CN202543397U - 一种三瓣锅 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种三瓣锅,具有三瓣锅体,每一瓣锅体均由互为一体的锅壁部分和锅底部分组成,相邻两瓣锅体之间具有组装缝隙,三条组装缝隙的下端汇集于中心轴与锅底部分相交的位置,每一瓣锅体的上表面上在邻近每条组装缝隙处分别设置有孔,每一瓣锅体的R角处设置有通孔,三瓣锅包括卡合装置,卡合装置具有两卡脚,两卡脚之间的间距为组装缝隙两侧的孔之间的间距,两卡脚分别卡合于组装缝隙两侧的孔内。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种石墨坩埚,尤其涉及一种三瓣锅。
背景技术
单晶硅生产过程是把多晶硅原料置入石英坩埚内,通过电阻加热,将装在石英坩埚中的多晶硅熔化,熔化温度约为1600度。石英坩埚把熔化的多晶硅液托住。生产过程中通过氩气保护气体,使单晶硅在无氧的氛围中形成。并且,生产时,石英坩埚会被石墨坩埚作单向不停地转动。
石墨坩埚的作用是保护石英坩埚并加热石英坩埚,使置入石英坩埚中的多晶硅原料熔化,并始终保持生产所需要的工作温度。由于单晶硅形成是在高温热场中进行,每生产一炉单晶硅需要更换一次石英坩埚。石墨坩埚可以重复使用,石墨坩埚的使用寿命直接影响到产品质量和产品成本。
石墨坩埚由三瓣体组成,三瓣锅常常会因受热而破裂,破裂的三瓣锅撞击加热器导致焖炉现象。另外,石英坩埚在高温情况下与石墨坩埚产生化学反应:C+SIO2=SIO+CO,产生的气体冲击石英坩埚导致鼓包现象。
有鉴于此,如何设计一种三瓣锅,可以避免出现焖炉现象,并且可以避免鼓包现象,是业内人士亟需解决的问题。
实用新型内容
针对现有技术中石墨坩埚的破裂会撞击加热器,而导致焖炉现象,并且在加热过程中产生的气体对石英坩埚产生冲击造成鼓包现象这一缺陷,本实用新型提供了一种三瓣锅。
根据本实用新型,提供了一种三瓣锅,具有三瓣锅体,所述每一瓣锅体均由互为一体的锅壁部分和锅底部分组成,相邻所述两瓣锅体之间具有组装缝隙,所述三条组装缝隙的下端汇集于中心轴与所述锅底部分相交的位置,其特征在于,所述每一瓣锅体的上表面上在邻近所述每条组装缝隙处分别设置有孔,所述每一瓣锅体的R角处设置有通孔,所述三瓣锅包括卡合装置,所述卡合装置具有两卡脚,所述两卡脚之间的间距为所述组装缝隙两侧的所述孔之间的间距,所述两卡脚分别插入所述组装缝隙两侧的所述孔内。
优选地,所述孔与相邻近的所述组装缝隙之间相距14mm-16mm。
优选地,所述孔与相邻近的所述组装缝隙之间相距15mm。
优选地,每一所述孔的孔径为2.5-4.5mm,孔深为19-21mm。
优选地,每一所述孔的孔径为3.5mm,孔深为20mm。
优选地,所述卡合装置的由金属钼制成。
优选地,所述卡合装置的一所述卡脚的长度小于另一所述卡脚的长度,所述两卡脚的长度小于或等于所述孔的深度。
优选地,所述卡合装置的一所述卡脚的长度为15mm,另一所述卡脚的长度为20mm。
优选地,其特征在于,所述通孔相距所述三瓣锅的上端284.5mm-286.5mm。
优选地,所述通孔相距所述三瓣锅的上端285.5mm。
本实用新型的优点是:通过卡合装置与三瓣锅每一瓣锅体上的孔相卡合,对三瓣锅起到固定的作用,防止三瓣锅在受热破裂后会撞击加热器而导致焖炉现象。另外,在三瓣锅的R角处设置通孔,使在反应中产生的气体能排出,从而避免了石英坩埚的鼓包现象。
附图说明
读者在参照附图阅读了本实用新型的具体实施方式以后,将会更清楚地了解本实用新型的各个方面。其中,
图1示出了依据本实用新型的三瓣锅的剖面图。
图2示出了依据本实用新型的三瓣锅的俯视图。
图3示出了图1中的卡合装置的结构剖面图。
具体实施方式:
下面参照附图,对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。
图1示出了依据本实用新型的三瓣锅的剖面图。参照图1,三瓣锅1具有三瓣锅体10,每一瓣锅体10均由锅壁部分101和锅底部分102组成,锅壁部分101和锅底部分102互为一体。相邻的两瓣锅体10之间具有组装缝隙,三条组装缝隙的下端汇集于中心轴a与锅底部分相交的位置。
图2示出了依据本实用新型的三瓣锅的俯视图。结合图1参照图2,在每一瓣锅体10的上表面上邻近每条组装缝隙处分别设置有孔103,即在每一条组装缝隙的两侧分别设置有孔,而在每一瓣锅体10上至少设置有两个孔103,也就是说,在每一条组装缝隙的两侧分别至少有一个孔。具体地,每一瓣锅体10上的每一个孔103与该孔相邻近的组装缝隙之间相距14mm-16mm,更具体地,例如可以相距15mm。并且,每一孔的孔径可以为2.5-4.5mm,孔深可以为19-21mm,更具体地,每一孔的孔径为3.5mm,孔深为20mm。
图3示出了图1中的卡合装置的结构剖面图。结合图1参照图3,三瓣锅1还包括卡合装置20,用来与每一条组装缝隙两侧的孔103相卡合。并且,卡合装置20具有两卡脚,两卡脚之间的间距D应当与每条组装缝隙两侧的孔103之间的间距相适应,例如,本实施例中,每一个孔103与该孔相邻近的组装缝隙之间相距15mm,即每条装置缝隙两侧的孔之间相距30mm,则卡合装置20的两个卡脚之间的间距D也为30mm。卡合装置20可以由金属钼制成,但并不以此为限。卡合装置20的一卡脚201的长度L1小于另一卡脚202的长度L2,并且卡脚201的长度L1及卡脚202的长度L2小于或等于孔103的深度。具体地,卡合装置20的一卡脚201的长度L1为15mm,另一卡脚202的长度L2为20mm。卡合装置20的两卡脚分别插入组装缝隙两侧的孔103内,以便三瓣锅1在受热破裂后,紧固三瓣锅1的三瓣锅体10,从而防止破裂的三瓣锅体10撞击加热器而损坏加热器。
继续参照图1,每一瓣锅体10的R角处设置有通孔104,具体地,通孔104与三瓣锅1的上端之间的距离d为284.5mm-286.5mm,更具体地,通孔104与三瓣锅1的上端之间的距离d为285.5mm。因为,石英坩埚在高温情况下与石墨坩埚产生化学反应:C+SIO2=SIO+CO,产生的CO气体会对石英坩埚的产生冲击,导致石英坩埚出现鼓包现象,所以在R角处设置通孔104,产出的气体会通过通孔104而排出,避免了石英坩埚的鼓包现象。
本实用新型的优点是:通过卡合装置与三瓣锅每一瓣锅体上的孔相卡合,对三瓣锅起到固定的作用,防止三瓣锅在受热破裂后会撞击加热器而导致焖炉现象。另外,在三瓣锅的R角处设置通孔,使在反应中产生的气体能排出,从而避免了石英坩埚的鼓包现象。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等同物界定。
Claims (10)
1.一种三瓣锅,具有三瓣锅体,所述每一瓣锅体均由互为一体的锅壁部分和锅底部分组成,相邻所述两瓣锅体之间具有组装缝隙,所述三条组装缝隙的下端汇集于中心轴与所述锅底部分相交的位置,其特征在于,所述每一瓣锅体的上表面上在邻近所述每条组装缝隙处分别设置有孔,所述每一瓣锅体的R角处设置有通孔,所述三瓣锅包括卡合装置,所述卡合装置具有两卡脚,所述两卡脚之间的间距为所述组装缝隙两侧的所述孔之间的间距,所述两卡脚分别插入所述组装缝隙两侧的所述孔内。
2.如权利要求1所述的三瓣锅,其特征在于,所述孔与相邻近的所述组装缝隙之间相距14mm-16mm。
3.如权利要求2所述的三瓣锅,其特征在于,所述孔与相邻近的所述组装缝隙之间相距15mm。
4.如权利要求3所述的三瓣锅,其特征在于,每一所述孔的孔径为2.5-4.5mm,孔深为19-21mm。
5.如权利要求4所述的三瓣锅,其特征在于,每一所述孔的孔径为3.5mm,孔深为20mm。
6.如权利要求1所述的三瓣锅,其特征在于,所述卡合装置的由金属钼制成。
7.如权利要求6所述的三瓣锅,其特征在于,所述卡合装置的一所述卡脚的长度小于另一所述卡脚的长度,所述两卡脚的长度小于或等于所述孔的深度。
8.如权利要求7所述的三瓣锅,其特征在于,所述卡合装置的一所述卡脚的长度为15mm,另一所述卡脚的长度为20mm。
9.如权利要求1至8任一权利要求所述的三瓣锅,其特征在于,所述通孔相距所述三瓣锅的上端284.5mm-286.5mm。
10.如权利要求9所述的三瓣锅,其特征在于,所述通孔相距所述三瓣锅的上端285.5mm。
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