CN205205273U - 具有可调节连接杆的铸锭炉热场装置 - Google Patents
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Abstract
具有可调节连接杆的铸锭炉热场装置,涉及多晶铸锭炉热场技术领域,包括炉体,炉体内有石英坩埚,底部有石墨底板的坩埚放置在由三根石墨柱支撑的热交换台上,坩埚四周为石墨护板,外侧环绕有通过连接杆固定的侧部加热器,坩埚上方安装固定有顶部加热器,加热器和热交换台外围是可开合的隔热笼,连接侧部加热器和石墨电极的连接杆为分体可调节式结构。本实用新型的有益效果是:侧部加热器连接杆分为A、B两部分,使用时可根据不同铸锭工艺调节连接杆A、B两部分的固定位置,进而控制侧部加热器上下高度可调,达到缩短工艺周期,稳定化料固液界面,提高硅锭可利用率,从而达到节能降耗、降低生产成本的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶铸锭炉热场技术领域,具体涉及一种可调节连接杆的热场装置。
背景技术
目前多晶铸锭主要有半熔和全熔两种工艺路线,全熔要求坩埚内的硅料全部熔完,而半熔工艺则要求熔化时控制坩埚底部的温度,使铺在坩埚底部籽晶碎料部分熔化后进入长晶,熔融的硅液在未熔的碎料上生长出大小均匀且竖直的晶粒。现有的铸锭炉侧部加热器一般为固定高度,全熔工艺无需调整;但使用半熔工艺时如果侧部加热器靠下,化料时坩埚边角的籽晶碎料会因为靠近侧部加热器热量辐射大熔化过快,导致化料固液界面不平,从而影响硅锭的晶粒均匀性和晶体缺陷。故需要一种可调节连接杆,根据全熔和半熔两种不同工艺来调节侧部加热器的高度。
发明内容
本实用新型的目的是提供了一种具有可调节连接杆的铸锭炉热场装置,根据全熔和半熔两种不同工艺通过调整连接杆A、B两部分的连接位置来调节侧部加热器的高度,达到稳定化料固液界面、提高硅锭可利用率的效果。
本实用新型的目的是通过以下装置实现的:
具有可调节连接杆的铸锭炉热场装置,包括炉体,炉体内有石英坩埚,底部有石墨底板的坩埚放置在由三根石墨柱支撑的热交换台上,坩埚四周为石墨护板,外侧环绕有通过连接杆固定的侧部加热器,坩埚上方安装固定有顶部加热器,加热器和热交换台外围是可开合的隔热笼,其特征在于:连接侧部加热器和石墨电极的连接杆为分体可调节式结构。
本实用新型还可通过以下方案进一步实现:
所述连接杆由A、B两部分组成,材质为等静压石墨材料。
所述连接杆(包括A、B两部分)厚度为21mm,宽度为133mm。
所述连接杆两部分连接处开3排6个孔,孔径大小为12mm,排与排之间孔间距为40mm。所述连接杆两部分连接处通过4个螺杆和螺母紧固,材质为石墨或者碳碳材料。
本实用新型的有益效果是:侧部加热器连接杆分为A、B两部分,两部分连接处开3排6个孔,通过4个螺杆和螺母紧固,使用时可根据不同铸锭工艺调节连接杆A、B两部分的固定位置,进而控制侧部加热器上下高度可调,达到缩短工艺周期,稳定化料固液界面,提高硅锭可利用率,从而达到节能降耗、降低生产成本的效果。
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,并使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。
附图说明
图1为本实用新型安装位置示意图,图2为本实用新型结构示意图,图3为图2的A向视图。
图中:1炉体,2石英坩埚,3石墨底板,4热交换台,5石墨支撑柱,6石墨护板,7顶部加热器,8侧部加热器,9侧部加热器连接杆,10隔热笼,11连接杆A,12连接杆B,13螺孔。
具体实施方式
实施例:
如图1、图2、图3所示,炉体1内有盛放硅料的石英坩埚2,坩埚底部为石墨底板3,并放置在热交换台4上,热交换台通过三根石墨柱5支撑,坩埚四周为石墨护板6,外侧环绕有通过连接杆9固定的侧部加热器8,坩埚上方安装固定有顶部加热器7,加热器和热交换台外围是可开合的隔热笼10,连接侧部加热器和石墨电极的连接杆9为分体可调节式结构,分为连接杆A11和连接杆B12,连接处开三排六个螺孔13。使用时可根据不同铸锭工艺调节连接杆A、B两部分的固定位置,进而控制侧部加热器上下高度可调,达到缩短工艺周期,稳定化料固液界面,提高硅锭可利用率,从而达到节能降耗、降低生产成本的效果。
以上所述,仅为本实用新型的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.具有可调节连接杆的铸锭炉热场装置,包括炉体,炉体内有石英坩埚,底部有石墨底板的坩埚放置在由三根石墨柱支撑的热交换台上,坩埚四周为石墨护板,外侧环绕有通过连接杆固定的侧部加热器,坩埚上方安装固定有顶部加热器,加热器和热交换台外围是可开合的隔热笼,其特征在于:连接侧部加热器和石墨电极的连接杆为分体可调节式结构。
2.根据权利要求1所述的具有可调节连接杆的铸锭炉热场装置,其特征在于:所述连接杆由A、B两部分组成。
3.根据权利要求2所述的具有可调节连接杆的铸锭炉热场装置,其特征在于:所述连接杆厚度为21mm,宽度为133mm。
4.根据权利要求2所述的具有可调节连接杆的铸锭炉热场装置,其特征在于:所述连接杆两部分连接处开3排6个孔,孔径大小为12mm,排与排之间孔间距为40mm;所述连接杆两部分连接处通过4个螺杆和螺母紧固。
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