CN202164380U - 高产出多晶硅铸锭炉热场结构 - Google Patents

高产出多晶硅铸锭炉热场结构 Download PDF

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Abstract

本实用新型涉及太阳能电池铸锭技术领域,尤其是一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构,包括带吊杆的隔热笼、上保温板、带支柱的下保温板和隔热笼内的助凝支撑块,助凝支撑块上放置石墨坩埚以及石墨坩埚内的石英坩埚,石墨坩埚上设置有坩埚盖板,坩埚盖板上方具有顶加热器,石墨坩埚周围具有上下设置的可独立控制侧上加热器和侧下加热器,顶加热器与助凝支撑块之间的距离580mm~740mm。本实用新型的有益效果是:在目前450kg多晶铸锭炉型上,实现硅料装料量达550-750kg,提高了铸锭的产能、晶锭的利用率,晶锭高度可达340mm~465mm;同时由于侧面加热器分成两个加热区,可节约能耗,降低整体铸锭成本。

Description

高产出多晶硅铸锭炉热场结构
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池铸锭技术领域,尤其是一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构。
背景技术
在太阳能光伏领域,利用定向凝固的方法生产多晶硅锭是普遍采用的方法,其基本原理是:将多晶硅原料放置在石英陶瓷坩埚中,放置在特定的热场系统中,加热至完全融化;然后从坩埚的底部开始冷却,硅溶液在坩埚底部开始结晶,逐渐向上凝固;完成生长过程后,通常会将热场重新闭合,并将多晶铸锭保温一段时候后开始冷却。目前行业内普遍采用450kg多晶铸锭炉型,由于生产能力或者切片机载荷的问题,实际投料量一般在390-420kg。随着行业的发展,竞争越来越激烈,各太阳能电池生产厂家越来越注重对成本的控制,为了增大产能降低能本,各种新的设备不断被研发出,多晶炉有更大的800kg炉型研发成功,锭切片机载荷也逐渐增大,如LDK在09年下半年有生产出800kg的大型锭切片机,Ferro Tec.2010上半年行业展会上展出HXH-800a,可装载800kg硅料。这些大炉型都在往横向发展,即原来450kg多晶铸锭炉型,可以切割25个截面为156mm×156mm的小块,800kg炉型的则可切割出36个这样的小块,但与其配套的大型坩埚生产工艺还未成熟,成本较高,且对多晶铸锭生产厂商而言必须购买新的炉子,不能在原有炉型上升级,因为原有炉型在横向已无发展空间。同时,配套的开方机也必须加宽升级。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构,通过热场结构的优化,实现更大的装料量,提高铸锭的产能和晶锭的利用率,缩短生产周期,总体上大幅度降低铸锭成本。即在原来450kg多晶铸锭炉型基础上,往纵向发展,实现较大的装料量。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构,包括带吊杆的隔热笼、上保温板、带支柱的下保温板和隔热笼内的助凝支撑块,助凝支撑块上放置石墨坩埚以及石墨坩埚内的石英坩埚,石墨坩埚上设置有坩埚盖板,坩埚盖板上方具有顶加热器,石墨坩埚周围具有上下设置的可独立控制侧上加热器和侧下加热器。
顶加热器、侧上加热器和侧下加热器连接于上保温板上。
顶加热器与助凝支撑块之间的距离580mm~740mm。
石英坩埚的高度增加至装料量达550kg-750kg。
本实用新型的有益效果是:在目前450kg多晶铸锭炉型上,通过工艺优化,提出一种具有较高切割长度的大型多晶锭的生产方法,实现比较大的装料量,硅料装料量达550-750kg,这样可提高铸锭的产能、晶锭的利用率,晶锭高度可达340mm~465mm;同时由于侧面加热器分成两个加热区,可节约能耗,降低整体铸锭成本。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明;
图1是本实用新型的结构示意图;
图中,1.上保温板,2.顶加热器,3.侧上加热器,4.侧下加热器,5.隔热笼,6.石墨坩埚,7.助凝支撑块,8.上保温板,9.石英坩埚,10.坩埚盖板。
具体实施方式
如图1所示,一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构,包括带吊杆的隔热笼5和上保温板1,带支柱的下保温板8和隔热笼5内的助凝支撑块7,助凝支撑块7上放置石墨坩埚6以及石墨坩埚6内的石英坩埚9,石墨坩埚6上设置有坩埚盖板10,坩埚盖板10上方具有连接于上保温板1上的顶加热器2,石墨坩埚6周围具有连接于上保温板1上的上下设置地上加热器3和侧下加热器4,两个侧加热器可独立控制。顶加热器与助凝支撑块之间的距离580mm~740mm。石英坩埚的高度增加至装料量达550kg-750kg。
下面结合多晶硅的铸锭生产对本实用新型做进一步介绍。
石英坩埚9装满550-750kg硅料后,外包石墨坩埚6,放置于助凝支撑块7上,隔热笼5和下保温板8闭合,将炉体抽真空,达到工艺要求真空度后,顶加热器2、侧上加热器3和侧下加热器4开始工作,初步预热后逐渐通入氩气,但炉体仍然保持在负压状态,由于隔热笼5的保温作用,可以将隔热笼5内的温度升高到1500℃左右的高温,使硅料在十多个小时内升温融化。在化料期间流通的氩气可携带化料挥发出来的杂质。进入长晶阶段,按照工艺设定缓慢升起隔热笼5,下保温板8与隔热笼5不再闭合,助凝支撑块7底部在热辐射的作用下迅速降温,使得石英坩埚9底部因温度降低首先开始结晶生长,根据工艺要求,侧下加热器4可以逐渐停止工作,节约能耗,通过顶加热器2和侧上加热器3维持上部硅液所需要的高温环境。这样,通过控制加热和隔热笼的提升,使得硅的结晶界面形成一个垂直的温度梯度场,从下往上逐步结晶,生产出高产出的多晶硅锭。

Claims (4)

1.一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构,包括带吊杆的隔热笼(5)、上保温板(1)、带支柱的下保温板(8)和隔热笼(5)内的助凝支撑块(7),助凝支撑块(7)上放置石墨坩埚(6)以及石墨坩埚(6)内的石英坩埚(9),石墨坩埚(6)上设置有坩埚盖板(10),其特征是:所述的坩埚盖板(10)上方具有顶加热器(2),石墨坩埚(6)周围具有上下设置地可独立控制侧上加热器(3)和侧下加热器(4)。
2.根据权利要求1所述的一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构,其特征是:所述的顶加热器(2)、侧上加热器(3)和侧下加热器(4)连接于上保温板(1)上。
3.根据权利要求1所述的一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构,其特征是:顶加热器(2)与助凝支撑块(7)之间的距离580mm~740mm。
4.根据权利要求3所述的一种高产出多晶硅铸锭炉热场结构,其特征是:所述的石英坩埚(9)的高度增加至装料量达550kg-750kg。 
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