CN206359656U - 一种多晶硅铸锭炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉,包括上炉体、下炉体和坩埚,所述上炉体下端设有下炉体,所述上炉体和下炉体内部设有坩埚,所述坩埚两侧设有坩埚护板,所述坩埚下方设有坩埚底板,所述坩埚上方设有顶部加热器,所述顶部加热器上方设有石墨电极,所述石墨电极上方设有顶部保温板,所述顶部保温板上端设有顶加厚保温层,所述顶部保温板内部设有铜电极,所述顶部保温板下两端均设有内侧保温板,所述内侧保温板一侧设有外侧保温板,所述外侧保温板另一侧设有侧加厚保温层。本实用新型通过节省了炉体热场成本、人力成本及熔化阶段的能原消耗,降低生产成本,能够节省半熔工艺的熔化、长晶及冷却时间,节省时间成本。
Description
【技术领域】
本实用新型涉及太阳能电池制造技术领域,特别涉及一种多晶硅铸锭炉。
【背景技术】
多晶硅铸锭炉是一种硅重熔铸锭设备,是制备太阳能电池硅片的一道重要工艺装备。晶硅铸锭炉对晶体生长系统的优劣影响主要是由炉中的热场来决定的,而热场的好坏则集中反应在热场的隔热装置的结构和控制上。
多晶硅作为一种制造太阳能电池的原料,大多采用多晶铸锭炉进行生产。随着多晶铸锭技术的发展,单炉投料量越来越多,这样就有效的降低了生产成本。随着投料量的增加,石英坩埚的侧壁所承受的压强随之增加,且大体积坩埚的制造工艺难度越来越大,也会使其内部出现裂纹和气孔的概率增加,以上两方面原因均会导致坩埚开裂溢流的风险越来越大。为此,我们提出一种多晶硅铸锭炉。
【实用新型内容】
本实用新型的主要目的在于提供一种多晶硅铸锭炉,可以有效解决背景技术中的问题。
为实现上述目的,本实用新型采取的技术方案为:
一种多晶硅铸锭炉,包括上炉体、下炉体和坩埚,所述上炉体下端设有下炉体,所述所述上炉体和下炉体内部设有坩埚,所述坩埚两侧设有坩埚护板,所述坩埚下方设有坩埚底板,所述坩埚上方设有顶部加热器,所述顶部加热器上方设有石墨电极,所述石墨电极上方设有顶部保温板,所述顶部保温板上端设有顶加厚保温层,所述顶部保温板内部设有铜电极,所述顶部保温板下两端均设有内侧保温板,所述内侧保温板一侧设有外侧保温板,所述外侧保温板另一侧设有侧加厚保温层,所述坩埚底板下方设有上底部保温板,所述上底部保温板下端设有下底部保温板。
进一步地,所述上炉体和下炉体通过连接件活动连接。
进一步地,所述顶部保温板、内侧保温板和上底部保温板固定连接。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:本实用新型通过节省了炉体热场成本、人力成本及熔化阶段的能原消耗,降低生产成本,能够节省半熔工艺的熔化、长晶及冷却时间,节省时间成本。
【附图说明】
图1为本实用新型多晶硅铸锭炉的整体结构示意图。
图中:1、上炉体;2、铜电极;3、石墨电极;4、顶部加热器;5、坩埚;6、坩埚护板;7、内侧保温板;8、外侧保温板;9、坩埚底板;10、上底部保温板;11、下底部保温板;12、下炉体;13、顶加厚保温层;14、顶部保温板;15、侧加厚保温层;16、连接件。
【具体实施方式】
为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本实用新型。
如图1所示,一种多晶硅铸锭炉,包括上炉体1、下炉体12和坩埚5,所述上炉体1下端设有下炉体12,所述所述上炉体1和下炉体12内部设有坩埚5,所述坩埚5两侧设有坩埚护板6,所述坩埚5下方设有坩埚底板9,所述坩埚5上方设有顶部加热器4,所述顶部加热器4上方设有石墨电极3,所述石墨电极3上方设有顶部保温板14,所述顶部保温板14上端设有顶加厚保温层13,所述顶部保温板14内部设有铜电极2,所述顶部保温板14下两端均设有内侧保温板7,所述内侧保温板7一侧设有外侧保温板8,所述外侧保温板8另一侧设有侧加厚保温层15,所述坩埚底板9下方设有上底部保温板10,所述上底部保温板10下端设有下底部保温板11。
本实用新型多晶硅铸锭炉,本实用新型通过节省了炉体热场成本、人力成本及熔化阶段的能原消耗,降低生产成本,能够节省半熔工艺的熔化、长晶及冷却时间,节省时间成本。
其中,所述上炉体1和下炉体12通过连接件16活动连接。
其中,所述顶部保温板14、内侧保温板7和上底部保温板固定连接。
以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
Claims (3)
1.一种多晶硅铸锭炉,包括上炉体(1)、下炉体(12)和坩埚(5),其特征在于:所述上炉体(1)下端设有下炉体(12),所述所述上炉体(1)和下炉体(12)内部设有坩埚(5),所述坩埚(5)两侧设有坩埚护板(6),所述坩埚(5)下方设有坩埚底板(9),所述坩埚(5)上方设有顶部加热器(4),所述顶部加热器(4)上方设有石墨电极(3),所述石墨电极(3)上方设有顶部保温板(14),所述顶部保温板(14)上端设有顶加厚保温层(13),所述顶部保温板(14)内部设有铜电极(2),所述顶部保温板(14)下两端均设有内侧保温板(7),所述内侧保温板(7)一侧设有外侧保温板(8),所述外侧保温板(8)另一侧设有侧加厚保温层(15),所述坩埚底板(9)下方设有上底部保温板(10),所述上底部保温板(10)下端设有下底部保温板(11)。
2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述上炉体(1)和下炉体(12)通过连接件(16)活动连接。
3.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭炉,其特征在于:所述顶部保温板(14)、内侧保温板(7)和上底部保温板固定连接。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN107604436A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-01-19 | 江苏高照新能源发展有限公司 | 一种可移动式侧加热器的g7炉 |
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- 2016-10-18 CN CN201621129396.0U patent/CN206359656U/zh not_active Expired - Fee Related
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