JP2009181818A - エキシマランプ - Google Patents
エキシマランプ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009181818A JP2009181818A JP2008020037A JP2008020037A JP2009181818A JP 2009181818 A JP2009181818 A JP 2009181818A JP 2008020037 A JP2008020037 A JP 2008020037A JP 2008020037 A JP2008020037 A JP 2008020037A JP 2009181818 A JP2009181818 A JP 2009181818A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge vessel
- discharge
- long side
- excimer lamp
- short side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)
Abstract
【解決手段】 放電容器11の放電空間S内においてエキシマ放電を発生させるエキシマランプ10であって、端面14a、14bに平行に切断した断面において、放電容器11の長辺面12a、12bは、長辺面12a、12bと短辺面13a、13bとをつなぐエッジ部16a、16b、16c、16dに対して、長辺面12a、12bの中央部18a、18bが放電空間Sの内側に向かう湾曲状に形成され、放電容器11の放電空間Sに曝される表面に紫外線反射膜20が形成されており、当該紫外線反射膜20の放電空間Sに曝される表面が水平となっていることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
エキシマランプ60は、紫外線を透過するシリカガラスよりなる断面矩形状で中空長尺状の放電容器61を備え、この放電容器61の外表面に一対の電極65、66が形成される。放電容器61の内部には、放電用ガスとして、キセノンガスが封入されている。エキシマランプ60は、一方の電極65に点灯電力が供給されると、エキシマ分子が形成されると共にこのエキシマ分子から真空紫外光が放射されるエキシマ放電が生じる。
放電容器61は、長尺状の板ガラスよりなる長辺面62a、62bが互いに向かい合うように配置され、長辺面62aと長辺面62bとをつなぐ短辺面63a、63bにより断面矩形状の管が形成される。矢印は、放電容器の内部に働く応力の方向を示す。
また、本願第2の発明は、本願第1の発明において、記端面に平行に切断した断面において、前記放電容器の前記短辺面は、前記短辺面の中央部が前記エッジ部に対して放電空間の内側に向かう湾曲状に形成されていることを特徴とする。
また、本願第3の発明は、本願第1の発明または第2の発明において、前記紫外線反射膜は、前記エッジ部の内表面領域に形成された膜厚が、前記放電容器の他の内表面領域に形成された膜厚に比べて、大きくなっていることを特徴とする。
また、本願第4の発明は、本願第1の発明乃至第3の発明のいずれかの発明において、前記紫外線反射膜が、シリカ粒子とアルミナ粒子とを含むことを特徴とする。
このエキシマランプ10は、両端が気密に封止されて内部に放電空間Sが形成された、断面矩形状で中空長尺状の放電容器11を備えており、この放電容器11の内部には、放電用ガスとして、キセノンガスが封入されている。ここに、キセノンガスは、圧力が例えば10〜60kPa(100〜600mbar)の範囲内となる封入量とされる。
放電容器11は、真空紫外光を良好に透過するシリカガラス、例えば合成石英ガラスよりなり、誘電体としての機能を有する。
紫外線反射膜20は、放電容器11における長辺面12aの高電圧給電電極として機能する一方の電極15aに対応する内表面領域と、この領域に連続する短辺面13a、13bの内表面領域とにわたって形成されている。また、端面14a、14bの内表面領域にも紫外線反射膜20が形成される。一方、放電容器11における長辺面12bの、接地電極として機能する他方の電極15bに対応する内表面領域において紫外線反射膜20が形成されていないことによって光出射部17が構成されている。なお、長辺面12bの電極15bが形成されていない端部の内表面領域にも紫外線反射膜20を形成することによって、反射効率を高めることができる。
長辺面12aの両端において短辺面13aまたは短辺面13bの一端が接合され、長辺面12aと短辺面13aを接合するエッジ部16a、および、長辺面12aと短辺面13bを接合するエッジ部16bが形成される。同様にして、長辺面12bの両端において短辺面13bまたは短辺面13aの一端が接合され、長辺面12bと短辺面13bを接合するエッジ部16c、および、長辺面12bと短辺面13aを接合するエッジ部16dが形成される。
エッジ部16a、16b、16c、16dが放電空間Sの外方に向かって膨れている放電容器11は、円筒状の石英ガラスよりなる丸型管25を、取出し棒24が取り付けられた矩形状の引抜型23によって引き抜くことによって成形される。エッジ部16a、16b、16c、16dが外方に向かって膨れるように成形するために、引抜型23の角に膨らみが形成されている。
つづいて、放電容器11の内表面領域に形成される紫外線反射膜20について説明する。
紫外線反射膜20は、液体などの流動性を有する材料を放電容器11の内部に流入、塗布、吸い上げ等することによって付着させて形成されているので、放電空間Sに面する表面21がほぼ水平に形成される。一方、紫外線反射膜20の放電容器11に面する表面22は、湾曲状の長辺面12aに沿って形成される。長辺面12aにおいてエッジ部16aが放電空間Sの外方に位置して窪んでいるため、長辺面12aの内表面領域に形成されている紫外線反射膜20は、放電空間Sに面する表面21がほぼ水平になるように形成するだけで、自然とエッジ部16a近傍に形成されている膜厚が、その他の部分に形成されている膜厚に比べて、大きくなる。
縦軸を透過率[%]とし、横軸を紫外線反射膜の膜厚[μm]とし、その関係を示している。ここでは波長172nmの真空紫外光の透過率を示している。なお、波長150nm〜波長200nmの範囲の真空紫外線領域では、ほぼ同様の傾向を示すことがわかっている。グラフより、紫外線反射膜20の膜厚を厚くすれば、真空紫外光の透過率が低下することがわかる。紫外線反射膜20の膜厚が10μm以上の範囲では、真空紫外光を全く透過しないことがわかる。
紫外線反射膜20は、例えば「流下法」と呼ばれる方法により行うことができる。まず、放電容器11の内側に流し込むコート液を調合する。コート液は、紫外線散乱粒子、結着剤、分散剤、および、溶剤から構成される。紫外線散乱粒子は例えばシリカ粒子とアルミナ粒子であり、結着材はオルトケイ酸テトラエチルを含み、分散剤はシランカップリング剤であり、溶剤はエタノールである。
コート液に溶剤を含有することにより、コート液の紫外線散乱粒子の含有濃度を調整することができる。
コート液を放電容器11の内部に流し込み、放電容器11の内表面における所定の領域に付着させる。
上記工程により、長辺面12aの内表面領域において、短辺面13a、13bの内表面領域に比べて膜厚が厚い紫外線反射膜20を形成することができる。さらに、放電容器11の長辺面12a、12bや短辺面13a、13bが湾曲状に加工されていること、および製造工程におけるコート液の表面張力により、エッジ部16a、16b、16c、16dの内表面領域には、他の領域に比べて、紫外線反射膜20の膜厚が厚くなるように形成することができる。
11 放電容器
12a、12b 長辺面
13a、13b 短辺面
14a、14b 端面
15a、15b 電極
16a、16b、16c、16d エッジ部
17 光出射部
20 紫外線反射膜
Claims (4)
- 互いに向かい合うように配置された長辺面と、当該長辺面をつなぐ短辺面により断面矩形状の管が形成され、長手方向の両端が端面により閉じられた放電容器を備え、当該放電容器の外表面に一対の電極が設けられると共に、放電空間内にキセノンガスが封入されてなり、前記放電容器の放電空間内においてエキシマ放電を発生させるエキシマランプであって、
前記端面に平行に切断した断面において、前記放電容器の前記長辺面は、前記長辺面と前記短辺面とをつなぐエッジ部に対して、前記長辺面の中央部が放電空間の内側に向かう湾曲状に形成され、
前記放電容器の放電空間に曝される表面に紫外線反射膜が形成されており、当該紫外線反射膜の放電空間に曝される表面が水平となっていることを特徴とするエキシマランプ。 - 前記端面に平行に切断した断面において、前記放電容器の前記短辺面は、前記短辺面の中央部が前記エッジ部に対して放電空間の内側に向かう湾曲状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記紫外線反射膜は、前記エッジ部の内表面領域に形成された膜厚が、前記放電容器の他の内表面領域に形成された膜厚に比べて、大きくなっていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のエキシマランプ。
- 前記紫外線反射膜が、シリカ粒子とアルミナ粒子とを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のエキシマランプ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008020037A JP4998827B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | エキシマランプ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008020037A JP4998827B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | エキシマランプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009181818A true JP2009181818A (ja) | 2009-08-13 |
JP4998827B2 JP4998827B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=41035622
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008020037A Expired - Fee Related JP4998827B2 (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | エキシマランプ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4998827B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009181826A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010055971A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Ushio Inc | エキシマランプ |
WO2011078181A1 (ja) * | 2009-12-22 | 2011-06-30 | 株式会社Gsユアサ | 誘電体バリア放電ランプ及びこれを用いた紫外線照射装置 |
KR20130121742A (ko) | 2012-04-27 | 2013-11-06 | 가부시키가이샤 지에스 유아사 | 유전체 배리어 방전 램프 |
JP2013232339A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Gs Yuasa Corp | 誘電体バリア放電ランプ |
KR20140123072A (ko) * | 2012-01-17 | 2014-10-21 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 레이저-지속 플라즈마 광원에서 진공자외선 필터링을 제공하는 플라즈마 셀 |
KR20140124791A (ko) | 2012-02-02 | 2014-10-27 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 및 엑시머 램프의 발광관의 제조 방법 |
JP2015149260A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-20 | ウシオ電機株式会社 | 治療用光源装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004311107A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2004349055A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Japan Storage Battery Co Ltd | 無声放電ランプおよび照射装置 |
JP2005149999A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2006004666A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2007335350A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Ushio Inc | 放電ランプ |
-
2008
- 2008-01-31 JP JP2008020037A patent/JP4998827B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004311107A (ja) * | 2003-04-03 | 2004-11-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2004349055A (ja) * | 2003-05-21 | 2004-12-09 | Japan Storage Battery Co Ltd | 無声放電ランプおよび照射装置 |
JP2005149999A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2006004666A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2007335350A (ja) * | 2006-06-19 | 2007-12-27 | Ushio Inc | 放電ランプ |
Cited By (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009181826A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010055971A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Ushio Inc | エキシマランプ |
KR101389786B1 (ko) * | 2009-12-22 | 2014-04-29 | 가부시키가이샤 지에스 유아사 | 유전체 배리어 방전 램프 및 이것을 사용한 자외선 조사 장치 |
WO2011078181A1 (ja) * | 2009-12-22 | 2011-06-30 | 株式会社Gsユアサ | 誘電体バリア放電ランプ及びこれを用いた紫外線照射装置 |
CN102473586A (zh) * | 2009-12-22 | 2012-05-23 | 株式会社杰士汤浅国际 | 电介体阻挡放电灯及使用其的紫外线照射装置 |
JPWO2011078181A1 (ja) * | 2009-12-22 | 2013-05-09 | 株式会社Gsユアサ | 誘電体バリア放電ランプ及びこれを用いた紫外線照射装置 |
TWI480921B (zh) * | 2009-12-22 | 2015-04-11 | Gs Yuasa Int Ltd | 介電質屏蔽放電燈、包含該燈的紫外線照射裝置以及介電質屏蔽放電燈的點燈方法 |
KR20140123072A (ko) * | 2012-01-17 | 2014-10-21 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 레이저-지속 플라즈마 광원에서 진공자외선 필터링을 제공하는 플라즈마 셀 |
JP2015505419A (ja) * | 2012-01-17 | 2015-02-19 | ケーエルエー−テンカー コーポレイション | レーザ維持プラズマ光源におけるvuvフィルタリングを提供するためのプラズマセル |
US9927094B2 (en) | 2012-01-17 | 2018-03-27 | Kla-Tencor Corporation | Plasma cell for providing VUV filtering in a laser-sustained plasma light source |
KR102004520B1 (ko) * | 2012-01-17 | 2019-07-26 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 레이저-지속 플라즈마 광원에서 진공자외선 필터링을 제공하는 플라즈마 셀 |
KR20190090058A (ko) * | 2012-01-17 | 2019-07-31 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 레이저-지속 플라즈마 광원에서 진공자외선 필터링을 제공하는 플라즈마 셀 |
KR102134110B1 (ko) * | 2012-01-17 | 2020-07-14 | 케이엘에이 코포레이션 | 레이저-지속 플라즈마 광원에서 진공자외선 필터링을 제공하는 플라즈마 셀 |
US10976025B2 (en) | 2012-01-17 | 2021-04-13 | Kla Corporation | Plasma cell for providing VUV filtering in a laser-sustained plasma light source |
KR20140124791A (ko) | 2012-02-02 | 2014-10-27 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 및 엑시머 램프의 발광관의 제조 방법 |
JP2013232339A (ja) * | 2012-04-27 | 2013-11-14 | Gs Yuasa Corp | 誘電体バリア放電ランプ |
KR20130121742A (ko) | 2012-04-27 | 2013-11-06 | 가부시키가이샤 지에스 유아사 | 유전체 배리어 방전 램프 |
TWI578374B (zh) * | 2012-04-27 | 2017-04-11 | 傑士湯淺國際股份有限公司 | 介電質阻擋放電燈 |
JP2015149260A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-20 | ウシオ電機株式会社 | 治療用光源装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4998827B2 (ja) | 2012-08-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5266972B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP4998827B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP4857939B2 (ja) | 放電ランプ | |
JP6509404B2 (ja) | レーザ維持プラズマ光源におけるvuvフィルタリングを提供するためのプラズマセル | |
TWI416583B (zh) | Excimer lamp | |
JP4788534B2 (ja) | エキシマランプ | |
KR101389786B1 (ko) | 유전체 배리어 방전 램프 및 이것을 사용한 자외선 조사 장치 | |
JP2008153187A (ja) | 放電ランプ | |
CN1913097B (zh) | 受激准分子灯及制法 | |
JP4946772B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP4952472B2 (ja) | エキシマランプおよびエキシマランプの製造方法 | |
JP5163175B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP5092700B2 (ja) | エキシマランプ | |
CN103137422A (zh) | 稀有气体荧光灯 | |
JP5169519B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP2009146589A (ja) | エキシマ放電ランプ | |
JP2010177050A (ja) | 蛍光ランプ及びこの蛍光ランプの製造方法 | |
JP5035121B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP2013110086A (ja) | 光照射装置、光照射方法、メタルハライドランプ | |
KR101581755B1 (ko) | 다층 구조의 자외선 반사막을 갖는 엑시머 램프 및 그의 제작 방법 | |
JP5151816B2 (ja) | エキシマランプ | |
JP2009230868A (ja) | エキシマランプ | |
JP5915976B2 (ja) | ロングアーク型放電ランプおよび光照射装置 | |
JP2005001923A (ja) | ランプ用石英ガラス管及びレーザー励起・増幅ユニット | |
JP2010015839A (ja) | エキシマランプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100917 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120413 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120420 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120503 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4998827 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |