JP2009139600A5 - - Google Patents

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JP5134114B2 (ja) * 2010-05-28 2013-01-30 日本電信電話株式会社 波長選択スイッチとその制御方法
JP6988706B2 (ja) * 2018-06-13 2022-01-05 住友電気工業株式会社 光モジュール

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2003118001A (ja) * 2001-10-11 2003-04-23 Nec Kagoshima Ltd フィルムラミネート装置
JP4185409B2 (ja) * 2002-06-27 2008-11-26 松下電器産業株式会社 光導波路の製造方法
JP2004109651A (ja) * 2002-09-19 2004-04-08 Ricoh Co Ltd 光走査装置、光書き込み装置及び画像形成装置
JP4742503B2 (ja) * 2004-02-27 2011-08-10 セイコーエプソン株式会社 成膜方法
JP2005279863A (ja) * 2004-03-30 2005-10-13 Seiko Epson Corp アクチュエータの製造方法およびアクチュエータ
JP4510649B2 (ja) * 2005-01-20 2010-07-28 パナソニック株式会社 配線基板、多層基板および電子部品実装体の製造方法

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