JP3206951U - 多結晶シリコンの連接構造 - Google Patents
多結晶シリコンの連接構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3206951U JP3206951U JP2016003739U JP2016003739U JP3206951U JP 3206951 U JP3206951 U JP 3206951U JP 2016003739 U JP2016003739 U JP 2016003739U JP 2016003739 U JP2016003739 U JP 2016003739U JP 3206951 U JP3206951 U JP 3206951U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon core
- core rod
- broken
- conical hole
- silicon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
【課題】多結晶シリコンの連接構造を提供する。【解決手段】第1折損したシリコン芯棒1と第2折損したシリコン芯棒2とを含む多結晶シリコンの連接構造であって、連接用シリコン芯棒3を備え、第1折損したシリコン芯棒1の一端面に第1円錐形穴11を有すると共に、第2折損したシリコン芯棒2の一端に第2円錐形穴21を有し、連接用シリコン芯棒3は連接本体31と連接本体31の両端から延出する2つの連接部32とを有し、2つの連接部32がそれぞれ第1円錐形穴11と第2円錐形穴21とに係合する円錐台構造を備え、2つの連接部32をそれぞれ第1円錐形穴11と第2円錐形穴21とに取り付けることで、第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2が連接用シリコン芯棒3を介して互いに連接する構造であり、連接本体31と第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2とが、略同一の外周形状を有する。【選択図】図1
Description
本考案は、多結晶シリコン生産技術分野に関し、特に、多結晶シリコンの連接構造に関する。
従来、多結晶シリコンの生産方法としてシーメンス法が挙げられ、主に還元炉内においてシリコン芯棒に還元反応を起こして多結晶シリコンを生成させる。その原理は、シリコン芯棒の還元反応は、密閉された還元炉内で行い、炉に設ける前、先に還元炉内にシリコン芯棒を若干の閉ループとして接合し、各閉ループが2本の縦シリコン芯棒と1本の横シリコン芯棒とからなる。各閉ループの2本の縦シリコン芯棒は、炉の底部の2個の電極に接続し、電極が各々直流電源の正極・負極に接続してからシリコン芯棒を加熱し、加熱中の一組の接合済みシリコン芯棒は1個の大型抵抗器に相当し、密閉した還元炉内に水素ガス及びトリクロロシランを吹き込んで還元反応を行う。よって、所要の多結晶シリコンをシリコン芯棒の表面に生成できる。
該方法において、閉ループを構成するシリコン芯棒は、バージン多結晶シリコン芯棒を特定の長さとして切断しないと還元炉内に設けることができない。バージン多結晶シリコン芯棒を用いてシリコン芯棒を得る工程中、応力、刃物、クランプ等の要因の影響を受け、一部のシリコン芯棒に折損が発生し、長さが還元炉内に設ける要求を満たさないため、使用できなくなってしまう。現在、切断によって折損したシリコン芯棒は、通常廃棄物として回収されている。ただし、シリコン芯棒の製造コストが比較的高く、廃棄して使用しない場合、極めて大きな無駄が生じてしまう。
そこで、本考案は、折損したシリコン芯棒を連接してから要求される長さに達せさせ、還元炉内で反応して多結晶シリコンを生成でき、生産の需要を満たすため、シリコン芯棒の無駄を最大限減少し、切断収率をアップする多結晶シリコンの連接構造を提供することを課題とする。
上記課題を解決するため、本考案は次の構成を備える。すなわち、第1折損したシリコン芯棒と第2折損したシリコン芯棒とを含む多結晶シリコンの連接構造であって、連接用シリコン芯棒を備え、前記第1折損したシリコン芯棒の一端面に第1円錐形穴を有すると共に、前記第2折損したシリコン芯棒の一端に第2円錐形穴を有し、前記連接用シリコン芯棒は連接本体と前記連接本体の両端から延出する2つの連接部とを有し、前記2つの連接部がそれぞれ前記第1円錐形穴と前記第2円錐形穴とに係合する円錐台構造を備え、前記2つの連接部をそれぞれ前記第1円錐形穴と前記第2円錐形穴とに取り付けることで、前記第1折損したシリコン芯棒及び前記第2折損したシリコン芯棒が前記連接用シリコン芯棒を介して互いに連接する構造であり、前記連接本体と前記第1折損したシリコン芯棒及び前記第2折損したシリコン芯棒とが、略同一の外周形状を有することを特徴とする。
ここで、前記第1折損したシリコン芯棒と前記第2折損したシリコン芯棒及び前記連接本体の横切断面が多角形状であり、その最大径における対角線の長さが7〜10mmであることが特に好適である。
本考案による多結晶シリコンの接構造は、折損したシリコン芯棒を連接してから要求される長さに達せさせ、還元炉内で反応して多結晶シリコンを生成でき、生産の需要を満たすため、シリコン芯棒の無駄を最大限減少し、切断収率をアップすることができる。
以下、本考案を実施例の図面を用いて説明する。本考案は、従来公知技術を援用して適宜設計変更可能である。
本明細書において、例えば第1和第2などの関係用語は、ただ1個の実体又は操作を別の実体又は操作と区別するのみに用いられ、必ずこれら実体又は操作の間にいかなる実際の関係或いは順序が存在することを要求若しくは暗示するわけではない。用語「包括」、「含む」又はこれらの他のいかなる変形形態も、非排他的な包含を網羅する。例えば、列挙した構成要素を含むプロセス、方法、物品、又は装置は、必ずしもそれらの構成要素だけに限定されず、そのようなプロセス、方法、物品、又は装置に対して明示的に列挙してない、或いは固有の他の構成要素も含むことができる。更に多くの制限がない状態において、「1個の……を包括」語句で限定する構成要素は、前記構成要素を包括するプロセス、方法、物品又は装置内にまた別の同一構成要素が存在することを排除しない。
図1及び2に示すように、本実施例の多結晶シリコンの連接構造は、第1折損したシリコン芯棒1と第2折損したシリコン芯棒2と連接用シリコン芯棒3とを含む。第1折損したシリコン芯棒1と第2折損したシリコン芯棒2とは、バージン多結晶シリコン芯棒を用いてシリコン芯棒を得る工程中、応力、刃物、クランプ等の要因の影響を受け、一部のシリコン芯棒が折損を発生し、長さが還元炉内に設ける要求を満たさないため、使用できなくなったシリコン芯棒を指す。連接用シリコン芯棒3は、これら折損したシリコン芯棒を連接して還元炉内に設ける長さの要求を満たすことを目的とする。
前記第1折損したシリコン芯棒1の一端面に第1円錐形穴11を開設し、前記第2折損したシリコン芯棒2の一端に第2円錐形穴21を開設する。前記連接用シリコン芯棒3は連接本体31と前記連接本体31の両端から延出する2つの連接部32とを包括し、前記連接部32が前記第1円錐形穴11と第2円錐形穴21とマッチする円錐台構造を備える。2つの連接部32を前記第1円錐形穴11と第2円錐形穴21に各々取り付けることで、第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2が前記連接用シリコン芯棒3を通じて互いに連接する。
好適な実施例としては、前記第1円錐形穴11と第2円錐形穴21及び前記連接部32のテーパー、すなわち円錐状部分の傾斜度を表す比は、1:8〜12を選択できる。より好適には、該テーパーの数値が1:10とする。
なお、前記第1円錐形穴11及び第2円錐形穴21は、略同一の長さが好ましい。
なお、前記第1円錐形穴11及び第2円錐形穴21は、略同一の長さが好ましい。
また、好適な実施例としては、前記連接部32の長さは25〜35mmとする。より好適には、連接本体31と連接部32の長さの比は、1:0.7〜0.7:1、特に好まし〜は、1:1である。
また、好適な実施例としては、前記連接本体31と前記第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2とは、同一の外周形状を有することが好ましく、例えば、その横切断面はいずれも多角形で、その最大径における対角線の長さは7〜10mmが好ましい。
また、好適な実施例としては、第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2の各第1円錐形穴11及び第2円錐形穴12の各テーパー部分を形成する各第1側面及び第2側面に、それぞれ第1溝及び第2溝を、各第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2の軸方向に沿って設けると共に、各第1溝及び第2溝に嵌合する突条を、連接用シリコン芯棒3の連接部32に設けることで、第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2と連接用シリコン芯棒3との接合を安定化させてもよい。
なお、溝と突条との配設を逆に、すなわち、第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2に突条を設け、連接用シリコン芯棒3に溝を設けてもよい。
溝及び突条の形態は、直線状でもよいし、螺旋状でもよく、螺旋状の方が接合は比較的安定である。
なお、溝と突条との配設を逆に、すなわち、第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2に突条を設け、連接用シリコン芯棒3に溝を設けてもよい。
溝及び突条の形態は、直線状でもよいし、螺旋状でもよく、螺旋状の方が接合は比較的安定である。
また、好適な実施例としては、第1折損したシリコン芯棒1及び第2折損したシリコン芯棒2と連接用シリコン芯棒3との凹凸関係を逆にしてもよい。すなわち、第1折損したシリコン芯棒1及び前記第2折損したシリコン芯棒2の各一端面に、それぞれ連接部を延出すると共に、連接用シリコン芯棒3の両端面に穴を設けてもよい。
上述のように、本考案が提供する多結晶シリコンの接構造は、折損したシリコン芯棒を連接してから要求される長さに達せさせ、還元炉内で反応して多結晶シリコンを生成でき、生産の需要を満たすため、シリコン芯棒の無駄を最大限減少し、切断収率をアップする。更に、この連接構造は、容易に実現し、取り付けが便利、接触が信頼的であるため、還元炉の正常・安全な操業を保証するので、産業上有用である。
1 第1折損したシリコン芯棒
2 第2折損したシリコン芯棒
3 連接用シリコン芯棒
11 第1円錐形穴
21 第2円錐形穴
31 連接本体
32 連接部
2 第2折損したシリコン芯棒
3 連接用シリコン芯棒
11 第1円錐形穴
21 第2円錐形穴
31 連接本体
32 連接部
Claims (2)
- 第1折損したシリコン芯棒と第2折損したシリコン芯棒とを含む多結晶シリコンの連接構造であって、
連接用シリコン芯棒を備え、
前記第1折損したシリコン芯棒の一端面に第1円錐形穴を有すると共に、前記第2折損したシリコン芯棒の一端に第2円錐形穴を有し、
前記連接用シリコン芯棒は連接本体と前記連接本体の両端から延出する2つの連接部とを有し、前記2つの連接部がそれぞれ前記第1円錐形穴と前記第2円錐形穴とに係合する円錐台構造を備え、
前記2つの連接部をそれぞれ前記第1円錐形穴と前記第2円錐形穴とに取り付けることで、前記第1折損したシリコン芯棒及び前記第2折損したシリコン芯棒が前記連接用シリコン芯棒を介して互いに連接する構造であり、
前記連接本体と前記第1折損したシリコン芯棒及び前記第2折損したシリコン芯棒とが、略同一の外周形状を有する
ことを特徴とする多結晶シリコンの連接構造。 - 前記第1折損したシリコン芯棒と前記第2折損したシリコン芯棒及び前記連接本体の横切断面が多角形状であり、その最大径における対角線の長さが7〜10mmである
請求項1に記載の多結晶シリコンの連接構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016003739U JP3206951U (ja) | 2016-08-02 | 2016-08-02 | 多結晶シリコンの連接構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016003739U JP3206951U (ja) | 2016-08-02 | 2016-08-02 | 多結晶シリコンの連接構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3206951U true JP3206951U (ja) | 2016-10-13 |
Family
ID=57122785
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016003739U Expired - Fee Related JP3206951U (ja) | 2016-08-02 | 2016-08-02 | 多結晶シリコンの連接構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3206951U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114132931A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-03-04 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 | 一种多晶硅生产用的硅芯制备装置及方法 |
-
2016
- 2016-08-02 JP JP2016003739U patent/JP3206951U/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114132931A (zh) * | 2021-12-17 | 2022-03-04 | 亚洲硅业(青海)股份有限公司 | 一种多晶硅生产用的硅芯制备装置及方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3206953U (ja) | 多結晶シリコンの折損したシリコン芯棒の連接構成 | |
JP5431074B2 (ja) | シード保持部材及びそのシード保持部材を用いた多結晶シリコン製造方法 | |
JP3206951U (ja) | 多結晶シリコンの連接構造 | |
CN109338462A (zh) | 一种直拉单晶用变径籽晶及引晶方法 | |
JP3206952U (ja) | 多結晶シリコンの接続部 | |
JP6085046B2 (ja) | 坩堝 | |
CN103147712A (zh) | 短轻落物套铣打捞筒 | |
JP3206950U (ja) | 多結晶シリコンの折損したシリコン芯棒の連接構造 | |
JP3207360U (ja) | 多結晶シリコンの折損したシリコン芯棒の連接部 | |
JP6592941B2 (ja) | 単結晶引き上げ用種結晶保持具及びこれを用いたシリコン単結晶の製造方法 | |
CN201010903Y (zh) | 一种尖部具有破土功能的地锚 | |
CN202272987U (zh) | 一种单晶炉用钼籽晶体夹持器 | |
CN205745755U (zh) | 一种一体化铸造式法兰 | |
CN103361716A (zh) | 一种籽晶夹持器 | |
CN204413794U (zh) | 钢管去毛刺机 | |
JP6843301B2 (ja) | 芯線ホルダ、シリコン製造装置及びシリコン製造方法 | |
CN203007476U (zh) | 一种用于生长大尺寸蓝宝石单晶的籽晶夹头机构 | |
CN203440496U (zh) | 带双定位销的蓝宝石籽晶夹头 | |
CN207646331U (zh) | 有下环体片的导流筒 | |
CN205710425U (zh) | 多晶硅还原炉用石墨组件 | |
CN208362523U (zh) | 有筒体片凸筋的导流筒 | |
CN205309402U (zh) | 一种开孔器组件 | |
CN201605348U (zh) | 一种区熔法生长单晶硅用硅籽晶夹持器 | |
CN103603626A (zh) | 短管落物内打捞器 | |
CN110386605A (zh) | 太阳能级多晶硅产品及其生产方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3206951 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |