CN103526286A - 多晶铸锭炉精准调温装置 - Google Patents
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Abstract
本发明的目的是提供一种多晶铸锭炉精准调温装置，多晶铸锭炉包括炉壳，炉壳顶部为炉盖；其特征在于：炉壳内为保温层，保温层内设坩埚，坩埚上方设有上加热器；坩埚底部设有底座，底座下方设有加热板；坩埚外侧壁纵截面上对称设有若干组加热器，构成环状加热器；加热板下方设有热门。
Description
技术领域
本发明涉及一种多晶铸锭炉精准调温装置。
背景技术
铸锭多晶硅存在大量的晶界，晶界是指晶粒与晶粒之间的分界面，洁净的晶界不显活性，对少数载流度寿命并无影响或者只有微小的影响，但是杂质易于在晶界处偏聚或沉淀，此时晶界将具有电活性，会显著降低少数载流度寿命，晶界越多影响越大。而现有的多晶铸锭炉由于加热结构设计上的不足，难以满足生产要求，难以精确控制硅锭的生产温度，最终导致转换效率偏低，硅锭生成不均匀。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种多晶铸锭炉精准调温装置。
具体方案如下：
一种多晶铸锭炉精准调温装置，多晶铸锭炉包括炉壳，炉壳顶部为炉盖；其特征在于：炉壳内为保温层，保温层内设坩埚，坩埚上方设有上加热器；坩埚底部设有底座，底座下方设有加热板；坩埚外侧壁纵截面上对称设有若干组加热器，构成环状加热器；加热板下方设有热门。
优选的，热门下方设有前后左右四块可调开度挡板，四块挡板由减速电机控制。
优选的，炉壳顶部中央设有红外测温仪。
优选的，可调开度挡板下方设有冷却铜板。
有益效果：
本发明的多晶铸锭炉精准调温装置采用上加热器和加热板配置并在热场四周增设了可以独立控制的环状加热器，在结晶过程中环状加热器开启供热用于补偿热场四壁的热损失；保持整个热场温度的均匀性，在横截面上，温度梯度为零。纵向温度由下而上温度梯度逐减，并随晶体生长的温度需要可精准调节。可以完美控制结晶过程长晶温度梯度，有效的降低了晶界的产生，保证晶锭的转换效率及质量；可调开度挡板弥补了传统多晶炉只能依靠热门开关控制晶体生长的单一方式，可通过减速电机对四块挡板的控制，逐级控制晶体生长过程；红外测温仪用于检测坩埚底部的温度。
附图说明
图1为本发明的多晶铸锭炉精准调温装置的结构示意图。
其中：1-可调开度档板、2-上加热器、3-坩埚、4-减速电机、5-冷却铜板、6-红外测温仪、7-炉盖、8-炉壳、9-保温层、10-热门、11-底座、12-加热板、13-环状加热器。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明作进一步描述。
一种多晶铸锭炉精准调温装置，多晶铸锭炉包括炉壳8，炉壳8顶部为炉盖7；其特征在于：炉壳8内为保温层9，保温层9内设坩埚3，坩埚3上方设有上加热器2；坩埚3底部设有底座11，底座11下方设有加热板12；坩埚3外侧壁纵截面上对称设有若干组加热器，构成环状加热器13；加热板12下方设有热门10。 热门10下方设有前后左右四块可调开度挡板1，四块挡板由减速电机4控制。可调开度挡板1下方设有冷却铜板5。炉壳8顶部中央设有红外测温仪6。
检测是通过三个红外测温仪和两个热电偶实现的测温。检测点设在近底部的两侧对应端，和顶端。还有冷却水控制系统也是控温的主要手段。各冷却水路都设置了进水温度和回水温度的测控系统，使得每一路水循环都能够随着长晶工艺需要做流量调整，使温度梯度能精准得以控制。
最后，还需要注意的是，以上列举的仅是本发明的具体实施例子，显然，本发明不限于以上实施例子，还可以有许多变形。本领域的普通技术人员能从本发明公开的内容直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本发明的保护范围。
Claims (4)
1.一种多晶铸锭炉精准调温装置，多晶铸锭炉包括炉壳，炉壳顶部为炉盖；其特征在于：炉壳内为保温层，保温层内设坩埚，坩埚上方设有上加热器；坩埚底部设有底座，底座下方设有加热板；坩埚外侧壁纵截面上对称设有若干组加热器，构成环状加热器；加热板下方设有热门。
2.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉精准调温装置，其特征在于：热门下方设有前后左右四块可调开度挡板，四块挡板由减速电机控制。
3.根据权利要求1所述的多晶铸锭炉精准调温装置，其特征在于：炉壳顶部中央设有红外测温仪。
4.根据权利要求2所述的多晶铸锭炉精准调温装置，其特征在于：可调开度挡板下方设有冷却铜板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201210230252.4A Pending CN103526286A (zh) | 2012-07-02 | 2012-07-02 | 多晶铸锭炉精准调温装置 |
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| Country | Link |
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| CN (1) | CN103526286A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115354390A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-11-18 | 苏州步科斯新材料科技有限公司 | 一种高均匀性铸锭单晶热场结构及使用方法 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006017622A1 (de) * | 2006-04-12 | 2007-10-18 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von multikristallinem Silizium |
| CN200968773Y (zh) * | 2006-05-08 | 2007-10-31 | 上海普罗新能源有限公司 | 制备多晶硅用铸锭炉 |
| CN101165226A (zh) * | 2007-08-23 | 2008-04-23 | 浙江精工科技股份有限公司 | 多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置 |
| US20080257254A1 (en) * | 2007-04-17 | 2008-10-23 | Dieter Linke | Large grain, multi-crystalline semiconductor ingot formation method and system |
| CN201473323U (zh) * | 2009-07-27 | 2010-05-19 | 管悦 | 一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉 |
| CN201495105U (zh) * | 2009-08-21 | 2010-06-02 | 南安市三晶阳光电力有限公司 | 一种梯度控温的铸锭炉加热器 |
| CN101775642A (zh) * | 2010-03-04 | 2010-07-14 | 北京中联阳光科技有限公司 | 多晶硅铸锭炉用组合式电阻加热器及节能热场设计 |
| CN202164384U (zh) * | 2011-07-29 | 2012-03-14 | 江苏兆晶光电科技发展有限公司 | 生产具有高转换效率准单晶硅锭的铸锭炉 |
| CN202164380U (zh) * | 2011-06-17 | 2012-03-14 | 常州天合光能有限公司 | 高产出多晶硅铸锭炉热场结构 |
| CN202954131U (zh) * | 2012-07-02 | 2013-05-29 | 浙江宏业新能源有限公司 | 多晶铸锭炉精准调温装置 |
-
2012
- 2012-07-02 CN CN201210230252.4A patent/CN103526286A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE102006017622A1 (de) * | 2006-04-12 | 2007-10-18 | Schott Ag | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von multikristallinem Silizium |
| CN200968773Y (zh) * | 2006-05-08 | 2007-10-31 | 上海普罗新能源有限公司 | 制备多晶硅用铸锭炉 |
| US20080257254A1 (en) * | 2007-04-17 | 2008-10-23 | Dieter Linke | Large grain, multi-crystalline semiconductor ingot formation method and system |
| CN101165226A (zh) * | 2007-08-23 | 2008-04-23 | 浙江精工科技股份有限公司 | 多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置 |
| CN201473323U (zh) * | 2009-07-27 | 2010-05-19 | 管悦 | 一种有效控制热场的多晶硅铸锭炉 |
| CN201495105U (zh) * | 2009-08-21 | 2010-06-02 | 南安市三晶阳光电力有限公司 | 一种梯度控温的铸锭炉加热器 |
| CN101775642A (zh) * | 2010-03-04 | 2010-07-14 | 北京中联阳光科技有限公司 | 多晶硅铸锭炉用组合式电阻加热器及节能热场设计 |
| CN202164380U (zh) * | 2011-06-17 | 2012-03-14 | 常州天合光能有限公司 | 高产出多晶硅铸锭炉热场结构 |
| CN202164384U (zh) * | 2011-07-29 | 2012-03-14 | 江苏兆晶光电科技发展有限公司 | 生产具有高转换效率准单晶硅锭的铸锭炉 |
| CN202954131U (zh) * | 2012-07-02 | 2013-05-29 | 浙江宏业新能源有限公司 | 多晶铸锭炉精准调温装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115354390A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-11-18 | 苏州步科斯新材料科技有限公司 | 一种高均匀性铸锭单晶热场结构及使用方法 |
| CN115354390B (zh) * | 2022-07-05 | 2024-01-30 | 苏州步科斯新材料科技有限公司 | 一种高均匀性铸锭单晶热场结构 |
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