JP2009164464A - フォトマスクの異物除去方法及び異物除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フォトマスク1に対して略水平方向から圧力が調整されたパージガス4を吹付けてフォトマスク1表面にパージガス4による層流を形成し(図1(A))、パージガス4の吹付け方向またはパージノズル3のフォトマスク1表面からの高さを変化させてパージガス4をフォトマスク1表面に吹付ける(図1(B)、図1(C))。また、パージガス4の吹付け時には、パージガス4またはフォトマスク1表面を熱する。
【選択図】図1
Description
図4は、パージ装置の一例を示す図である。
ここでは、東京航空計器(株)製のフォトマスク移載装置(8601型)のパージ機構部分を示している。
このようなパージ装置を用いたパージ動作は、以下のようになる。
なお、ペリクル膜については図示を省略している。
成長性の異物は、工場にて使用または保管しているフォトマスク表面に発生する異物である。フォトマスク表面や、雰囲気中、部材からのアウトガスなどに含まれる有機物、酸、アルカリが、フォトリソグラフィの際の紫外線照射により反応を起こして結晶化し、フォトマスク表面に析出し欠陥となるものである。代表的な成長性の異物の主成分は硫酸アンモニウムであるが、異物の成長は、以下のようなメカニズムで進むと考えられている。
図1は、本実施の形態のフォトマスクの異物除去方法を示す模式図である。
図1(A)のようにフォトマスク1の異物2を除去する際、本実施の形態の異物除去方法では、ガス吹出し部であるパージノズル3から、フォトマスク1に対して水平方向から圧力が調整された、たとえば、高純度のN2であるパージガス4を吹付けてフォトマスク1の表面にパージガス4による層流を形成する。
次に、図1(B)、図1(C)のように、パージガス4の吹付け方向またはパージノズル3のフォトマスク1表面からの高さを変化させていき、パージガス4をフォトマスク1表面に吹付け、異物2を除去する。このときも層流は維持され、フォトマスク1への水滴の付着が抑制される。
パージガス4を熱する場合には、フォトマスク1の表面と、パージノズル3との間の大気中の水蒸気が飽和水蒸気圧にならない温度に加熱する。
以上のように、本実施の形態のフォトマスクの異物除去方法によれば、フォトマスク1表面に層流を形成してから、吹付け方向やパージノズル3の高さを変えて異物2を除去するとともに、パージガス4またはフォトマスク1表面を熱するので、パージ開始から終了まで成長性異物の原因となるフォトマスク1表面への水分の付着を防止できる。
図2は、本実施の形態のフォトマスクのパージ装置の構成を示す図である。
図のようにパージノズル3は、一定間隔で複数設けられており、フォトマスク1の全面より広い範囲に、パージガスがあたるようになっている。そして、固定具14やエレベータ16によって、フォトマスク1に対して図1(A)のように水平方向からパージガスを吹付けるように調整される。また、固定具14は、図3の矢印方向に揺動するようにしてもよい。
最初に、移動ステージ12上のフォトマスク保持機構13により、パージ対象のフォトマスク1を固定する。また、ガスヒータ19によって、室温や湿度に応じて、フォトマスク1の表面と、パージノズル3との間の大気中の水蒸気が飽和水蒸気圧にならない温度にパージガスを加熱する。
以上の動作は、ガスヒータ19により、パージガスを加熱した場合についてのものであったが、ヒータ20によりフォトマスク1の表面を熱するようにしても同様の効果が得られる。
以上のように、本実施の形態のパージ装置10によれば、フォトマスク1表面に層流を形成してから、吹付け方向やパージノズル3の高さを変えて異物2を除去するとともに、パージガス4またはフォトマスク1表面を熱するので、パージ開始から終了まで成長性異物の原因となるフォトマスク1表面への水分の付着を防止できる。
前記ガスの吹付け方向またはガス吹出し部の前記フォトマスク表面からの高さを変化させて前記ガスを前記フォトマスク表面に吹付ける工程と、
を有し、
前記ガスの吹付け時に、前記ガスまたは前記フォトマスク表面を熱することを特徴とするフォトマスクの異物除去方法。
(付記6) フォトマスクにガスを吹付けるガス吹出し部と、
前記ガスの圧力を調整する圧力調整部と、
前記フォトマスクの表面に対する前記ガス吹出し部の角度を調整する吹付け角調整部と、
前記フォトマスクの表面に対する前記ガス吹出し部の高さを調整する吹付け高さ調整部と、
前記ガスまたは前記フォトマスク表面を熱する加熱部と、
を有し、
前記ガスの吹付け開始時に、前記吹付け角調整部または前記吹付け高さ調整部は、前記フォトマスクに対し略水平方向に配置されるように前記ガス吹出し部を移動させ、前記圧力調整部は、前記圧力を前記フォトマスク表面に前記ガスによる層流を形成するように調整することを特徴とするフォトマスクの異物除去装置。
(付記9) 前記加熱部は、前記ガス吹出し部に供給する前記ガスを熱するガスヒータを有することを特徴とする付記6乃至8の何れか一項に記載のフォトマスクの異物除去装置。
2 異物
3 パージノズル
4 パージガス
Claims (6)
- フォトマスクに対して略水平方向から圧力が調整されたガスを吹付けて前記フォトマスク表面に前記ガスによる層流を形成する工程と、
前記ガスの吹付け方向またはガス吹出し部の前記フォトマスク表面からの高さを変化させて前記ガスを前記フォトマスク表面に吹付ける工程と、
を有し、
前記ガスの吹付け時に、前記ガスまたは前記フォトマスク表面を熱することを特徴とするフォトマスクの異物除去方法。 - 前記ガスを、前記フォトマスク表面と前記ガス吹出し部との間の大気中の水蒸気が飽和水蒸気圧にならない温度に加熱することを特徴とする請求項1記載のフォトマスクの異物除去方法。
- 前記圧力は、前記フォトマスクに貼られたペリクル膜の耐圧より低い圧力に調整されていることを特徴とする請求項1または2に記載のフォトマスクの異物除去方法。
- 前記フォトマスク表面を、ハロゲンヒータを用いて熱することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のフォトマスクの異物除去方法。
- フォトマスクにガスを吹付けるガス吹出し部と、
前記ガスの圧力を調整する圧力調整部と、
前記フォトマスクの表面に対する前記ガス吹出し部の角度を調整する吹付け角調整部と、
前記フォトマスクの表面に対する前記ガス吹出し部の高さを調整する吹付け高さ調整部と、
前記ガスまたは前記フォトマスク表面を熱する加熱部と、
を有し、
前記ガスの吹付け開始時に、前記吹付け角調整部または前記吹付け高さ調整部は、前記フォトマスクに対し略水平方向に配置されるように前記ガス吹出し部を移動させ、前記圧力調整部は、前記圧力を前記フォトマスク表面に前記ガスによる層流を形成するように調整することを特徴とするフォトマスクの異物除去装置。 - 前記層流の形成後に、前記吹付け角調整部または前記吹付け高さ調整部は、前記ガスの吹付け方向または前記ガス吹出し部の前記フォトマスク表面からの高さを変化させて前記ガスを前記フォトマスク表面に吹付けることを特徴とする請求項5記載のフォトマスクの異物除去装置。
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