JP2009168658A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2009168658A5
JP2009168658A5 JP2008007827A JP2008007827A JP2009168658A5 JP 2009168658 A5 JP2009168658 A5 JP 2009168658A5 JP 2008007827 A JP2008007827 A JP 2008007827A JP 2008007827 A JP2008007827 A JP 2008007827A JP 2009168658 A5 JP2009168658 A5 JP 2009168658A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
dimensional shape
shape measuring
measuring apparatus
unit
image
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2008007827A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5256745B2 (ja
JP2009168658A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2008007827A priority Critical patent/JP5256745B2/ja
Priority claimed from JP2008007827A external-priority patent/JP5256745B2/ja
Publication of JP2009168658A publication Critical patent/JP2009168658A/ja
Publication of JP2009168658A5 publication Critical patent/JP2009168658A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5256745B2 publication Critical patent/JP5256745B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Claims (8)

  1. 測定対象物に対してパターン光を照射する投光部と、
    前記パターン光によって前記測定対象物の表面に形成されるパターンを含む画像を撮像する撮像部と、
    前記画像の輝度に影響を与えるパラメータのうち少なくとも1つを変化させる輝度条件調整部と、
    前記測定対象物と前記パターン光とを所定方向に相対的に走査させるとともに、前記パラメータを変化させて、複数の異なる前記パラメータの条件で複数の画像を得るように前記撮像部と前記輝度条件調整部を制御する制御部と、
    前記複数の画像から、前記パターンの像が形成された領域にある画素の輝度レベルが所定範囲に収まる画像を対象画像として抽出し、該対象画像に対応するパターンの輝度情報を用いて前記測定対象物の三次元形状を求める演算部と、
    を備えることを特徴とする三次元形状計測装置。
  2. 請求項1に記載の三次元形状計測装置において、
    前記制御部は、前記パラメータを周期的に変化させることを特徴とする三次元形状計測装置。
  3. 請求項1または請求項2に記載の三次元形状計測装置において、
    前記演算部は、前記撮像部への入射光量と前記輝度レベルとの相関が線形性を示す範囲で前記対象画像を抽出することを特徴とする三次元形状計測装置。
  4. 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置において、
    前記輝度条件調整部は、前記パターン光の光量、前記撮像部の露光時間および前記測定対象物の全体を照明する照明光の光量のうち少なくとも1つを変化させることを特徴とする三次元形状計測装置。
  5. 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置において、
    前記輝度条件調整部は、前記走査に先立って実行された予備計測の結果に基づいて、前記走査のときの前記パラメータの変化量を決定することを特徴とする三次元形状計測装置。
  6. 請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置において、
    前記輝度条件調整部は、前記走査のときに撮像された第1画像の輝度レベルに基づいて、前記第1画像よりも後に撮像される第2画像についての前記パラメータの変化量を調整することを特徴とする三次元形状計測装置。
  7. 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置において、
    前記演算部は、前記パターン光の空間重心または時間重心から前記測定対象物の三次元形状を求めることを特徴とする三次元形状計測装置。
  8. 請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の三次元形状計測装置において、
    前記制御部は、前記撮像部の任意の画素に対応する前記被測定対象物表面の領域に対して、複数の異なる前記パラメータの条件で複数の画像を得るように前記撮像部と前記輝度条件調整部を制御することを特徴とする三次元形状計測装置。
JP2008007827A 2008-01-17 2008-01-17 三次元形状計測装置 Active JP5256745B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008007827A JP5256745B2 (ja) 2008-01-17 2008-01-17 三次元形状計測装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2008007827A JP5256745B2 (ja) 2008-01-17 2008-01-17 三次元形状計測装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2009168658A JP2009168658A (ja) 2009-07-30
JP2009168658A5 true JP2009168658A5 (ja) 2011-05-12
JP5256745B2 JP5256745B2 (ja) 2013-08-07

Family

ID=40969991

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008007827A Active JP5256745B2 (ja) 2008-01-17 2008-01-17 三次元形状計測装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5256745B2 (ja)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9267784B2 (en) 2013-07-15 2016-02-23 Faro Technologies, Inc. Laser line probe having improved high dynamic range
EP2869023B1 (en) 2013-10-30 2018-06-13 Canon Kabushiki Kaisha Image processing apparatus, image processing method and corresponding computer program
JP6267486B2 (ja) * 2013-10-30 2018-01-24 キヤノン株式会社 画像処理装置、画像処理方法
US9531967B2 (en) 2013-12-31 2016-12-27 Faro Technologies, Inc. Dynamic range of a line scanner having a photosensitive array that provides variable exposure
US9658061B2 (en) 2013-12-31 2017-05-23 Faro Technologies, Inc. Line scanner that uses a color image sensor to improve dynamic range
JP2017083234A (ja) 2015-10-26 2017-05-18 オムロン株式会社 三次元形状計測装置、三次元形状計測システム、プログラム、コンピュータ読み取り可能な記録媒体、および三次元形状計測方法
JP6604514B2 (ja) * 2016-02-26 2019-11-13 株式会社東京精密 表面形状測定装置及び表面形状測定方法
CN111417847A (zh) 2017-11-30 2020-07-14 徕卡显微系统(上海)有限公司 控制机动切片机
JP6770254B2 (ja) * 2018-02-07 2020-10-14 オムロン株式会社 3次元測定装置、3次元測定方法及び3次元測定プログラム
US11054546B2 (en) 2018-07-16 2021-07-06 Faro Technologies, Inc. Laser scanner with enhanced dymanic range imaging
CN110567375A (zh) * 2019-10-11 2019-12-13 哈尔滨理工大学 一种多工件并行视觉测量的精密滑台
CN110645912A (zh) * 2019-10-11 2020-01-03 哈尔滨理工大学 一种机器视觉全景测量系统及测量方法

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0526638A (ja) * 1991-07-23 1993-02-02 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 三次元形状認識装置
JPH05340727A (ja) * 1992-06-05 1993-12-21 Yunisun:Kk 三次元形状計測装置
JPH08201023A (ja) * 1995-01-31 1996-08-09 Minolta Co Ltd 三次元計測装置
JPH10124646A (ja) * 1996-10-17 1998-05-15 Minolta Co Ltd 3次元計測装置
JPH10103937A (ja) * 1996-09-27 1998-04-24 Nachi Fujikoshi Corp レーザー光の光軸傾斜測定方法及びその装置
JP3873401B2 (ja) * 1996-11-19 2007-01-24 コニカミノルタセンシング株式会社 3次元計測システム
JPH11125508A (ja) * 1997-10-21 1999-05-11 Toyota Central Res & Dev Lab Inc 断面形状測定方法
JP3575693B2 (ja) * 2001-03-25 2004-10-13 オムロン株式会社 光学式計測装置
JP2007271519A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Sunx Ltd 変位センサ及び形状測定システム
JP2007327875A (ja) * 2006-06-08 2007-12-20 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 位置検出装置および天秤装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2009168658A5 (ja)
US10415958B2 (en) Measuring device
JP6566737B2 (ja) 情報処理装置、情報処理方法、プログラム
JP2010219606A5 (ja)
JP2013042998A5 (ja)
JP2013201530A5 (ja)
EP2160017A3 (en) Optical condition design method for a compound-eye imaging device
JP2010139890A5 (ja)
JP2014023062A5 (ja)
JP5256745B2 (ja) 三次元形状計測装置
JP2011128536A5 (ja) 撮像装置及び制御方法
JP2013120092A5 (ja)
JP2012095828A5 (ja)
JP2013214878A5 (ja)
JP2012213041A5 (ja)
JP2014183558A5 (ja)
JP2016168776A5 (ja)
EP1315370A3 (en) Precision exposure setting in a digital imaging device
JP2018004357A5 (ja)
JP2009188463A5 (ja)
JP2008526075A5 (ja)
EP2429170A3 (en) Image forming apparatus and image forming method
JP2015002241A (ja) 基板撮像装置、及び基板撮像方法
JP2005260657A5 (ja)
JP2009058377A5 (ja)