JP2009152481A - 撮像用半導体装置および撮像用半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】配線基板20と、配線基板20に搭載されると共に配線基板20に形成された接続パッド24とワイヤボンディング接続された撮像用半導体素子30と、撮像用半導体素子30の撮像面に、撮像領域の周囲を一周する配置で設けられた封止材40と、封止材40の内側空間が密閉空間38となるように封止材40に接着された透光板50と、封止材40の外周囲と配線基板20と透光板50の間を充てんする樹脂60と、を有していることを特徴とする撮像用半導体装置10。
【選択図】図6
Description
以上のような要望に応えるべく、光学モジュールの小型化に貢献し、信頼性の向上を図った撮像用の半導体装置(例えば特許文献1)の提案がなされている。
また、透光板150を載置する樹脂160は高さ寸法を揃えた状態で形成しているが、樹脂160の上面に塗布した接着剤の厚さのばらつき程度によっては、撮像用半導体素子130の撮像面に対する透光板150のチルト量が大きくなり、不良品となってしまうおそれがあるといった課題がある。
透光板50は配線基板20の平面形状と同様に大判に形成されているので、接着剤40およびスペーサ70からなる複数の支点で支持することで、平坦を維持した状態で配設することができる。このように透光板50を配設することで撮像用半導体素子30の撮像面に対する透光板50のチルト量を可及的に少なくすることができ、高品質な撮像用半導体装置10にすることができる。
まず、図3(A)に示すように、配線基板20の上面に撮像面を露出させた状態で撮像用半導体素子30を複数個搭載して製造ユニット100とする。次に、図3(B)に示すように、撮像用半導体素子30の撮像面に形成されている電極32と、配線基板20の上面に形成されている接続パッド24との間を金ワイヤ等からなるボンディングワイヤ34によりワイヤボンディング接続する。次に、図4(A)に示すように、撮像用半導体素子30の撮像面における撮像領域の外方側領域であって、電極32の配設位置よりも内方側領域に接着剤40を印刷法やプリフォームを貼り付けすることにより塗布する。接着剤40は、撮像領域の外周を周回する配置で、ボンディングワイヤ34のワイヤループの頂上部高さと等しい高さ寸法となるように塗布される。次に、図4(B)に示すように、配線基板20の上面のコーナ部のそれぞれにスペーサ70を配設する。スペーサ70もまた、ボンディングワイヤ34のワイヤループの頂上部高さと等しい高さ寸法に形成されている。
例えば、以上に説明した実施形態においては、配線基板20には上面のみに配線パターンが形成されている形態について説明しているが、図7に示すように配線基板20の下面にも配線パターンおよび接続パッド25を配設し、スルーホールTHにより配線基板20の上下両面の配線パターン間の導通をとった撮像用半導体装置10(撮像用半導体パッケージ)とすることもできる。このような場合には、配線基板20の下面には、はんだボールなどからなる外部接続端子28が設けられる。
また、上記実施形態においては、透光板50とスペーサ70とは接着されていないが、スペーサ70の高さ寸法を接着剤40の高さ寸法より若干低くなるように形成し、スペーサ70の上面にも接着剤40を塗布し、すべての接着剤40の上面の高さ位置を揃えれば、透光板50を撮像面に対して平行な状態で支持することができると共に、透光板50をスペーサ70の位置においても接着させることができるため、より高精度な撮像用半導体装置10の製造が可能になり好都合である。
また、上記実施形態においては、紫外線硬化型の接着剤40を用いているが、Bステージ状の接着剤40と透光板50とを接着する際の加熱温度が問題にならない場合には、熱硬化型の接着剤40を用いることもできる。熱硬化型の接着剤40を用いた場合であっても、上記実施形態と同様の供給方法や、ディスペンサによる供給方法を採用することができるのはもちろんである。
そして、以上に説明した実施形態においては、透光板50は、封止材である接着剤40とスペーサ70とにより保持されているが、接着剤40による保持箇所が十分確保され、接着剤40が十分な支持力を有している場合においては、スペーサ70を配設しなくても、透光板50を十分な精度で保持することもできる。このような構成は、本実施形態で説明したような複数個取りの製造ユニット100において、配線基板20に配設される撮像用半導体素子30の数が多ければ適用することができる。
20 配線基板
22 絶縁膜
24,25 接続パッド
28 外部接続端子
30 撮像用半導体素子
32 電極
34 ボンディングワイヤ
38 密閉空間
40 接着剤
50 透光板
60 モールド樹脂
70 スペーサ
100 製造ユニット
DS ダイシングソー
S 隙間
TH スルーホール
Claims (10)
- 配線基板と、
前記配線基板に搭載されると共に前記配線基板に形成された接続パッドとワイヤボンディング接続された撮像用半導体素子と、
前記撮像用半導体素子の撮像面に、撮像領域の周囲を一周する配置で設けられた封止材と、
前記封止材の内側空間が密閉空間となるように前記封止材に接着された透光板と、
前記封止材の外周囲と前記配線基板と前記透光板の間を充てんする樹脂と、を有していることを特徴とする撮像用半導体装置。 - 前記封止材は、紫外線硬化型接着剤であることを特徴とする請求項1記載の撮像用半導体装置。
- 前記封止材の上面高さ位置は、前記ワイヤボンディング接続におけるワイヤループ頂上部の高さ位置以上に設けられていることを特徴とする請求項1または2記載の撮像用半導体装置。
- 配線基板に撮像用半導体素子を搭載し、配線基板の接続用パッドと撮像用半導体素子の電極とをワイヤボンディングする工程と、
前記撮像用半導体素子の撮像面に、撮像領域の周囲を一周する配置で封止材を供給する工程と、
前記封止材の上面に透光板を搭載し、前記封止材の内側空間が密閉空間となるように前記封止材と前記透光板とを接着する工程と、
前記封止材の外周囲と前記配線基板と前記透光板との間に樹脂を充てんする工程と、を有することを特徴とする撮像用半導体装置の製造方法。 - 配線基板に複数個の撮像用半導体素子を搭載し、配線基板の接続用パッドと撮像用半導体素子の電極とをワイヤボンディングする工程と、
前記撮像用半導体素子のそれぞれの撮像面に、撮像領域の周囲を一周する配置で封止材を供給する工程と、
前記封止材の上面に透光板を搭載し、前記封止材の内側空間が密閉空間となるように前記封止材と前記透光板とを接着する工程と、
前記封止材の外周囲と前記配線基板と前記透光板との間に樹脂を充てんする工程と、
前記撮像用半導体素子ごとに個片化する工程と、を有することを特徴とする撮像用半導体装置の製造方法。 - 前記封止材を供給する工程の後に、前記配線基板の前記撮像用半導体素子搭載面に、上端面高さ位置が前記封止材の上端面高さ位置と一致するスペーサを配設する工程をさらに有していることを特徴とする請求項4または5記載の撮像用半導体装置の製造方法。
- 前記樹脂を充てんする工程は、樹脂モールド成形法が用いられることを特徴とする請求項4〜6のうちのいずれか一項に記載の撮像用半導体装置の製造方法。
- 前記封止材には紫外線硬化型接着剤が用いられ、前記封止材と前記透光板とを接着する工程が、紫外線照射工程であることを特徴とする請求項4〜7のうちのいずれか一項に記載の撮像用半導体装置の製造方法。
- 前記封止材を供給する工程には、印刷法が用いられることを特徴とする請求項4〜8のうちのいずれか一項に記載の撮像用半導体装置の製造方法。
- 前記スペーサは、前記配線基板の外周縁部分に配設することを特徴とする請求項4〜9のうちのいずれか一項に記載の撮像用半導体装置の製造方法。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011035360A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-17 | Kingpak Technology Inc | 撮像素子パッケージの製造方法および構造 |
JP2011165774A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Canon Inc | 固体撮像装置の製造方法 |
JP2013118230A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04261032A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-09-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光透過用ガラス窓を有する半導体装置の製造方法 |
JP2002016194A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Kyocera Corp | 半導体装置 |
JP2006303481A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-11-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像装置の製造方法、及び固体撮像装置 |
JP2007035779A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Canon Inc | リードレス中空パッケージ及びその製造方法 |
JP2007141957A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007311416A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置 |
-
2007
- 2007-12-21 JP JP2007330727A patent/JP2009152481A/ja active Pending
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04261032A (ja) * | 1991-01-31 | 1992-09-17 | Mitsubishi Electric Corp | 光透過用ガラス窓を有する半導体装置の製造方法 |
JP2002016194A (ja) * | 2000-06-29 | 2002-01-18 | Kyocera Corp | 半導体装置 |
JP2006303481A (ja) * | 2005-03-25 | 2006-11-02 | Fuji Photo Film Co Ltd | 固体撮像装置の製造方法、及び固体撮像装置 |
JP2007035779A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Canon Inc | リードレス中空パッケージ及びその製造方法 |
JP2007141957A (ja) * | 2005-11-15 | 2007-06-07 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2007311416A (ja) * | 2006-05-16 | 2007-11-29 | Fujifilm Corp | 固体撮像装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011035360A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-17 | Kingpak Technology Inc | 撮像素子パッケージの製造方法および構造 |
JP2011165774A (ja) * | 2010-02-05 | 2011-08-25 | Canon Inc | 固体撮像装置の製造方法 |
JP2013118230A (ja) * | 2011-12-01 | 2013-06-13 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
US8928803B2 (en) | 2011-12-01 | 2015-01-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Solid state apparatus |
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