JP2009180633A - ヘリウムリークディテクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】加速スリット対向壁14の一部の面S1や中間隔壁13の一部の面S2にカーボンが厚く付着した場合、分析管10の内部を密閉する容器20から容器部分20aを取り外す。そして、中間隔壁13を中心として左右反対になるように、容器部分20aを回転させる。そして、そのまま容器部分20aを取り付ける。
【選択図】図3
Description
(2)請求項2の発明は、請求項1に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、照射部材は、スリット部材に対して、イオン源部側およびイオンコレクタ部側に設けられ、取外し部は、容器部から取り外して、容器部に、スリット部を中心として、左右反対に取り付け可能であることを特徴とする。
(3)請求項3の発明は、被検体からリークされたヘリウムガスを分析管に導いて検出するヘリウムリークディテクタにおいて、分析管は、イオンビームを生成するイオン源部と、イオン源部で生成されたイオンビームを磁場偏向させる磁性体と、磁性体により軌道偏向されたイオンビームの中からヘリウムイオンビームを選択して通過させるスリット部材と、スリット部材を通過したヘリウムイオンをイオン電流として検出するイオンコレクタ部と、イオン源部、スリット部材およびイオンコレクタ部を密閉する容器部を備え、スリット部材は、分析管から取り外して、表裏反対に取り付け可能であることを特徴とする。
図1は、本発明の実施の形態によるヘリウムリークディテクタを模式的に示す全体構成図である。ヘリウムリークディテクタ1は、テストポート2を介してリーク検査の被検体である真空容器100に配管接続されている。
(1)バルブV1、V3、V4を閉じるとともに、バルブV2を開いて、分析管10内をターボ分子ポンプ5、機械式ドライポンプ4、油回転ポンプ3の直列構成で所定のバックグランド値(真空度)になるまで排気する。
(2)分析管10内が所定のバックグランド値まで低下した後に、バルブV2を閉じるともにバルブV1を開いて、真空容器100内を油回転ポンプ3で排気(粗引き排気)する。このとき、ターボ分子ポンプ5と機械式ドライポンプ4は運転を止める。
(3)バルブV1を閉じるともにバルブV4を開いて、分析管10によるリークガス検出を開始する。すなわち、真空容器100のリーク試験箇所にヘリウム(He)ガスを吹き付ける。
(4)真空容器100のリーク試験箇所にリークがあると、真空容器100内にHeガスが侵入し、そのHeガスの分圧に応じた量は、開放になっているバルブV4、ターボ分子ポンプ5を経て分析管10に到来する。分析管10がHeガスを検出することにより、真空容器100のリーク量が測定される。
(1)分析管10の内部を密閉する容器20の中で、中間隔壁13および加速スリット対向壁14を固定している容器部分20aを取り外せるようにした。また、容器部分20aに固定されている加速スリット対向壁14を、中間隔壁13に対して、加速スリット12側からイオンコレクタ18側まで延設するようにした。これにより、容器部分20aを左右反対に取り付けなおすことで、低下していたHeイオンの検出感度を再び高くすることができる。
(1)予備の容器部分20aを用意しておき、中間隔壁13および加速スリット対向壁14にカーボンが付着した場合、取り付けていた容器部分20aを予備の容器部分20aに取り替えるようにしてもよい。ヘリウムリークディテクタ1が動作している間も、取り外した容器部分20aに付着したカーボンを除去する作業を行うことができるので、容器部分20aがよごれた場合、きれいな容器部分20aにすぐに取り替えることが、常にできる。この場合、加速スリット対向壁14を、中間隔壁13に対してイオンコレクタ18側まで延設する必要がない。容器部分20aを、左右逆にして取り付けなおす必要がないからである。
本発明のイオン源部はイオンソース11および加速スリット12に対応し、磁性体は不図示のコの字型の永久磁石に対応する。スリット部材は中間隔壁13に対応し、照射部材は加速スリット対向壁14に対応する。イオンコレクタ部はイオンコレクタ18に対応し、容器部は容器20に対応する。取外し部は容器部分20aに対応する。なお、以上の説明はあくまで一例であり、発明を解釈する上で、上記の実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係になんら限定されるものではない。
2:テストポート
3:油回転ポンプ
4:機械式ドライポンプ
5:ターボ分子ポンプ
10:分析管
11:イオンソース
12:加速スリット
13:中間隔壁
13a:スリット
14:加速スリット対向壁
15:第1のアーススリット
16:サブレッサスリット
17:第2のアーススリット
18:イオンコレクタ
100:真空容器(リーク検査の被検体)
A,A’,B,C:偏向軌道
Claims (3)
- 被検体からリークされたヘリウムガスを分析管に導いて検出するヘリウムリークディテクタにおいて、
前記分析管は、
イオンビームを生成するイオン源部と、
前記イオン源部で生成されたイオンビームを磁場偏向させる磁性体と、
前記磁性体により軌道偏向されたイオンビームの中からヘリウムイオンビームを選択して通過させるスリット部材と、
ヘリウムイオンより重たいイオンのイオンビームが前記スリット部材以外に照射される位置に設けられた照射部材と、
前記スリット部材を通過したヘリウムイオンをイオン電流として検出するイオンコレクタ部と、
前記イオン源部、前記スリット部材、前記照射部材および前記イオンコレクタ部を密閉する容器部とを備え、
前記容器部は、前記スリット部および前記照射部材を固定し、かつ前記容器部から取り外し可能な取外し部を有することを特徴とするヘリウムリークディテクタ。 - 請求項1に記載のヘリウムリークディテクタにおいて、
前記照射部材は、前記スリット部材に対して、前記イオン源部側および前記イオンコレクタ部側に設けられ、
前記取外し部は、前記容器部から取り外して、前記容器部に、前記スリット部を中心として、左右反対に取り付け可能であることを特徴とするヘリウムリークディテクタ。 - 被検体からリークされたヘリウムガスを分析管に導いて検出するヘリウムリークディテクタにおいて、
前記分析管は、
イオンビームを生成するイオン源部と、
前記イオン源部で生成されたイオンビームを磁場偏向させる磁性体と、
前記磁性体により軌道偏向されたイオンビームの中からヘリウムイオンビームを選択して通過させるスリット部材と、
前記スリット部材を通過したヘリウムイオンをイオン電流として検出するイオンコレクタ部と、
前記イオン源部、前記スリット部材および前記イオンコレクタ部を密閉する容器部を備え、
前記スリット部材は、前記分析管から取り外して、表裏反対に取り付け可能であることを特徴とするヘリウムリークディテクタ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008020404A JP2009180633A (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | ヘリウムリークディテクタ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008020404A JP2009180633A (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | ヘリウムリークディテクタ |
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Publication Number | Publication Date |
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ID=41034721
Family Applications (1)
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JP2008020404A Pending JP2009180633A (ja) | 2008-01-31 | 2008-01-31 | ヘリウムリークディテクタ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009180633A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012515412A (ja) * | 2009-01-12 | 2012-07-05 | アデイクセン・バキユーム・プロダクト | 高ダイナミック入力信号の測定処理デバイス、対応する漏洩検出器、および測定処理方法 |
KR20230115879A (ko) | 2022-01-27 | 2023-08-03 | 시마즈 인더스트리얼 시스템즈 가부시키가이샤 | 수소 리크 디텍터 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04186132A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-02 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
JPH1026573A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-27 | Anelva Corp | ヘリウムリークディテクタの分析管 |
JP2005024449A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-27 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークディテクタ |
-
2008
- 2008-01-31 JP JP2008020404A patent/JP2009180633A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04186132A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-02 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークデテクタ |
JPH1026573A (ja) * | 1996-07-09 | 1998-01-27 | Anelva Corp | ヘリウムリークディテクタの分析管 |
JP2005024449A (ja) * | 2003-07-04 | 2005-01-27 | Shimadzu Corp | ヘリウムリークディテクタ |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012515412A (ja) * | 2009-01-12 | 2012-07-05 | アデイクセン・バキユーム・プロダクト | 高ダイナミック入力信号の測定処理デバイス、対応する漏洩検出器、および測定処理方法 |
KR20230115879A (ko) | 2022-01-27 | 2023-08-03 | 시마즈 인더스트리얼 시스템즈 가부시키가이샤 | 수소 리크 디텍터 |
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