JP2009150884A - ガス・センサ及び製造方法 - Google Patents
ガス・センサ及び製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009150884A JP2009150884A JP2008320385A JP2008320385A JP2009150884A JP 2009150884 A JP2009150884 A JP 2009150884A JP 2008320385 A JP2008320385 A JP 2008320385A JP 2008320385 A JP2008320385 A JP 2008320385A JP 2009150884 A JP2009150884 A JP 2009150884A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- layer
- gas sensor
- response
- sensing layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/416—Systems
- G01N27/4162—Systems investigating the composition of gases, by the influence exerted on ionic conductivity in a liquid
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/125—Composition of the body, e.g. the composition of its sensitive layer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4071—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases using sensor elements of laminated structure
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/26—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
- G01N27/403—Cells and electrode assemblies
- G01N27/406—Cells and probes with solid electrolytes
- G01N27/407—Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases
- G01N27/4073—Composition or fabrication of the solid electrolyte
- G01N27/4074—Composition or fabrication of the solid electrolyte for detection of gases other than oxygen
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
- G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
- G01N33/0009—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment
- G01N33/0027—General constructional details of gas analysers, e.g. portable test equipment concerning the detector
- G01N33/0036—Specially adapted to detect a particular component
- G01N33/0037—Specially adapted to detect a particular component for NOx
Abstract
【解決手段】ガス・センサ(100)は、ガス検知層(118)と、少なくとも1つの電極(112)と、接着層(114)と、前記ガス検知層(118)及び前記接着層(114)に隣接する応答修正層(116)とを含む。ガス・センサ(100)を排気システムに用いたシステムも開示する。またガス・センサ(100)の製造方法も開示する。
【選択図】図1
Description
102 基板層
104 ヒータ層
106 第1のガラス層
108 温度検知層
110 第2のガラス層
112 少なくとも1つの電極
114 接着層
116 応答修正層
118 ガス検知層
120 ガス検知表面
200 ガス・センサ
202 相互に入り込む配置構成の電極
204 ヒータ層
300 ガス・センサ
302 インライン形の配置構成の電極
304 ヒータ層
400 ガス検知層上の電極の実施形態
402 ガス検知層
404 横に並べた配置構成
406 電気伝導材料のワイヤ
500 ガス検知層上の電極の実施形態
502 ガス検知層
504 埋め込み配置構成
506 電気伝導材料のワイヤ
600 ガス検知層上の電極の実施形態
602 ガス検知層
604 両端配置構成
606 電気伝導材料のワイヤ
700 ガス・センサを製造するための方法
800 被分析物を検出するための方法
900 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
1000 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
1100 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
1200 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
1300 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
1400 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
1500 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
1600 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
1700 ガス・センサの抵抗応答を示すグラフ
Claims (10)
- ガス検知層と、
少なくとも1つの電極と、
接着層と、
前記ガス検知層及び前記接着層に隣接する応答修正層と、
を含むガス・センサ。 - 前記ガス検知層には、Li、Na、K、Rb、Cs、Mg、Ca、Sr、Ba、V、Cu、Zr、Hf、Al、Si、P、Tb、Ti、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Y、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、La、Ta、W、Ga、In、Sb、Bi、Ce、Sm、Gd、Cd、Re、Pt、Ge、Cr、Pb、Lu、Nd、Pr、Eu及びそれらの組合せより成る群から選択された少なくとも1種類のドーパントが添加されている、請求項2記載のガス・センサ。
- β>0のときのみα>0であり、またα≦βである、請求項2記載のガス・センサ。
- 前記接着層は、Ti、Cr及びそれらの組合せより成る群から選択された少なくとも1種類の化学元素を含んでいる、請求項1記載のガス・センサ。
- 前記応答修正層は、Mg、V、Cu、Zr、Hf、Al、Si、Ti、Mn、Fe、Co、Ni、Zn、Nb、Mo、Ru、Rh、Pd、La、Ta、W、In、Sn、Sb、Bi、Sm、Re、Pt、Ge、Cr及びそれらの組合せより成る群から選択された少なくとも1種類の化学元素を含んでいる、請求項1記載のガス・センサ。
- ガスを輸送するための排気システムと、ガス・センサとを含むシステムであって、前記ガス・センサが、
ガス検知層と、
少なくとも1つの電極と、
接着層と、
前記ガス検知層及び前記接着層に隣接する応答修正層と、
を含んでいる、システム。 - ガス・センサを製造する方法であって、
加熱層を配置する工程と、
前記加熱層に隣接して第1のガラス層を配置する工程と、
前記加熱層に隣接して温度検知層を配置する工程と、
前記温度検知層に隣接して第2のガラス層を配置する工程と、
前記第2のガラス層に隣接して少なくとも1つの電極を配置する工程と、
前記少なくとも1つの電極に隣接して接着層を配置する工程と、
前記接着層に隣接して応答修正層を配置する工程と、
前記応答修正層に隣接してガス検知層を配置する工程と、
を含んでいる方法。 - 少なくとも1種類の金属酸化物化合物及び少なくとも2種類のドーパント種目で構成された検知層であって、過酷な環境内で、NO、NO2 、NH3 、H2 O及びそれらの組合せより成る群から選択された少なくとも1種類の被分析物を検出することのできるガス検知層と、
前記ガス検知層と連通状態にある少なくとも1つの電極と、
Ti、Cr及びそれらの組合せより成る群から選択された化学元素で構成された接着層と、
Ti、Re、Ni、Ta、Nb、Mo、Zr及びそれらの組合せより成る群から選択された少なくとも1種類の化学元素で構成されていて、前記ガス検知層及び前記接着層に隣接している応答修正層と、を含み、
前記金属が、W、Ta及びNbより成る化学元素群から選択されており、また
前記ドーパント種目が、Re、Ni、V、Ta、Nb、Mo及びZrより成る化学元素群から選択されていること、
を特徴とするガス・センサ。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US11/960,781 US8739604B2 (en) | 2007-12-20 | 2007-12-20 | Gas sensor and method of making |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009150884A true JP2009150884A (ja) | 2009-07-09 |
Family
ID=40289780
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008320385A Ceased JP2009150884A (ja) | 2007-12-20 | 2008-12-17 | ガス・センサ及び製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8739604B2 (ja) |
JP (1) | JP2009150884A (ja) |
DE (1) | DE102008055568A1 (ja) |
GB (1) | GB2455640B (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009150889A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | General Electric Co <Ge> | ガス・センサ及び製造方法 |
JP2018024564A (ja) * | 2017-01-13 | 2018-02-15 | 株式会社アンディーン | ゴキブリ忌避塗料 |
JP7352461B2 (ja) | 2019-12-18 | 2023-09-28 | 新コスモス電機株式会社 | 半導体式ガス検知素子 |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7827852B2 (en) * | 2007-12-20 | 2010-11-09 | General Electric Company | Gas sensor and method of making |
US20090218235A1 (en) * | 2007-12-26 | 2009-09-03 | Mcdonald Robert C | Gas sensor |
DE102008036370A1 (de) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt e.V. | Sensor-integrierte Vorrichtung |
DE102009054435A1 (de) | 2009-11-25 | 2011-05-26 | Kechter, Andreas, Dipl.-Ing. | Heizbarer Gassensor und Verfahren zu dessen Herstellung |
WO2011093975A2 (en) * | 2010-01-29 | 2011-08-04 | Fosaaen Technologies, Llc | Method for producing a subminiature "micro-chip" oxygen sensor for control of internal combustion engines or other combustion processes, oxygen sensor and an exhaust safety switch |
US8651737B2 (en) | 2010-06-23 | 2014-02-18 | Honeywell International Inc. | Sensor temperature sensing device |
US8715576B2 (en) | 2010-11-29 | 2014-05-06 | The Invention Science Fund I, Llc | Material, system, and method that provide indication of a breach |
CN102226782B (zh) * | 2011-04-06 | 2013-02-27 | 上海远登环保科技发展有限公司 | 一种多层氧化锆固态电解质复合芯片及其制备 |
US9448198B2 (en) * | 2011-07-05 | 2016-09-20 | Stmicroelectronics Pte Ltd. | Microsensor with integrated temperature control |
US9939412B2 (en) | 2013-02-06 | 2018-04-10 | Empire Technology Development Llc | Devices, systems, and methods for detecting odorants |
US20160138963A1 (en) * | 2013-06-17 | 2016-05-19 | Empire Technology Development Llc | Graded films |
US10119932B2 (en) * | 2014-05-28 | 2018-11-06 | Honeywell International Inc. | Electrochemical gas sensor |
KR101709914B1 (ko) * | 2015-11-24 | 2017-02-27 | 한국과학기술연구원 | 하이드로젤을 이용한 교차 전극 바이오센서 |
RU167397U1 (ru) * | 2016-08-04 | 2017-01-10 | Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точной механики" | Термокаталитический сенсорный модуль |
US10942157B2 (en) | 2018-02-21 | 2021-03-09 | Stmicroelectronics Pte Ltd | Gas sensor device for detecting gases with large molecules |
DE102018115623A1 (de) * | 2018-06-28 | 2020-01-02 | CPK Automotive GmbH & Co. KG | Verfahren zur Messung von Stickoxiden und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
US11971381B2 (en) * | 2018-09-05 | 2024-04-30 | Osaka Gas Co., Ltd. | Gas detection device |
USD953183S1 (en) | 2019-11-01 | 2022-05-31 | Nvent Services Gmbh | Fuel sensor |
JP7438030B2 (ja) | 2020-06-09 | 2024-02-26 | アルプスアルパイン株式会社 | 感ガス材料、感ガス材料の製造方法及びガス濃度測定装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05302903A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Figaro Eng Inc | 酸化性ガスのセンサ |
JPH11237354A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-08-31 | Shimadzu Corp | ガスセンサ及びガス測定装置 |
JP2003279522A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 水素ガス検出装置及びその製造方法 |
JP2005134251A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
JP2005522711A (ja) * | 2002-04-15 | 2005-07-28 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | ガス検知材料の感度、速度または安定性を回復する方法 |
JP2005265548A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Tdk Corp | ガスセンサ |
JP2006119014A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ素子およびガスセンサ素子の製造方法 |
JP2007101477A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
JP2007155501A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | ガス警報器 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4840913A (en) | 1986-11-06 | 1989-06-20 | Ford Motor Company | Oxides of nitrogen detector |
WO1991019975A1 (en) | 1990-06-12 | 1991-12-26 | Catalytica, Inc. | NOx SENSOR ASSEMBLY |
US5948964A (en) | 1995-10-20 | 1999-09-07 | Ngk Insulators, Ltd. | NOx sensor and method of measuring NOx |
JPH1054817A (ja) | 1996-08-12 | 1998-02-24 | Honda Motor Co Ltd | 排気ガス用NOxセンサ |
EP1233002B1 (en) | 2001-02-20 | 2009-08-05 | National Institute for Materials Science | Methods for producing ruthenium perovskite |
JP5138134B2 (ja) * | 2001-07-16 | 2013-02-06 | 株式会社デンソー | 薄膜式センサの製造方法ならびにフローセンサの製造方法 |
DE10210819B4 (de) | 2002-03-12 | 2004-04-15 | Micronas Gmbh | Mikrostrukturierter Gassensor mit Steuerung der gassensitiven Eigenschaften durch Anlegen eines elektrischen Feldes |
US6634210B1 (en) * | 2002-04-17 | 2003-10-21 | Delphi Technologies, Inc. | Particulate sensor system |
US7017389B2 (en) | 2002-04-20 | 2006-03-28 | The Research Foundation Of Suny At Stony Brook | Sensors including metal oxides selective for specific gases and methods for preparing same |
US7907998B2 (en) | 2002-07-03 | 2011-03-15 | Tel Aviv University Future Technology Development L.P. | Bio-impedance apparatus and method |
US7053425B2 (en) | 2003-11-12 | 2006-05-30 | General Electric Company | Gas sensor device |
US20060091022A1 (en) | 2004-11-03 | 2006-05-04 | General Electric Company | Nanoelectrocatalytic gas sensors for harsh environments |
US7208327B2 (en) | 2005-05-25 | 2007-04-24 | Intel Corporation | Metal oxide sensors and method of forming |
JP4779656B2 (ja) | 2006-01-11 | 2011-09-28 | ソニー株式会社 | ガスセンサ |
JP2007263582A (ja) | 2006-03-27 | 2007-10-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサの製造方法 |
-
2007
- 2007-12-20 US US11/960,781 patent/US8739604B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-12-10 GB GB0822498A patent/GB2455640B/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-17 JP JP2008320385A patent/JP2009150884A/ja not_active Ceased
- 2008-12-19 DE DE102008055568A patent/DE102008055568A1/de not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-06-02 US US14/293,821 patent/US20140262780A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05302903A (ja) * | 1992-04-27 | 1993-11-16 | Figaro Eng Inc | 酸化性ガスのセンサ |
JPH11237354A (ja) * | 1998-02-20 | 1999-08-31 | Shimadzu Corp | ガスセンサ及びガス測定装置 |
JP2003279522A (ja) * | 2002-03-20 | 2003-10-02 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 水素ガス検出装置及びその製造方法 |
JP2005522711A (ja) * | 2002-04-15 | 2005-07-28 | イー・アイ・デュポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | ガス検知材料の感度、速度または安定性を回復する方法 |
JP2005134251A (ja) * | 2003-10-30 | 2005-05-26 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
JP2005265548A (ja) * | 2004-03-17 | 2005-09-29 | Tdk Corp | ガスセンサ |
JP2006119014A (ja) * | 2004-10-22 | 2006-05-11 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ素子およびガスセンサ素子の製造方法 |
JP2007101477A (ja) * | 2005-10-07 | 2007-04-19 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
JP2007155501A (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-21 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | ガス警報器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009150889A (ja) * | 2007-12-20 | 2009-07-09 | General Electric Co <Ge> | ガス・センサ及び製造方法 |
JP2018024564A (ja) * | 2017-01-13 | 2018-02-15 | 株式会社アンディーン | ゴキブリ忌避塗料 |
JP7352461B2 (ja) | 2019-12-18 | 2023-09-28 | 新コスモス電機株式会社 | 半導体式ガス検知素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20090159445A1 (en) | 2009-06-25 |
GB2455640A (en) | 2009-06-24 |
US20140262780A1 (en) | 2014-09-18 |
DE102008055568A1 (de) | 2009-06-25 |
GB2455640B (en) | 2011-12-07 |
GB0822498D0 (en) | 2009-01-14 |
US8739604B2 (en) | 2014-06-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2009150884A (ja) | ガス・センサ及び製造方法 | |
JP2009150889A (ja) | ガス・センサ及び製造方法 | |
JP5514432B2 (ja) | ガスセンサー及び製法 | |
JPH09503587A (ja) | 窒素酸化物を検出するためのセンサー | |
JP2006521568A (ja) | ガスの混合物を分析するための装置 | |
US9964507B2 (en) | NOx gas sensor including nickel oxide | |
JP5352049B2 (ja) | 水素センサ | |
US20090020422A1 (en) | Sensor Assemblies For Analyzing NO and NO2 Concentrations In An Emission Gas And Methods For Fabricating The Same | |
JP2011237447A (ja) | ガス検知材料の感度、速度または安定性を回復する方法 | |
CA2330573C (en) | Hydrogen sensor | |
JP3845741B2 (ja) | 窒素酸化物の検出方法及び窒素酸化物検出用センサー素子 | |
US20080020504A1 (en) | Sensors for detecting NOx in a gas and methods for fabricating the same | |
US6528019B1 (en) | Measuring transformer for detecting hydrocarbons in gases | |
US20080169190A1 (en) | NOx gas sensor for automotive exhaust and air pollution monitoring | |
KR100814459B1 (ko) | 센서 소자 및 그 제조 방법 | |
JP3669807B2 (ja) | 一酸化炭素検出センサー | |
JP2010210468A (ja) | 水素センサ及びその製造方法 | |
JP3608907B2 (ja) | 一酸化炭素センサ及び一酸化炭素の検出方法 | |
JP3415676B2 (ja) | ガスセンサ | |
JP2002357581A (ja) | 湿度センサ | |
JPH0815199A (ja) | ガスセンサ | |
JPH021260B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110217 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111214 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20121210 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130723 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131017 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140408 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application [lapsed due to lack of payment] |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20140826 |