CN205062230U - 一种具有断裂保护的石墨三瓣埚 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，包括三个石墨三瓣埚瓣体（1）和连接件（3），所述石墨三瓣埚瓣体（1）的上沿两端分别开设有盲孔（2），相邻两个石墨三瓣埚瓣体（1）之间通过连接件（4）连接，其中，连接件（4）的一端固定在一个石墨三瓣埚瓣体（1）的盲孔（2）内，连接件（4）的另一端固定在另一个石墨三瓣埚瓣体（1）的盲孔（2）内。本实用新型中的石墨三瓣埚瓣体的上沿两端分别开设有盲孔，盲孔内插入有石墨螺栓，每两个石墨三瓣埚瓣体的连接处用石墨模套套住石墨螺栓，不仅能够防止石墨三瓣埚间的缝隙在外力作用下张开，有效提高石墨三瓣埚寿命，并能够防止石墨三瓣埚发生断裂时接触加热器，造成打火及漏硅事故。
Description
技术领域
本实用新型涉及石墨三瓣埚领域，特别是涉及一种具有断裂保护的石墨三瓣埚。
背景技术
石墨三瓣埚是单晶炉内十分重要的热场部件，多晶硅原料放在高纯石英坩埚内，高纯石英坩埚放在石墨三瓣埚内，加热器在石墨三瓣埚外通过热辐射和热传递的方式加热多晶硅料。石英坩埚的熔点为1750℃，但当温度达到1200℃时，石英坩埚就软化，完全贴合在石墨三瓣埚上。所以石墨三瓣埚要承受石英坩埚及硅料的重力及硅料自转产生的离心力。这两个力的作用下会使石墨三瓣埚每瓣间产生一定的缝隙，在单晶炉内高温下，这个缝隙的石墨容易与硅蒸汽发生反应，生成SiC。由于SiC与石墨的热膨胀系数不一样，在反复使用热胀冷缩的情况下，SiC容易脱落，导致石墨三瓣埚每瓣的连接处厚度减薄，甚至出现断裂。拉晶时出现石墨三瓣埚断裂是很严重的事故，轻则产生墩埚，浪费石英坩埚、重新酸性多晶硅料和拉晶时间等成本，重则造成加热器打火、漏硅等损坏单晶热场石墨件的事故。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，能有效提高石墨三瓣埚寿命，并防止三瓣埚断裂而掉落，具有取材方便，加工简单，效果明显的优点。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现的：一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，包括三个石墨三瓣埚瓣体和连接件，所述石墨三瓣埚瓣体的上沿两端分别开设有盲孔，相邻两个石墨三瓣埚瓣体之间通过连接件连接，其中，连接件的一端固定在一个石墨三瓣埚瓣体的盲孔内，连接件的另一端固定在另一个石墨三瓣埚瓣体的盲孔内。
进一步的，所述盲孔的直径为3～10mm，深度为8～25mm。
进一步的，所述盲孔的直径为6mm，深度为15mm。
进一步的，所述连接件的材料为石墨。
进一步的，所述连接件包括螺栓和连接板，连接板的两端开设有与盲孔相匹配的通孔，螺栓穿过连接板的通孔插入盲孔内。
进一步的，所述螺栓为石墨螺栓，所述连接板为石墨连接板。
进一步的，所述连接件的形状与石墨三瓣埚瓣体上沿的形状相适应，呈弧形。
进一步的，所述螺栓的外径为3～10mm，长度为15～50mm。
进一步的，所述螺栓的外径为6mm，长度为30mm。
本实用新型的有益效果是：本实用新型中的石墨三瓣埚瓣体的上沿两端分别开设有盲孔，盲孔内插入有石墨螺栓，每两个石墨三瓣埚瓣体的连接处用石墨模套套住石墨螺栓，不仅能够防止石墨三瓣埚间的缝隙在外力作用下张开，并能够防止石墨三瓣埚发生断裂时接触加热器，造成打火及漏硅事故。本实用新型能有效提高石墨三瓣埚寿命，并防止三瓣埚断裂而掉落，具有取材方便，加工简单，效果明显的优点。
附图说明
图1为本实用新型中石墨三瓣埚的俯视图；
图2为本实用新型中石墨三瓣埚瓣体的剖视图；
图3为本实用新型中石墨三瓣埚的剖视图；
图4为本实用新型图3中的局部A的放大示意图；
图中，1-石墨三瓣埚瓣体，2-盲孔，3-连接件，4-连接板，5-螺栓。
具体实施方式
下面结合附图进一步详细描述本实用新型的技术方案，但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。
如图1所示，一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，包括三个石墨三瓣埚瓣体1和连接件3。
如图2所示，所述石墨三瓣埚瓣体1的上沿两端分别开设有盲孔2，相邻两个石墨三瓣埚瓣体1之间通过连接件4连接。
如图3所示，其中，连接件4的一端固定在一个石墨三瓣埚瓣体1的盲孔2内，连接件4的另一端固定在另一个石墨三瓣埚瓣体1的盲孔2内。
进一步的，所述盲孔2的直径为3～10mm，深度为8～25mm。
进一步的，所述盲孔2的直径为6mm，深度为15mm。
进一步的，所述连接件3的材料为石墨。
进一步的，所述连接件3包括螺栓3和连接板4，连接板4的两端开设有与盲孔2相匹配的通孔，螺栓5穿过连接板4的通孔插入盲孔2内。
进一步的，所述螺栓5为石墨螺栓，所述连接板4为石墨连接板。
进一步的，所述连接件3的形状与石墨三瓣埚瓣体1上沿的形状相适应，呈弧形。
进一步的，所述螺栓5的外径为3～10mm，长度为15～50mm。
进一步的，所述螺栓5的外径为6mm，长度为30mm。
如图4所示，本实用新型在石墨三瓣埚每瓣瓣体1的上沿连接处打一个直径Φ6mm、深度15mm的盲孔2，再用外径Φ6mm，长度Φ30mm的石墨螺栓插入盲孔内，每两个三瓣埚的连接处用石墨模套即连接板套住石墨螺栓，防止石墨三瓣埚在外力作用下张开，有效延长三瓣埚的使用寿命，并能有在一定程度上避免断裂的三瓣埚与加热器接触而出现打火及漏硅事故。
并且由于连接件2的材料为等静压石墨，等静压石墨也是三瓣埚的制作材料，材料来源十分丰富，价格便宜，使得本实用新型的成本很低。
Claims (6)
1.一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，其特征在于：包括三个石墨三瓣埚瓣体（1）和连接件（3），所述石墨三瓣埚瓣体（1）的上沿两端分别开设有盲孔（2），相邻两个石墨三瓣埚瓣体（1）之间通过连接件（3）连接，其中，连接件（3）的一端固定在一个石墨三瓣埚瓣体（1）的盲孔（2）内，连接件（3）的另一端固定在另一个石墨三瓣埚瓣体（1）的盲孔（2）内；
所述连接件（3）包括螺栓（5）和连接板（4），连接板（4）的两端开设有与盲孔（2）相匹配的通孔，螺栓（5）穿过连接板（4）的通孔插入盲孔（2）内；所述连接件（3）的材料为石墨；所述螺栓（5）为石墨螺栓，所述连接板（4）为石墨连接板。
2.根据权利要求1所述的一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，其特征在于：所述盲孔（2）的直径为3～10mm，深度为8～25mm。
3.根据权利要求1所述的一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，其特征在于：所述盲孔（2）的直径为6mm，深度为15mm。
4.根据权利要求1所述的一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，其特征在于：所述连接件（3）的形状与石墨三瓣埚瓣体（1）上沿的形状相适应，呈弧形。
5.根据权利要求1所述的一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，其特征在于：所述螺栓（5）的外径为3～10mm，长度为15～50mm。
6.根据权利要求1所述的一种具有断裂保护的石墨三瓣埚，其特征在于：所述螺栓（5）的外径为6mm，长度为30mm。
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| CN201520735557.XU CN205062230U (zh) | 2015-09-22 | 2015-09-22 | 一种具有断裂保护的石墨三瓣埚 |
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Publications (1)
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| CN201520735557.XU Active CN205062230U (zh) | 2015-09-22 | 2015-09-22 | 一种具有断裂保护的石墨三瓣埚 |
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|---|---|
| CN (1) | CN205062230U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112941618A (zh) * | 2019-12-11 | 2021-06-11 | 有研半导体材料有限公司 | 一种延长石墨坩埚使用寿命的方法 |
| CN115504043A (zh) * | 2022-09-29 | 2022-12-23 | 中钢新型材料股份有限公司 | 一种高贴合度的石墨制品的pe膜包装生产线及方法 |
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2015
- 2015-09-22 CN CN201520735557.XU patent/CN205062230U/zh active Active
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