JP2009167484A - 筒形金属部材用熱処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】筒形金属部材50の内周面に対して間隙Sを設けて挿入される高周波加熱部12と、間隙Sに冷却媒体Wを供給して筒形金属部材50を内周面側から冷却する第一冷却部16と、筒形金属部材50の外周面を囲繞する保持部材14と、保持部材14の外周面14bに対して冷却媒体Wを供給して筒形金属部材50を外周面側から冷却する第二冷却部18と、を備える。
【選択図】図1
Description
直動案内装置は、長手方向に沿ってボール(転動体)の転走面が形成された軌道レール(軌道体)と、無限循環するボール列を具備すると共にボールを介して軌道レールに組み付けられる移動ナット(移動体)とから構成される。
このため、特許文献1に開示されるように、高周波焼入を行うことが提案されている。
また、ボールスプライン装置やボールネジ装置等の案内装置においては、小型化の要請もあって、筒形金属部材である移動ナットにおいては薄肉化が必要とされている。このため、特に薄肉化された移動ナットに対して焼入を行うと熱変形が発生し、歪みが残って、案内装置の高精度化が困難となってしまうという問題がある。
本発明は、筒形金属部材の内周面に対して間隙を設けて挿入される高周波加熱部と、前記間隙に冷却媒体を供給して前記筒形金属部材を内周面側から冷却する第一冷却部と、前記筒形金属部材の外周面を囲繞する保持部材と、前記保持部材の外周面に対して冷却媒体を供給して前記筒形金属部材を外周面側から冷却する第二冷却部と、を備えることを特徴とする。
これにより、保持部材により筒形金属部材の変形を抑えつつ、筒形金属部材の内周面に対して加熱処理と冷却処理を施すことができる。
これにより、筒形金属部材の内周面をムラなく均一に熱処理することができる。
これにより、温度プロファイルを任意に設定することができ、所望の熱処理を実現することができる。
特に、薄肉の筒形金属部材の場合に、熱処理による変形を抑えることができる。
また、前記筒形金属部材は、ボールスプライン装置のナット部材であることを特徴とする。
また、前記筒形金属部材は、ボールネジ装置のナット部材であることを特徴とする。
筒形金属部材の内周面に対して、残留歪みの少ない熱処理を施すことができ、また、生産性の高い熱処理を施すことができる。
したがって、軌道体に対して転動体を介して相対移動する移動体(ボールスプライン装置やボールネジ装置のナット部材)に対して変形を与えることなく、所望の熱処理を施すことができ、高精度な運動装置を実現することができる。
図1は、本発明の実施形態に係る熱処理装置の概略構成を示す模式図である。
図2は、被熱処理物であるナット部材の上面図及び断面図である。
本実施形態に係る熱処理装置10は、ナット部材50の内周面54に対して熱処理を施すものであって、被熱処理物であるナット部材50の内周面に挿入される高周波加熱部12、ナット部材50の外周面55を取り囲む保持部材14、ナット部材50を内周面54側から冷却する第一冷却部16、保持部材14を介してナット部材50を外周面55側から冷却する第二冷却部18、ナット部材50を載置しつつその中心軸周りに回転させる回転テーブル22及びこれらを統括的に制御する制御部30等を備える。
なお、熱処理装置10のうち制御部30等を除く主要部は、チャンバ11内に収容されており、熱処処理時の輻射熱や後述する冷却水Wが外部に漏出しないようになっている。
ナット部材50の一端側にはフランジ52が形成されており、また、保持部材14の長さ(高さ)は、ナット部材50よりも長く形成されているため、ナット部材50の他端側が回転テーブル22の上面22aに触れることなく、回転テーブル22から離間した状態で保持される。
また、保持部材14は、熱伝導率の高い材料(鉄、銅、アルミニウム等)により形成されている。ナット部材50を外周面55側から効率よく冷却するためである。
高周波加熱部12のコイル12aは、被熱処理物であるナット部材50の内周面54に対して、均一な距離を隔てて挿入される。コイル12aの長さ(高さ)は、ナット部材50よりも長く形成されており、また、コイル12aの根本部分にはフランジ12cが設けられている。そして、このフランジ12cをナット部材50のフランジ52に当接することで、ナット部材50に対するコイル12aの挿入位置が一定となるようになっている。
そして、ナット部材50の内周面54に対して間隙Sを設けて挿入したコイル12aに高周波数の交流電流を供給すると、コイル12aの近傍に配置された導電体、すなわちナット部材50には高密度の渦電流が発生し、そのジュール熱によりナット部材50が加熱されるようになっている。
第一冷却部16は、冷却水Wを通水する管形の冷却ジャケット16jを備えており、この冷却ジャケット16jは、回転テーブル22の回転中心に形成された開口に下方から挿通され、保持部材14に一部が挿入される。そして、ナット部材50の下方側(他端側)から、ナット部材50に向けて冷却水Wを流すことで、コイル12aとナット部材50との間に形成された間隙Sに冷却水Wが流れ込み、ナット部材50の上方側(フランジ側)に流出する。
これにより、冷却水Wは、ナット部材50から熱を吸収(熱交換)し、ナット部材50を内周面54側から冷却する。
第二冷却部18は、冷却水Wを通水するリング形の冷却ジャケット18jを備えており、保持部材14の外周面14bをこの冷却ジャケット18jで覆い、冷却ジャケット18jの内面側に形成された複数の孔から保持部材14の外周面14bに向けて冷却水Wが供給される。冷却水Wは、保持部材14と冷却ジャケット18jとの間を、外周面14bに沿って上下方向に流れるようになっている。
これにより、冷却水Wは、保持部材14を介してナット部材50から熱を吸収(熱交換)し、ナット部材50を外周面55側から冷却する。
高周波加熱部12を、第一冷却部16及び第二冷却部18を作動させている際に、ナット部材50を回転させることで、ナット部材50を均一に加熱・冷却することが可能となっている。したがって、ナット部材50に、均一な金属組織を形成することができる。
ナット部材50の内周面54には、ボール(図6,図8参照)やローラが転動するための転走面56が長手方向に沿って、例えば10箇所(5組)形成される。この転走面56は、ボールやローラを介して負荷がかかるため、例えばHV500以上の硬さとなるように熱処理(焼入焼もどし)が施される。焼入れは、表面から深さ1〜2mm程度の深さまで施される。
なお、ナット部材50は、例えば、炭素Cを0.5%、マンガンMnを1%程度含む炭素鋼である。
図3(a)に示すように、ナット部材50に対する熱処理(焼入れ)では、まず、第二冷却部18を作動させて、これと同時若しくはやや遅れて高周波加熱部12を作動させる。この際、回転テーブル22も作動させる。
第二冷却部18による冷却よりも、高周波加熱部12による加熱の方が、ナット部材50に対して直接かつ高速に作用するので、ナット部材50は、図3(a)に示すように、所望温度まで加熱される。
なお、ナット部材50に対しては、その後に、焼もどし(図3(b)参照)が施され、更に、転走面56への研削処理等が施される。
図4に示すように、ナット部材50の内周面54に、均一なマルテンサイト組織を形成することができた。不完全な焼入れ組織の発生はみとめられないという良好な結果となった。特に、図4(a)〜(c)に示すように、高周波加熱部12のコイル12aに最も近接する転走面56周辺を良好に熱処理できたことが分かる。
このように、熱処理装置10を用いて熱処理を行った場合には、ナット部材50の内周面54に均一な金属組織を形成することができる。
図5に示すように、熱処理装置10を用いた場合には、従来に比べて変形が少ないことが分かる。従来例の場合には、ナット部材50の内周面54の円筒度は、最大値と最小値の差が30μm程度であった。一方、熱処理装置10を用いて熱処理した場合には、円筒度の最大値と最小値の差は12μm程度に改善されている。つまり、熱処理装置10を用いた場合には、ナット部材50の形状が、熱処理を経ても維持されていることが分かる。
このように、熱処理装置10を用いて熱処理を行った場合には、ナット部材50の変形を最小限に抑えることができる。
なお、円筒度に限らず、真円度、直線度、平坦度等の幾何公差は、いずれも改善(残留変形の抑制)が見られた。
ボールスプライン装置(運動装置)100は、略円柱状に形成されたスプライン軸(軌道体)101と、略円筒状に形成されると共に多数のボール(転動体)103を介してスプライン軸101に組付けられた外筒(移動体)102とから構成されており、外筒102がスプライン軸101の周囲を軸方向へ自在に往復移動するように構成されている。
上述したナット部材50は、外筒102の外筒本体104に用いられる。
各ボール転走面110は、長手方向と垂直な断面における形状がボール103の球面の円弧よりも僅かに大きな円弧からなるサーキュラアーク形状に形成されている。これらのボール転走面110は、2つのボール転走面110が対となって、スプライン軸101の外周面に対称的に形成されている。
このように外筒本体104とエンドプレート105との組み合わせからなる外筒102は、ボール103が転走する無限循環路130がスプライン軸101に面した貫通穴の内周面に形成される構成となっている。
図8は、ボールネジ装置200を示す図である。
上述した実施形態では、ナット部材50(外筒本体104)には、内周面54にその長手方向に沿って複数の転走面56が形成されたものであったが、これに限らない。
すなわち、図7に示すように、複数(複条)の転走面56(ボール転走溝210)が螺旋状に形成される場合であってもよい。つまり、図8に示すボールネジ装置200のナット部材202であってもよい。
したがって、スプライン軸101やネジ軸201等の軌道体に対して、ボール103,203等の転動体を介して相対移動する外筒102(外筒本体104)やナット部材202等に対して変形を与えることなく、所望の熱処理を施すことができ、高精度な(直線等の)運動を行うボールスプライン装置100やボールネジ装置200等の運動装置を実現することができる。
また、ナット部材のように円筒形部材に限らず、例えば角管形であってもよい。完全な管(筒)形でなく、例えば断面がC形の部材であってもよい。
12…高周波加熱部
14…保持部材
14b…外周面
16…第一冷却部
18…第二冷却部
22…回転テーブル(回転部)
50…ナット部材(筒形金属部材、移動体)
54…内周面
55…外周面
56…転走面
100…ボールスプライン装置
101…スプライン軸(軌道体)
102…外筒(移動体)
103…ボール(転動体)
104…外筒本体(ナット部材)
200…ボールネジ装置
201…ネジ軸(軌道体)
202…ナット部材(移動体)
203…ボール(転動体)
S…間隙
W…冷却水(冷却媒体)
Claims (7)
- 筒形金属部材の内周面に対して間隙を設けて挿入される高周波加熱部と、
前記間隙に冷却媒体を供給して前記筒形金属部材を内周面側から冷却する第一冷却部と、
前記筒形金属部材の外周面を囲繞する保持部材と、
前記保持部材の外周面に対して冷却媒体を供給して前記筒形金属部材を外周面側から冷却する第二冷却部と、
を備えることを特徴とする筒形金属部材用熱処理装置。 - 前記筒形金属部材に前記高周波加熱部を挿入した状態で、前記筒形金属部材を前記高周波加熱部に対して相対的に回転させる回転部を備えることを特徴とする請求項1に記載の筒形金属部材用熱処理装置。
- 前記第二冷却部により前記筒形金属部材を冷却しつつ、前記高周波加熱部により前記筒形金属部材を加熱し、前記高周波加熱部による加熱を停止させた後に前記第一冷却部により前記筒形金属部材を冷却させる制御部を備えることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の筒形金属部材用熱処理装置。
- 前記筒形金属部材は、厚さ10mm以下の薄肉部材であることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載の筒形金属部材用熱処理装置。
- 前記筒形金属部材は、軌道体に対して転動体を介して相対移動する移動体であることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載の筒形金属部材用熱処理装置。
- 前記筒形金属部材は、ボールスプライン装置のナット部材であることを特徴とする請求項5に記載の筒形金属部材用熱処理装置。
- 前記筒形金属部材は、ボールネジ装置のナット部材であることを特徴とする請求項5に記載の筒形金属部材用熱処理装置。
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