CN202881433U - 一种跟随固液界面同步提升的隔热装置 - Google Patents
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Abstract
在原有保温材料的基础上，在隔热笼内壁增加厚度，并按照工艺过程要求给定固液界面处的液面高度，与工艺曲线配合减缓了熔化期间热场对周边的辐射，使得热场底部呈现较为均匀的温度梯度。在长晶阶段，保温材料随着固液界面的上移而相应提升，减少了不必要的热量辐射对边角长晶的影响，从而提高了晶体生长的垂直度。增加的保温材料阻隔了部分热量散失，同时减少了炉内600mber气体对流对散热的影响，本设计在实际应用中有节约能耗的效果。
Description
技术领域
本实用新型涉及多晶硅铸锭炉技术领域，尤其是多晶硅铸锭炉热场保温技术领域。
背景技术
多晶硅铸锭炉隔热笼包括顶板、底板和四周的侧板，且隔热笼侧板分为上下两部分和内外两层，由于隔热笼内部空间过大，对保温效果造成一定影响，影响长晶阶段的温度梯度控制，并且增加了石墨加热器功率，导致铸锭成本的上升。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种跟随固液界面同步提升的隔热装置，它弥补了现有技术的缺陷，在降低生产成本的同时，提高了晶体生长的垂直度，增强了提纯效果并同比提高了产品质量。
为了达到上述目的，本实用新型的技术方案是，一种跟随固液界面同步提升的隔热装置：在原有保温材料的基础上，增加厚度，并按照工艺过程要求给定固液界面处的液面高度。，
所述增加厚度为以H型安装方式分为内外2层90度安装保温材料。
所述安装高度为固液界面起始点之上50-80mm处
本实用新型与现有技术相比，具有以下优点：
一、增加的保温材料与工艺曲线配合，减缓了熔化期间热场对周边的辐射，使得热场底部呈现较为均匀的温度梯度，减少了不必要的热量辐射对边角长晶的影响，从而提高了晶体生长的垂直度；
二、双层H型安装方式，可最大限度的减少对外散热的空隙，达到较好的保温效果；
三、保温厚度增加后，减少热量散失，空间的减小也减缓了对流散热对热场的影响，可以在化料阶段平衡坩埚底部热场，长晶阶段获得良好的温度梯度控制，更有利于晶体的垂直生长。
四、增加的保温材料阻隔了部分热量散失，同时减少了炉内600mber气体对流对散热的影响，本设计在实际应用中有节约能耗的效果。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图给出的实例对本实用新型作进一步详细说明。
图1为本实用新型的结构示意图，如图1所示，隔热笼底4上为石墨平台8，坩埚5及其护板1置于石墨平台8上，在坩埚5内底部铺有一层籽晶2，籽晶2顶部即为固液界面6，在固液界面6上方加装H型双层保温材料7，保温材料7由螺丝3固定于隔热笼壁上，并随之做上下运动。
所述保温材料6的起始安装位置位于固液界面7上移约50-80mm。
所述保温材料6为两边各40mm的双层H型保温材料。
Claims (2)
1.一种跟随固液界面同步提升的隔热装置，其特征是：在现有隔热笼内部增加保温装置，其安装方式为H型，其安装高度为固液界面起始点50-80mm处，隔热装置提升高度在工艺过程中与晶体生长速度同步。
2.根据权利要求1或2所述的一种跟随固液界面同步提升的隔热装置，其特征在于：以碳碳/石墨螺丝螺母对穿连接安装，随隔热笼做上下运动。
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| CN 201220417057 CN202881433U (zh) | 2012-08-13 | 2012-08-13 | 一种跟随固液界面同步提升的隔热装置 |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105970283A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-09-28 | 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 | 一种铸锭炉热场结构及制备工艺 |
| CN109906025A (zh) * | 2019-04-24 | 2019-06-18 | 常州恒创热管理有限公司 | 一种u形均温板及散热器 |
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2012
- 2012-08-13 CN CN 201220417057 patent/CN202881433U/zh not_active Expired - Fee Related
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| CN109906025B (zh) * | 2019-04-24 | 2024-02-20 | 常州恒创热管理有限公司 | 一种u形均温板及散热器 |
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