JP2009166404A - 積層板、積層板の製造方法、多層プリント配線板および半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一方の面側の表面粗さRzが、0.01μm以上、5μm以下である支持基材101と、支持基材101の他方の面側に剥離層201と、金属箔301と、絶縁層401とをこの順に積層成形した積層板500であり、また、金属箔301の絶縁層401面側の表面粗さRzが、0.01μm以上、3μm以下であり、また、支持基材101は銅箔であることを特徴とする積層板500である。
【選択図】図1
Description
なお、表面粗さRzとは、JIS B0601で規定する10点平均粗さのことである。
また、研磨加工は、支持基材付き金属箔150にしてから、支持基材101の一方の面側を研磨して表面粗さRzを0.01μm以上、5μm以下にしてもよいし、または、予め支持基材101の一方の面側を研磨して表面粗さRzを0.01μm以上、5μm以下にしたのち、支持基材101の他方の面側に剥離層201と、金属箔301とをこの順に積層して支持基材付き金属箔を得てもよい。
なお、金属箔301を予めエッチング後に、レーザーまたはドリルにより開口しても良い。
ビルドアップ材には、市販のフィルム付き絶縁樹脂シートや金属箔付き絶縁樹脂シートも用いることができる。
なお、レーザー照射後の樹脂残渣等は過マンガン酸塩、重クロム酸塩等の酸化剤などにより除去することが好ましい。また、平滑な絶縁層の表面を同時に粗化することができ、続く金属メッキにより形成する導電配線回路の密着性を上げることができる。
機械的研磨でRzを1.2μmに均一化し、次いで電気化学的溶解にて平滑化処理を行い、プレス面側の表面粗さRzが1μm、厚み18μm、厚みバラツキ1μmの剥離可能な支持基材に、厚さ3μmの極薄電解銅箔層を有する支持基材付き金属箔を、ガラス繊維基材を有し絶縁層としてシアネート樹脂、エポキシ樹脂を含む樹脂成分等から構成されるプリプレグ(住友ベークライト(株)製、EI−6765GS、厚み0.3mm)の上下に挟み、更に表面粗さRzが、0.1μmの鏡面当て板、クッション紙で順次挟み込み、温度200℃、圧力3MPaでプレス成形した積層板を得た。
機械的研磨でRzを2.5μmに均一化し、次いで電気化学的溶解にて平滑化処理を行い、プレス面側の表面粗さRzが2μm、厚み35μm、厚みバラツキ1μmの剥離可能な支持基材に、厚さ3μmの極薄電解銅箔層を有する支持基材付き金属箔を用いて、実施例1と同様にして得た積層板を得た。
機械的研磨による平滑化処理を行い、プレス面側の表面粗さRzが5μm、厚み18μm、厚みバラツキ1μmの剥離可能な支持基材に、厚さ3μmの極薄電解銅箔層を有する支持基材付き金属箔を用いて、実施例1と同様にして得た積層板を得た。
平滑化処理を行わずプレス面側の表面粗さRzが10μm、厚み18μm、厚みバラツキ2μmの剥離可能な支持基材に、厚さ3μmの極薄電解銅箔層を有する支持基材付き金属箔を用いて、実施例1と同様にして得た積層板を得た。
平滑化処理を行わずプレス面側の表面粗さRzが10μm、厚み35μm、厚みバラツキ6μmの剥離可能な支持基材に、厚さ3μmの極薄電解銅箔層を有する支持基材付き金属箔を用いて、実施例1と同様にして得た積層板。
実施例および比較例の積層板の断面写真より、100μm当りの支持基材/金属箔界面のうねりを山の最頂部と谷の最深部の差として計測した。
2−1 セミアディティブ工法
実施例および比較例の積層板の支持基材を引き剥がした後、25μm厚みのメッキレジスト用ドライフィルムを形成し、ライン/スペース=25μm/25μm、及び20μm/20μmのテストパターンを描いているガラスマスクにて露光、現像をおこなった(ライン長さ40mm、ライン本数10本)。その後、電解メッキにて厚み12μmまで形成し、メッキレジストを剥離して微細配線形成の試験サンプルを得た。次いでパターン配線の断線の箇所を金属顕微鏡で観察した。各記号は以下の通りである。
A;断線なし 良好
B;1〜3箇所断線 実質上問題なし
C;4〜6箇所断線 実質上使用不可
D;7〜10箇所断線 不良
E;10箇所すべて断線 不良
実施例および比較例の積層板の支持基材を引き剥がした後、金属箔表面をパネルめっきにより12μmの厚さとし、25μm厚みのメッキレジスト用ドライフィルムを形成し、ライン/スペース=25μm/25μm、及び20μm/20μmのテストパターンを描いているガラスマスクにて露光、現像をおこなった(ライン長さ40mm、ライン本数10本)。その後エッチングを行い微細配線形成の試験サンプルを得た。次いでパターン配線の断線の箇所を金属顕微鏡で観察した。各符号は以下の通りである。
A;断線なし 良好
B;1〜3箇所断線 実質上問題なし
C;4〜6箇所断線 実質上使用不可
D;7〜9箇所断線 不良
E;10箇所すべて断線 不良
150 支持基材付き金属箔
201 剥離層
301 金属箔
401 絶縁層
500 積層板
Claims (9)
- 一方の面側の表面粗さRzが、0.01μm以上、5μm以下である支持基材と、前記支持基材の他方の面側に剥離層と、金属箔と、絶縁層とをこの順に積層成形したことを特徴とする積層板。
- 前記金属箔の絶縁層面側の表面粗さRzが、0.01μm以上、3μm以下である請求項1に記載の積層板。
- 前記支持基材は、銅箔である請求項1または2のいずれかに記載の積層板。
- 前記銅箔が、電解銅箔である請求項3に記載の積層板。
- 前記銅箔の厚さが、10μm以上、100μm以下である請求項3または4に記載の積層板。
- 前記絶縁層は、樹脂成分を含浸したプリプレグである請求項1ないし5のいずれかに記載の積層板。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載の積層板の製造方法であって、
支持基材と、前記支持基材の他方の面側に剥離層と、金属箔とをこの順に積層して支持基材付き金属箔を得る工程と、
前記支持基材付き金属箔の一方の面側に、研磨加工を施すことにより表面粗さRzを、0.01μm以上、5μm以下となるようにした支持基材付き金属箔とする工程と、
前記金属箔と、前記絶縁層をさらに対向配置するとともに、前記一方の面側の支持基材面側に、鏡面加工された当て板を配置し、加熱加圧し前記積層板を得る工程と、
を含む積層板の製造方法。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の積層板の、前記支持基材を前記剥離層面で剥離した後、金属箔を回路形成してなる多層プリント配線板。
- 請求項8に記載の多層プリント配線板に半導体素子を搭載してなる半導体装置。
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