CN205676556U - 一种多晶铸锭炉底部保温装置 - Google Patents
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Abstract
一种多晶铸锭炉底部保温装置，包括隔热笼，隔热笼内部顶端设有顶部加热器，顶部加热器下端设有石墨顶板，石墨顶板下端设有坩埚，坩埚外侧设有石墨护板，石墨护板外侧设有侧部加热器，坩埚下端设有石墨底板，石墨护板下端设有DS块，所述DS块上端设有DS块上部保温板，DS块下端设有DS块下部保温板，DS块外侧在DS块上部保温板与DS块下部保温板之间设有DS块中部保温板，所述DS块下端连接石墨支柱，石墨支柱下端设有底座。本装置能够使坩埚底部籽晶预留面积从94%提升到100%，同时使晶锭边缘硅棒晶粒更加垂直，从而提高晶锭质量，降低晶锭杂质点，提高晶锭成品率。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种多晶铸锭炉底部保温装置。
背景技术
由于市场的原因，多晶铸锭行业在努力控制成本的同时更加关注多晶硅片的质量，所以多晶铸锭行业采用半熔工艺来提升多晶硅片的转换效率，半熔工艺关键在于晶锭底部籽晶面积。
目前，多晶铸锭行业内晶锭籽晶面积很难做到100%，同时采用半熔工艺铸锭，晶锭中会存在杂质点，会影响晶锭1.5%左右的成品率。
实用新型内容
本实用新型其目的就在于提供一种多晶铸锭炉底部保温装置，解决了晶锭生产过程中，晶锭底部籽晶面积小，且晶锭中会存在杂质点，导致成品率低的问题。
实现上述目的而采取的技术方案，包括隔热笼，隔热笼内部顶端设有顶部加热器，顶部加热器下端设有石墨顶板，石墨顶板下端设有坩埚，坩埚外侧设有石墨护板，石墨护板外侧设有侧部加热器，坩埚下端设有石墨底板，石墨护板下端设有DS块，所述DS块上端设有DS块上部保温板，DS块下端设有DS块下部保温板，DS块外侧在DS块上部保温板与DS块下部保温板之间设有DS块中部保温板，所述DS块下端连接石墨支柱，石墨支柱下端设有底座。
有益效果
与现有技术相比本实用新型具有以下优点。
1. 铸锭熔化阶段：DS块温度不会受到侧部加热器影响，从而保证坩埚底部籽晶预留面积达到100%；
2.铸锭长晶阶段：有效减少晶锭四周的热量散失，减少横向温差，同时减少晶锭边缘长晶速率的波动，降低晶锭杂质点，提升晶锭1%成品率；
3.同时可以防止晶锭边缘温度过低，使晶锭边缘晶粒生长较直。
附图说明
以下结合附图对本实用新型作进一步详述。
图1为本实用新型结构示意图；
图2是DS块下部保温板结构示意图；
图3是DS块中部保温板结构示意图。
具体实施方式
本装置包括隔热笼1，隔热笼1内部顶端设有顶部加热器2，顶部加热器2下端设有石墨顶板3，石墨顶板3下端设有坩埚5，坩埚5外侧设有石墨护板6，石墨护板6外侧设有侧部加热器4，坩埚5下端设有石墨底板7，石墨护板7下端设有DS块9，如图1所示，所述DS块9上端设有DS块上部保温板8，DS块9下端设有DS块下部保温板11，DS块9外侧在DS块上部保温板8与DS块下部保温板11之间设有DS块中部保温板10，所述DS块9下端连接石墨支柱12，石墨支柱12下端设有底座13。
所述DS块下部保温板11上设有孔洞14，且DS块下部保温板11外侧凸出DS块9外侧边缘，如图1、图2所示。
所述DS块中部保温板10、DS块下部保温板11均使用废弃隔热笼保温板制作，如图2、图3所示。
本实用新型设计有效减少晶锭四周的热量散失，减少横向温差，同时减少晶锭边缘长晶速率的波动，降低晶锭杂质点，提升晶锭1%成品率，同时可以防止晶锭边缘温度过低，使晶锭边缘晶粒生长较直。
Claims (3)
1.一种多晶铸锭炉底部保温装置，包括隔热笼（1），隔热笼（1）内部顶端设有顶部加热器（2），顶部加热器（2）下端设有石墨顶板（3），石墨顶板（3）下端设有坩埚（5），坩埚（5）外侧设有石墨护板（6），石墨护板（6）外侧设有侧部加热器（4），坩埚（5）下端设有石墨底板（7），石墨底板（7）下端设有DS块（9），其特征在于，所述DS块（9）上端设有DS块上部保温板（8），DS块（9）下端设有DS块下部保温板（11），DS块（9）外侧在DS块上部保温板（8）与DS块下部保温板（11）之间设有DS块中部保温板（10），所述DS块（9）下端连接石墨支柱（12），石墨支柱（12）下端设有底座（13）。
2.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉底部保温装置，其特征在于，所述DS块下部保温板（11）上设有孔洞（14），且DS块下部保温板（11）外侧凸出DS块（9）外侧边缘。
3.根据权利要求1所述的一种多晶铸锭炉底部保温装置，其特征在于，所述DS块中部保温板（10）、DS块下部保温板（11）均使用废弃隔热笼保温板制作。
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| CN201620502911.9U CN205676556U (zh) | 2016-05-30 | 2016-05-30 | 一种多晶铸锭炉底部保温装置 |
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| CN205676556U true CN205676556U (zh) | 2016-11-09 |
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| CN (1) | CN205676556U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106702486A (zh) * | 2017-03-30 | 2017-05-24 | 韩华新能源科技有限公司 | 高晶体质量多晶硅铸锭热场 |
| CN114959871A (zh) * | 2022-06-16 | 2022-08-30 | 西安交通大学 | 一种铸造单晶炉的散热结构及铸造单晶炉 |
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2016
- 2016-05-30 CN CN201620502911.9U patent/CN205676556U/zh not_active Expired - Fee Related
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Legal Events
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