JP5835158B2 - 黒鉛ルツボ - Google Patents
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Description
従来、CZ法による単結晶製造方法において石英ルツボに収容された単結晶原料を溶融する際、黒鉛ルツボからの熱伝達により石英ルツボが高温になり、軟化し、石英ルツボの上端が内側に倒れ込む現象が発生することがあり、これにより、結晶成長に必要な石英ルツボ及び黒鉛ルツボの上下及び回転動に支障をきたし、場合によっては単結晶製造の操業継続が不可能になることがあった。
図1、2に示すように、本発明の黒鉛ルツボは直胴部A、湾曲部B、底部Cからなるものである。直胴部Aは黒鉛ルツボの上端部分から続く円筒形の部分であり、黒鉛ルツボの内面及び外面が鉛直方向に沿った部分である。湾曲部Bは直胴部Aと底部Cとの間の部分であり、内面及び外面が湾曲しており、鉛直及び水平方向に沿っていない部分である。底部Cは黒鉛ルツボの底の部分であり、内面及び外面が水平方向に平坦であっても湾曲していても良い。
図3に示す黒鉛ルツボも図1、2と同様に直胴部A、湾曲部B、底部Cからなるものである。
図4に示すように、本発明の黒鉛ルツボに形成される溝は、底部が平坦であることが好ましい。溝の底部が平坦であれば、単結晶原料を溶融する段階に軟化した石英ルツボのめり込みによる密着を抑制することができる。
図5に示した単結晶製造装置に図1に示した黒鉛ルツボを装備し、シリコン単結晶の製造を行った。使用した黒鉛ルツボは直胴部の高さ方向における全長が200mmであり、直胴部の内面の全体(直胴部上端から0mm〜200mmの領域)に溝を形成しており、溝の深さが2mm、幅が2mm、間隔が2mmで、原料の溶融には、従来の黒鉛ルツボを使用した単結晶製造装置であれば石英ルツボの倒れ込みが発生するヒーター電力(通常印加する溶融電力より15%高い値)を印加した。
図5に示した単結晶製造装置に図2に示した黒鉛ルツボを装備し、シリコン単結晶の製造を行った。使用した黒鉛ルツボは直胴部の高さ方向における全長が200mmであり、直胴部の内面のcの領域(直胴部上端から50mm〜150mmの領域)に溝を形成しており、溝の深さが2mm、幅が2mm、間隔が2mmで、原料の溶融には、従来の黒鉛ルツボを使用した単結晶製造装置であれば石英ルツボの倒れ込みが発生するヒーター電力(通常印加する溶融電力より15%高い値)を印加した。
図5に示した単結晶製造装置に図2に示した黒鉛ルツボを装備し、シリコン単結晶の製造を行った。使用した黒鉛ルツボは直胴部の高さ方向における全長が200mmであり、直胴部の内面のcの領域(直胴部上端から50mm〜150mmの領域)に溝を形成しており、溝の深さが3mm、幅が3mm、間隔が5mmで、原料の溶融には、従来の黒鉛ルツボを使用した単結晶製造装置であれば石英ルツボの倒れ込みが発生するヒーター電力(通常印加する溶融電力より15%高い値)を印加した。
実施例1、2で使用した黒鉛ルツボと異なり、直胴部の内面に溝を形成していない黒鉛ルツボを使用した。それ以外は実施例1、2と同様の形態でシリコン単結晶の製造を行った。
実施例1、2で使用した黒鉛ルツボと異なり、直胴部の内面に溝を形成していない黒鉛ルツボを使用し、また原料を溶融する際のヒーター電力として実施例1、2より15%低い、通常の電力を印加した。それ以外は、実施例1、2と同様の形態でシリコン単結晶の製造を行った。
図5に示した単結晶製造装置に図3に示した黒鉛ルツボを装備し、シリコン単結晶の製造を行った。使用した黒鉛ルツボは直胴部の高さ方向における全長が200mmであり、直胴部の内面のdの領域(直胴部上端から50mm〜120mmの領域)に溝を形成しており、溝の深さが2mm、幅が2mm、間隔が2mmで、原料の溶融には、従来の黒鉛ルツボを使用した単結晶製造装置であれば石英ルツボの倒れ込みが発生するヒーター電力(通常印加する溶融電力より15%高い値)を印加した。
6…石英ルツボ、 7…原料融液、 8…ガス整流筒、 10…単結晶製造装置、
A…直胴部、 B…湾曲部、 C…底部、 e…溝の深さ、 f…溝の幅、
g…溝の間隔。
Claims (3)
- CZ法によりシリコン単結晶を製造する際に用いられる、シリコン融液を収容する石英ルツボを支持する黒鉛ルツボであって、
該黒鉛ルツボは直胴部、湾曲部、及び底部からなるものであり、
前記直胴部の内面のみに、前記黒鉛ルツボと前記石英ルツボの接触面積を減らすための溝が形成されたものであり、
該溝が形成された領域の面積が前記直胴部の内面の全体の面積の50%以上であって、
前記溝は、幅が2mm以上4mm以下、溝の間隔が2mm以上4mm以下であることを特徴とする黒鉛ルツボ。 - 前記溝が形成された領域が前記直胴部の内面のうち、上端から75%までの領域内であることを特徴とする請求項1に記載の黒鉛ルツボ。
- 前記溝は、深さが2mm以上5mm以下であり、前記溝の底部が平坦であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の黒鉛ルツボ。
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