JP2009173531A - 多結晶シリコンのシリコン芯棒組立体及びその製造方法、多結晶シリコン製造装置、多結晶シリコン製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン芯棒2の先端部2bと本体部分2aとの間に形成される段部に、シリコン芯棒2の延在する向きと直交する支持面2cが形成されており、連結部材3には、前記先端部2bを挿入するための貫通孔4が該連結部材3を貫通して設けられており、前記連結部材3における前記貫通孔4の一方側3bの開口端周縁が、他方側3aの開口端周縁よりも鋭利に形成されるとともに、前記一方側の開口端の周囲の表面が、前記貫通孔4の貫通方向に直交する当接面3cとされており、前記当接面3cが、シリコン芯棒2の前記支持面2bに当接されるようにして、前記先端部2aが前記貫通孔4に挿入されている。
【選択図】図2
Description
シリコン芯棒組立体の局部的な過熱が防止されるので、多結晶シリコンを安定して製造することができる。
また、これら貫通孔4を形成する際、ドリルが連結部材3を貫通する方向は、図2の下面(一方側の側面)3bから上面(他方側の側面)3aに向けられる。そしてドリルが連結部材3を貫通する際、該連結部材3の有する脆性により、その貫通方向先端側の上面3aの貫通孔4の開口端周縁には、花弁状の欠損部4aが生じている。
なお、シリコン芯棒2及び連結部材3は、切断や孔あけ等の機械加工後、表面の洗浄のためエッチングされ、乾燥して仕上げられる。
この第1変形例では、連結部材21の側面21dを傾斜面に形成し、長手方向と直交する断面形状を三角形状にしている。そして、予め連結部材21の三角形状の断面の底辺に当たる下面3bからその頂点へ向けドリルにより孔開けして貫通孔4を形成すれば、連結部材21はその下面3bの貫通孔4の開口端周縁に欠損部4aが形成されることがなく、その開口端周縁が鋭利な(シャープエッジの)稜線Rによって形成され、且つその開口端の周囲に貫通孔4の穿設方向と直交する平らな当接面3cが形成される。
なお、図6の第2変形例と図7の第3変形例とでは、連結部材26の上面3aと貫通孔27の内周面との成す角度Dが異なるものを示しているが、両図に同一符号を付している。
そして、図8(b)に示すように、両シリコン芯棒2を撓ませながら、互いの先端を接近させた状態として、その先端部2bを連結部材3の貫通孔4にそれぞれ挿入する。この組立状態では、シリコン芯棒2は、撓んだ状態で連結部材3により連結されるため、連結部材3に、その復元力によって図9の矢印で示すように両貫通孔4を離間させる方向に引っ張り力を作用させる。これにより、各シリコン芯棒2の先端部2bの外周面における離間方向外側の円弧面と、連結部材3の貫通孔4の内周面において対応する離間方向外側の円弧面とが押圧状態に接触する。
また、両シリコン芯棒2の先端部2bと連結部材3の貫通孔4の内周面との間に摩擦力が生じるので、連結部材3に反応ガスが吹き当たって押し上げる力が作用しても連結部材3がシリコン芯棒2から外れることはない。
この図8に示す例では、特に明記しなかったが、電極に直線状のシリコン芯棒を傾斜させて支持することとして説明した。シリコン芯棒が直線状でなく、反りが生じている場合には、その反りによって両シリコン芯棒が基端から先端に向かって漸次離間するように配置し、その上端の先端部間を狭めるようにして連結すればよい。
さらに、電極におけるシリコン芯棒保持部分の離間間隔と連結部材の貫通孔との離間間隔を異なる寸法に設定しておき、電極にシリコン芯棒を垂直に立設させた状態として、シリコン芯棒を撓ませながら、その先端部を連結部材によって連結するようにしてもよい。連結部材の貫通孔の離間間隔が電極の離間間隔より広い場合は、連結部材によってシリコン芯棒を連結状態とすると、シリコン芯棒の先端部が相互に接近する方向に押圧力が作用する。逆に、連結部材の貫通孔の離間間隔が電極の離間間隔より狭い場合は、連結部材によってシリコン芯棒を連結状態とすると、シリコン芯棒の先端部が相互に広がる方向に押圧力が作用する。
以上、いずれの実施形態の場合も、連結部材の貫通孔と当接面とのなす角度と、シリコン芯棒の先端部と支持面とのなす角度は一致しており、連結部材の貫通孔にシリコン芯棒の先端部を挿入状態としたときに、連結部材の当接面とシリコン芯棒の支持面とが接触状態となる。その角度としては90°が好適である。
2 シリコン芯棒
2a 本体部分
2b 先端部
2c 支持面
3 連結部材
3a 上面(他方側の面)
3b 下面(一方側の面)
3c 当接面
4 貫通孔
21 連結部材
21d 側面(傾斜面)
22 シリコン芯棒組立体
25 シリコン芯棒組立体
26 連結部材
27 貫通孔
28 シリコン芯棒
28b 先端部
R 鋭利な稜線(開口端周縁)
Claims (5)
- 気相成長法による多結晶シリコンの製造に用いられるシリコン芯棒組立体であって、
前記シリコン芯棒組立体は、二本の棒状のシリコン芯棒と、これらシリコン芯棒間に架設されるシリコン製の連結部材とを備えており、
前記シリコン芯棒の先端部は、その本体部分より小さい幅に形成されており、
前記先端部と本体部分との間に形成される段部に、前記先端部の長さ方向と直交する支持面が形成されており、
前記連結部材には、前記先端部を挿入するための貫通孔が設けられており、
前記連結部材における前記貫通孔の一方側の開口端周縁が、他方側の開口端周縁よりも鋭利に形成されるとともに、前記一方側の開口端の周囲の表面が、前記貫通孔の貫通方向に直交する当接面とされており、
前記当接面が、シリコン芯棒の前記支持面に当接されるようにして、前記先端部が前記貫通孔に挿入されていることを特徴とするシリコン芯棒組立体。 - 請求項1記載のシリコン芯棒組立体であって、
前記連結部材は、その幅を下方から上方に向かって漸次小さくするようにして形成される傾斜面を有していることを特徴とするシリコン芯棒組立体。 - 気相成長法による多結晶シリコンの製造に用いられ、二本の棒状のシリコン芯棒とこれらシリコン芯棒間に架設されるシリコン製の連結部材とを備えるシリコン芯棒組立体の製造方法であって、
前記シリコン芯棒の先端に、その本体部分より小さい幅の先端部を形成するとともに、この先端部と本体部分との間の段部に、前記先端部の長さ方向と直交する支持面を形成し、
前記連結部材の一側面から該一側面と直交する方向にドリルによって貫通孔を穿設し、
この一側面をシリコン芯棒の前記支持面に当接させるようにして、前記貫通孔に前記先端部を挿入することを特徴とするシリコン芯棒組立体の製造方法。 - 請求項1又は2記載のシリコン芯棒組立体を反応炉内に設けてなる多結晶シリコン製造装置であって、
前記反応炉の内底部に少なくとも一対の電極が設けられるとともに、前記シリコン芯棒組立体における両シリコン芯棒において前記連結部材とは反対側の端部が前記電極にそれぞれ支持されていることを特徴とする多結晶シリコン製造装置。 - 反応炉の内底部に配設された少なくとも一対の電極にそれぞれシリコン芯棒を立設状態に支持するとともに、これらシリコン芯棒の先端部間にシリコン製の連結部材を架設してシリコン芯棒組立体を構築し、前記電極に通電することにより前記シリコン芯棒を発熱させ、前記反応炉内に供給した原料ガスを反応させて前記シリコン芯棒の表面に多結晶シリコンを析出させる多結晶シリコン製造方法において、
前記シリコン芯棒の先端に、その本体部分より小さい幅の先端部を形成するとともに、この先端部と本体部分との間の段部に、前記先端部の長さ方向と直交する支持面を形成し、一方、前記連結部材の一側面から該一側面と直交する方向にドリルによって貫通孔を穿設し、
前記反応炉の電極に前記シリコン芯棒を支持した状態とし、前記連結部材の前記一側面をシリコン芯棒の前記支持面に当接させるようにして、前記貫通孔に前記先端部を挿入することにより、前記シリコン芯棒組立体を構築することを特徴とする多結晶シリコン製造方法。
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