクとしたものである。
酸化膜層はシリコン酸化物であることを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載の
ステンシルマスクとしたものである。
(白金)、Pd(パラジウム)、Ti(チタン)、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン
)、Cr(クロム)、W(タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ag(銀)、Ir(イ
リジウム)やAu(金)のいずれかひとつ以上の材料を有する導電膜層が形成されること
を特徴とする請求項9または12に記載のステンシルマスクとしたものである。
を有するシリコン単結晶層を備えるSOI基板を形成し、シリコン単結晶層上に感光性レ
ジストを形成し、シリコン単結晶層に第2の開口部を形成し、シリコン支持基板層のシリ
コン単結晶層が形成されていない面に感光層を形成し、シリコン支持基板層及び中間酸化
膜層に第1の開口部を形成することを特徴とするステンシルマスクの製造方法としたもの
である。
)及びAs(砒素)のいずれかを用いることを特徴とする請求項14または15に記載の
ステンシルマスクの製造方法としたものである。
いることを特徴とする請求項14乃至16のいずれかに記載のステンシルマスクの製造方
法としたものである。
酸化膜層はシリコン酸化物であることを特徴とする請求項14乃至17のいずれかに記載
のステンシルマスクの製造方法としたものである。
(白金)、Pd(パラジウム)、Ti(チタン)、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン
)、Cr(クロム)、W(タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ag(銀)、Ir(イ
リジウム)やAu(金)のいずれかひとつ以上の材料を有する導電膜層が形成されること
を特徴とする請求項14または18に記載のステンシルマスクの製造方法としたものであ
る。
スクをマスクホルダーに設置することを特徴とするステンシルマスクを用いたパターン露
光方法としたものである。
ていることを特徴とするステンシルマスクを用いたパターン露光方法としたものである。
パラジウム)及びAu(金)が形成されていることを特徴とする請求項20または21に
記載のステンシルマスクを用いたパターン露光方法としたものである。
のないステンシルマスク用SOI基板、ステンシルマスクブランクス、ステンシルマスク
、ステンシルマスクの製造方法及びステンシルマスクを用いたパターン露光方法を提供す
ることができる。
て、同一構成要素には同一符号を付け、実施の形態の間において重複する説明は省略する
。
0μmの不純物拡散層11を有するシリコン単結晶層1が中間酸化膜層2を介してシリコ
ン支持基板層3を有している。シリコン支持基板層3はシリコンメンブレン5を形成して
、シリコンメンブレン5内にはステンシルパターン6が形成されている。不純物拡散層1
1は、シリコン単結晶層1の表面からおよそ1μmの深さに形成されている。不純物拡散
層11の不純物はB(ボロン)、P(リン)及びAs(砒素)のいずれかから選択され、
不純物拡散層11の抵抗率が0.0001Ω・cm以上1Ω・cm以下になるように形成されている。
描画装置40で使用する際のステンシルマスク30の様子である。ステンシルマスク30
は、マスクホルダー12により挟み込むようにして保持され、マスクホルダー12はネジ
13により固定されている。この構造により、荷電粒子描画装置40からの電子線(e−
)がシリコン単結晶層1に照射されても電子線はシリコン単結晶層1表面の不純物拡散層
11を通り、マスクホルダー12を通過するのでステンシルマスク30が過剰に帯電せず
、帯電による描画不良を防ぐことができる。
基板層3、厚さ0.5μmのシリコン酸化膜である中間酸化膜層2、厚さ20μmの単結
晶シリコンであるシリコン単結晶層1を備える直径が100mmのSOI基板4を用意す
る。SOI基板4のサイズは本発明を制限するものではなく、一般にウェハプロセスで使
われる大きさである直径70mm、直径150mm及び直径200mmのいずれかを用い
ることができる。
結晶層1の表面付近に不純物拡散層11を形成する。不純物拡散層11の形成方法として
は、イオン注入法や熱拡散法を用いることができる。
純物イオンをシリコン単結晶層1の表面付近に注入し、800℃以上のアニールをおこな
い注入による結晶ダメージの回復をおこなう。
BN(窒化ホウ素)、B2O3(酸化ホウ素)、またはAs2O3(酸化ヒ素)などを不
純物原料とした固体拡散や、POCl3(リン酸トリクロリド)やBBr3(三臭化ホウ
素)を不純物原料とした液体拡散をおこなうことにより不純物拡散層11を形成できる。
不純物は1020cm−3程度の濃度になるように拡散をおこない、抵抗率が0.0001Ω・cm程度と十分に低くなることが望ましい。
できる。リン、ボロン、砒素の不純物は原子半径がシリコン単結晶層1の原子半径とは異
なる。このため、注入によりシリコン単結晶層1中にひずみを作り、ひずみはシリコン単
結晶層1の表層付近に形成されるので、ステンシルマスク30の形成時にシリコンメンブ
レン5の深さ方向の応力分布を生じ、パターン変形が起こってしまう。よって不純物とし
ては、リン、ボロン、砒素を比較してシリコンの原子半径と近いリンを用いることが望ま
しい。
、感度:300μmC/cm2であるPMMA(ポリメチルメタアクリレ−ト系)ポジレ
ジストの電子線感光性レジスト14を1000nmの膜厚で塗布する。
μmC/cm2となるように電子線を照射し、現像後に注入用ステンシルレジストパター
ン15及び裏面合わせ用レジストマーク16を得た。
にしてフロロカーボン系の混合ガスプラズマを用いたドライエッチングにより中間酸化膜
層2までエッチングをおこない、酸素プラズマによりステンシルレジストパターン15を
剥離し、アンモニア過水等のRCA洗浄により洗浄をおこない、注入用ステンシルパター
ン17及び裏面合わせ用マーク18を得た。
形成されていない面)にフォトレジストをスピンナー等で塗布して厚さが50μmの感光
層19を形成する。感光層19にパターン露光、現像等のパターニング処理を行って、メ
ンブレン開口用レジストパターン20を形成する。このとき、メンブレン開口用レジスト
パターン20と露光用のフォトマスク(図示せず)との位置合わせは、裏面合わせ用マー
ク18とフォトマスクのアライメントマーク(図示せず)とを用いる。
マスクにしてフロロカーボン系の混合ガスプラズマを用いたドライエッチングにより、中
間酸化膜層2をエッチングストッパ層としてシリコン支持基板層3の一部をエッチングし
、さらにHF(フッ化水素)溶液に浸漬してドライエッチングにより露出した中間酸化膜
層2を除去した。
し、70度に過熱したアンモニア過水に10分間浸漬し、純水オーバーフローのリンスを
行い、フッ酸(フッ化水素)処理及び再度オーバーフロー処理を行い、IPAベーパ乾燥
を行う。
マスク30を得ることができた。実施例においては、注入用ステンシルパターン17を形
成してからシリコンメブレン5を形成したが、シリコンメブレン5を形成してから注入用
ステンシルパターン17を形成することができる。
いて説明をする。荷電粒子描画装置40にステンシルマスク30を設置するために、ステ
ンシルマスク30をリン青銅など導電性のある材料から作製されたマスクホルダー12に
ネジ13を用いて固定し、荷電粒子描画装置40に設置する。導電性を高めるために、マ
スクホルダー12の表面にはPt(白金)、Pd(パラジウム)、Au(金)等の金属材
料薄膜を形成することが望ましい。
線がステンシルマスク30のシリコン単結晶層1に照射されても、ステンシルマスク30
が過剰に帯電することはなく、荷電粒子を用いた描画を良好におこなうことができる。
の露出面にPt(白金)、Pd(パラジウム)、Ti(チタン)、Ta(タンタル)、M
o(モリブデン)、Cr(クロム)、W(タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ag(
銀)、Ir(イリジウム)やAu(金)のいずれかひとつ以上の材料を成膜することが望
ましい。
ため、導電性が得られ、ステンシルマスク30に荷電粒子線描画装置40を用いて、荷電
粒子を照射した際に、描画不良が発生することなく所望のパターンに形成することができ
た。さらに、荷電粒子描画装置40のマスクホルダー12の表面に金属性薄膜を形成して
いるため、荷電粒子を照射した際に、ステンシルマスク30が過剰に帯電せず、帯電によ
る描画不良を防ぐことができた。
スクとして好適に利用することができる。
2 中間酸化膜層
3 シリコン支持基板層
4 SOI基板
5 シリコンメンブレン
6 ステンシルパターン
11 不純物拡散層
12 マスクホルダー
13 ネジ
14 電子線感光性レジスト
15 注入用ステンシルレジストパターン
16 裏面合わせ用レジストマーク
17 注入用ステンシルパターン
18 裏面合わせ用マーク
19 感光層
20 メンブレン開口用レジストパターン
30 ステンシルマスク
40 荷電粒子描画装置
51 シリコン単結晶層
52 中間酸化膜層
53 シリコン支持基板層
54 SOI基板
55 シリコンメンブレン
56 ステンシルパターン
57 ステンシルマスクブランクス
58 導電膜層
59 ステンシルマスク
Claims (22)
- シリコン支持基板層と、
前記シリコン支持基板層上に形成された中間酸化膜層と、
前記中間酸化膜層上に形成された不純物拡散層を有するシリコン単結晶層と、
を備えることを特徴とするステンシルマスク用SOI基板。 - 前記不純物拡散層の抵抗率は0.0001Ω・cm以上1Ω・cm以下であることを特徴とする請求項1に記載のステンシルマスク用SOI基板。
- 前記不純物拡散層の不純物はP(リン)、B(ボロン)及びAs(砒素)のいずれかで
あることを特徴とする請求項1または2に記載のステンシルマスク用SOI基板。 - 前記シリコン支持基板層は単結晶シリコンであり、前記中間酸化膜層はシリコン酸化物
であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のステンシルマスク用SOI基
板。 - 第1の開口部が形成されたシリコン支持基板層と、
前記シリコン支持基板層上に形成された第2の開口部が形成された中間酸化膜層と、
前記中間酸化膜層上に形成された第3の開口部を有して、不純物拡散層を有するシリコ
ン単結晶層と、
を備えたことを特徴とするステンシルマスクブランクス。 - 前記不純物拡散層の抵抗率は0.0001Ω・cm以上1Ω・cm以下であることを特徴とする請求項5に記載のステンシルマスクブランクス。
- 前記不純物拡散層の不純物はP(リン)、B(ボロン)及びAs(砒素)のいずれかを
用いることを特徴とする請求項5または6に記載のステンシルマスクブランクス。 - 前記シリコン支持基板層は単結晶シリコンであり、前記中間酸化膜層はシリコン酸化物
であることを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載のステンシルマスクブランクス
。 - 第1の開口部が形成されたシリコン支持基板層と、
前記シリコン支持基板層上に形成された前記第1の開口部が形成された中間酸化膜層と
、
前記中間酸化膜層上に形成された第2の開口部と不純物拡散層とを有するシリコン単結
晶層と、
を備えたことを特徴とするステンシルマスク。 - 前記不純物拡散層の抵抗率は0.0001Ω・cm以上1Ω・cm以下であることを特徴とする請求項9に記載のステンシルマスク。
- 前記不純物拡散層の不純物はP(リン)、B(ボロン)及びAs(砒素)のいずれかを
用いることを特徴とする請求項9または10に記載のステンシルマスク。 - 前記シリコン支持基板層は単結晶シリコンであり、前記中間酸化膜層はシリコン酸化物
であることを特徴とする請求項9乃至11のいずれかに記載のステンシルマスク。 - 前記シリコン支持基板層の前記第1の開口部の表面にはPt(白金)、Pd(パラジウ
ム)、Ti(チタン)、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン)、Cr(クロム)、W(
タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ag(銀)、Ir(イリジウム)やAu(金)の
いずれかひとつ以上の材料を有する導電膜層が形成されることを特徴とする請求項9また
は12に記載のステンシルマスク。 - シリコン支持基板層、中間酸化膜層、不純物拡散層を有するシリコン単結晶層を備える
SOI基板を形成し、
前記シリコン単結晶層上に感光性レジストを形成し、
前記シリコン単結晶層に第2の開口部を形成し、
前記シリコン支持基板層の前記シリコン単結晶層が形成されていない面に感光層を形成
し、
前記シリコン支持基板層及び前記中間酸化膜層に第1の開口部を形成することを特徴と
するステンシルマスクの製造方法。 - 前記不純物拡散層の抵抗率は、0.0001Ω・cm以上1Ω・cm以下であることを特徴とする請求項14に記載のステンシルマスクの製造方法。
- 前記不純物拡散層の不純物は、P(リン)、B(ボロン)及びAs(砒素)のいずれか
を用いることを特徴とする請求項14または15に記載のステンシルマスクの製造方法。 - 前記不純物拡散層は、イオン注入法または熱拡散法を用いることを特徴とする請求項1
4乃至16のいずれかに記載のステンシルマスクの製造方法。 - 前記シリコン支持基板層は単結晶シリコンであり、前記中間酸化膜層はシリコン酸化物
であることを特徴とする請求項14乃至17のいずれかに記載のステンシルマスクの製造
方法。 - 前記シリコン支持基板層の前記第1の開口部の表面にはPt(白金)、Pd(パラジウ
ム)、Ti(チタン)、Ta(タンタル)、Mo(モリブデン)、Cr(クロム)、W(
タングステン)、Hf(ハフニウム)、Ag(銀)、Ir(イリジウム)やAu(金)の
いずれかひとつ以上の材料を有する導電膜層が形成されることを特徴とする請求項14ま
たは18に記載のステンシルマスクの製造方法。 - 請求項9乃至13のいずれかに記載の前記ステンシルマスクをマスクホルダーに設置す
ることを特徴とするステンシルマスクを用いたパターン露光方法。 - 前記マスクホルダーの表面が前記不純物拡散層の表面に接していることを特徴とするス
テンシルマスクを用いたパターン露光方法。 - 前記マスクホルダーの表面には、Pt(白金)、Pd(パラジウム)及びAu(金)が
形成されていることを特徴とする請求項20または21に記載のステンシルマスクを用い
たパターン露光方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012063585A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Toppan Printing Co Ltd | フォトマスクブランク及びフォトマスク |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11160856A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-18 | Hoya Corp | 転写マスク用ホルダー |
JP2000138149A (ja) * | 1998-10-29 | 2000-05-16 | Toppan Printing Co Ltd | 電子ビーム描画用アパーチャ及びその製造方法 |
JP2000243692A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-08 | Nikon Corp | 転写マスク用ブランクスの製造方法 |
JP2000331917A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Hitachi Ltd | 電子ビーム露光マスク、および電子ビーム露光装置 |
JP2001077013A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-03-23 | Hoya Corp | 電子線描画用マスクブランクス、電子線描画用マスクおよび電子線描画用マスクの製造方法 |
WO2002052621A1 (fr) * | 2000-12-26 | 2002-07-04 | Nikon Corporation | Ebauche de masque de transfert, masque de transfert et procede d'exposition |
JP2002343710A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-29 | Sony Corp | マスクおよびその製造方法と半導体装置の製造方法 |
JP2006024603A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Toppan Printing Co Ltd | ステンシルマスク及びその製造方法及びそのパターン転写方法 |
JP2006024602A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Toppan Printing Co Ltd | ステンシルマスク及びその製造方法及びそのパターン転写方法 |
JP2006066771A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Toppan Printing Co Ltd | ステンシルマスク用基板及びステンシルマスク並びにそれを用いた露光方法 |
JP2006098664A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | 基板及びステンシルマスク並びに露光方法 |
JP2007067329A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Dainippon Printing Co Ltd | Soi基板、荷電粒子線露光用マスクブランクスおよび荷電粒子線露光用マスク |
JP2007214410A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Toppan Printing Co Ltd | 自立薄膜の応力管理方法及びステンシルマスクの製造方法 |
-
2008
- 2008-02-07 JP JP2008027691A patent/JP2009188247A/ja active Pending
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11160856A (ja) * | 1997-11-26 | 1999-06-18 | Hoya Corp | 転写マスク用ホルダー |
JP2000138149A (ja) * | 1998-10-29 | 2000-05-16 | Toppan Printing Co Ltd | 電子ビーム描画用アパーチャ及びその製造方法 |
JP2000243692A (ja) * | 1999-02-23 | 2000-09-08 | Nikon Corp | 転写マスク用ブランクスの製造方法 |
JP2000331917A (ja) * | 1999-05-21 | 2000-11-30 | Hitachi Ltd | 電子ビーム露光マスク、および電子ビーム露光装置 |
JP2001077013A (ja) * | 1999-06-30 | 2001-03-23 | Hoya Corp | 電子線描画用マスクブランクス、電子線描画用マスクおよび電子線描画用マスクの製造方法 |
WO2002052621A1 (fr) * | 2000-12-26 | 2002-07-04 | Nikon Corporation | Ebauche de masque de transfert, masque de transfert et procede d'exposition |
JP2002343710A (ja) * | 2001-05-21 | 2002-11-29 | Sony Corp | マスクおよびその製造方法と半導体装置の製造方法 |
JP2006024603A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Toppan Printing Co Ltd | ステンシルマスク及びその製造方法及びそのパターン転写方法 |
JP2006024602A (ja) * | 2004-07-06 | 2006-01-26 | Toppan Printing Co Ltd | ステンシルマスク及びその製造方法及びそのパターン転写方法 |
JP2006066771A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Toppan Printing Co Ltd | ステンシルマスク用基板及びステンシルマスク並びにそれを用いた露光方法 |
JP2006098664A (ja) * | 2004-09-29 | 2006-04-13 | Toppan Printing Co Ltd | 基板及びステンシルマスク並びに露光方法 |
JP2007067329A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Dainippon Printing Co Ltd | Soi基板、荷電粒子線露光用マスクブランクスおよび荷電粒子線露光用マスク |
JP2007214410A (ja) * | 2006-02-10 | 2007-08-23 | Toppan Printing Co Ltd | 自立薄膜の応力管理方法及びステンシルマスクの製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012063585A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Toppan Printing Co Ltd | フォトマスクブランク及びフォトマスク |
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