JP2009161662A5 - 含フッ素エラストマー組成物 - Google Patents

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Description

本発明は、含フッ素エラストマー組成物に関する。さらに詳しくは、プラズマ照射用途などに用いられるシール材の加硫成形材料として用いられる含フッ素エラストマー組成物に関する。
実施例１
テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(メチルビニルエーテル)-パーフルオロ(3,7-ジオキサ-8-シアノ-1-ノネン)〔モル比 TFE 73.5：FMVE 24.9：CEPVE 1.6〕3元共重合体〔共重合体A〕100重量部に、ビスアミドキシム化合物(n=4)0.7重量部を加え、2本ロールミル上で40〜45℃の温度で混練した。混練物を180℃で30分間プレス加硫(一次加硫)した後、次の条件下でのオーブン加硫(二次加硫)を窒素ガス雰囲気下で行った。
90℃で4時間
90℃から204℃迄6時間かけて昇温
204℃で18時間
204℃から288℃迄6時間かけて昇温
288℃で18時間
実施例２
実施例１において、共重合体Aの代わりに、テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(メチルビニルエーテル)-パーフルオロ(3-オキサ-8-シアノ-1-オクテン) [モル比 TFE 73.9：FMVE 24.8：CPeVE 1.3]3元共重合体(共重合体B)が用いられた。
実施例３
実施例１において、共重合体Aの代わりに、テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(エチルビニルエーテル)-パーフルオロ(3,7-ジオキサ-8-シアノ-1-ノネン) [モル比 TFE 73.2：FMVE 25.8：CEPVE 1.0]3元共重合体(共重合体C；ムーニー粘度ML1+10(121℃)84)が用いられた。
実施例４
実施例１において、共重合体Aの代わりに、テトラフルオロエチレン-パーフルオロ(メトキシエチルビニルエーテル)-パーフルオロ(3,7-ジオキサ-8-シアノ-1-ノネン) [モル比 TFE 73.3：FMVE 25.1：CEPVE 1.6]3元共重合体(共重合体D；ムーニー粘度ML1+10(121℃)88)が用いられた。
比較例１
実施例１において、共重合体Aの代りに、共重合単量体モル比 TFE 68.5：FMVE 29.9：CEPVE 1.6の3元共重合体(共重合体E；ムーニー粘度ML1+10(121℃)82)が用いられ、同様の加硫および測定が行われた。
比較例２
実施例１において、共重合体Aの代りに、共重合単量体モル比 TFE 77.5：FMVE 21.1：CEPVE 1.4の3元共重合体(共重合体F；ムーニー粘度ML1+10(121℃)91)が用いられ、同様の加硫および測定が行われた。
比較例３
実施例１において、共重合体Aの代りに、共重合単量体モル比 TFE 69.9：FMVE 28.8：CEPVE 1.3の3元共重合体(共重合体G；ムーニー粘度ML1+10(121℃)85)が用いられ、同様の加硫および測定が行われた。

Claims (7)

  1. (A)テトラフルオロエチレン72.8〜74.0モル％、(B)パーフルオロ(低級アルキルビニルエーテル)またはパーフルオロ(低級アルコキシ低級アルキルビニルエーテル)26.8〜24.0モル％および(C)パーフルオロ不飽和ニトリル化合物0.2〜3.0モル％よりなる共重合組成を有する含フッ素エラストマー100重量部当り、0.2〜5重量部のビスアミドキシム化合物を配合してなり、無機充填剤を含有していない含フッ素エラストマー組成物。
  2. ムーニー粘度ML 1+10 (121℃)が70〜115である含フッ素エラストマーが用いられた請求項１記載の含フッ素エラストマー組成物。
  3. 請求項１記載の含フッ素エラストマー組成物を加硫成形して得られたシール材。
  4. プラズマ照射用途に用いられる請求項３記載のシール材。
  5. 半導体製造装置用として用いられる請求項４記載のシール材。
  6. シリコンウェハーの表面処理加工室用として用いられる請求項５記載のシール材。
  7. ゲートバルブ用途に用いられる請求項４記載のシール材。
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