JP2009150832A - ハードディスクメディア上のパターンの検査方法及び検査装置 - Google Patents
ハードディスクメディア上のパターンの検査方法及び検査装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】磁性体のパターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射し、ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出する(S102)。次に、検出した反射光の強度から分光反射率を算出し(S104)、算出した分光反射率に基づいてハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出する(S110)。
【選択図】図1
Description
16…ビットパターン,20…モールド(型),22…レジスト,18…有効媒質近似した層,
1201…分光検出光学系,1202…ステージ部,1203…制御部,1204…データ処理部,1205…表示部,1301…Xステージ,1302…Zステージ,1303…θステージ,
1401…光源,1402…ハーフミラー,1403…偏光素子,1404…対物レンズ,
1405…分光器,1501…レーザー,1502,1503…ダイクロイックミラー,
1504…検出器,1901…ディスクイメージ,1902…形状欠領域。
Claims (20)
- パターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射するステップと、
前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出するステップと、
検出した反射光の強度から分光反射率を算出するステップと、
算出した分光反射率に基づいて前記ハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状を検出するステップと、を含むことを特徴とするハードディスクメディアの検査方法。 - 前記パターンの形状を検出するステップは、前記算出した分光反射率と予め検出しておいた良品の分光反射率を比較するステップを含むことを特徴とする請求項1記載のハードディスクメディアの検査方法。
- 前記パターンの形状を検出するステップは、前記算出した分光反射率と検査対象の形状や材質に基づいて予め作成しておいた分光反射率を比較するステップを含むことを特徴とする請求項1記載のハードディスクメディアの検査方法。
- 前記検査対象の形状や材質に基づく分光反射率の作成には、電磁波解析手法を用いることを特徴とする請求項3記載のハードディスクメディアの検査方法。
- 前記検査対象の形状や材質に基づく分光反射率の作成には、有効媒質近似を用いることを特徴とする請求項3記載のハードディスクメディアの検査方法。
- 前記有効媒質近似を用いる際、対象パターンを多層膜構造に分割し、分割したそれぞれの層で有効媒質近似を用いること特徴とする請求項5記載のハードディスクメディアの検査方法。
- 前記有効媒質近似を用いる際、対象パターンの平面形状、断面形状および配置間隔を有効媒質近似のパラメータとして用いることを特徴とする請求項5記載のハードディスクメディアの検査方法。
- パターンが形成されたハードディスクメディア表面に複数の波長を含む光を照射するステップと、
前記ハードディスクメディアからの反射光の強度を波長毎に検出するステップと、
検出した反射光の強度から分光反射率を算出するステップと、
算出した分光反射率に基づいて前記ハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状の良否を判定するステップと、を含むことを特徴とするハードディスクメディアの検査方法。 - 前記パターンの形状の良否の判定には、パターンの有無の判定も含むことを特徴とする請求項8記載のハードディスクメディアの検査方法。
- 前記パターンの形状の良否を判定するステップは、予め検出しておいた良品の分光反射率と前記算出した分光反射率との差を求めるステップと、前記ステップで求めた差が予め設定したしきい値以下の場合にパターン形状は良と判定し、しきい値以上の場合にパターン形状は不良と判定するステップを含むことを特徴とする請求項8記載のハードディスクメディアの検査方法。
- 前記しきい値は、パターン形状を良と判定すべき場合の分光反射率と、パターン形状を不良と判断すべき場合の分光反射率とを、分離できる値に設定されることを特徴とする請求項9記載のハードディスクメディアの検査方法。
- パターンが形成されたハードディスクメディア表面に、複数の波長を含む光を照射する手段と、
前記ハードディスクメディア表面からの反射光の強度を波長毎に検出する分光検出光学手段と、
前記ハードディスクメディアを保持し、前記分光検出光学手段によってディスクメディア表面上の任意の位置で反射光の強度を検出するために、前記ハードディスクメディアまたは前記分光検出光学手段を移動させる手段と、
前記分光検出光学手段が検出した反射光の強度から分光反射率を算出し、算出した分光反射率に基づいて前記ハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状の検出あるいは形状の良否を判定するデータ処理部と、
を備えることを特徴とするハードディスクメディアの検査装置。 - 前記分光検出光学手段は、波長毎の反射光を分離するダイクロイックミラーを有することを特徴とする請求項12記載のハードディスクメディアの検査装置。
- 前記分光検出光学手段は、検出する反射光強度に対応する波長の数が3〜20であることを特徴とする請求項12記載のハードディスクメディアの検査装置。
- 前記複数の波長を含む光をハードディスクメディア表面に照射する手段は、前記ハードディスクメディア表面に対して垂直又は斜めに照射することを特徴とする請求項12記載のハードディスクメディアの検査装置。
- 前記ハードディスクメディアまたは前記分光検出光学手段を移動させる手段は、少なくとも一軸の直動機構および回転機構を備えることを特徴とする請求項12記載のハードディスクメディアの検査装置。
- 前記複数の波長を含む光として、紫外領域の波長の光を用いることを特徴とする請求項12記載のハードディスクメディアの検査装置。
- 前記複数の波長を含む光として、検査対象である前記パターンの屈折率または見かけの屈折率が大きな値となる波長を含む光を用いることを特徴とする請求項12記載のハードディスクメディアの検査装置。
- 前記複数の波長を含む光として、前記ハードディスクメディア上に形成されたパターンの形状の変化によって、反射光強度の変化が最も大きくなる波長を含む光を用いることを特徴とする請求項12記載のハードディスクメディアの検査装置。
- 前記データ処理部は表示部を有し、前記判定結果に基づいて、パターンの形状および形状不良を表すパラメータの分布を、前記表示部に2次元的または3次元的に表示することを特徴とする請求項12記載ハードディスクメディアの検査装置。
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